本發(fā)明涉及半導(dǎo)體勻膠顯影設(shè)備離心機(jī)主軸電機(jī)的加速度測量領(lǐng)域，具體的說是一種利用編碼器測量離心機(jī)加速度的裝置。

背景技術(shù)：

離心機(jī)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備上，作為勻膠顯影的核心部件，它關(guān)系到半導(dǎo)體設(shè)備的工藝指標(biāo)。離心機(jī)的加速度、轉(zhuǎn)速對晶片生產(chǎn)工藝有著很大的影響。如果設(shè)備離心機(jī)的加速度不準(zhǔn)確，就會(huì)導(dǎo)致勻膠不均勻或顯影效果不好。直接導(dǎo)致晶片生產(chǎn)成品率降低。

例如：勻膠作為晶片涂膠的重要手段。光刻膠通過膠嘴滴在晶片上，通過旋轉(zhuǎn)晶片使光刻膠在離心力作用下均勻涂在晶片上，離心力的大小直接影響勻膠效果，以上工藝過程都是在離心機(jī)作用下完成的，因此離心機(jī)的加速度直接影響涂膠效果。

離心機(jī)加速度測量裝置是自動(dòng)測量系統(tǒng)，目前用于本技術(shù)的離心機(jī)加速度檢測裝置精度不高，在測量時(shí)需要將測量裝置置于電機(jī)上方，直接測量電極軸部，測量過程繁瑣，測量時(shí)由于需要將探頭放進(jìn)被測單元，高轉(zhuǎn)速的電機(jī)可能會(huì)對人體手部產(chǎn)生刮蹭風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決現(xiàn)有技術(shù)中離心機(jī)測量精度不高、測量過程繁瑣的缺陷，本發(fā)明要解決的問題是提供一種能準(zhǔn)確測量、方便使用并且安全地測量離心機(jī)加速度的測量裝置。

本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是：一種利用編碼器測量離心機(jī)加速度的裝置，包括：

光耦隔離模塊，輸入端連接離心機(jī)編碼器的輸出端，接收離心機(jī)編碼器輸出的脈沖信號，輸出端連接頻率電壓轉(zhuǎn)換器的輸入端；

頻率電壓轉(zhuǎn)換器，用于將接收到的脈沖頻率轉(zhuǎn)換成等比例的模擬電壓信號， 輸出端連接MCU模塊中的A/D模塊；

MCU模塊，用于根據(jù)接收到的電壓信號，計(jì)算出電壓變換率，進(jìn)而得到離心機(jī)的加速度值；

顯示模塊，連接MCU模塊，用于顯示MCU模塊得到的離心機(jī)的加速度值；

按鍵模塊，連接MCU模塊，用于控制裝置的運(yùn)行/停止。

所述頻率電壓轉(zhuǎn)換器采用LM2907。

本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)及有益效果：

1、本發(fā)明測量精確。由于本裝置輸入采用光耦隔離，編碼器的脈沖與單片機(jī)系統(tǒng)隔離，這樣既保護(hù)了編碼器，也使的單片機(jī)的系統(tǒng)更加穩(wěn)定，不易受到電機(jī)干擾。

2、本發(fā)明操作方便。本發(fā)明操作上使用了一個(gè)電源按鈕和開始停止按鈕，操作上在電機(jī)啟動(dòng)前按下啟動(dòng)按鈕，在電機(jī)加速停止后按下停止按鈕。這時(shí)液晶屏幕上會(huì)顯示電機(jī)的加速度大小，操作極為簡便。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的整體電路框圖；

圖2為MCU模塊的基本原理圖和復(fù)位晶振電路圖；

圖3顯示模塊的原理圖；

圖4為按鍵模塊的原理圖；

圖5為檢測方法流程圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。

如圖1所示，本發(fā)明包括：光耦隔離模塊，輸入端連接離心機(jī)編碼器的輸出端，接收離心機(jī)編碼器輸出的脈沖信號，輸出端連接頻率電壓轉(zhuǎn)換器的輸入端；頻率電壓轉(zhuǎn)換器LM2907，用于將接收到的脈沖頻率轉(zhuǎn)換成等比例的模擬電壓信號，輸出端連接MCU模塊中的A/D模塊；MCU模塊，用于根據(jù)接收到的電壓信號，計(jì)算出電壓變換率，進(jìn)而得到離心機(jī)的加速度值；顯示模塊，連接 MCU模塊，用于顯示MCU模塊得到的離心機(jī)的加速度值；按鍵模塊，連接MCU模塊，用于控制裝置的運(yùn)行/停止。

如圖2所示，MCU模塊用于計(jì)算電壓變換率。當(dāng)離心機(jī)作勻加速運(yùn)動(dòng)時(shí)，頻率電壓轉(zhuǎn)換器輸出的電壓是線性變化的模擬信號，電壓隨頻率變化的斜率即為離心機(jī)的加速度；當(dāng)離心機(jī)作變加速運(yùn)動(dòng)時(shí)，頻率電壓轉(zhuǎn)換器輸出的電壓是非線性變化的模擬信號，電壓隨頻率變化的曲線在某點(diǎn)的斜率即為離心機(jī)在該處的加速度。

如圖3所示，顯示模塊主要由LCD構(gòu)成，管腳D0-D7數(shù)據(jù)線連接MCU模塊，控制線RLCD、RS、WR、EN連接MCU模塊。

如圖4所示，按鍵模塊，1腳連接MCU模塊，用于提供操作接口，當(dāng)準(zhǔn)備加速時(shí)按下START，加速結(jié)束后按下STOP即可。

圖5為測量過程流程圖。先將測試系統(tǒng)連接到編碼器，并連接24V電源，在電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)前按下START按鍵，加速結(jié)束后按下STOP按鍵。這時(shí)LCD會(huì)顯示本次加速的加速大大小。