檢查裝置以及異常檢測(cè)方法
【專利說(shuō)明】檢查裝置以及異常檢測(cè)方法
[0001]關(guān)聯(lián)申請(qǐng)的引用:本申請(qǐng)以2014年3月19日提交的在先日本專利申請(qǐng)2014-056319號(hào)的優(yōu)先權(quán)為基礎(chǔ)，且要求其優(yōu)先權(quán)利益，其全部?jī)?nèi)容通過(guò)弓I用而包含于本申請(qǐng)。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]此處說(shuō)明的實(shí)施方式涉及檢查被檢查物的檢查裝置、以及對(duì)檢查被檢查物的檢查裝置的異常進(jìn)行檢測(cè)的異常檢測(cè)方法。
【背景技術(shù)】
[0003]例如，在制造工序內(nèi)的檢查工序等中，使用各種傳感器進(jìn)行品質(zhì)檢查。作為一例，在檢測(cè)振動(dòng)的裝置中，使用加速度傳感器等，基于所檢測(cè)到的振動(dòng)實(shí)施品質(zhì)的檢查。
[0004]這種檢查裝置具有:對(duì)產(chǎn)品產(chǎn)生的振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)的例如加速度傳感器等的振動(dòng)檢測(cè)部；基于振動(dòng)檢測(cè)部的檢測(cè)結(jié)果來(lái)判斷有無(wú)異常的判斷部；以及將振動(dòng)檢測(cè)部的檢測(cè)結(jié)果朝判斷部傳遞的傳遞布線。
[0005]在產(chǎn)品存在異常的情況下，例如具有進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的部件的產(chǎn)品為，當(dāng)存在異常時(shí)，在動(dòng)作時(shí)會(huì)產(chǎn)生異常的振動(dòng)。當(dāng)振動(dòng)檢測(cè)部檢測(cè)到異常的振動(dòng)時(shí)、即檢測(cè)到在通常動(dòng)作時(shí)不會(huì)產(chǎn)生的振動(dòng)時(shí)，判斷裝置判斷為產(chǎn)品存在異常。
[0006]另一方面，在振動(dòng)檢測(cè)部發(fā)生故障的情況下，即便產(chǎn)品產(chǎn)生異常的振動(dòng)，振動(dòng)檢測(cè)部也無(wú)法檢測(cè)出該振動(dòng)?；蛘?，在傳遞布線例如發(fā)生斷線等故障的情況下，無(wú)法將振動(dòng)檢測(cè)部的檢測(cè)結(jié)果朝判斷部傳遞。這樣，即便產(chǎn)品產(chǎn)生異常的振動(dòng)，在該異常的振動(dòng)無(wú)法朝判斷部傳遞的情況下，判斷部判斷為產(chǎn)品無(wú)異常。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明要解決的課題在于，提供能夠提高檢測(cè)精度的檢查裝置以及異常檢測(cè)方法。
[0008]根據(jù)一個(gè)實(shí)施方式，檢查裝置具備:設(shè)置部，用于設(shè)置被檢查物；振動(dòng)檢測(cè)部，輸出與上述被檢查物的振動(dòng)相對(duì)應(yīng)的信號(hào)；判斷部，基于上述檢測(cè)部的輸出結(jié)果來(lái)判斷被檢查物有無(wú)異常，并且對(duì)上述被檢查物相對(duì)于上述設(shè)置部設(shè)置時(shí)的上述振動(dòng)檢測(cè)部的輸出結(jié)果進(jìn)行傅里葉變換，而形成對(duì)上述設(shè)置部的構(gòu)成要素各自的固有振動(dòng)頻率的振動(dòng)功率進(jìn)行表示的振動(dòng)信息，并基于上述振動(dòng)信息來(lái)判斷上述檢查裝置有無(wú)異常；以及傳遞部，將上述檢測(cè)部的輸出信號(hào)朝上述判斷部傳遞。
[0009]發(fā)明的效果
[0010]本發(fā)明能夠提高檢查裝置以及異常檢測(cè)方法的檢測(cè)靈敏度。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1是表示第一實(shí)施方式的檢查裝置的立體圖。
[0012]圖2是表示該檢查裝置的動(dòng)作的流程圖。
[0013]圖3是具體地表示該流程圖的步驟STlO的流程圖。
[0014]圖4是表示該檢查裝置的控制裝置對(duì)第二夾持部發(fā)送控制信號(hào)以使其從解除位置移動(dòng)至夾持位置之后、振動(dòng)檢測(cè)傳感器輸出的信號(hào)的圖表。
[0015]圖5是表示振動(dòng)信息的圖表。
[0016]圖6是表示對(duì)該振動(dòng)信息與第一允許范圍以及第二允許范圍進(jìn)行比較的情況的圖表。
[0017]圖7是表示該振動(dòng)檢測(cè)傳感器或者該檢查裝置的傳遞布線存在異常的情況下的振動(dòng)信息的圖表。
[0018]圖8是表示第二實(shí)施方式的檢查裝置的立體圖。
[0019]圖9是表示該檢查裝置的動(dòng)作的流程圖的步驟STlO的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]以下，參照附圖對(duì)多個(gè)實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。在附圖中，相同符號(hào)表示相同或者類似的部分。
[0021]參照?qǐng)D1至7對(duì)第一實(shí)施方式的檢查裝置以及異常檢測(cè)方法進(jìn)行說(shuō)明。
[0022]圖1是表示本實(shí)施方式的檢查裝置10的立體圖。作為一例，本實(shí)施方式的異常檢測(cè)方法是對(duì)檢查裝置10的異常進(jìn)行檢測(cè)的方法。檢查裝置10形成為，能夠?qū)Ρ粰z查物的一例即產(chǎn)品5動(dòng)作時(shí)產(chǎn)品產(chǎn)生的振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)，并能夠基于檢測(cè)結(jié)果來(lái)判斷產(chǎn)品有無(wú)異常。
[0023]如圖1所示，檢查裝置10具有:振動(dòng)測(cè)定器(設(shè)置部)20，形成為用于設(shè)置產(chǎn)品5，并且能夠測(cè)定產(chǎn)品5的動(dòng)作時(shí)的振動(dòng)；輸送裝置30，形成為能夠?qū)a(chǎn)品5輸送至振動(dòng)測(cè)定器20的附近；機(jī)械手40，形成為能夠?qū)a(chǎn)品5從輸送裝置30移動(dòng)至振動(dòng)測(cè)定器20 ;通報(bào)裝置50，具有形成為能夠點(diǎn)亮的燈；控制裝置(判斷部)60，形成為能夠基于來(lái)自振動(dòng)測(cè)定器20的信號(hào)進(jìn)行各種判斷，并且形成為能夠控制輸送裝置30、機(jī)械手40以及通報(bào)裝置50的動(dòng)作；以及存儲(chǔ)部70，存儲(chǔ)表示振動(dòng)測(cè)定器20的異常時(shí)的狀態(tài)的信息。
[0024]振動(dòng)測(cè)定器20具有:振動(dòng)檢測(cè)臺(tái)21，形成為能夠載放產(chǎn)品5 ;卡盤裝置22，設(shè)置于振動(dòng)檢測(cè)臺(tái)21，形成為能夠?qū)a(chǎn)品5固定于振動(dòng)檢測(cè)臺(tái)21 ;振動(dòng)檢測(cè)傳感器(振動(dòng)檢測(cè)部)23，形成為能夠輸出與振動(dòng)檢測(cè)臺(tái)21的振動(dòng)相對(duì)應(yīng)的信號(hào)；以及傳遞布線(傳遞部)24，將振動(dòng)檢測(cè)傳感器23的輸出信號(hào)朝控制裝置60傳遞。
[0025]振動(dòng)檢測(cè)臺(tái)21具有:載臺(tái)25，具有用于設(shè)置產(chǎn)品5的設(shè)置面28 ;多個(gè)腿部26，支承載臺(tái)25 ;以及減振橡膠27，設(shè)置在腿部26與載臺(tái)25之間。載臺(tái)25具有用于載放產(chǎn)品5的設(shè)置面28。腿部26例如通過(guò)螺栓29連結(jié)固定于載臺(tái)25的下表面。螺栓29是將腿部26固定于載臺(tái)25的固定構(gòu)件的一例。
[0026]減振橡膠27設(shè)置在設(shè)置面6與腿部26之間。設(shè)置面6是用于設(shè)置振動(dòng)測(cè)定器20的面。減振橡膠27與設(shè)置面6以及腿部26接觸。減振橡膠27形成為，能夠吸收從設(shè)置面6朝向振動(dòng)檢測(cè)臺(tái)21的振動(dòng)，防止該振動(dòng)朝振動(dòng)檢測(cè)臺(tái)21傳遞。
[0027]卡盤裝置22具有:第一夾持部22a，固定于載臺(tái)25 ；以及第二夾持部22b，以能夠相對(duì)于第一夾持部22a移動(dòng)的方式支承于設(shè)置面28。第二夾持部22b形成為能夠在夾持位置與解除位置之間移動(dòng)。夾持位置是能夠在第二夾持部22b與第一夾持部22a之間夾持被檢查物的位置。解除位置是相對(duì)于夾持位置從第一夾持部22a離開的位置，是解除在與第一夾持部22a之間夾持被檢查物的位置。
[0028]振動(dòng)檢測(cè)傳感器23設(shè)置在設(shè)置面28上。振動(dòng)檢測(cè)傳感器23作為一例是加速度傳感器，振動(dòng)檢測(cè)傳感器23形成為能夠檢測(cè)振動(dòng)檢測(cè)臺(tái)21的振動(dòng)，并輸出與該振動(dòng)相對(duì)應(yīng)的信號(hào)。
[0029]傳遞布線24形成為能夠?qū)⒄駝?dòng)檢測(cè)傳感器23的輸出信號(hào)朝控制裝置60傳遞。輸送裝置30具有:環(huán)形狀的輸送帶31，用于載放產(chǎn)品5 ;以及驅(qū)動(dòng)裝置32，形成為能夠使輸送帶31沿其周方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。驅(qū)動(dòng)裝置32例如是電動(dòng)馬達(dá)。
[0030]機(jī)械手40形成為，能夠把持輸送帶31上的產(chǎn)品5，并能夠?qū)⑺殉值漠a(chǎn)品5移動(dòng)至設(shè)定在振動(dòng)檢測(cè)臺(tái)21的設(shè)置面28上的產(chǎn)品設(shè)置位置。
[0031]通報(bào)裝置50具有:第一燈51，形成為在振動(dòng)檢測(cè)傳感器23或者傳遞布線24存在異常的情況下能夠點(diǎn)亮；第二燈52，形成為在腿部26存在異常的情況下能夠點(diǎn)亮；以及第三燈53，形成為在第二夾持部22b存在異常的情況下能夠點(diǎn)亮。
[0032]控制裝置60形成為，能夠驅(qū)動(dòng)輸送裝置30的驅(qū)動(dòng)裝置32、卡盤裝置22的第二夾持部22b、以及機(jī)械手40。此外，控制裝置60形成為，能夠基于由設(shè)置于設(shè)置面28的產(chǎn)品5的動(dòng)作所引起的振動(dòng)檢測(cè)傳感器23的輸出結(jié)果，來(lái)判斷產(chǎn)品5有無(wú)異常。
[0033]此外，控制裝置60形成為，能夠基于振動(dòng)檢測(cè)傳感器23的輸出結(jié)果，來(lái)判斷振動(dòng)檢測(cè)傳感器23或者傳遞布線24有無(wú)異常。具體而言，控制裝置60形成為，能夠通過(guò)對(duì)振動(dòng)檢測(cè)傳感器23的輸出信號(hào)進(jìn)行傅里葉變換，由此制作對(duì)振動(dòng)測(cè)定器20的構(gòu)成要素的固有振動(dòng)頻率的振動(dòng)功率進(jìn)行表示的振動(dòng)信息。
[0034]在振動(dòng)信息中，在振動(dòng)測(cè)定器20的各構(gòu)成要素的固有振動(dòng)頻率中，振動(dòng)功率成為峰值。該固有振動(dòng)頻率是構(gòu)成為振動(dòng)測(cè)定器20的狀態(tài)下的各構(gòu)成要素的固有振動(dòng)頻率，而不是被分解的狀態(tài)下的各構(gòu)成要素的固有振動(dòng)頻率。
[0035]另外，之后說(shuō)明的圖5所示的振動(dòng)信息表示:以振動(dòng)測(cè)定器20的構(gòu)成要素的一例、即腿部26的固有振動(dòng)頻率以及第二夾持部22b的固有振動(dòng)頻率為代表，在這些固有振動(dòng)頻率中，振動(dòng)功率為峰值。
[0036]控制裝置60將振動(dòng)信息所表示的振動(dòng)功率與后述的閾值進(jìn)行比較，并基于比較結(jié)果來(lái)判斷振動(dòng)檢測(cè)傳感器23或者傳遞布線24有無(wú)異常。
[0037]此外，控制裝置60形成為，能夠?qū)ν炔?6、第二夾持部22b有無(wú)異常進(jìn)行判斷。
[0038]對(duì)腿部26有無(wú)異常的判斷進(jìn)行具體說(shuō)明。將腿部26最為良好的狀態(tài)設(shè)為腿部26的基準(zhǔn)正常狀態(tài)。腿部26的基準(zhǔn)正常狀態(tài)是腿部26自身無(wú)異常、且腿部26在最為良好的狀態(tài)下固定于載臺(tái)25的狀態(tài)。
[0039]能夠通過(guò)實(shí)驗(yàn)等預(yù)先獲得基準(zhǔn)正常狀態(tài)下的腿部26的固有振動(dòng)頻率a。另