一種膜厚監(jiān)測(cè)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種監(jiān)測(cè)裝置，尤其是涉及一種膜厚監(jiān)測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著薄膜技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)鍍膜厚度及鍍膜速率的控制要求越來越高，在現(xiàn)有的技術(shù)中，膜厚監(jiān)測(cè)設(shè)備中，總是將探頭裝入鍍膜機(jī)中，而蒸渡的物質(zhì)往往需要高溫，才能蒸渡到基片上，由于蒸渡過程中，探頭長時(shí)間處在高溫的條件下，有時(shí)候探頭就會(huì)監(jiān)測(cè)不準(zhǔn)確，或者探頭失效，影響我們的工作進(jìn)程。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種膜厚監(jiān)測(cè)裝置，結(jié)構(gòu)簡單、操作簡單、探頭能夠長時(shí)間在高溫條件下工作。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種膜厚監(jiān)測(cè)裝置，包括主機(jī)和振蕩器，所述的膜厚監(jiān)測(cè)監(jiān)測(cè)裝置還包括探頭；所述的探頭上方設(shè)置有防護(hù)罩，所述的防護(hù)罩與外部的機(jī)架固定連接；所述的防護(hù)罩為立方體，所述防護(hù)罩中部設(shè)置有凹槽；所述的防護(hù)罩頂部分別設(shè)置有進(jìn)氣口和出氣口。
[0005]進(jìn)一步的，所述防護(hù)罩為耐高溫的隔熱材料。
[0006]本發(fā)明具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:由于采用上述技術(shù)方案，結(jié)構(gòu)簡單、操作簡單、探頭能夠長時(shí)間在高溫條件下工作。
【附圖說明】
[0007]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]圖中:
[0009]1、主機(jī)2、振蕩器3、探頭4、防護(hù)罩5、進(jìn)氣口 6、出氣口
[0010]7、凹槽
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做詳細(xì)說明。
[0012]如圖1所示，本發(fā)明一種膜厚監(jiān)測(cè)裝置，包括主機(jī)I和振蕩器2，所述的膜厚監(jiān)測(cè)監(jiān)測(cè)裝置還包括探頭3 ;所述的探頭3上方設(shè)置有防護(hù)罩4，所述的防護(hù)罩4與外部的機(jī)架固定連接；所述的防護(hù)罩4為立方體，所述防護(hù)罩中部設(shè)置有凹槽7 ;所述的防護(hù)罩頂部分別設(shè)置有進(jìn)氣口 5和出氣口 6。
[0013]進(jìn)一步的，所述防護(hù)罩4為耐高溫的隔熱材料。
[0014]使用時(shí)，進(jìn)氣口 5和出氣口 6分別連接外部的冷卻氣體系統(tǒng)，冷卻氣體將防護(hù)罩4冷卻，防護(hù)罩4的作用，其一是控制探頭3周圍的溫度；其二是利用冷卻氣體來降低蒸渡過程中探頭的溫度。
[0015]以上對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本發(fā)明的實(shí)施范圍。凡依本發(fā)明申請(qǐng)范圍所作的均等變化與改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本發(fā)明的專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種膜厚監(jiān)測(cè)裝置，包括主機(jī)(I)和振蕩器(2)，其特征在于:所述的膜厚監(jiān)測(cè)裝置還包括探頭(3);所述的探頭(3)上方設(shè)置有防護(hù)罩(4)，所述的防護(hù)罩(4)與外部的機(jī)架固定連接；所述的防護(hù)罩(4)為立方體，所述防護(hù)罩(4)中部設(shè)置有凹槽(7);所述的防護(hù)罩(4)頂部分別設(shè)置有進(jìn)氣口(5)和出氣口(6);所述。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種膜厚監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于:所述防護(hù)罩(4)為耐高溫的隔熱材料。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種膜厚監(jiān)測(cè)裝置，包括主機(jī)和振蕩器，所述的膜厚監(jiān)測(cè)裝置還包括探頭；所述的探頭上方設(shè)置有防護(hù)罩，所述的防護(hù)罩與外部的機(jī)架固定連接；所述的防護(hù)罩為立方體，所述防護(hù)罩中部設(shè)置有凹槽。所述的防護(hù)罩頂部分別設(shè)置有進(jìn)氣口和出氣口，本發(fā)明的有益效果是結(jié)構(gòu)簡單、操作簡單、探頭能夠長時(shí)間在高溫條件下工作。
【IPC分類】G01B21-08
【公開號(hào)】CN104764430
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410009023
【發(fā)明人】吳軍
【申請(qǐng)人】天津普利愛特真空鍍膜有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請(qǐng)日】2014年1月6日