技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種三維磁場測量組件及制備方法，組件至少包括：襯底、制備在所述襯底上第一SQUID器件、第二SQUID器件、第三SQUID器件、第一探測線圈、第二探測線圈以及第三探測線圈，其中，所述第一探測線圈與第一SQUID器件相連，且所述第一探測線圈的法線方向與X軸方向平行；所述第二探測線圈與第二SQUID器件相連，且所述第二探測線圈的法線方向與Y軸方向平行；所述第三探測線圈與第三SQUID器件相連，且所述第三探測線圈的法線方向與Z軸方向平行。本發(fā)明在同一個(gè)襯底上制備了3個(gè)SQUID器件，且每個(gè)SQUID器件探測1個(gè)空間方向的磁場，這種方法省略了現(xiàn)有技術(shù)組件中的立方體結(jié)構(gòu)，減小了三維磁場探測組件的體積和安裝難度，降低了制備成本，縮小了三個(gè)器件之間非正交性誤差。

技術(shù)研發(fā)人員：王會(huì)武;張棲瑜;劉全勝;應(yīng)利良;王鎮(zhèn)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.22
技術(shù)公布日：2017.10.03