利用多路復(fù)用處理機(jī)測(cè)試單元中的獨(dú)立控制器進(jìn)行無(wú)索引串行半導(dǎo)體測(cè)試的方法和系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】一種系統(tǒng)和方法利用自動(dòng)化機(jī)器人半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備中的多路復(fù)用處理機(jī)測(cè)試單元的獨(dú)立控制器，以進(jìn)行無(wú)索引串行半導(dǎo)體測(cè)試。該獨(dú)立控制器被配置成使得與所述多路復(fù)用處理機(jī)測(cè)試單元的處理機(jī)驅(qū)動(dòng)和數(shù)據(jù)后處理器相關(guān)的功能都包含在該獨(dú)立控制器中。該系統(tǒng)和方法還包括在實(shí)際的多路復(fù)用處理機(jī)測(cè)試單元的實(shí)際實(shí)現(xiàn)之前在預(yù)備階段使用虛擬多路復(fù)用處理機(jī)測(cè)試單元的設(shè)置。該配置允許所述獨(dú)立控制器控制所述多路復(fù)用處理機(jī)的功能并協(xié)調(diào)它們與所述測(cè)試機(jī)的活動(dòng)。
【專利說(shuō)明】利用多路復(fù)用處理機(jī)測(cè)試單元中的獨(dú)立控制器進(jìn)行無(wú)索引串行半導(dǎo)體測(cè)試的方法和系統(tǒng)
[0001]相關(guān)申請(qǐng)的交叉參考
[0002]本申請(qǐng)要求2011年3月 I 日提交的名稱為“Mutiplexed handler Controller forIndexless Tandem Semiconductor Test (用于無(wú)索引串行半導(dǎo)體測(cè)試的多路復(fù)用處理機(jī)控制器)”的美國(guó)專利申請(qǐng)N0.61/447，787的優(yōu)先權(quán)，這里將其內(nèi)容全部結(jié)合于此。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本公開涉及自動(dòng)化制造系統(tǒng)和方法，具體是涉及用于半導(dǎo)體的測(cè)試和制造質(zhì)量控制的自動(dòng)化機(jī)器人半導(dǎo)體設(shè)備系統(tǒng)，其中降低了索引定時(shí)延遲。
【背景技術(shù)】
[0004]自動(dòng)化制造設(shè)備已經(jīng)使得許多行業(yè)中的制造過(guò)程流水化。而且，這種自動(dòng)化增加了可靠性和效果。自動(dòng)化的弊端是設(shè)備操作中的定時(shí)延遲。具體地說(shuō)，如果涉及到昂貴的制造設(shè)備，則諸如在傳遞被測(cè)器件時(shí)的機(jī)械運(yùn)動(dòng)過(guò)程中設(shè)備操作的延遲，因?yàn)闄C(jī)械操縱、重置等過(guò)程中的閑置或非測(cè)試使用時(shí)期而限制了對(duì)這種設(shè)備成本的回報(bào)率。因此，在制造技術(shù)和操作中已經(jīng)有推動(dòng)力來(lái)限制其中昂貴測(cè)試設(shè)備閑置不執(zhí)行可應(yīng)用測(cè)試功能的時(shí)間。
[0005]在半導(dǎo)體制造中，半導(dǎo)體器件測(cè)試設(shè)備是昂貴資本設(shè)備。傳統(tǒng)上，這種測(cè)試設(shè)備包括用于處理正在進(jìn)行測(cè)試的器件的機(jī)器人操縱器。這種機(jī)器人操縱器一般被稱為“處理機(jī)”，并且典型地由一個(gè)或更多個(gè)稱為“操縱器”的機(jī)械臂構(gòu)成。操縱器機(jī)械地抓取用于測(cè)試的器件、將該器件插入接口測(cè)試板并向測(cè)試機(jī)發(fā)出測(cè)試開始信號(hào)。測(cè)試機(jī)然后對(duì)器件進(jìn)行測(cè)試并向處理機(jī)返回測(cè)試結(jié)果和測(cè)試結(jié)束信號(hào)，測(cè)試結(jié)束信號(hào)使處理機(jī)將器件部署在用于測(cè)試了的器件的后測(cè)試盤或容器中。只要處理機(jī)感測(cè)到還有可用器件進(jìn)行測(cè)試，該過(guò)程就重復(fù)。該系統(tǒng)總體上有時(shí)被稱為“測(cè)試單元”。
[0006]在處理機(jī)部署剛剛測(cè)試了的器件并將該器件替換為待測(cè)試的下一個(gè)器件所需的時(shí)間過(guò)程中，測(cè)試機(jī)基本保持閑置。對(duì)于具體測(cè)試機(jī)和系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，該閑置時(shí)間有時(shí)稱為“索引時(shí)間(index time)”，并涉及到等待測(cè)試和已經(jīng)測(cè)試的器件的機(jī)械操縱。這些機(jī)械操縱在操作速度上受到諸多因素限制，這些因素例如包括用于確保待測(cè)試器件不受損壞、污染、掉落等的物理和速度約束。
[0007]對(duì)于具體器件、測(cè)試、測(cè)試機(jī)和系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，測(cè)試器件所需的時(shí)間有時(shí)被稱為“測(cè)試時(shí)間”。當(dāng)系統(tǒng)以制造容量操作時(shí)，其或者在索引時(shí)間過(guò)程中進(jìn)行索引或在測(cè)試時(shí)間過(guò)程中進(jìn)行測(cè)試。
[0008]以前，測(cè)試設(shè)備制造商在制造設(shè)備設(shè)計(jì)時(shí)已經(jīng)集中努力減少索引時(shí)間，以增加機(jī)械操作的速度。盡管隨著時(shí)間已經(jīng)顯著地增加了處理測(cè)試器件的機(jī)械操作速度，但是仍需要有相當(dāng)?shù)臋C(jī)械索引時(shí)間來(lái)在測(cè)試之間通過(guò)機(jī)械處理機(jī)操縱測(cè)試器件。此外，隨著機(jī)械操縱設(shè)備操作速度的增加，用于該設(shè)備的成本，包括校準(zhǔn)、更換頻率、維護(hù)、零部件等也增加。假定在加速許多類型的測(cè)試器件和處理機(jī)的機(jī)械操縱中必須解決的約束和預(yù)防措施，進(jìn)一步加速機(jī)械操作受到經(jīng)濟(jì)和物理障礙。
[0009]在任何情況下，降低索引時(shí)間能夠提供測(cè)試設(shè)備投資的更大回報(bào)率，特別是在測(cè)試設(shè)備昂貴的情況下。因此，在制造環(huán)境中進(jìn)一步降低測(cè)試操作中涉及的索引時(shí)間將是現(xiàn)有技術(shù)中顯著的進(jìn)步。特別在半導(dǎo)體制造中，如果在半導(dǎo)體設(shè)備的測(cè)試中降低索引時(shí)間，則可獲得經(jīng)濟(jì)上的其他收益和好處。提供實(shí)現(xiàn)降低索引時(shí)間的新的改進(jìn)系統(tǒng)和方法，并且無(wú)需對(duì)器件處理機(jī)的現(xiàn)有機(jī)械操作以及用于測(cè)試的類似機(jī)器人或自動(dòng)化部件進(jìn)行大的改變或新的研發(fā)，也將是一種改進(jìn)。在本發(fā)明人的其他專利中公開了由本發(fā)明人作出的降低自動(dòng)化機(jī)器人半導(dǎo)體測(cè)試的索引時(shí)間的最近一些改進(jìn)的示例，這些專利包括:美國(guó)專利N0.7，183，785B2，美國(guó)專利 N0.7，508，791B2 和美國(guó)專利 N0.7，619，432B2。
[0010]除了以上討論的降低索引時(shí)間的優(yōu)點(diǎn)之外，提供一種用于設(shè)置和配置用于自動(dòng)化機(jī)器人半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的控制系統(tǒng)的新的改進(jìn)系統(tǒng)和方法也是一種進(jìn)步，這進(jìn)一步降低了與自動(dòng)化機(jī)器人半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備相關(guān)聯(lián)的測(cè)試操作的成本、復(fù)雜性、索引時(shí)間和停機(jī)時(shí)間。例如，之前已經(jīng)設(shè)計(jì)了自動(dòng)化機(jī)器人半導(dǎo)體測(cè)試單元中的多路復(fù)用處理機(jī)測(cè)試單元，使得處理機(jī)驅(qū)動(dòng)和數(shù)據(jù)后處理器均駐留在測(cè)試系統(tǒng)的工作站計(jì)算機(jī)上。處理機(jī)驅(qū)動(dòng)程序被設(shè)計(jì)成在計(jì)算機(jī)處理器的后臺(tái)運(yùn)行的多線程，而測(cè)試程序在前臺(tái)執(zhí)行。在測(cè)試批次結(jié)束時(shí)調(diào)用并執(zhí)行數(shù)據(jù)后處理器程序。因?yàn)樘幚頇C(jī)驅(qū)動(dòng)程序和數(shù)據(jù)后處理器程序必須集成在制造商的總體測(cè)試程序和計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)中，因此必須進(jìn)行耗時(shí)且昂貴的一系列活動(dòng)以確保集成無(wú)縫進(jìn)行，而不會(huì)向系統(tǒng)引入錯(cuò)誤、不穩(wěn)定性和/或安全風(fēng)險(xiǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]這里參照若干個(gè)示例性實(shí)施方式描述了利用自動(dòng)化機(jī)器人半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備中的多路復(fù)用處理機(jī)測(cè)試單元的獨(dú)立控制器的方法和系統(tǒng)。該獨(dú)立控制器被配置成使得與所述多路復(fù)用處理機(jī)測(cè)試單元的處理機(jī)驅(qū)動(dòng)和數(shù)據(jù)后處理器相關(guān)的功能都包含在該獨(dú)立控制器中。該配置允許所述獨(dú)立控制器更有效地控制所述多路復(fù)用處理機(jī)的功能并協(xié)調(diào)它們與所述測(cè)試機(jī)的活動(dòng)。從利用該配置的系統(tǒng)和方法得到的益處有許多，包括低的設(shè)置和操作成本，降低系統(tǒng)復(fù)雜性，更容易維護(hù)，并且增強(qiáng)支持特征。
[0012]鑒于上述內(nèi)容，設(shè)想了各種實(shí)施方式。根據(jù)本公開的一個(gè)實(shí)施方式，提供了一種利用多路復(fù)用處理機(jī)測(cè)試單元中的獨(dú)立控制器的系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括處理經(jīng)受測(cè)試的器件的多個(gè)多路復(fù)用處理機(jī)。該系統(tǒng)還包括測(cè)試機(jī)，該測(cè)試機(jī)根據(jù)通過(guò)通信鏈路接收的測(cè)試指令測(cè)試經(jīng)受測(cè)試的器件，所述經(jīng)受測(cè)試的器件每次與所述多個(gè)多路復(fù)用處理機(jī)中的一個(gè)多路復(fù)用處理機(jī)相關(guān)聯(lián)。該系統(tǒng)進(jìn)一步包括獨(dú)立控制器，該獨(dú)立控制器操作地位于所述測(cè)試機(jī)和所述多個(gè)處理裝置之間，所述獨(dú)立控制器包括存儲(chǔ)一組測(cè)試指令的儲(chǔ)存器和執(zhí)行該組測(cè)試指令并通過(guò)所述通信鏈路將所執(zhí)行的測(cè)試指令發(fā)送到所述測(cè)試機(jī)的處理器。此外，所述測(cè)試包括可忽略的索引時(shí)間。
[0013]該系統(tǒng)的另一個(gè)實(shí)施方式包括所述獨(dú)立控制器在所述經(jīng)受測(cè)試的器件的測(cè)試過(guò)程中實(shí)現(xiàn)多個(gè)可選擇操作模式中的一個(gè)可選擇操作模式。
[0014]該系統(tǒng)的另一個(gè)實(shí)施方式包括監(jiān)視所述多個(gè)多路復(fù)用處理機(jī)之間的合格率差異的第一可選擇操作模式。
[0015]該系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施方式包括第二可選擇操作模式，該第二可選擇操作模式通過(guò)增加讀取多路復(fù)用測(cè)試機(jī)板上的狀態(tài)寄存器的測(cè)試來(lái)修改所述一組測(cè)試指令。
[0016]該系統(tǒng)的另一個(gè)實(shí)施方式包括將多測(cè)試位點(diǎn)映射到相同測(cè)試機(jī)資源的第三可選擇操作模式。
[0017]該系統(tǒng)的另一個(gè)實(shí)施方式包括在執(zhí)行所述一組測(cè)試指令時(shí)利用多線程的第四可選擇操作模式。
[0018]該系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施方式包括圖形用戶界面，其中所述儲(chǔ)存器存儲(chǔ)由所述處理器執(zhí)行的一組后測(cè)試指令，從而所述獨(dú)立控制器產(chǎn)生顯示在所述圖形用戶界面上的測(cè)試結(jié)果分析。
[0019]該系統(tǒng)的另一個(gè)實(shí)施方式包括所述獨(dú)立控制器的初始設(shè)置參數(shù)通過(guò)利用虛擬測(cè)試機(jī)和多個(gè)虛擬多路復(fù)用處理機(jī)產(chǎn)生
[0020]該系統(tǒng)的另一個(gè)實(shí)施方式包括用于與所述獨(dú)立控制器通信的、用于所述多個(gè)多路復(fù)用處理機(jī)和所述測(cè)試機(jī)的通信接口。
[0021]附加實(shí)施方式包括方法和非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，所述方法和非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)包括與上述系統(tǒng)實(shí)施方式中引述的特征類似的特征。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1A示出了利用多路復(fù)用測(cè)試單元控制器和兩個(gè)并行冗余處理機(jī)的測(cè)試單元；
[0023]圖1B示出了圖1A中所示的測(cè)試單元，示出了沒(méi)有測(cè)試線路和繼電器控制信號(hào)的通信接口控制線路；
[0024]圖2示出了虛擬測(cè)試單元的圖示；
[0025]圖3示出了測(cè)試過(guò)程的總體控制流程的流程圖；
[0026]圖4示出了測(cè)試單元的操作模式I ;
[0027]圖5示出了測(cè)試單元的操作模式2 ；
[0028]圖6示出了測(cè)試單元的操作模式3 ；
[0029]圖7、圖8A和圖8B示出了測(cè)試單元的操作模式4 ;以及
[0030]圖9示出了通用計(jì)算機(jī)。
【具體實(shí)施方式】
[0031]鑒于前述說(shuō)明，本公開因而旨在通過(guò)一個(gè)或多個(gè)其各種方面、實(shí)施方式和/或具體特征或子組件來(lái)顯示出如下具體指明的一個(gè)或多個(gè)優(yōu)點(diǎn)。本公開提供了控制系統(tǒng)和相關(guān)技術(shù)的描述，該控制系統(tǒng)和相關(guān)技術(shù)利用用于自動(dòng)化機(jī)器人半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備中的執(zhí)行新穎過(guò)程的多路復(fù)用處理機(jī)測(cè)試單元的獨(dú)立控制器來(lái)進(jìn)行半導(dǎo)體測(cè)試。
[0032]如這里所使用的，處理機(jī)的并行冗余是指，如果多個(gè)處理機(jī)中的一個(gè)處理機(jī)發(fā)生故障，測(cè)試單元能夠使用多個(gè)處理機(jī)中的其余處理機(jī)進(jìn)行操作。例如，在具有兩個(gè)處理機(jī)的測(cè)試單元的實(shí)施方式中，當(dāng)一個(gè)處理機(jī)受到操作故障時(shí)，該測(cè)試單元能夠使用其余的操作處理機(jī)繼續(xù)進(jìn)行其指定測(cè)試。該并行冗余配置允許測(cè)試單元保持操作(不過(guò)容量降低)，因而避免操作停止。這種索引時(shí)間的降低導(dǎo)致了測(cè)試單元輸出量總體增加(與僅具有單個(gè)處理機(jī)的傳統(tǒng)測(cè)試單元配置相比)。
[0033]測(cè)試程序得益于索引時(shí)間的降低，這是因?yàn)樵谔幚頇C(jī)的每小時(shí)最大件數(shù)(UPH)之前用于測(cè)試時(shí)間降低的余量增加。因而，測(cè)試時(shí)間降低作用在測(cè)試時(shí)間中的之前UPH極限以下將繼續(xù)產(chǎn)生收益。由于在分配給具有多個(gè)處理機(jī)的多路復(fù)用測(cè)試單元時(shí)操作員工作負(fù)荷增加，因此操作效率得以提高。由于在對(duì)停止處理機(jī)進(jìn)行修理或維護(hù)的同時(shí)測(cè)試單元繼續(xù)操作，因此維護(hù)效率提高。由于可以實(shí)現(xiàn)使用多個(gè)處理機(jī)的多路復(fù)用測(cè)試單元而無(wú)需資本投入，因此對(duì)資本成本也帶來(lái)益處。另外，進(jìn)行測(cè)試需要更少的測(cè)試機(jī)。例如，在配置具有兩個(gè)并行冗余測(cè)試機(jī)的測(cè)試單元時(shí)，與其中每個(gè)處理機(jī)都需要一個(gè)測(cè)試機(jī)的傳統(tǒng)配置相t匕，僅需要一個(gè)測(cè)試機(jī)。此外，由于來(lái)自測(cè)試單元的輸出增加且測(cè)試單元地板空間沒(méi)有相應(yīng)增加，因此提高了每單位面積的UPH。
[0034]利用多路復(fù)用測(cè)試單元控制器和兩個(gè)并行冗余處理機(jī)的測(cè)試單元的新穎系統(tǒng)配置將包括若干個(gè)包括通用計(jì)算機(jī)的部件，所述通用計(jì)算機(jī)在通過(guò)利用特定測(cè)試軟件適當(dāng)編程時(shí)變成針對(duì)專門一組測(cè)試操作和功能配置的專用計(jì)算機(jī)。該計(jì)算機(jī)將具有至少三(3)個(gè)被安裝成用于切換系統(tǒng)控制數(shù)據(jù)的通信接口端口和至少一個(gè)用于切換多路復(fù)用繼電器的通信輸入/輸出端口。具有該配置的專用計(jì)算機(jī)將被用作多路復(fù)用測(cè)試單元控制器，以下在該公開中稱為“控制器”。該測(cè)試單元還包括兩個(gè)機(jī)器人處理機(jī)，每個(gè)機(jī)器人處理機(jī)都具有用于與該控制器通信的通信接口。僅需要測(cè)試所處理的并準(zhǔn)備由與所述處理機(jī)相關(guān)聯(lián)的機(jī)器人測(cè)試的器件的單個(gè)順從測(cè)試機(jī)。該測(cè)試機(jī)進(jìn)一步包括用于與控制器通信的通信接□。
[0035]該控制器插入在兩個(gè)處理機(jī)和測(cè)試機(jī)之間。處理機(jī)可以使用三個(gè)接口板軟對(duì)接或使用單個(gè)接口板硬對(duì)接。然而，軟對(duì)接比硬對(duì)接更容易實(shí)現(xiàn)。
[0036]控制器執(zhí)行許多功能，下面對(duì)其中一些功能進(jìn)行描述?？刂破骺刂铺幚頇C(jī)的操作，并利用測(cè)試機(jī)協(xié)調(diào)處理機(jī)活動(dòng)?？刂破鬟€將測(cè)試開始信號(hào)從處理機(jī)傳送到測(cè)試機(jī)，并且將測(cè)試結(jié)束信號(hào)從測(cè)試機(jī)傳送到處理機(jī)。控制器還將分級(jí)信息從處理機(jī)傳送到測(cè)試機(jī)?？刂破骺刂贫嗦窂?fù)用繼電器的切換，并且為用于診斷測(cè)試機(jī)的多路復(fù)用繼電器提供電源?？刂破饔米鞫嗦窂?fù)用DIB (被測(cè)器件接口板)的多路復(fù)用繼電器診斷測(cè)試機(jī)?？刂破鬟€維持并處理測(cè)試單元性能數(shù)據(jù)，并且為控制系統(tǒng)和診斷測(cè)試機(jī)提供用戶界面?？刂破鬟€與測(cè)試臺(tái)計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)和文本和/或郵件系統(tǒng)通信?？刂破骺刂茰y(cè)試機(jī)與兩個(gè)處理機(jī)的接口，使得這兩個(gè)處理機(jī)從測(cè)試機(jī)的角度看作為單個(gè)處理機(jī)出現(xiàn)?？刂破鬟€給測(cè)試機(jī)一個(gè)簡(jiǎn)單測(cè)試，以便檢測(cè)哪個(gè)測(cè)試機(jī)正在使用。然而，上述功能是由控制器執(zhí)行的功能的代表，控制器還被配置成形成許多其他功能。
[0037]圖1A示出了測(cè)試單元100，該測(cè)試單元100包括如上所述的多路復(fù)用測(cè)試單元控制器和兩個(gè)并行的冗余處理機(jī)101和102。圖1A還公開了控制器104和在分別控制器104與處理機(jī)101、測(cè)試機(jī)103和處理機(jī)102之間傳送控制信號(hào)的通信電纜105、106和107。圖1A中還示出了在測(cè)試機(jī)103與分別安裝至處理機(jī)(109)和處理機(jī)2 (102)的兩個(gè)單獨(dú)DUT接口板(未示出)之間傳送實(shí)際電測(cè)試信號(hào)的測(cè)試線路109和110。圖1A另外示出了操作繼電器的繼電器控制信號(hào)108。
[0038]由于測(cè)試單元利用多路復(fù)用到一傳統(tǒng)測(cè)試機(jī)的兩個(gè)傳統(tǒng)處理機(jī)101和102，因此關(guān)于在測(cè)試機(jī)103與處理機(jī)I (109)和處理機(jī)2 (102)之間傳送實(shí)際電測(cè)試信號(hào)以及繼電器控制信號(hào)108的測(cè)試線路109和110的進(jìn)一步討論不再必要。因而，如下系統(tǒng)描述將集中于相關(guān)的控制信號(hào)，控制器104通過(guò)這些控制信號(hào)控制處理機(jī)I (101)、處理機(jī)2 (102)和測(cè)試機(jī)103。因而，為了清楚地說(shuō)明測(cè)試單元100的新穎特征，在對(duì)應(yīng)的圖1B中省略了這些測(cè)試線路109和110以及繼電器控制信號(hào)108。圖1B示出了布置在測(cè)試機(jī)103和兩個(gè)處理機(jī)101和102之間的測(cè)試單元100。
[0039]在圖1A和圖1B中所示的測(cè)試單元的優(yōu)選配置中，控制器104與測(cè)試機(jī)103和處理機(jī)101及102之間的主接口是系統(tǒng)控制數(shù)據(jù)。結(jié)果，無(wú)需使用昂貴且耗時(shí)的實(shí)際物理測(cè)試機(jī)和處理機(jī)設(shè)備來(lái)開發(fā)和調(diào)試所述控制器。相反，可以與實(shí)際物理控制器一起利用虛擬測(cè)試機(jī)和虛擬處理機(jī)來(lái)產(chǎn)生模擬物理測(cè)試單元的虛擬測(cè)試單元。該模擬可以通過(guò)若干傳統(tǒng)仿真/模擬軟件程序中的一個(gè)進(jìn)行，這些軟件程序被編程并在計(jì)算機(jī)上執(zhí)行以模擬特定物理設(shè)備。一個(gè)示例將是LabVIEW?。圖2中示出了這種虛擬測(cè)試單元。在該圖中，與圖1A和IB中所示的控制器相同的實(shí)際物理控制器104分別通過(guò)通信電纜205、206和207連接至虛擬處理機(jī)I (201)、虛擬測(cè)試機(jī)203和虛擬測(cè)試機(jī)2 (202)。
[0040]使用虛擬測(cè)試機(jī)201和202開發(fā)和調(diào)試控制器104的優(yōu)點(diǎn)有許多。這些優(yōu)點(diǎn)包括如下事實(shí):附裝至虛擬測(cè)試單元200的控制器的大多數(shù)開發(fā)和調(diào)試可以在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)進(jìn)行。只有最終實(shí)現(xiàn)階段利用連接至實(shí)際物理測(cè)試單元100的控制器104進(jìn)行。因而，由于與物理測(cè)試機(jī)和物理處理機(jī)的購(gòu)買或租用相鄰的高成本，開發(fā)成本顯著降低。結(jié)果，開發(fā)和實(shí)現(xiàn)物理測(cè)試單元的開發(fā)時(shí)間顯著縮短。另外，該方法避免了與測(cè)試機(jī)和處理機(jī)在測(cè)試臺(tái)上的可用性相關(guān)的日程安排問(wèn)題。如果必要，開發(fā)可以與被測(cè)器件(DUT)接口和多路復(fù)用板的設(shè)計(jì)和開發(fā)并行進(jìn)行。另一個(gè)事實(shí)是，該方法格外地通用，因?yàn)樘摂M測(cè)試單元可以被編程為模擬或模仿任何測(cè)試時(shí)間、任何索引時(shí)間和任何錯(cuò)誤條件，以訓(xùn)練和演示系統(tǒng)動(dòng)態(tài)性。另外，無(wú)需任何昂貴的測(cè)試代碼開發(fā)或測(cè)試機(jī)。使處理機(jī)脫機(jī)的操作影響可以在實(shí)驗(yàn)室中測(cè)試，由此不再使壟斷昂貴設(shè)備獨(dú)占測(cè)試臺(tái)?？刂葡到y(tǒng)的增強(qiáng)和改進(jìn)在實(shí)驗(yàn)室中實(shí)現(xiàn)并測(cè)試，無(wú)需奉獻(xiàn)昂貴的實(shí)際物理測(cè)試設(shè)備時(shí)間。另外，由于每個(gè)虛擬處理機(jī)程序異步自發(fā)地運(yùn)行，它們各自的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)是異步運(yùn)行的兩個(gè)單獨(dú)系統(tǒng)。該配置模擬了無(wú)索引處理機(jī)的雙操作器控制。
[0041]圖3是示出了測(cè)試過(guò)程的整個(gè)控制流程的流程圖300。該測(cè)試過(guò)程開始于301，其中在302處將測(cè)試程序加載到控制器中。之后，在303處測(cè)試機(jī)從控制器104讀取處理機(jī)的狀態(tài)，并且在304處確定該過(guò)程是否到達(dá)批次結(jié)束。如果該過(guò)程到達(dá)批次結(jié)束，則該過(guò)程在305處終止。然而，如果該過(guò)程尚未到達(dá)批次結(jié)束，則測(cè)試在306處開始。此時(shí)，在303處更新控制器中的處理機(jī)的狀態(tài)，并且控制器104在307處確定被測(cè)器件(DUT)何時(shí)準(zhǔn)備好測(cè)試。當(dāng)DUT準(zhǔn)備好測(cè)試時(shí)，DUT的測(cè)試在308處開始。在DUT的測(cè)試完成之后，分級(jí)信息在309處產(chǎn)生并被發(fā)送到控制器104。此時(shí)，測(cè)試機(jī)向控制器104發(fā)送測(cè)試結(jié)束(EOT)信號(hào)，并在311處將關(guān)于DUT的測(cè)試的信息寫入數(shù)據(jù)日志中。最后，該過(guò)程返回到測(cè)試機(jī)在303處從控制器讀取處理機(jī)的狀態(tài)，其中上述描述的過(guò)程繼續(xù)。
[0042]當(dāng)測(cè)試機(jī)從控制器讀取處理機(jī)狀態(tài)時(shí)，有四(4)種受支持的操作模式，其中測(cè)試軟件位于控制器中。四個(gè)操作模式中的每個(gè)操作模式都取決于正在執(zhí)行的實(shí)際測(cè)試程序和正在使用的實(shí)際測(cè)試機(jī)的配置。下面提供的表概括了四個(gè)操作模式中的每個(gè)操作模式的一些特征。該表之后對(duì)每個(gè)模式進(jìn)行更詳細(xì)的描述。
[0043]表
[0044]
【權(quán)利要求】
1.一種利用多路復(fù)用處理機(jī)測(cè)試單元中的獨(dú)立控制器的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括: 處理經(jīng)受測(cè)試的器件的多個(gè)多路復(fù)用處理機(jī)； 測(cè)試機(jī)，該測(cè)試機(jī)根據(jù)通過(guò)通信鏈路接收的測(cè)試指令測(cè)試經(jīng)受測(cè)試的器件，所述經(jīng)受測(cè)試的器件每次與所述多個(gè)多路復(fù)用處理機(jī)中的一個(gè)多路復(fù)用處理機(jī)相關(guān)聯(lián)；以及 獨(dú)立控制器，該獨(dú)立控制器操作地位于所述測(cè)試機(jī)和所述多個(gè)處理裝置之間，所述獨(dú)立控制器包括存儲(chǔ)一組測(cè)試指令的儲(chǔ)存器和執(zhí)行該組測(cè)試指令并通過(guò)所述通信鏈路將所執(zhí)行的測(cè)試指令發(fā)送到所述測(cè)試機(jī)的處理器， 其中所述測(cè)試包括可忽略的索引時(shí)間。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述獨(dú)立控制器在所述經(jīng)受測(cè)試的器件的測(cè)試過(guò)程中實(shí)現(xiàn)多個(gè)可選擇操作模式中的一個(gè)可選擇操作模式。
3.如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中所述獨(dú)立控制器包括監(jiān)視所述多個(gè)多路復(fù)用處理機(jī)之間的合格率差異的第一可選擇操作模式。
4.如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中所述獨(dú)立控制器包括第二可選擇操作模式，該第二可選擇操作模式通過(guò)增加讀取多路復(fù)用測(cè)試機(jī)板上的狀態(tài)寄存器的測(cè)試來(lái)修改所述一組測(cè)試指令。
5.如權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中所述獨(dú)立控制器包括將多測(cè)試位點(diǎn)映射到相同測(cè)試機(jī)資源的第三可選擇操作模式。
6.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中所述獨(dú)立控制器包括在執(zhí)行所述一組測(cè)試指令時(shí)利用多線程的第四可選擇操作模式。
7.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)， 該系統(tǒng)進(jìn)一步包括: 圖形用戶界面， 其中所述儲(chǔ)存器存儲(chǔ)由所述處理器執(zhí)行的一組后測(cè)試指令，從而所述獨(dú)立控制器產(chǎn)生顯示在所述圖形用戶界面上的測(cè)試結(jié)果分析。
8.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述獨(dú)立控制器的初始設(shè)置參數(shù)通過(guò)利用虛擬測(cè)試機(jī)和多個(gè)虛擬多路復(fù)用處理機(jī)產(chǎn)生。
9.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述多個(gè)多路復(fù)用處理機(jī)和所述測(cè)試機(jī)均具有與所述獨(dú)立控制器通信的通用接口總線(GPIB)接口。
10.一種利用多路復(fù)用處理機(jī)測(cè)試單元中的獨(dú)立控制器的方法，該測(cè)試單元包括多個(gè)多路復(fù)用處理機(jī)、測(cè)試機(jī)和獨(dú)立控制器，該方法包括: 配置所述多路復(fù)用處理機(jī)測(cè)試單元，使得所述獨(dú)立控制器操作地位于所述測(cè)試機(jī)和所述多個(gè)處理裝置之間； 在所述獨(dú)立控制器的儲(chǔ)存器中存儲(chǔ)一組測(cè)試指令； 通過(guò)所述獨(dú)立控制器的處理器執(zhí)行該組測(cè)試指令； 選擇性地將所執(zhí)行的測(cè)試指令發(fā)送到所述測(cè)試機(jī)；以及 使用所執(zhí)行的測(cè)試指令單獨(dú)地測(cè)試所述多個(gè)多路復(fù)用處理機(jī)中的每個(gè)處理機(jī)， 其中所述測(cè)試包括可忽略的索引時(shí)間。
11.如權(quán)利要求10所述的方法，該方法進(jìn)一步包括: 在經(jīng)受測(cè)試的器件的測(cè)試過(guò)程中實(shí)現(xiàn)多個(gè)可選擇操作模式中的一個(gè)可選擇操作模式。
12.如權(quán)利要求11所述的方法，其中所述可選擇操作模式包括監(jiān)視所述多個(gè)多路復(fù)用處理機(jī)之間的合格率差異的第一可選擇操作模式。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其中所述可選擇操作模式包括第二可選擇操作模式，該第二可選擇操作模式通過(guò)增加讀取多路復(fù)用測(cè)試機(jī)板上的狀態(tài)寄存器的測(cè)試來(lái)修改所述一組測(cè)試指令。
14.如權(quán)利要求13所述的方法，其中所述可選擇操作模式包括將多測(cè)試位點(diǎn)映射到相同測(cè)試機(jī)資源的第三可選擇操作模式。
15.如權(quán)利要求14所述的方法，其中所述可選擇操作模式包括在執(zhí)行所述一組測(cè)試指令時(shí)利用多線程的第四可選擇操作模式。
16.如權(quán)利要求10所述的方法，該方法進(jìn)一步包括在所述獨(dú)立控制器的圖形用戶界面上顯示測(cè)試結(jié)果。
17.如權(quán)利要求10所述的方法，該方法進(jìn)一步包括:通過(guò)利用虛擬測(cè)試機(jī)和多個(gè)虛擬多路復(fù)用處理機(jī)產(chǎn)生所述獨(dú)立控制器的初始設(shè)置參數(shù)。
18.一種非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，該計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)用利用多路復(fù)用處理機(jī)測(cè)試單元中的獨(dú)立控制器的計(jì)算機(jī)可執(zhí)行程序編碼，該測(cè)試單元包括多個(gè)多路復(fù)用處理機(jī)、測(cè)試機(jī)和獨(dú)立控制器，該介質(zhì)包括: 配置部分，該配置部分配置所述多路復(fù)用處理機(jī)測(cè)試單元，使得所述獨(dú)立控制器操作地位于所述測(cè)試機(jī)和所述多個(gè)處理裝置之間； 存儲(chǔ)部分，該存儲(chǔ)部分在所述獨(dú)立控制器的儲(chǔ)存器中存儲(chǔ)一組測(cè)試指令； 執(zhí)行部分，該執(zhí)行部分通 過(guò)所述獨(dú)立控制器的處理器執(zhí)行該組測(cè)試指令； 選擇性發(fā)送部分，該選擇性發(fā)送部分選擇性地將所執(zhí)行的測(cè)試指令發(fā)送到所述測(cè)試機(jī)；以及 測(cè)試部分，該測(cè)試部分使用所執(zhí)行的測(cè)試指令單獨(dú)地測(cè)試所述多個(gè)多路復(fù)用處理機(jī)中的每個(gè)處理機(jī)， 其中所述測(cè)試包括可忽略的索引時(shí)間。
19.如權(quán)利要求18所述的介質(zhì),該介質(zhì)進(jìn)一步包括: 實(shí)現(xiàn)部分，該實(shí)現(xiàn)部分在經(jīng)受測(cè)試的器件的測(cè)試過(guò)程中實(shí)現(xiàn)多個(gè)可選擇操作模式中的一個(gè)可選擇操作模式。
20.如權(quán)利要求19所述的介質(zhì)，該介質(zhì)進(jìn)一步包括: 產(chǎn)生部分，該產(chǎn)生部分通過(guò)利 用虛擬測(cè)試機(jī)和多個(gè)虛擬多路復(fù)用處理機(jī)產(chǎn)生所述獨(dú)立控制器的初始設(shè)置參數(shù)。
【文檔編號(hào)】G01R31/02GK103890595SQ201280011154
【公開日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2012年2月29日 優(yōu)先權(quán)日:2011年3月1日
【發(fā)明者】小霍華德·H·羅伯茨 申請(qǐng)人:塞勒林特有限責(zé)任公司