基板檢測裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種基板檢測裝置，包括：光源單元，用于向待檢測的基板發(fā)射檢測光；光線檢測器，設(shè)置在待檢測基板的出射光線側(cè)，用于檢測出射光線的光強；分析單元，與所述光線檢測器相連接，用于根據(jù)出射光線的光強，來確定所述待檢測基板是否破損。本實施例的基板檢測裝置通過向待檢測基板發(fā)射檢測光，分析經(jīng)過基板的出射光線的光強來確定基板是否破損，相比較于現(xiàn)有技術(shù)而言，提高了檢測的準(zhǔn)確率。
【專利說明】基板檢測裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及基板的檢測領(lǐng)域，具體是涉及一種基板檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-1XD)是目前最為流行的顯示器件，隨著TFT-1XD的成熟，所需的玻璃也日益輕薄。但玻璃輕薄容易造成破損，對設(shè)備的稼動率以及工藝影響極大。因此設(shè)計檢測玻璃破損的裝置是有必要的。
[0003]目前，檢測破損的設(shè)備主要有兩種，一是EGIS (image Inspection System),主要是對玻璃邊緣進行拍照，然后對拍的照片進行分析得出玻璃是否破損。該裝置的缺點是只能對玻璃邊緣破損進行檢測，且誤檢率很高；二是通過幾個光感器聯(lián)動檢測玻璃邊緣是否破損，該裝置缺點是也只能對玻璃邊緣破損進行檢測，誤檢率很高，并且經(jīng)常會由于主設(shè)備其他異常，造成誤檢，從而造成后續(xù)玻璃基板的工藝不良。
實用新型內(nèi)容
[0004]為了解決現(xiàn)有的基板檢測裝置的誤檢率高，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，本實用新型提供了一種基板檢測裝置。
[0005]本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種基板檢測裝置，包括:
[0006]光源單元，用于向待檢測的基板發(fā)射檢測光；
[0007]光線檢測器，設(shè)置在待檢測基板的出射光線側(cè)，用于檢測出射光線的光強；
[0008]分析單元，與所述光線檢測器相連接，用于根據(jù)出射光線的光強來確定所述待檢測基板是否破損。
[0009]優(yōu)選地，還包括至少一個設(shè)置在待檢測基板和光線檢測器之間的透鏡，所述透鏡用于對接收的光線進行聚焦。
[0010]優(yōu)選地，所述透鏡均勻分布在待檢測基板的出射光線側(cè)。
[0011]優(yōu)選地，所述光線檢測器與所述透鏡一一對應(yīng)設(shè)置。
[0012]優(yōu)選地，所述分析單元用于將出射光線的光強值與時間形成曲線，所形成的曲線用于判斷所述待檢測基板是否破損。
[0013]優(yōu)選地，所述分析單元用于將所得到的光強值與預(yù)定閾值進行比較，并根據(jù)比較結(jié)果來判斷所述待檢測基板是否破損。
[0014]優(yōu)選地，所述分析單元還包括緩存電路，用于將當(dāng)前的光強值與之前的光強值進行比較，并根據(jù)比較結(jié)果來判斷所述待檢測基板是否破損。
[0015]優(yōu)選地，還包括支架，所述待檢測基板放置在支架中部，所述光源單元和光線檢測器設(shè)置在所述支架的兩端。
[0016]優(yōu)選地，所述支架為可伸縮支架，支架上設(shè)有調(diào)節(jié)器，用于調(diào)節(jié)支架的伸縮。
[0017]優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)器還與光源單元、光線檢測器相連接，用于調(diào)節(jié)光源單元、光線檢測器與所述待檢測基板之間的距離。[0018]本實用新型的有益效果是:本實用新型的基板檢測裝置通過向待檢測基板發(fā)射檢測光，分析經(jīng)過基板的出射光線的光強來確定基板是否破損，相比較于現(xiàn)有技術(shù)而言，提高了檢測的準(zhǔn)確率，結(jié)構(gòu)簡單，大大降低了成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1為本實用新型一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本實用新型第二種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3為本實用新型一種實施例檢測到的光強-時間變化的曲線；
[0022]圖4為本實用新型第二種實施例檢測到的光強-時間變化的曲線。
【具體實施方式】
[0023]為使本實用新型要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實施例進行詳細描述。
[0024]如圖1所示，為本實用新型一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，該實施例的基板檢測裝置，包括:
[0025]光源單元1，設(shè)置在待檢測基板3的一側(cè)，用于向待檢測基板3發(fā)射檢測光；
[0026]光線檢測器6，設(shè)置在待檢測基板3的出射光線側(cè)，用于檢測出射光線的光強；
[0027]分析單元7，與所述光線檢測器6相連接，用于根據(jù)出射光線的光強來確定所述待檢測基板是否破損。
[0028]本實施例的基板檢測裝置通過向待檢測基板發(fā)射檢測光，分析經(jīng)過基板的出射光線的光強來確定基板是否破損，相比較于現(xiàn)有技術(shù)而言，提高了檢測的準(zhǔn)確率。
[0029]本實用新型的進行檢測的基板為透明基板，例如可以是玻璃基板、石英基板或者有機基板等。以下是以玻璃基板為例進行說明。
[0030]本實用新型的光源單元I用于產(chǎn)生檢測光，可以是各種適合的光源。優(yōu)選地，該光源單元為產(chǎn)生平行光的光源，例如激光源等。本實用新型的光源設(shè)置在基板的一側(cè)，向基板發(fā)射平行光，并且滿足發(fā)射的平行光覆蓋基板的表面。
[0031]本實用新型的光線檢測器6用于檢測透光基板的光線強度，設(shè)置在基板出射光線的一側(cè)，可以是各種適合的光強檢測傳感器，用于對出射光線的光強進行檢測。
[0032]本實用新型的分析單元7，用于分析出射光線的光強。該分析單元可以是各種分析光強的處理器，例如單片機、CPU (中央處理器)或者簡單的比較電路等等，用于分析出射光線的光強。該分析單元與所述光線檢測器6相連接，根據(jù)出射光線的光強來確定所述待檢測基板是否破損。該分析單元可以預(yù)先設(shè)定一個光強值，當(dāng)分析到出射光線的光強處于該預(yù)定光強值的閾值范圍內(nèi)時，則判定基板上不存在破損。當(dāng)分析出出射光線的光強超出該預(yù)定光強值的閾值范圍內(nèi)時，貝1J判定基板上存在破損。光強閾值可以預(yù)先設(shè)定也可以通過對標(biāo)準(zhǔn)基板進行檢測而獲取。作為替代，所述分析單元設(shè)有緩存電路，可以比較當(dāng)前的光強與之前的光強之間是否有變化，如果存在較大的變化，則判定基板上存在破損。所述緩存電路可以是簡單的緩存電路，也可以是移位寄存電路或者存儲芯片等。
[0033]如圖2所示，為本實用新型第二種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，該實施例的基板檢測裝置與第一種實施例基本相同，其區(qū)別是:還包括至少一個設(shè)置在待檢測基板3和光線檢測器6之間的透鏡5，所述透鏡用于對接收的光線進行聚焦，可以是凸透鏡或者凹面鏡。本實施例在基板的出射光線處設(shè)有透鏡，可以將從玻璃基板表面射出的光進行聚焦，由于出射光線進行了聚焦，便于光線檢測器進行光強檢測。
[0034]再次參閱圖2，該實施例的玻璃基板的出射光線上均勻分布六個透鏡，在基板的兩端分別設(shè)有一個，其他四個均勻分布在基板的出射光線側(cè)。該實施例的光線檢測器6為六個，分別是第一光線檢測器6A、第二光線檢測器6B、第三光線檢測器6C、第四光線檢測器6D、第五光線檢測器6E、第六光線檢測器6F，每個光線檢測器與其中一個透鏡相對應(yīng)。
[0035]圖2也給出了光路原理，光源單元I向玻璃基板3射出光線，形成入射光線2，入射光線2進入玻璃基板3，并從玻璃基板3中射出，形成出射光線4，出射光線4經(jīng)過玻璃基板之后有部分損耗，為此設(shè)置了多個凸透鏡。在玻璃基板3的出射光線側(cè)設(shè)有透鏡5，出射光線經(jīng)過透鏡5的聚焦之后進入光線檢測器6進行光強的檢測。
[0036]本實施例的分析單元7可以通過曲線來顯示出射光線的光強值，具體是將檢測時間作為橫坐標(biāo)，將六個光線檢測器處檢測到的光強值作為縱坐標(biāo)，形成光強值與時間的曲線。根據(jù)該曲線可以直觀看到待檢測基板是否破損。
[0037]本實施例的基板檢測裝置還包括有一支架，基板3設(shè)置在支架上，所述光源單元和光線檢測器設(shè)置在所述支架的兩端。優(yōu)選地，該支架為可伸縮支架，支架上設(shè)有調(diào)節(jié)器，用于調(diào)節(jié)支架的伸縮。更優(yōu)地，該調(diào)節(jié)器還可以調(diào)節(jié)光源單元、光線檢測器與基板之間的距離。
[0038]如圖3所示，為本實用新型一種實施例檢測到的光強-時間變化的曲線，對應(yīng)的光線檢測器為6A和6F，其原因為玻璃基板在四個角位置都為切角，造成光線檢測器6A和6E在剛開始檢測的時候都有一部分光通過切角而被檢測。切角的部分對應(yīng)曲線的OA和BC部分；而曲線AB部分對應(yīng)的光強是玻璃的非切角部分。
[0039]如圖4所以，為本實用新型第二種實施例檢測到的光強-時間變化的曲線，對應(yīng)的光線檢測器為6B、6C、6D和6E。由于該4個光線檢測器對應(yīng)的玻璃基板位置均為非切角部分，所以得到的光強隨時間變化曲線應(yīng)為一條平穩(wěn)的曲線即圖4的OC部分。
[0040]上述技術(shù)方案通過向待檢測基板發(fā)射檢測光，分析經(jīng)過基板的出射光線的光強來確定基板是否破損，相比較與現(xiàn)有技術(shù)而言，提高了檢測的準(zhǔn)確率。
[0041]上述的【具體實施方式】僅僅是示意性的，而不是限制性的，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本方法的啟示下，在不脫離本方法宗旨和權(quán)利要求所保護的范圍情況下，還可以作出很多變形，這些均屬于本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種基板檢測裝置，其特征在于，包括: 光源單元，用于向待檢測的基板發(fā)射檢測光； 光線檢測器，設(shè)置在待檢測基板的出射光線側(cè)，用于檢測出射光線的光強； 分析單元，與所述光線檢測器相連接，用于根據(jù)出射光線的光強來確定所述待檢測基板是否破損。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，還包括至少一個設(shè)置在待檢測基板和光線檢測器之間的透鏡，所述透鏡用于對接收的光線進行聚焦。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述透鏡均勻分布在待檢測基板的出射光線側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述光線檢測器與所述透鏡——對應(yīng)設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述分析單元用于將出射光線的光強值與時間形成曲線，所形成的曲線用于判斷所述待檢測基板是否破損。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述分析單元用于將所得到的光強值與預(yù)定閾值進行比較，并根據(jù)比較結(jié)果來判斷所述待檢測基板是否破損。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述分析單元還包括緩存電路，用于將當(dāng)前的光強值與之前的光強值進行比較，并根據(jù)比較結(jié)果來判斷所述待檢測基板是否破損。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項所述的基板檢測裝置，其特征在于，還包括支架，所述待檢測基板放置在支架中部，所述光源單元和光線檢測器設(shè)置在所述支架的兩端。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述支架為可伸縮支架，支架上設(shè)有調(diào)節(jié)器，用于調(diào)節(jié)支架的伸縮。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)器還與光源單元、光線檢測器相連接，用于調(diào)節(jié)光源單元、光線檢測器與所述待檢測基板之間的距離。
【文檔編號】G01N21/958GK203396719SQ201320533042
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年8月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月29日
【發(fā)明者】謝少華, 侯智, 吳代吾, 楊子衡, 胡岳林, 王俊 申請人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司