本發(fā)明涉及一種激光干涉儀的光路調(diào)校裝置，還涉及上述調(diào)校裝置的調(diào)校方法，屬于光學(xué)精密測量領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
激光干涉儀是高精度測量儀器，為達(dá)到儀器的技術(shù)指標(biāo)，除了元器件質(zhì)量保證以外，在裝配過程中對光軸的調(diào)校也很重要。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
發(fā)明目的：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種激光干涉儀的光路調(diào)校裝置，該裝置使調(diào)校后的激光干涉儀輸出均勻的平行光，成像清晰。
本發(fā)明還要解決的技術(shù)問題是提供上述激光干涉儀光路調(diào)校裝置的調(diào)校方法。
為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為：
一種激光干涉儀的光路調(diào)校裝置，包括測試光路和成像光路，所述測試光路為激光器S1發(fā)出的激光通過空間濾波器Q1，再經(jīng)過偏振分光棱鏡P1轉(zhuǎn)折90度后穿過1/4波片P3，再經(jīng)過95/5分光鏡P2轉(zhuǎn)折90度后通過準(zhǔn)直物鏡Q2到達(dá)平面鏡M4；
所述成像光路為被平面鏡M4反射的激光，平面鏡M4位于測試光路中準(zhǔn)直物鏡Q2水平方向激光入射的另一側(cè)，被反射的激光沿水平返回，穿過準(zhǔn)直物鏡Q2后經(jīng)過95/5分光鏡P2轉(zhuǎn)折90度，再穿過1/4波片P3、偏振分光棱鏡P1，通過反射鏡M1和反射鏡M2轉(zhuǎn)折后穿過中繼鏡Q3，再經(jīng)過反射鏡M3轉(zhuǎn)折到變焦鏡頭Q4，最終到達(dá)CCD相機(jī)S2上成像；
在平面鏡M4反射面的反面水平光路處放置剪切板W1和角錐棱鏡W2；在空間濾波器Q1和偏振分光棱鏡P1之間的水平軸線上設(shè)置小孔光欄F1；在95/5分光鏡P2和準(zhǔn)直物鏡Q2之間的水平軸線上分別設(shè)置小孔光欄F5和小孔光欄F6；在95/5分光鏡P2和1/4波片P3之間的垂直光路上設(shè)置小孔光欄F3；在反射鏡M1垂直入射光路后方設(shè)置小孔光欄F8；在95/5分光鏡P2水平透射光路的后方設(shè)置小孔光欄F7；在反射鏡M1反射的水平光路后端設(shè)置小孔光欄F9；在反射鏡M2的上端垂直反射光路上設(shè)置小孔光欄F10；在反射鏡M3左側(cè)水平反射光路上設(shè)置小孔光欄F12。
其中，所述激光器為氦氖激光器。
上述激光干涉儀光路調(diào)校裝置的調(diào)校方法，包括如下步驟：
步驟1，在平面鏡M4反射面的反面水平光路處放置剪切板W1和角錐棱鏡W2，在空間濾波器Q1和偏振分光棱鏡P1之間的水平軸線上設(shè)置小孔光欄F1，調(diào)整激光器S1和偏振分光棱鏡P1，使細(xì)光束通過小孔光欄F1后，取走小孔光欄F1；
步驟2，在95/5分光鏡P2和準(zhǔn)直物鏡Q2之間的水平軸線上分別設(shè)置小孔光欄F5和小孔光欄F6，調(diào)整95/5分光鏡P2，使細(xì)光束通過分別小孔光欄F5和小孔光欄F6后，取走小孔光欄F5和小孔光欄F6；
步驟3，分別在95/5分光鏡P2和1/4波片P3之間的垂直光路上、反射鏡M1垂直入射光路后方以及95/5分光鏡P2水平透射光路的后方設(shè)置小孔光欄F3、小孔光欄F7和小孔光欄F8，調(diào)整角錐棱鏡W2使細(xì)光束返回后通過小孔光欄F3、小孔光欄F7和小孔光欄F8，取走小孔光欄F3；
步驟4，在反射鏡M1反射的水平光路后端設(shè)置F9，調(diào)整反射鏡M1，使光通過小孔光欄F9；
步驟5，在反射鏡M2的上端垂直反射光路上設(shè)置F10，調(diào)整反射鏡M2，使光通過小孔光欄F10，取走小孔光欄F10；
步驟6，在反射鏡M3左側(cè)水平反射光路上設(shè)置F12，調(diào)整反射鏡M3，使光通過小孔光欄F12，取走小孔光欄F12；
步驟7，調(diào)整空間濾波器Q1和準(zhǔn)直物鏡Q2，使光束居中、均勻，轉(zhuǎn)動1/4波片P3調(diào)視場亮度到一定值；
步驟8，轉(zhuǎn)動準(zhǔn)直物鏡Q2，使剪切板條紋小于2條；
步驟9，調(diào)整中繼鏡Q3，使光束居中，均勻；
步驟10，調(diào)整變焦鏡頭Q4，使光束成像在CCD相機(jī)S2中間且變倍調(diào)焦光斑始終居中。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明技術(shù)方案具有的有益效果是：
本發(fā)明裝置使調(diào)校后的激光干涉儀輸出均勻的平行光，變倍調(diào)焦相位穩(wěn)定，成像清晰。
附圖說明
圖1為本發(fā)明激光干涉儀光路調(diào)校裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對本發(fā)明的技術(shù)方案作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
如圖1所示，本發(fā)明激光干涉儀光路調(diào)校裝置，包括測試光路和成像光路，測試光路包括激光器S1、位于激光器S1前端的空間濾波器Q1、偏振分光棱鏡P1、位于偏振分光棱鏡P1上方的1/4波片P3、位于1/4波片P3上方的95/5分光鏡P2、以及準(zhǔn)直物鏡Q2，95/5分光鏡P2與入射光線的夾角呈45度設(shè)置；激光器S1發(fā)出的激光通過空間濾波器Q1，再經(jīng)過偏振分光棱鏡P1轉(zhuǎn)折90度后穿過1/4波片P3，再經(jīng)過95/5分光鏡P2轉(zhuǎn)折90度通過準(zhǔn)直物鏡Q2到達(dá)平面鏡M4；
成像光路包括平面鏡M4，平面鏡M4位于測試光路中準(zhǔn)直物鏡Q2水平方向激光入射的另一側(cè)，被反射的激光沿水平返回，經(jīng)過95/5分光鏡P2轉(zhuǎn)折90度穿過1/4波片P3，再經(jīng)過偏振分光棱鏡P1，通過反射鏡M1和反射鏡M2轉(zhuǎn)折后穿過中繼鏡Q3，再經(jīng)過反射鏡M3轉(zhuǎn)折到變焦鏡頭Q4，最終到達(dá)CCD相機(jī)S2上成像；
在平面鏡M4反射面的反面水平光路處放置剪切板W1和角錐棱鏡W2；在空間濾波器Q1和偏振分光棱鏡P1之間的水平軸線上設(shè)置小孔光欄F1；在95/5分光鏡P2和準(zhǔn)直物鏡Q2之間的水平軸線上分別設(shè)置小孔光欄F5和小孔光欄F6；在95/5分光鏡P2和1/4波片P3之間的垂直光路上設(shè)置小孔光欄F3；在反射鏡M1垂直入射光路后方設(shè)置小孔光欄F8；在95/5分光鏡P2水平透射光路的后方設(shè)置小孔光欄F7；在反射鏡M1反射的水平光路后端設(shè)置小孔光欄F9；在反射鏡M2的上端垂直反射光路上設(shè)置小孔光欄F10；在反射鏡M3左側(cè)水平反射光路上設(shè)置小孔光欄F12。激光器為氦氖激光器。
上述激光干涉儀的光路調(diào)校裝置的調(diào)校方法，包括如下步驟：
步驟1，在平面鏡M4反射面的反面水平光路處放置剪切板W1和角錐棱鏡W2，在空間濾波器Q1和偏振分光棱鏡P1之間的水平軸線上設(shè)置小孔光欄F1，調(diào)整激光器S1和偏振分光棱鏡P1，使細(xì)光束通過小孔光欄F1后，取走小孔光欄F1；
步驟2，在95/5分光鏡P2和準(zhǔn)直物鏡Q2之間的水平軸線上分別設(shè)置小孔光欄F5和小孔光欄F6，調(diào)整95/5分光鏡P2，使細(xì)光束通過分別小孔光欄F5和小孔光欄F6后，取走小孔光欄F5和小孔光欄F6；
步驟3，分別在95/5分光鏡P2和1/4波片P3之間的垂直光路上、反射鏡M1垂直入射光路后方以及95/5分光鏡P2水平透射光路的后方設(shè)置小孔光欄F3、小孔光欄F7和小孔光欄F8，調(diào)整角錐棱鏡W2使細(xì)光束返回后通過小孔光欄F3、小孔光欄F7和小孔光欄F8，取走小孔光欄F3；
步驟4，在反射鏡M1反射的水平光路后端設(shè)置F9，調(diào)整反射鏡M1，使光通過小孔光欄F9；
步驟5，在反射鏡M2的上端垂直反射光路上設(shè)置F10，調(diào)整反射鏡M2，使光通過小孔光欄F10，取走小孔光欄F10；
步驟6，在反射鏡M3左側(cè)水平反射光路上設(shè)置F12，調(diào)整反射鏡M3，使光通過小孔光欄F12，取走小孔光欄F12；
步驟7，調(diào)整空間濾波器Q1和準(zhǔn)直物鏡Q2，使光束居中、均勻，轉(zhuǎn)動1/4波片P3調(diào)視場亮度到一定值；
步驟8，轉(zhuǎn)動準(zhǔn)直物鏡Q2，使剪切板條紋小于2條；
步驟9，調(diào)整中繼鏡Q3，使光束居中，均勻；
步驟10，調(diào)整變焦鏡頭Q4，使光束成像在CCD相機(jī)S2中間且變倍調(diào)焦光斑始終居中。
激光的直線導(dǎo)向，偏振分光棱鏡P1使光軸透射及偏轉(zhuǎn)90°，等高小孔光欄給光軸定位，剪切干涉儀校正輸出平行光束的平行性。
顯然，上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說明本發(fā)明所作的舉例，而并非是對本發(fā)明的實(shí)施方式的限定。對于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動，這里無需也無法對所有的實(shí)施方式予以窮舉，這些引伸出的變化或變動也處于本發(fā)明的保護(hù)范圍之中。