1.一種位移傳感器，其特征在于，所述位移傳感器包括：
半導(dǎo)體激光器，用于產(chǎn)生激光光束；
衍射光柵，用于將所述激光光束中的一部分光直接衍射再反射，產(chǎn)生第一衍射光；同時(shí)用于將所述激光光束中穿過自身、到達(dá)待測(cè)物體，并經(jīng)待測(cè)物體反射后再次穿過自身的一部分光衍射，形成第二衍射光；
探測(cè)器，位于待測(cè)第一衍射光和第二衍射光中預(yù)設(shè)相同級(jí)次的衍射光交匯處，用于測(cè)量第一衍射光與第二衍射光中預(yù)設(shè)相同級(jí)次的衍射光之間的干涉強(qiáng)度變化信息；
信息處理器，與所述探測(cè)器相連，用于讀取干涉強(qiáng)度信號(hào)，根據(jù)探測(cè)器探測(cè)的干涉強(qiáng)度信息的變化，反演出待測(cè)物體的位移信息；
所述衍射光柵位于半導(dǎo)體激光器與待測(cè)物體之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位移傳感器，其特征在于，所述位移傳感器還包括：
衍射光柵調(diào)制解調(diào)裝置，用于對(duì)衍射光柵引入周期性的振動(dòng)，以及對(duì)探測(cè)器探測(cè)到的干涉強(qiáng)度信息進(jìn)行解調(diào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的位移傳感器，其特征在于，所述位移傳感器還包括：
反射光收集裝置，用于收集經(jīng)待測(cè)物體反射的光，使得所探測(cè)第二衍射光與第一衍射光中預(yù)設(shè)相同級(jí)次的衍射光的強(qiáng)度相當(dāng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的位移傳感器，其特征在于，所述半導(dǎo)體激光器為長相干距離半導(dǎo)體激光器。
5.一種干涉儀，其特征在于，所述干涉儀包括：
半導(dǎo)體激光器，用于產(chǎn)生激光光束；
衍射光柵，用于將所述激光光束中的一部分光直接衍射再反射，產(chǎn)生第一衍射光；同時(shí)用于將所述激光光束中穿過自身、到達(dá)待測(cè)物體，并經(jīng)待測(cè)物體反射后再次穿過自身的一部分光衍射，形成第二衍射光；
探測(cè)器，位于待測(cè)第一衍射光和第二衍射光中預(yù)設(shè)相同級(jí)次的衍射光交匯處，用于測(cè)量第一衍射光與第二衍射光中預(yù)設(shè)相同級(jí)次的衍射光之間的干涉強(qiáng)度信息的變化。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的干涉儀，其特征在于，所述干涉儀還包括：
衍射光柵調(diào)制解調(diào)裝置，用于對(duì)衍射光柵引入周期性的振動(dòng)，以及對(duì)探測(cè)器探測(cè)到的干涉強(qiáng)度信息進(jìn)行解調(diào)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的干涉儀，其特征在于，所述干涉儀還包括：
反射光收集裝置，用于收集經(jīng)待測(cè)物體反射的光，使得所探測(cè)第二衍射光與第一衍射光中預(yù)設(shè)相同級(jí)次的衍射光的強(qiáng)度相當(dāng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求5至7任一項(xiàng)所述的干涉儀，其特征在于，所述半導(dǎo)體激光器為長相干距離半導(dǎo)體激光器。
9.一種位移傳感器的使用方法，其特征在于，該方法包括：
半導(dǎo)體激光器產(chǎn)生激光光束；
衍射光柵將所述激光光束中的一部分光直接衍射再反射，產(chǎn)生第一衍射光；同時(shí)衍射光柵將所述激光光束中穿過自身、到達(dá)待測(cè)物體，并經(jīng)待測(cè)物體反射后再次穿過自身的一部分光，衍射為第二衍射光；
探測(cè)器測(cè)量第一衍射光與第二衍射光中預(yù)設(shè)相同級(jí)次的衍射光之間的干涉強(qiáng)度信息的變化；
信息處理器讀取干涉強(qiáng)度信號(hào)，根據(jù)探測(cè)器探測(cè)的干涉強(qiáng)度變化信息，反 演出待測(cè)物體的位移信息。
10.一種位移傳感器的制作方法，其特征在于，該方法包括：
使用微光機(jī)電系統(tǒng)MOEMS工藝生產(chǎn)半導(dǎo)體激光器、衍射光柵、探測(cè)器、信息處理器，以及光柵調(diào)制裝置、反射光收集裝置的MOEMS元件；
將分離的半導(dǎo)體激光器、衍射光柵、光電探測(cè)器、信息處理器，以及光柵調(diào)制裝置、反射光收集裝置的MOEMS元件按照根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的位移傳感器結(jié)構(gòu)組裝；或者
將半導(dǎo)體激光器、衍射光柵、光電探測(cè)器、信息處理器，以及光柵調(diào)制裝置、反射光收集裝置的MOEMS元件中的全部或部分元件集成于一個(gè)單片中。