一種位移測(cè)量裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種位移測(cè)量裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]靜力水準(zhǔn)儀是用于測(cè)量基礎(chǔ)和建筑物各個(gè)測(cè)點(diǎn)的相對(duì)沉降的通用傳感器，廣泛應(yīng)用于路基沉降、橋梁擾度、水電站廠、壩、高層建筑物等各測(cè)點(diǎn)不均勻沉降和線性變化的測(cè)量。目前市場(chǎng)上的靜力水準(zhǔn)儀總類繁多，詳情如下:
[0003]申請(qǐng)?zhí)枮?01410591105.9的專利申請(qǐng)公開了一種視頻靜力水準(zhǔn)儀，包括儲(chǔ)液桶、可視的水位刻度和攝像頭，水位刻度用于即時(shí)體現(xiàn)儲(chǔ)液桶內(nèi)水位的高度，攝像頭用于拍攝水位刻度。
[0004]申請(qǐng)?zhí)枮?01310061090.0的專利申請(qǐng)公開了一種自整平靜力水準(zhǔn)儀，儀器由容器、浮子、固定標(biāo)尺、浮動(dòng)標(biāo)尺組成；固定標(biāo)尺為帶有凹槽的矩形平板，表面刻有以毫米為單位，頂部中間有孔，用吊絲固定在容器蓋中間。
[0005]申請(qǐng)?zhí)枮?01010132836.9的專利申請(qǐng)公開了一種光電式靜力水準(zhǔn)儀，包括容器和密封殼體，還包括浮子、導(dǎo)向桿、不銹鋼絲、線陣點(diǎn)光源、光電耦合器件和控制電路，在容器內(nèi)設(shè)有能夠隨液面上下浮動(dòng)的浮子，在容器的底部向上延伸設(shè)有導(dǎo)向桿，在浮子的頂部固定連接有不銹鋼絲，所述不銹鋼絲與導(dǎo)向桿相垂直;在密封殼體內(nèi)導(dǎo)向桿的兩側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有線陣點(diǎn)光源和光電耦合器件，在密封殼體的上端設(shè)置有控制電路，所述控制電路通過(guò)信號(hào)線分別與線陣點(diǎn)光源和光電耦合器件相連接。
[0006]除此之外，還有其他結(jié)構(gòu)的靜力水準(zhǔn)儀，但普遍采用電感調(diào)頻原理設(shè)計(jì)制造，通過(guò)測(cè)量連通液位的高度變化測(cè)量位移變化?，F(xiàn)有靜力水準(zhǔn)儀具有以下缺陷:(I)反應(yīng)速度慢，主要是由于液位平衡時(shí)間長(zhǎng)引起；(2)量程小，主要是由于現(xiàn)有設(shè)備尺寸較大引起；(3)測(cè)量精度差，主要由于測(cè)量過(guò)程中溫度和環(huán)境對(duì)測(cè)量值的影響大，從而導(dǎo)致測(cè)量誤差大。
[0007]綜上所述，急需一種結(jié)構(gòu)小巧輕便、安裝便捷、測(cè)試簡(jiǎn)單、測(cè)量精度高、響應(yīng)速度快且長(zhǎng)期穩(wěn)定可靠的位移測(cè)量裝置以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0008]本實(shí)用新型目的在于提供一種結(jié)構(gòu)小巧輕便、安裝便捷、測(cè)試簡(jiǎn)單、測(cè)量精度高、響應(yīng)速度快且長(zhǎng)期穩(wěn)定可靠的位移測(cè)量裝置，具體技術(shù)方案如下:
[0009]—種位移測(cè)量裝置，包括至少一個(gè)壓差式靜力水準(zhǔn)儀；
[0010]所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀包括安裝底座、固定在所述安裝底座上且設(shè)有進(jìn)水口和出水口的外殼、設(shè)置在所述外殼內(nèi)部的腔體以及具有通孔的擴(kuò)散硅壓力傳感器；
[0011 ] 所述腔體包括通過(guò)管道與所述進(jìn)水口連通的第一開口、通過(guò)管道與所述出水口連通的第二開口以及與所述通孔連通的第三開口 ；
[0012]所述擴(kuò)散硅壓力傳感器的內(nèi)部通過(guò)空心管與外界大氣連通，且其通過(guò)電纜線與外界設(shè)備連接。
[0013]以上技術(shù)方案中優(yōu)選的，所述擴(kuò)散硅壓力傳感器包括具有第一端和第二端的殼體以及由第一端至第二端方向依次設(shè)置在所述殼體內(nèi)部的感應(yīng)膜片、硅油層、擴(kuò)散硅晶體和信號(hào)轉(zhuǎn)換電路，所述通孔設(shè)置在所述第一端上；
[0014]在垂直于第一端至第二端方向的平面上，所述感應(yīng)膜片的橫截面與所述殼體內(nèi)腔的橫截面相同；
[0015]所述空心管的一端連接所述殼體的內(nèi)部，另一端與大氣連通;所述電纜線的一端連接所述信號(hào)轉(zhuǎn)換電路，另一端連接外界設(shè)備。
[0016]以上技術(shù)方案中優(yōu)選的，所述擴(kuò)散硅壓力傳感器與所述腔體的連接處設(shè)有密封部件。
[0017]以上技術(shù)方案中優(yōu)選的，所述安裝底座和所述殼體的材質(zhì)均為不銹鋼;所述密封部件為密封墊片或密封圈；所述信號(hào)轉(zhuǎn)換電路為4-20mA兩線制發(fā)送器芯片XTRlOl;所述電纜線為二芯屏蔽電纜線。
[0018]以上技術(shù)方案中優(yōu)選的，還包括兩個(gè)水箱，所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀的數(shù)量至少為2個(gè)；
[0019]第一個(gè)所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀的進(jìn)水口通過(guò)水管與第一個(gè)所述水箱連通；
[0020]后一個(gè)所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀的進(jìn)水口通過(guò)水管與前一個(gè)所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀的出水口連通；
[0021]最后一個(gè)所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀的出水口通過(guò)水管與第二個(gè)所述水箱連通。
[0022]以上技術(shù)方案中優(yōu)選的，所述外界設(shè)備為PLC控制器。
[0023]應(yīng)用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，具有以下有益效果:
[0024](I)本實(shí)用新型位移測(cè)量裝置包括至少一個(gè)壓差式靜力水準(zhǔn)儀，可以根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行單點(diǎn)或者多點(diǎn)檢測(cè)，實(shí)用性強(qiáng);壓差式靜力水準(zhǔn)儀包括安裝底座、殼體、腔體以及擴(kuò)散硅壓力傳感器，腔體具有三個(gè)開口，且擴(kuò)散硅壓力傳感器與外界設(shè)備連接，整個(gè)設(shè)備結(jié)構(gòu)小巧輕便、安裝便捷;擴(kuò)散硅壓力傳感器的內(nèi)部通過(guò)空心管與外界大氣連通，且其通過(guò)電纜線與外界設(shè)備連接，通過(guò)擴(kuò)散硅壓力傳感器將水壓變化轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出，通過(guò)外接設(shè)備對(duì)輸出的電信號(hào)進(jìn)行處理直接獲得測(cè)點(diǎn)的垂直位移，且空心管能保證擴(kuò)散硅壓力傳感器內(nèi)部與大氣相通，保證感應(yīng)膜片和擴(kuò)散硅晶體兩端的大氣壓強(qiáng)平衡以及信號(hào)傳輸?shù)姆€(wěn)定性，測(cè)量精度高、響應(yīng)速度快。
[0025](2)本實(shí)用新型中擴(kuò)散硅壓力傳感器包括外殼、感應(yīng)膜片、硅油層、擴(kuò)散硅晶體和信號(hào)轉(zhuǎn)換電路，部件精簡(jiǎn)，且測(cè)量精度高;擴(kuò)散硅壓力傳感器與所述腔體的連接處設(shè)有密封部件，進(jìn)一步提高測(cè)量精度。
[0026](3)本實(shí)用新型中所述安裝底座和所述殼體的材質(zhì)均為不銹鋼，使用壽命長(zhǎng)，確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定可靠;所述密封部件為密封墊片或密封圈，部件容易獲得且密封性能好;所述電纜線為二芯屏蔽電纜線，信號(hào)傳輸穩(wěn)定性好、精準(zhǔn)度高。
[0027](4)本發(fā)明還兩個(gè)水箱，壓差式靜力水準(zhǔn)儀的數(shù)量至少為兩個(gè)，且壓差式靜力水準(zhǔn)儀之間采用特定的連接關(guān)系，分別將壓差式靜力水準(zhǔn)儀固定至待測(cè)點(diǎn)后直接進(jìn)行測(cè)量，操作方便;外界設(shè)備采用PLC控制器(還可以選用電腦)，可以自動(dòng)對(duì)電信號(hào)轉(zhuǎn)換為測(cè)點(diǎn)的垂直位移值，還可以根據(jù)實(shí)際需求操作員自己編程來(lái)實(shí)現(xiàn)位移線等附圖的繪制，實(shí)用性強(qiáng)。
[0028]除了上面所描述的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)之外，本實(shí)用新型還有其它的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)。下面將參照?qǐng)D，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
【附圖說(shuō)明】

[0029]構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0030]圖1是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例1的位移測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖2是圖1中壓差式靜力水準(zhǔn)儀的剖視圖；
[0032]其中，1、壓差式靜力水準(zhǔn)儀，11、安裝底座，12、外殼，121、進(jìn)水口，122、出水口，13、腔體，131、第一開口，132、第二開口，133、第三開口，14、擴(kuò)散硅壓力傳感器，141、殼體，142、膜片，143、硅油層，144、擴(kuò)散硅晶體，145、信號(hào)轉(zhuǎn)換電路；
[0033]2、電纜線，3、水箱，4、水管；
[0034]a、通孔，b、第一端，C、第二端。
【具體實(shí)施方式】
[0035]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，但是本實(shí)用新型可以根據(jù)權(quán)利要求限定和覆蓋的多種不同方式實(shí)施。
[0036]實(shí)施例1:
[0037]參見圖1以及圖2，一種位移測(cè)量裝置，包括四個(gè)壓差式靜力水準(zhǔn)儀I和兩個(gè)水箱3，第一個(gè)所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀I的進(jìn)水口 121通過(guò)水管4與第一個(gè)所述水箱3連通;后一個(gè)所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀I的進(jìn)水口 121通過(guò)水管與前一個(gè)所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀I的出水口122連通;第四個(gè)所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀I的出水口 122通過(guò)水管與第二個(gè)所述水箱3連通，詳見圖1。
[0038]所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀I包括安裝底座11(將壓差式靜力水準(zhǔn)儀整體安裝至基準(zhǔn)點(diǎn)位置或測(cè)點(diǎn)位置)、固定在所述安裝底座11上且設(shè)有進(jìn)水口 121和出水口 122的外殼12、設(shè)置在所述外殼12內(nèi)部的腔體13以及具有通孔a的擴(kuò)散硅壓力傳感器14，詳見圖2。
[0039]所述腔體13為三通結(jié)構(gòu)，具體包括通過(guò)管道與所述進(jìn)水口121連通的第一開口131、通過(guò)管道與所述出水口 122連通的第二開口 132以及與所述通孔a連通的第三開口 133。
[0040]所述擴(kuò)散硅壓力傳感器14的內(nèi)部通過(guò)空心管與外界大氣連通，且還通過(guò)電纜線與外界設(shè)備連接，詳見圖2，具體包括具有第一端b和第二端c的殼體141以及由第一端b至第二端c方向依次設(shè)置在所述殼體141內(nèi)部的感應(yīng)膜片142、硅油層143、擴(kuò)散硅晶體144和信號(hào)轉(zhuǎn)換電路145，所述通孔a設(shè)置在所述第一端b上;所述信號(hào)轉(zhuǎn)換電路145通過(guò)電纜線2與外界設(shè)備連接。
[0041]在垂直于第一端b至第二端c方向的平面上，所述感應(yīng)膜片142的橫截面與所述殼體141內(nèi)腔的橫截面相同，確保因液位變化而造成的壓差全部作用在感應(yīng)膜片142，實(shí)現(xiàn)高精準(zhǔn)度檢測(cè)。
[0042]所述擴(kuò)散硅壓力傳感器14與所述腔體13的連接處設(shè)有密封部件，所述密封部件為密封墊片或密封圈。
[0043]所述安裝底座11和所述殼體141的材質(zhì)均為不銹鋼。
[0044]所述信號(hào)轉(zhuǎn)換電路145為4-20mA兩線制發(fā)送器芯片XTRlOU此處還可以根據(jù)實(shí)際需要設(shè)計(jì)成信號(hào)轉(zhuǎn)換芯片和其他部件的組合設(shè)計(jì))，具有高精度和低漂移特點(diǎn)，XTRlOl是性能很好的兩線4_20mA專用儀表電路，電路本身帶有調(diào)零功能和輸出信號(hào)調(diào)節(jié)功能，還有2路ImA的恒流電源，可以單獨(dú)用任意一路給擴(kuò)散硅晶體供電。
[0045]所述電纜線2為二芯屏蔽電纜線，由內(nèi)到外依次包括二芯純銅線芯、鍍錫銅網(wǎng)屏蔽層以及塑料絕緣保護(hù)層，純銅線芯和屏蔽層保證信號(hào)傳輸?shù)姆€(wěn)定性;所述空心管為塑料空心管，塑料空心管保證擴(kuò)散硅壓力傳感器內(nèi)部與大氣相通，從保證感應(yīng)膜片和擴(kuò)散硅晶體兩端的大氣壓強(qiáng)平衡，使得信號(hào)傳輸更為穩(wěn)定。
[0046]所述外界設(shè)備為PLC控制器，使用者具有根據(jù)實(shí)際情況對(duì)其進(jìn)行編程或輸入已有程序?qū)κ占降南嚓P(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。
[0047]應(yīng)用本實(shí)用新型的位移測(cè)量裝置，詳情如下:
[0048]1、擴(kuò)散硅壓力傳感器采用進(jìn)口擴(kuò)散硅晶體作為壓力敏感元件，受力使感應(yīng)膜片變形，通過(guò)硅油層(具體是填充滿硅油)將壓力傳導(dǎo)至擴(kuò)散硅晶體，擴(kuò)散硅晶體輸出電壓信號(hào)，通過(guò)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路將信號(hào)轉(zhuǎn)換為通用的電流信號(hào)輸出，并實(shí)現(xiàn)信號(hào)放大和調(diào)零功能;擴(kuò)散硅壓力傳感器測(cè)量為表面壓力，其內(nèi)部空腔通過(guò)空心管與大氣相通，保證感應(yīng)膜片和擴(kuò)散硅晶體兩端的大氣壓強(qiáng)平衡。
[0049]2、將水管和壓差式靜力水準(zhǔn)儀的腔體內(nèi)灌滿液體，當(dāng)測(cè)點(diǎn)發(fā)生垂直位移變化時(shí)，壓差式靜力水準(zhǔn)儀的腔體內(nèi)的液體和水箱內(nèi)的液位壓差立即發(fā)生相應(yīng)變化，液體壓力發(fā)生變化，擴(kuò)散硅壓力傳感器感應(yīng)壓力變化，轉(zhuǎn)換為通用電流信號(hào)輸出(輸出電流信號(hào)便于采集)，根據(jù)電流信號(hào)變化可計(jì)算出壓力變化和液位差，從而得知測(cè)點(diǎn)的位移變化。
[0050]3、多個(gè)壓差式靜力水準(zhǔn)儀同時(shí)使用時(shí)，以一個(gè)擴(kuò)散硅壓力傳感器作為基準(zhǔn)點(diǎn)傳感器，其他均為測(cè)點(diǎn)傳感器，將各測(cè)點(diǎn)傳感器通過(guò)水管連通，并連通到水箱和基準(zhǔn)點(diǎn)傳感器，組成不均勻沉降或非線性變形測(cè)試系統(tǒng)，詳情如下:
[0051]選取三個(gè)測(cè)點(diǎn)和一個(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)構(gòu)成試驗(yàn)測(cè)試系統(tǒng)，基準(zhǔn)點(diǎn)和水箱固定安裝在承重墻體，測(cè)點(diǎn)為地板任意點(diǎn)，其中基準(zhǔn)點(diǎn)作為不動(dòng)參考點(diǎn)，用來(lái)作為測(cè)量時(shí)溫度、大氣壓強(qiáng)等因素影響的參考點(diǎn)，從而修正環(huán)境因素對(duì)系統(tǒng)測(cè)量的影響。
[0052]擴(kuò)散硅壓力傳感器將感應(yīng)到壓強(qiáng)變化轉(zhuǎn)換為電流信號(hào)輸出，外界設(shè)備采集電流信號(hào)，并通過(guò)計(jì)算得到位移值(在使用前，可以將公式①和公式②儲(chǔ)存在外界設(shè)備中)。擴(kuò)散硅壓力傳感器的電流信號(hào)輸出與壓強(qiáng)為固定的線性關(guān)系，滿足公式①:
[0053]P=(F/16)XI — F/4①，其中:P為壓強(qiáng)，F(xiàn)為擴(kuò)散硅壓力傳感器的設(shè)計(jì)壓強(qiáng)量程，I為電流強(qiáng)度。
[0054]壓強(qiáng)與液體的高差關(guān)系為公式②:
[0055]h = P/(pXg)②，其中:h為高度差，P為液體的密度，g為9.8m/s2。
[0056]外界設(shè)備采集到電流值后根據(jù)公式①和公式②可自動(dòng)計(jì)算出相應(yīng)測(cè)點(diǎn)的位移值。
[0057]應(yīng)用本不均勻沉降或非線性變形測(cè)試系統(tǒng)的原理如下:當(dāng)測(cè)點(diǎn)垂直位移發(fā)生變化時(shí)，水箱液位與擴(kuò)散硅壓力傳感器的高差發(fā)生變化，擴(kuò)散硅壓力傳感器感應(yīng)的壓強(qiáng)發(fā)生變化，外界設(shè)備測(cè)量的位移值相應(yīng)的變化。參考點(diǎn)安裝在不動(dòng)點(diǎn)時(shí)，相對(duì)于初始值，測(cè)點(diǎn)的位移值變化與參考點(diǎn)的位移值變化的差值，即為該測(cè)點(diǎn)的實(shí)際位移變化。
[0058]以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種位移測(cè)量裝置，其特征在于，包括至少一個(gè)壓差式靜力水準(zhǔn)儀(I); 所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀(I)包括安裝底座(11)、固定在所述安裝底座(11)上且設(shè)有進(jìn)水口(121)和出水口(122)的外殼(12)、設(shè)置在所述外殼(12)內(nèi)部的腔體(13)以及具有通孔(a)的擴(kuò)散娃壓力傳感器(14)； 所述腔體(13)包括通過(guò)管道與所述進(jìn)水口(121)連通的第一開口(131)、通過(guò)管道與所述出水口(122)連通的第二開口(132)以及與所述通孔(a)連通的第三開口(133); 所述擴(kuò)散硅壓力傳感器(14)的內(nèi)部通過(guò)空心管與外界大氣連通，且其通過(guò)電纜線(2)與外界設(shè)備連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位移測(cè)量裝置，其特征在于，所述擴(kuò)散硅壓力傳感器(14)包括具有第一端(b)和第二端(c)的殼體(141)以及由第一端(b)至第二端(c)方向依次設(shè)置在所述殼體(141)內(nèi)部的感應(yīng)膜片(142)、硅油層(143)、擴(kuò)散硅晶體(144)和信號(hào)轉(zhuǎn)換電路(145)，所述通孔(a)設(shè)置在所述第一端(b)上； 在垂直于第一端(b)至第二端(c)方向的平面上，所述感應(yīng)膜片(142)的橫截面與所述殼體(141)內(nèi)腔的橫截面相同； 所述空心管的一端連接所述殼體(141)的內(nèi)部，另一端與大氣連通;所述電纜線(2)的一端連接所述信號(hào)轉(zhuǎn)換電路(145)，另一端連接外界設(shè)備。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的位移測(cè)量裝置，其特征在于，所述擴(kuò)散硅壓力傳感器(14)與所述腔體(13)的連接處設(shè)有密封部件。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的位移測(cè)量裝置，其特征在于，所述安裝底座(11)和所述殼體(141)的材質(zhì)均為不銹鋼;所述密封部件為密封墊片或密封圈；所述信號(hào)轉(zhuǎn)換電路(145)為4-20mA兩線制發(fā)送器芯片XTRlOl;所述電纜線(2)為二芯屏蔽電纜線。5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的位移測(cè)量裝置，其特征在于，還包括兩個(gè)水箱(3)，所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀(I)的數(shù)量至少為2個(gè)； 第一個(gè)所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀(I)的進(jìn)水口(121)通過(guò)水管與第一個(gè)所述水箱(3)連通； 后一個(gè)所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀(I)的進(jìn)水口(121)通過(guò)水管與前一個(gè)所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀(I)的出水口(122)連通； 最后一個(gè)所述壓差式靜力水準(zhǔn)儀(I)的出水口(122)通過(guò)水管與第二個(gè)所述水箱(3)連通。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的位移測(cè)量裝置，其特征在于，所述外界設(shè)備為PLC控制器。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種位移測(cè)量裝置，包括至少一個(gè)壓差式靜力水準(zhǔn)儀，壓差式靜力水準(zhǔn)儀包括安裝底座、外殼、腔體以及具有通孔的擴(kuò)散硅壓力傳感器；腔體包括與進(jìn)水口連通的第一開口、通過(guò)管道與出水口連通的第二開口以及與通孔連通的第三開口；擴(kuò)散硅壓力傳感器的內(nèi)部通過(guò)空心管與外界大氣連通，且其通過(guò)電纜線與外界設(shè)備連接。應(yīng)用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，具有以下效果：(1)可以根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行單點(diǎn)或者多點(diǎn)檢測(cè)，實(shí)用性強(qiáng)；(2)壓差式靜力水準(zhǔn)儀整個(gè)設(shè)備結(jié)構(gòu)小巧輕便、安裝便捷；(3)擴(kuò)散硅壓力傳感器、空心管以及電纜線的組合設(shè)計(jì)，確保感應(yīng)膜片和擴(kuò)散硅晶體兩端的大氣壓強(qiáng)平衡以及信號(hào)傳輸?shù)姆€(wěn)定性，測(cè)量精度高、響應(yīng)速度快。
【IPC分類】G01B7/02
【公開號(hào)】CN205383983
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201620058851
【發(fā)明人】梁曉東, 李勇, 李求源, 劉克明, 王健, 曾威, 寇國(guó)周, 劉波, 劉如, 唐艷
【申請(qǐng)人】湖南聯(lián)智橋隧技術(shù)有限公司
【公開日】2016年7月13日
【申請(qǐng)日】2016年1月21日