X射線分析裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及能夠進行有害物質(zhì)的檢測等而且在產(chǎn)品的篩選(screening)等或者電鍍的膜厚測定等中使用的熒光X射線分析裝置等X射線分析裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]關(guān)于熒光X射線分析是，對試樣照射從X射線源射出的X射線，利用X射線檢測器來檢測從試樣中放出的特性X射線即熒光X射線，由此從其能量中取得波譜，進行試樣的定性分析、定量分析或膜厚測定。該熒光X射線分析因為能未破壞地迅速分析試樣，所以在工序/品質(zhì)管理等中被廣泛應(yīng)用。近年來，作為實現(xiàn)高精度化/高靈敏度化可進行微量測定尤其進行在材料或復(fù)合電子部件等中包含的有害物質(zhì)的檢測的分析方法，期待該熒光X射線分析得到普及。
[0003]在進行這樣的熒光X射線分析的裝置中，通常為了確定X射線照射部位(測定部位)而在顯示器的畫面上顯示基于CXD照相機等的試樣觀察像，并在畫面上使用鼠標或觸摸面板等定位設(shè)備來操作試樣工作臺(試樣臺)的移動。熒光X射線分析裝置一般在水平方向的XY軸與垂直方向的Z軸這3軸座標上進行驅(qū)動，尤其在定位中于XY軸上頻繁進行操作。
[0004]近年來，為了測定逐漸微型化的部件或基板圖形，裝置的X射線光束直徑變小以及照相機的視野也有變小的傾向，與此相對試樣工作臺整體的大小變大。因此，為了迅速地進行寬試樣工作臺中的微小定位，而對操作體系的改善進行研宄。
[0005]目前，例如在專利文獻I中記載了掃描型荷電粒子光束的裝置，其使鼠標點擊(mouse click)具備多個功能，還利用單擊和雙擊來區(qū)分使用它們，由此減少鼠標指針(pointer)向工具欄按鈕(toolbar button)等的區(qū)域移動的勞力和時間，實現(xiàn)操作性的提尚O
[0006]在這樣的現(xiàn)有技術(shù)中，例如具有如下這樣的操作:XY移動操作，利用鼠標按壓畫面周圍的按鈕，僅在按住按鈕的期間向其方向移動試樣工作臺；中央移動操作，將利用鼠標等點擊的圖像上的點作為測定對象驅(qū)動試樣工作臺來到畫面中央；另一個操作(放大操作)，在與微小位置相應(yīng)的情況下放大照相機的倍率。在其中的上述XY移動操作中，一般是利用工具欄的按鈕來切換試樣工作臺的移動速度的操作。
[0007]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0008]專利文獻
[0009]專利文獻1:日本特開2000-106119號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]發(fā)明所要解決的課題
[0011]在上述現(xiàn)有的技術(shù)中留有以下的課題。
[0012]S卩，關(guān)于現(xiàn)有技術(shù)，在上述XY移動操作中利用工具欄的按鈕來切換試樣工作臺的移動速度的操作是一般性的操作，但向從當前位置離開的點進行精密移動的步驟首先要利用上述XY移動操作來切換移動速度并且進行粗定位，使目的地的點保持到照相機的視野內(nèi)，然后再利用上述中央移動操作進行精密的定位。這里，在需要更細微的定位的情況下，利用上述放大操作的倍率變更容易進行定位。但是具有如下這樣的不良狀況，移動速度的切換或者在上述XY移動操作與上述中央移動操作之間必須使鼠標的光標在畫面上大幅移動，在精密的定位結(jié)束之前要耗費時間。另外，在上述放大操作中需要將鼠標的指針(光標)移動到工具欄的倍率變更按鈕等上，操作性仍然較低。
[0013]本發(fā)明是鑒于上述課題而作出的，其目的是提供在寬大的試樣工作臺中能夠提高用于進行精密定位的操作性的X射線分析裝置。
[0014]解決問題的手段
[0015]本發(fā)明為了解決上述課題而采用了以下的結(jié)構(gòu)。即，第I發(fā)明的X射線分析裝置的特征是具備:能設(shè)置試樣的試樣臺；X射線源，其對上述試樣照射一次X射線；檢測器，其檢測從照射上述一次X射線的上述試樣產(chǎn)生的二次X射線；位置調(diào)整機構(gòu)，其調(diào)整上述試樣臺與上述一次X射線的相對位置；觀察機構(gòu)，其對上述試樣臺上的試樣觀察像進行攝像；以及計算機，其控制上述位置調(diào)整機構(gòu)，并且具有在觀察用畫面上顯示上述試樣觀察像的顯示器部和能利用指針輸入上述顯示器部的畫面上的位置且能進行拖放(drag and drop)操作的輸入單元，上述計算機具有以下的功能，當利用上述輸入單元在上述觀察用畫面的中心區(qū)域內(nèi)進行拖曳操作并在保持狀態(tài)下使上述指針移動到上述中心區(qū)域外的任意的位置時，以與上述任意的位置相對于上述中心區(qū)域的方向以及距離相對應(yīng)的移動方向以及移動速度來驅(qū)動上述位置調(diào)整機構(gòu)，使上述試樣臺進行移動。
[0016]在該X射線分析裝置中，計算機能夠僅進行拖放操作就設(shè)定試樣臺的移動方向以及移動速度而操作，并具有以下的功能，當利用輸入單元在觀察用畫面的中心區(qū)域內(nèi)進行拖曳操作并在保持狀態(tài)下使指針移動到中心區(qū)域外的任意位置時，以與上述任意位置相對于中心區(qū)域的方向以及距離相對應(yīng)的移動方向以及移動速度來驅(qū)動位置調(diào)整機構(gòu)使試樣臺進行移動。即，根據(jù)拖曳的開始點和拖曳方向來決定基于位置調(diào)整機構(gòu)的試樣臺的移動方向，根據(jù)從拖曳的開始點到在保持狀態(tài)下進行移動的位置的距離來決定移動速度。因此，在本發(fā)明中可根據(jù)拖曳距離來直觀地指示在現(xiàn)有技術(shù)中利用畫面上處于試樣觀察像之外的按鈕進行設(shè)定的試樣臺的移動速度，并且即使在掃描中也能夠進行隨時變更。
[0017]第2發(fā)明的X射線分析裝置在第I發(fā)明中的特征是，上述計算機在上述觀察用畫面上顯示網(wǎng)眼線，并且利用上述網(wǎng)眼線將上述觀察用畫面劃分為多個分割區(qū)域，網(wǎng)眼線由設(shè)定為半徑階段性增大的多個同心圓線和從上述同心圓線中最小徑的最小同心圓線到最大徑的最大同心圓線以放射線狀延伸的多個放射分割線構(gòu)成，上述中心區(qū)域處于上述最小同心圓線內(nèi)，上述任意的位置是上述多個分割區(qū)域。
[0018]S卩，在該X射線分析裝置中，利用網(wǎng)眼線將觀察用畫面劃分為多個分割區(qū)域，中心區(qū)域處于最小同心圓線內(nèi)，在保持狀態(tài)下移動指針的任意位置是多個分割區(qū)域，因此可根據(jù)以網(wǎng)眼線劃分的網(wǎng)格即分割區(qū)域的位置來階段性地決定移動方向和移動速度。另外，通過以同心圓線進行劃分，使上下方向、左右方向和斜方向的各個距離成為相同，無論在朝著哪個方向移動的情況下都能夠以相同的操作量來實現(xiàn)。
[0019]第3發(fā)明的X射線分析裝置在第I或第2發(fā)明中的特征是，上述輸入單元是在上述顯示器部的畫面上顯示指針并具有能旋轉(zhuǎn)的滾輪且能夠進行與上述滾輪的旋轉(zhuǎn)操作相應(yīng)的輸入的鼠標，上述計算機具有以下的功能，當利用上述輸入單元進行上述滾輪的旋轉(zhuǎn)操作時根據(jù)上述滾輪的旋轉(zhuǎn)方向來變更上述觀察機構(gòu)的上述試樣觀察像的顯示倍率。
[0020]S卩，在該X射線分析裝置中，計算機具有以下的功能，當利用輸入單元進行滾輪的旋轉(zhuǎn)操作時根據(jù)滾輪的旋轉(zhuǎn)方向來變更觀察機構(gòu)的試樣觀察像的顯示倍率，所以不需要按壓工具欄等的倍率變更按鈕，從而能夠進一步改善操作性。
[0021]第4發(fā)明的X射線分析裝置在第I或第2發(fā)明中，上述輸入單元是能通過接觸上述顯示器部的畫面來進行位置輸入并能進行與收縮(pinch in)以及擴放(pinch out)的縮放(pinch)操作相應(yīng)的輸入的觸摸面板，上述計算機具有以下的功能，當利用上述輸入單元進行上述縮放操作時根據(jù)上述收縮或上述擴放來變更上述觀察機構(gòu)的上述試樣觀察像的顯示倍率。
[0022]S卩，在該X射線分析裝置中，計算機具有當利用輸入單元進行縮放操作時根據(jù)收縮或擴放來變更觀察機構(gòu)的試樣觀察像的顯示倍率的功能，所以不需要按壓工具欄等的按鈕，從而能夠進一步改善操作性。因此，即使是利用定位精度不高的指尖進行的觸摸面板上的操作，也能夠直觀地進行試樣臺的操作。
[0023]發(fā)明效果
[0024]根據(jù)本發(fā)明，起到以下的效果。
[0025]即，根據(jù)本發(fā)明的X射線分析裝置，計算機具有以下的功能