專利名稱:顯微球面光譜分析儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型屬于一種光學(xué)鏡片檢測儀器,尤其是涉及一種顯微球面光譜分析儀。
背景技術(shù):
目前,市面上光學(xué)鏡片光譜檢測儀采用的是一般目鏡,需要操作者用肉眼觀察,且因鏡片為球面,光線進(jìn)入球面后透過與反射的光方向會(huì)不同,光的能量分散,所以在球面上采集光的難度很大,觀察到的鏡片焦點(diǎn)誤差較大,很難聚焦。大多檢測儀檢測到的光學(xué)鏡片球差在0.005左右,誤差較大,檢測球面光譜特性時(shí),偏差較大,檢測結(jié)果不精確。市面上也有利用平面的檢測結(jié)果代表球面光譜特性的,但是差異太大。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種聚焦方便、快捷,球差小,操作方便的顯微球面光譜分析儀。根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面,提供了一種顯微球面光譜分析儀,包括光源、與光源連接的光譜分析系統(tǒng)和與光譜分析系統(tǒng)連接的數(shù)據(jù)處理裝置,光譜分析系統(tǒng)包括與光源連通的光路系統(tǒng)、與光路系統(tǒng)連通的物鏡、與光路系統(tǒng)連通的目鏡、與光路連接的檢測器,目鏡為電子目鏡。數(shù)據(jù)處理裝置與光譜分析系統(tǒng)相連接,保證了檢測到的結(jié)果能夠直接在數(shù)據(jù)處理裝置中分析和顯示出來,方便操作,提高檢測速度。采用電子目鏡結(jié)構(gòu),使得由物鏡進(jìn)入光路的光直接由電子目鏡檢測到,能夠快速聚焦。光路系統(tǒng)與檢測器相連接,從而檢測器可以直接得出檢測結(jié)果,同時(shí)也減小了球差,將球差減小至0.003。
·[0005]在一些實(shí)施方式中,數(shù)據(jù)處理裝置為計(jì)算機(jī),計(jì)算機(jī)與電子目鏡和檢測器相連接。從而計(jì)算機(jī)透過電子目鏡顯示光斑能量及被測物曲線圖形,直接顯示電子目鏡和檢測器所檢測到的光譜結(jié)果。在一些實(shí)施方式中,光路系統(tǒng)包括入射光路和反射光路,入射光路和反射光路垂直連接,入射光路和反射光路連接處設(shè)有反射鏡,反射光路包括顯微光路和分析光路,分析光路包括目鏡光路和檢測光路,目鏡光路與檢測光路連接處設(shè)有分光棱鏡。從而,從入射光路入射的光經(jīng)過反射鏡的反射進(jìn)入顯微光路到達(dá)物鏡作用于待測光學(xué)鏡片上,待測光學(xué)鏡片上反射的光通過物鏡再進(jìn)入作用于反射鏡,然后再經(jīng)過分光棱鏡進(jìn)行分光,一部分反射光進(jìn)入目鏡光路,一部分反射光進(jìn)入檢測光路。設(shè)有光路系統(tǒng),使得待測光學(xué)鏡片在檢測過程中,待測光學(xué)鏡片的上表面和下表面所形成的焦點(diǎn)不在同一點(diǎn),從而排除了下表面反射的光線對(duì)檢測結(jié)果的干擾,從而得到準(zhǔn)確的檢測結(jié)果。在一些實(shí)施方式中,反射鏡與入射光路成45°夾角。從而使得入射光路的光能夠進(jìn)入顯微光路,進(jìn)而進(jìn)入物鏡。在一些實(shí)施方式中,物鏡與顯微光路相連通,電子目鏡與目鏡光路相連通,檢測器與檢測光路相連通。同時(shí),可以通過計(jì)算機(jī)調(diào)節(jié)進(jìn)入檢測光路和目鏡光路的能量比例,實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)測量。[0009]在一些實(shí)施方式中,光譜分析系統(tǒng)還包括設(shè)于物鏡下方的載物臺(tái)和與載物臺(tái)連接的控制器。設(shè)有控制器可以方便地控制載物臺(tái)的與物鏡的相對(duì)位置。在一些實(shí)施方式中,顯微球面光譜分析儀還包括底座,光譜分析系統(tǒng)設(shè)于底座上。從而,保證了光譜分析系統(tǒng)的穩(wěn)定和平衡。
圖1是本實(shí)用新型的顯微球面光譜分析儀的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。參照?qǐng)D1:顯微球面光譜分析儀,包括光源2、與光源2通過光纖連接的光譜分析系統(tǒng)I和與光譜分析系統(tǒng)I通過數(shù)據(jù)線連接的數(shù)據(jù)處理裝置3,光譜分析系統(tǒng)I包括與光源2連通的光路系統(tǒng)11、與光路系統(tǒng)11連通的物鏡12、與光路系統(tǒng)11連通的目鏡13、與光路系統(tǒng)11連接的檢測器14,目鏡13為電子目鏡,電子目鏡為廣州柏菲光電科技有限公司生產(chǎn)的,型號(hào)為SP — II,像素為500萬。數(shù)據(jù)處理裝置3為計(jì)算機(jī),計(jì)算機(jī)與電子目鏡和檢測器14相連接,計(jì)算機(jī)與電子目鏡和檢測器14之間通過數(shù)據(jù)線相連接。光路系統(tǒng)11包括入射光路111和反射光路112,入射光路111和反射光路112垂直連接,入射光路111和反射光路112連接處設(shè)有反射鏡17,反射鏡17與入射光路111成45°夾角。反射光路112包括顯微光路21和分析光路22,分析光路22包括目鏡光路221和檢測光路222,目鏡光路221與檢測光路222連接處設(shè)有分光棱鏡18。光路系統(tǒng)11通過光纖與發(fā)射光路112相連接。物鏡12與顯微 光路21相連通,電子目鏡與目鏡光路221相連通,檢測器14與檢測光路223相連通。通過計(jì)算機(jī)調(diào)節(jié)進(jìn)入檢測光路223和目鏡光路221的光線比例,設(shè)定在380nnTlIOOnm波長范圍內(nèi)的光線可以通過,實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)測量。光譜分析系統(tǒng)I還包括設(shè)于物鏡12下方的載物臺(tái)15和與載物臺(tái)15連接的控制器16。顯微球面光譜分析儀還包括底座4,光譜分析系統(tǒng)I設(shè)于底座4上。當(dāng)顯微球面光譜分析儀工作時(shí),開啟光源2,將待測光學(xué)鏡片放在載物臺(tái)15上固定,通過調(diào)節(jié)控制器16上的調(diào)節(jié)旋鈕進(jìn)行手動(dòng)調(diào)整載物臺(tái)15的位置,將待測光學(xué)鏡片調(diào)節(jié)到物鏡12下方,使得呈像清晰。光源2的光通過入射光路111入射,再經(jīng)過反射鏡17的反射進(jìn)入顯微光路21到達(dá)物鏡12作用于待測光學(xué)鏡片上,待測光學(xué)鏡片上反射的光通過物鏡12,作用于反射鏡17,然后再經(jīng)過分光棱鏡18進(jìn)行分光,一部分反射光進(jìn)入目鏡光路221,作用于電子目鏡,另一部分反射光進(jìn)入檢測光路222。直接傳輸至檢測器14。電子目鏡接收到的反射光傳輸至數(shù)據(jù)處理裝置3計(jì)算機(jī),計(jì)算機(jī)直接顯示出待測光學(xué)鏡片的聚焦情況,以保證快速聚焦和得出相應(yīng)數(shù)據(jù),檢測器14檢測到的數(shù)據(jù)同時(shí)傳輸至計(jì)算機(jī),計(jì)算機(jī)顯示出待測光學(xué)鏡片的光譜特性,同時(shí)根據(jù)待測光學(xué)鏡片的反射光的情況,檢測到鏡片的反射率和透光率。以上所述的僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進(jìn),這些都屬于本實(shí)用新型的 保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.顯微球面光譜分析儀,其特征在于,包括光源(2)、與光源(2)連接的光譜分析系統(tǒng)(1)和與光譜分析系統(tǒng)(I)連接的數(shù)據(jù)處理裝置(3),所述光譜分析系統(tǒng)(I)包括與光源(2)連通的光路系統(tǒng)(11)、與光路系統(tǒng)(11)連通的物鏡(12)、與光路系統(tǒng)(11)連通的目鏡(13)、與光路系統(tǒng)(11)連接的檢測器(14),所述目鏡(13)為電子目鏡。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微球面光譜分析儀,其特征在于,所述數(shù)據(jù)處理裝置(3)為計(jì)算機(jī),所述計(jì)算機(jī)與電子目鏡和檢測器(14)相連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯微球面光譜分析儀,其特征在于,所述光路系統(tǒng)(11)包括入射光路(111)和反射光路(112),所述入射光路(111)和反射光路(112)垂直連接,所述入射光路(111)和反射光路(112)連接處設(shè)有反射鏡(17),所述反射光路(112)包括顯微光路(21)和分析光路(22),所述分析光路(22)包括目鏡光路(221)和檢測光路(222),所述目鏡光路(221)與檢測光路(222 )連接處設(shè)有分光棱鏡(18 )。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯微球面光譜分析儀,其特征在于,所述反射鏡(17)與入射光路(111)成45°夾角。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯微球面光譜分析儀,其特征在于,所述物鏡(12)與顯微光路(21)相連通,所述電子目鏡與目鏡光路(221)相連通,所述檢測器(14)與檢測光路(223)相連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯微球面光譜分析儀,其特征在于,所述光譜分析系統(tǒng)(I)還包括設(shè)于物鏡(12 )下方的載物臺(tái)(15 )和與載物臺(tái)(15 )連接的控制器(16 )。
7.根據(jù)權(quán)利要求1一6中任一項(xiàng)所述的顯微球面光譜分析儀,其特征在于,還包括底座(4),所述光譜分析系統(tǒng)(I)設(shè)于底座(4)上。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種顯微球面光譜分析儀,包括光源、與光源連接的光譜分析系統(tǒng)和與光譜分析系統(tǒng)連接的數(shù)據(jù)處理裝置,光譜分析系統(tǒng)包括與光源連通的光路系統(tǒng)、與光路系統(tǒng)連通的物鏡、與光路系統(tǒng)連通的目鏡、與光路系統(tǒng)連接的檢測器,目鏡為電子目鏡。本實(shí)用新型公開的顯微球面光譜分析儀具有聚焦方便、快捷,球差小,操作方便的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01M11/02GK203101028SQ20132006186
公開日2013年7月31日 申請(qǐng)日期2013年2月1日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月1日
發(fā)明者覃亞, 肖順東 申請(qǐng)人:佛山市北創(chuàng)光電科技有限公司