一種真空燒結(jié)爐的真空測(cè)量系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種真空燒結(jié)爐的真空測(cè)量系統(tǒng)，包括：麥?zhǔn)险婵沼?jì)（1）、電阻規(guī)（2）和電離規(guī)（3），所述麥?zhǔn)险婵沼?jì)（1）設(shè)置在真空燒結(jié)爐的抽真空管道（4）上，所述電阻規(guī)（2）和所述電離規(guī)（3）并聯(lián)地與所述麥?zhǔn)险婵沼?jì)（1）相連接，所述電阻規(guī)（2）和所述電離規(guī)（3）與所述麥?zhǔn)险婵沼?jì)（1）之間設(shè)置有連接轉(zhuǎn)換開關(guān)（5）。本實(shí)用新型通過(guò)同時(shí)設(shè)置電阻規(guī)和電離規(guī)，使得該真空測(cè)量系統(tǒng)既可以測(cè)量高真空度的狀態(tài)，也可以測(cè)量低真空度的狀態(tài)，這樣，測(cè)量的精確性更高。
【專利說(shuō)明】 一種真空燒結(jié)爐的真空測(cè)量系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及鉭鈮合金加工設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體地說(shuō)，涉及一種真空燒結(jié)爐的真空測(cè)量系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，鉭鈮合金的燒結(jié)工藝有兩個(gè)發(fā)展方向，一是氣氛控制燒結(jié)，另一是真空加壓燒結(jié)，在國(guó)內(nèi)的生產(chǎn)企業(yè)，通常都采用真空加壓燒結(jié)的方式加工鉭鈮合金。真空燒結(jié)是鉭鈮合金生產(chǎn)加工中的關(guān)鍵工序，燒結(jié)的工藝控制關(guān)系到合金的品質(zhì)，對(duì)產(chǎn)品的最終質(zhì)量具有決定性的作用。
[0003]采用真空燒結(jié)所使用的真空燒結(jié)爐，具有承受高溫高壓的性能，在燒結(jié)爐開啟之前需要將燒結(jié)爐爐內(nèi)抽成真空。在抽真空的過(guò)程中需要實(shí)時(shí)地測(cè)量真空的狀態(tài)，現(xiàn)有的測(cè)量系統(tǒng)不能實(shí)時(shí)地測(cè)量真空度。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題針對(duì)現(xiàn)有真空燒結(jié)爐真空度測(cè)量不準(zhǔn)確的問(wèn)題，提供一種真空燒結(jié)爐的真空測(cè)量系統(tǒng)。
[0005]本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下所述:一種真空燒結(jié)爐的真空測(cè)量系統(tǒng)，所述真空測(cè)量系統(tǒng)包括:麥?zhǔn)险婵沼?jì)、電阻規(guī)和電離規(guī)，所述麥?zhǔn)险婵沼?jì)設(shè)置在真空燒結(jié)爐的抽真空管道上，所述電阻規(guī)和所述電離規(guī)并聯(lián)地與所述麥?zhǔn)险婵沼?jì)相連接，所述電阻規(guī)和所述電離規(guī)與所述麥?zhǔn)险婵沼?jì)之間設(shè)置有連接轉(zhuǎn)換開關(guān)。
[0006]所述電阻規(guī)通過(guò)第一連接管道與所述麥?zhǔn)险婵沼?jì)相連通，所述電離規(guī)通過(guò)第二連接管道與所述麥?zhǔn)险婵沼?jì)相連通，所述第一連接管道和所述第二連接管道管徑相等。
[0007]所述連接轉(zhuǎn)換開關(guān)開設(shè)有一個(gè)與所述第一連接管道和所述第二連接管道孔徑相等的通孔，所述通孔可移動(dòng)地與所述第一連接管道或者所述第二連接管道相通。
[0008]本實(shí)用新型通過(guò)同時(shí)設(shè)置電阻規(guī)和電離規(guī)，使得該真空測(cè)量系統(tǒng)既可以測(cè)量高真空度的狀態(tài)，也可以測(cè)量低真空度的狀態(tài)，這樣，測(cè)量的精確性更高。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例真空測(cè)量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例連接轉(zhuǎn)換開關(guān)的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖以及實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步的描述。
實(shí)施例
[0012]本實(shí)施例提供了一種真空燒結(jié)爐的真空測(cè)量系統(tǒng)，請(qǐng)結(jié)合參考圖1和圖2，該真空測(cè)量系統(tǒng)包括:麥?zhǔn)险婵沼?jì)1、電阻規(guī)2和電離規(guī)3，麥?zhǔn)险婵沼?jì)I設(shè)置在真空燒結(jié)爐的抽真空管道4上，電阻規(guī)2和電離規(guī)3并聯(lián)地與麥?zhǔn)险婵沼?jì)I相連接，電阻規(guī)2和電離規(guī)3與麥?zhǔn)险婵沼?jì)I之間設(shè)置有連接轉(zhuǎn)換開關(guān)5。
[0013]電阻規(guī)2通過(guò)第一連接管道21與麥?zhǔn)险婵沼?jì)I相連通，電離規(guī)3通過(guò)第二連接管道31與麥?zhǔn)险婵沼?jì)I相連通，第一連接管道21和第二連接管道31管徑相等。
[0014]連接轉(zhuǎn)換開關(guān)5開設(shè)有一個(gè)與第一連接管道21和第二連接管道31孔徑相等的通孔51，通孔51可移動(dòng)地與第一連接管道21或者第二連接管道31相通。
【權(quán)利要求】
1.一種真空燒結(jié)爐的真空測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述真空測(cè)量系統(tǒng)包括:麥?zhǔn)险婵沼?jì)(I)、電阻規(guī)(2)和電離規(guī)(3)，所述麥?zhǔn)险婵沼?jì)(I)設(shè)置在真空燒結(jié)爐的抽真空管道(4)上，所述電阻規(guī)(2)和所述電離規(guī)(3)并聯(lián)地與所述麥?zhǔn)险婵沼?jì)(I)相連接，所述電阻規(guī)(2)和所述電離規(guī)(3 )與所述麥?zhǔn)险婵沼?jì)(I)之間設(shè)置有連接轉(zhuǎn)換開關(guān)(5 ); 所述電阻規(guī)(2)通過(guò)第一連接管道(21)與所述麥?zhǔn)险婵沼?jì)(I)相連通，所述電離規(guī)(3)通過(guò)第二連接管道(31)與所述麥?zhǔn)险婵沼?jì)(I)相連通，所述第一連接管道(21)和所述第二連接管道(31)管徑相等； 所述連接轉(zhuǎn)換開關(guān)(5)開設(shè)有一個(gè)與所述第一連接管道(21)和所述第二連接管道(31)孔徑相等的通孔(51)，所述通孔(51)可移動(dòng)地與所述第一連接管道(21)或者所述第二連接管道(31)相通。
【文檔編號(hào)】G01L21/04GK203745131SQ201420014079
【公開日】2014年7月30日 申請(qǐng)日期:2014年1月10日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月10日
【發(fā)明者】蔡海成 申請(qǐng)人:炎陵縣今成鉭鈮有限公司