測(cè)試裝置及其測(cè)試電壓產(chǎn)生方法
【專利摘要】一種測(cè)試裝置及其測(cè)試電壓產(chǎn)生方法。依據(jù)脈沖信號(hào)、起始信號(hào)以及切換信號(hào)產(chǎn)生相互獨(dú)立的多個(gè)子控制信號(hào)，以節(jié)省測(cè)試成本，提高產(chǎn)品良率。
【專利說明】測(cè)試裝置及其測(cè)試電壓產(chǎn)生方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是有關(guān)于一種測(cè)試裝置及其測(cè)試電壓產(chǎn)生方法，且特別是有關(guān)于一種可增加控制信號(hào)的測(cè)試裝置及其測(cè)試電壓產(chǎn)生方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在閃存廣泛被使用下，閃存的元件制造商如何節(jié)省測(cè)試成本以增加利潤為一重要課題，增加并列測(cè)試數(shù)目為最快及最有效的方法，但以現(xiàn)有的測(cè)試機(jī)臺(tái)已無法提供等同于測(cè)試數(shù)目的控制信號(hào)來產(chǎn)生各測(cè)試元件所需的測(cè)試電壓。傳統(tǒng)增加測(cè)試電壓數(shù)目的方式可利用電源分流模塊(PowerSplit Module, PSM)來增加供應(yīng)電源，例如將用以測(cè)試待測(cè)元件的兩個(gè)控制信號(hào)分為兩組子控制信號(hào)，其中同組的子控制信號(hào)具有相同的狀態(tài)，亦即受同一組子控制信號(hào)所控制的多個(gè)待測(cè)元件將同時(shí)被開啟或關(guān)閉。因此，當(dāng)多個(gè)待測(cè)元件中僅有少數(shù)待測(cè)元件發(fā)生故障時(shí)，并無法選擇僅關(guān)閉故障的待測(cè)元件，進(jìn)而將故障的待測(cè)元件隔離開來，而若開啟故障的待測(cè)元件則有可能影響到其它待測(cè)元件。因而如何能增加狀態(tài)各自獨(dú)立的供應(yīng)電源數(shù)目，以分別對(duì)多個(gè)待測(cè)元件進(jìn)行測(cè)試，為一亟待解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明提供一種測(cè)試裝置及其測(cè)試電壓產(chǎn)生方法，可使測(cè)試裝置增加相互獨(dú)立的控制信號(hào)，達(dá)到節(jié)省測(cè)試成本，提高產(chǎn)品良率的目的。
[0004]本發(fā)明提出一種測(cè)試裝置，適于測(cè)試多個(gè)待測(cè)元件。測(cè)試裝置包括測(cè)試控制信號(hào)產(chǎn)生單元、開關(guān)控制單元以及電源模塊。測(cè)試控制信號(hào)產(chǎn)生單元用以產(chǎn)生脈沖信號(hào)、起始信號(hào)以及切換信號(hào)，其中切換信號(hào)指示對(duì)一個(gè)或多個(gè)待測(cè)元件輸出測(cè)試電壓。開關(guān)控制單元耦接測(cè)試控制信號(hào)產(chǎn)生單元，依據(jù)脈沖信號(hào)以及起始信號(hào)取樣切換信號(hào)，以產(chǎn)生多個(gè)子控制信號(hào)，其中起始信號(hào)指示開關(guān)控制單元開始依據(jù)脈沖信號(hào)取樣切換信號(hào)。電源模塊，耦接開關(guān)控制單元，依據(jù)子控制信號(hào)產(chǎn)生測(cè)試電壓。
[0005]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，其中當(dāng)起始信號(hào)轉(zhuǎn)為高電壓邏輯電位時(shí)，開關(guān)單元依據(jù)脈沖信號(hào)開始取樣切換信號(hào)，以產(chǎn)生子控制信號(hào)。
[0006]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的各該電源模塊包括多個(gè)電源供應(yīng)單元以及選擇切換單元。其中選擇切換單元耦接開關(guān)控制單元與電源供應(yīng)單元，依據(jù)子控制信號(hào)決定使一個(gè)或多個(gè)電源供應(yīng)單元對(duì)待測(cè)元件輸出測(cè)試電壓。
[0007]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的選擇切換單元包括多個(gè)第一開關(guān)，其耦接于偏壓電壓與電源供應(yīng)單元之間，第一開關(guān)的導(dǎo)通狀態(tài)分別受控于對(duì)應(yīng)的子控制信號(hào)。
[0008]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的各該電源供應(yīng)單元包括至少一第二開關(guān)，其耦接于測(cè)試電源與電源供應(yīng)單兀的輸出端之間，受控于與其對(duì)應(yīng)的第一開關(guān)所提供的偏壓電壓，而將測(cè)試電源輸出做為該測(cè)試電壓。
[0009]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的第二開關(guān)為晶體管，晶體管的源極與漏極分別耦接測(cè)試電源與電源供應(yīng)單元的輸出端，晶體管的柵極耦接與其對(duì)應(yīng)的第一開關(guān)。[0010]本發(fā)明亦提出一種測(cè)試裝置的測(cè)試電壓產(chǎn)生方法，適于測(cè)試多個(gè)待測(cè)元件，包括下列步驟。產(chǎn)生一脈沖信號(hào)、一起始信號(hào)以及一切換信號(hào)，其中切換信號(hào)指示對(duì)一個(gè)或多個(gè)待測(cè)元件輸出測(cè)試電壓。依據(jù)脈沖信號(hào)以及起始信號(hào)取樣切換信號(hào)，以產(chǎn)生多個(gè)子控制信號(hào)，其中起始信號(hào)指示何時(shí)開始取樣切換信號(hào)。依據(jù)子控制信號(hào)產(chǎn)生測(cè)試電壓。
[0011]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，其中當(dāng)起始信號(hào)轉(zhuǎn)為高電壓邏輯電位時(shí)，依據(jù)脈沖信號(hào)開始取樣切換信號(hào)，以產(chǎn)生子控制信號(hào)。
[0012]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述各待測(cè)元件是否接收到測(cè)試電壓為由與其對(duì)應(yīng)的子控制信號(hào)所決定。
[0013]基于上述，本發(fā)明依據(jù)脈沖信號(hào)、起始信號(hào)以及切換信號(hào)等具有串行式波形的信號(hào)產(chǎn)生相互獨(dú)立的多個(gè)子控制信號(hào)，進(jìn)而達(dá)到節(jié)省測(cè)試成本，提高產(chǎn)品良率的目的。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例，并配合附圖作詳細(xì)說明如下，其中:
[0015]圖1繪示為本發(fā)明一實(shí)施例的測(cè)試裝置的示意圖。
[0016]圖2A繪示為本發(fā)明另一實(shí)施例的測(cè)試裝置的示意圖。
[0017]圖2B繪示為本發(fā)明一實(shí)施例的開關(guān)控制單元的示意圖。
[0018]圖3繪示為本發(fā)明一實(shí)施例的脈沖信號(hào)、起始信號(hào)以及切換信號(hào)的示意圖。
[0019]圖4繪示為本發(fā)明一實(shí)施例的測(cè)試裝置的測(cè)試電壓產(chǎn)生方法。
【具體實(shí)施方式】
[0020]圖1繪示為本發(fā)明一實(shí)施例的測(cè)試裝置的示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D1。測(cè)試裝置100用以提供測(cè)試電壓給多個(gè)待測(cè)元件(未繪示)進(jìn)行產(chǎn)品測(cè)試，測(cè)試裝置100包括測(cè)試控制信號(hào)產(chǎn)生單元102、開關(guān)控制單元104以及電源模塊106，其中電源模塊106耦接測(cè)試控制信號(hào)產(chǎn)生單元102與開關(guān)控制單元104。測(cè)試控制信號(hào)產(chǎn)生單元102用以產(chǎn)生脈沖信號(hào)SCLK、起始信號(hào)SS以及切換信號(hào)SDI等串行式的信號(hào)，開關(guān)控制單元104則用以依據(jù)脈沖信號(hào)SCLK以及起始信號(hào)SS取樣切換信號(hào)SDI，以產(chǎn)生多個(gè)子控制信號(hào)SC。其中切換信號(hào)SDI用以指示對(duì)一個(gè)或多個(gè)待測(cè)元件輸出測(cè)試電壓，起始信號(hào)SS則指示開關(guān)控制單元104開始依據(jù)脈沖信號(hào)SCLK取樣切換信號(hào)SDI。
[0021]如此通過脈沖信號(hào)SCLK、起始信號(hào)SS以及切換信號(hào)SDI等串行式的信號(hào)來產(chǎn)生多個(gè)子控制信號(hào)SC,便可解決傳統(tǒng)測(cè)試機(jī)臺(tái)(例如Advantest的Versa tester系列的V5400測(cè)試機(jī)臺(tái))的控制信號(hào)數(shù)目不足的問題，進(jìn)而降低測(cè)試成本。此外，由于各個(gè)待測(cè)元件是否接收到待測(cè)電壓可由切換信號(hào)SDI所挾帶的信息決定，因此各個(gè)子控制信號(hào)SC間的狀態(tài)為相互獨(dú)立，不會(huì)有如已知技術(shù)般同組的子控制信號(hào)必須具有相同的狀態(tài)的問題，而可自由地針對(duì)特定的待測(cè)元件停止提供測(cè)試電壓，以避免待測(cè)元件間相互影響而降低產(chǎn)品的良率。
[0022]舉例來說，圖2A繪示為本發(fā)明另一實(shí)施例的測(cè)試裝置的示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D2A，測(cè)試裝置200可例如應(yīng)用于Advantest的Versa tester系列的V5400測(cè)試機(jī)臺(tái)，然不以此為限，V5400測(cè)試機(jī)臺(tái)原本最多可提供16個(gè)控制信號(hào)供待測(cè)元件使用。在本實(shí)施例中，開關(guān)控制單元104依據(jù)脈沖信號(hào)SCLK、起始信號(hào)SS以及切換信號(hào)SDI產(chǎn)生32個(gè)子控制信號(hào)SCl-U SC1-2、SC2-1-SC16-2,電源模塊106包括選擇切換單元202以及多個(gè)電源供應(yīng)單元M1-M16，其中選擇切換單元202耦接開關(guān)控制單元104與電源供應(yīng)單元M1-M16，選擇切換單元202可依據(jù)子控制信號(hào)SC1-1-SC16-2決定使一個(gè)或多個(gè)電源供應(yīng)單元輸出測(cè)試電壓至待測(cè)元件。
[0023]詳細(xì)來說，本實(shí)施例的開關(guān)控制單元104可如圖2A所示，包括32個(gè)開關(guān)swl-Ι、swl-2、sw2_l...swl6_2,其中各開關(guān)的一端稱接至偏壓電壓Vbias,另一端則稱接與其對(duì)應(yīng)的電源供應(yīng)單元，開關(guān)sWl-l-SW16-2的導(dǎo)通狀態(tài)分別受控于與其對(duì)應(yīng)的子控制信號(hào)SC1-1-SC16-2。如圖2B所示，開關(guān)控制單元104具有3個(gè)輸入端以及32個(gè)輸出端，其中3個(gè)輸入端分別接收脈沖信號(hào)SCLK、起始信號(hào)SS以及切換信號(hào)SDI，32個(gè)輸出端則分別連接至開關(guān)swl-l-swl6-2，以將子控制信號(hào)SC1-1-SC16-2輸出至開關(guān)swl-l-swl6_2，控制其導(dǎo)通狀態(tài)。此外，測(cè)試裝置200包括一電容Cb，其耦接于偏壓電壓Vbias與接地之間。
[0024]詳細(xì)來說，脈沖信號(hào)SCLK、起始信號(hào)SS以及切換信號(hào)SDI的示意圖可如圖3所示。當(dāng)起始信號(hào)SS轉(zhuǎn)為高電壓邏輯電位時(shí)，開關(guān)控制單元104便開始依據(jù)脈沖信號(hào)SCLK取樣切換信號(hào)SDI，以依序產(chǎn)生子控制信號(hào)SC1-1-SC16-2。如圖3所示，依據(jù)用戶的設(shè)定，切換信號(hào)SDI可依序變換其電壓邏輯電位的狀態(tài)，以指示是否導(dǎo)通對(duì)應(yīng)的開關(guān)。例如在本實(shí)施例中，設(shè)定開關(guān)控制單元104依據(jù)脈沖信號(hào)SCLK所取樣到的切換信號(hào)SDI為低電壓邏輯電位(L)時(shí)，其對(duì)應(yīng)的開關(guān)為關(guān)閉狀態(tài)。相反地，若開關(guān)控制單元104依據(jù)脈沖信號(hào)SCLK所取樣到的切換信號(hào)SDI為高電壓邏輯電位(H)時(shí)，其對(duì)應(yīng)的開關(guān)為導(dǎo)通狀態(tài)。如在本實(shí)施例中，開關(guān)控制單元104僅在由起始信號(hào)SS轉(zhuǎn)為高電壓邏輯電位時(shí)開始算起的第5、16、19、24、26、29、30個(gè)脈沖所取樣到的切換信號(hào)SDI為高電壓邏輯電位，其余皆為低電壓電位。也就是說只有子控制信號(hào)SC3-1、SC8-2、SC10-1、SC12-2、SC13-2、SC15-1以及SC15-2所對(duì)應(yīng)的開關(guān) sw3_l、sw8_2、swlO-1、swl2_2、swl3_2、swl5_l 以及 swl5_2 為導(dǎo)通狀態(tài)，其余皆為關(guān)閉狀態(tài)。
[0025]另一方面，電源供應(yīng)單元M1-M16為以相同的方式構(gòu)成，在此舉例電源供應(yīng)單元Ml進(jìn)行說明，其余的電源供應(yīng)單元M2-M16則不再一一描述。如圖2A所示，電源供應(yīng)單元Ml包括由晶體管Ql、Q2構(gòu)成的開關(guān)，其中晶體管Ql耦接于測(cè)試電源PPSl以及電源供應(yīng)單元Ml的輸出端DPSla之間，而晶體管Q2耦接于測(cè)試電源PPSl以及電源供應(yīng)單元Ml的輸出端DPSlb之間。也就是說，晶體管Ql的源極與漏極分別耦接測(cè)試電源PPSl與電源供應(yīng)單元Ml的輸出端DPSla，而晶體管Ql、Q2的柵極則分別耦接至其對(duì)應(yīng)的開關(guān)swl_l與開關(guān)swl-2。此外，電源供應(yīng)單元Ml更包括電阻Rl、R2以及電容Cla、Clb，其中電阻Rl耦接于晶體管Ql的柵極與接地之間，電阻R2耦接于晶體管Q2的柵極與接地之間，電容Cla耦接于輸出端DPSla與接地之間，電容Clb則耦接于輸出端DPSlb與接地之間。
[0026]當(dāng)開關(guān)swl-l-swl6_2受控于子控制信號(hào)SC1-1_SC16_2而被導(dǎo)通時(shí)，偏壓電壓Vbias便可通過導(dǎo)通的swl-l-swl6-2而被傳送到電源供應(yīng)單元M1-M16中的晶體管Q1、Q2，使其導(dǎo)通。而導(dǎo)通的晶體管Ql、Q2則可進(jìn)一步地將測(cè)試電源PPS1-PPS16自輸出端DPSla-DPS16b輸出作為待測(cè)元件的測(cè)試電壓。如在圖3的實(shí)施例中，由于開關(guān)sw3_l、sw8-2、swl0-l、swl2-2、swl3-2、swl5-l以及swl5_2為導(dǎo)通狀態(tài)，因此其對(duì)應(yīng)的晶體管將被導(dǎo)通,進(jìn)而使輸出端 DPS3a、DPS8b、DPSlOa、DPS 12b, DPS 13b, DPS15a 以及 DPS16b 分別輸出PPS3、PPS8、PPS10、PPS12、PPS13、PPS15、PPS15 等測(cè)試電源作為測(cè)試電壓。
[0027]如上所述，通過開關(guān)控制單元104依據(jù)脈沖信號(hào)SCLK與起始信號(hào)SS來取樣切換信號(hào)SDI，即可產(chǎn)生出多達(dá)32個(gè)獨(dú)立的子控制信號(hào)SC1-1-SC16-2，使測(cè)試成本降低。而由于子控制信號(hào)SC1-1-SC16-2為相互獨(dú)立，因此各個(gè)電源供應(yīng)單元皆可選擇僅提供一待測(cè)電壓(如電源供應(yīng)單元M3、M8、M10、M12、M13分別僅于其輸出端DPS3a、DPS8b、DPSlOa、DPS 12b, DPS 13b輸出待測(cè)電壓)，或同時(shí)兩個(gè)待測(cè)電壓給待測(cè)元件(如電源供應(yīng)單元M15于其輸出端DPS15a以及DSP15b輸出待測(cè)電壓)，而不會(huì)有待測(cè)元件間相互影響，或產(chǎn)品的良率降低的問題。
[0028]值得注意的是，上述雖以產(chǎn)生出32個(gè)獨(dú)立的子控制信號(hào)SC1-1-SC16-2為例進(jìn)行說明，然并不以此為限，在其它實(shí)施例中，亦可依據(jù)實(shí)際情形產(chǎn)生不同個(gè)數(shù)的子控制信號(hào)，相對(duì)應(yīng)地，電源供應(yīng)單元亦可包括不同個(gè)數(shù)的晶體管所構(gòu)成的開關(guān)。
[0029]圖4繪示為本發(fā)明一實(shí)施例的測(cè)試裝置的測(cè)試電壓產(chǎn)生方法。歸納上述測(cè)試裝置的測(cè)試電壓產(chǎn)生方法可包括下列步驟。首先，產(chǎn)生一脈沖信號(hào)、一起始信號(hào)以及一切換信號(hào)(步驟S402)，其中切換信號(hào)用以指示對(duì)哪一個(gè)或哪些待測(cè)元件輸出測(cè)試電壓。接著，依據(jù)脈沖信號(hào)以及起始信號(hào)取樣切換信號(hào)，以產(chǎn)生多個(gè)子控制信號(hào)(步驟S404)，其中起始信號(hào)用以指示何時(shí)開始取樣切換信號(hào)，例如可于起始信號(hào)轉(zhuǎn)為高電壓邏輯電位時(shí)，依據(jù)脈沖信號(hào)開始取樣切換信號(hào)，以產(chǎn)生子控制信號(hào)。最后，再依據(jù)子控制信號(hào)產(chǎn)生測(cè)試電壓(步驟S406)。其中各待測(cè)元件是否接收到測(cè)試電壓為由與其對(duì)應(yīng)的子控制信號(hào)所決定。
[0030]綜上所述，本發(fā)明依據(jù)脈沖信號(hào)、起始信號(hào)以及切換信號(hào)等具有串行式波形的信號(hào)產(chǎn)生相互獨(dú)立的多個(gè)子控制信號(hào)，以解決傳統(tǒng)測(cè)試機(jī)臺(tái)控制信號(hào)數(shù)目不足的問題，進(jìn)而降低測(cè)試成本。而相互獨(dú)立的子控制信號(hào)，可自由地針對(duì)特定的待測(cè)元件停止提供測(cè)試電壓，以避免待測(cè)元件間相互影響而降低產(chǎn)品的良率。
[0031]雖然本發(fā)明已以實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤飾，故本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視后附的權(quán)利要求范圍所界定的為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種測(cè)試裝置，適于測(cè)試多個(gè)待測(cè)元件，包括: 一測(cè)試控制信號(hào)產(chǎn)生單元，產(chǎn)生一脈沖信號(hào)、一起始信號(hào)以及一切換信號(hào)，其中該切換信號(hào)指示對(duì)一個(gè)或多個(gè)待測(cè)元件輸出測(cè)試電壓； 一開關(guān)控制單元，耦接該測(cè)試控制信號(hào)產(chǎn)生單元，依據(jù)該脈沖信號(hào)以及該起始信號(hào)取樣該切換信號(hào)，以產(chǎn)生多個(gè)子控制信號(hào)，其中該起始信號(hào)指示該開關(guān)控制單元開始依據(jù)該脈沖信號(hào)取樣該切換信號(hào)；以及 一電源模塊，耦接該開關(guān)控制單元，依據(jù)所述子控制信號(hào)產(chǎn)生該測(cè)試電壓。
2.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其中當(dāng)該起始信號(hào)轉(zhuǎn)為高電壓邏輯電位時(shí)，該開關(guān)單元依據(jù)該脈沖信號(hào)開始取樣該切換信號(hào)，以產(chǎn)生所述子控制信號(hào)。
3.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其中各該電源模塊包括: 多個(gè)電源供應(yīng)單元；以及 一選擇切換單元，耦接該開關(guān)控制單元與所述電源供應(yīng)單元，依據(jù)所述子控制信號(hào)決定使一個(gè)或多個(gè)電源供應(yīng)單元對(duì)所述待測(cè)元件輸出該測(cè)試電壓。
4.如權(quán)利要求3所述的測(cè)試裝置，其中該選擇切換單元包括: 多個(gè)第一開關(guān)，耦接于一偏壓電壓與所述電源供應(yīng)單元之間，所述第一開關(guān)的導(dǎo)通狀態(tài)分別受控于對(duì)應(yīng)的子 控制信號(hào)。
5.如權(quán)利要求4所述的測(cè)試裝置，其中各該電源供應(yīng)單元包括: 至少一第二開關(guān)，耦接于一測(cè)試電源與該電源供應(yīng)單元的輸出端之間，受控于與其對(duì)應(yīng)的第一開關(guān)所提供的該偏壓電壓，而將該測(cè)試電源輸出做為該測(cè)試電壓。
6.如權(quán)利要求5所述的測(cè)試裝置，其中該第二開關(guān)為一晶體管，該晶體管的源極與漏極分別耦接該測(cè)試電源與該電源供應(yīng)單元的輸出端，該晶體管的柵極耦接與其對(duì)應(yīng)的第一開關(guān)。
7.一種測(cè)試裝置的測(cè)試電壓產(chǎn)生方法，適于測(cè)試多個(gè)待測(cè)元件，包括: 產(chǎn)生一脈沖信號(hào)、一起始信號(hào)以及一切換信號(hào)，其中該切換信號(hào)指示對(duì)一個(gè)或多個(gè)待測(cè)元件輸出測(cè)試電壓； 依據(jù)該脈沖信號(hào)以及該起始信號(hào)取樣該切換信號(hào)，以產(chǎn)生多個(gè)子控制信號(hào)，其中該起始信號(hào)指示何時(shí)開始取樣該切換信號(hào)；以及 依據(jù)所述子控制信號(hào)產(chǎn)生該測(cè)試電壓。
8.如權(quán)利要求7所述的測(cè)試裝置的測(cè)試電壓產(chǎn)生方法，其中當(dāng)該起始信號(hào)轉(zhuǎn)為高電壓邏輯電位時(shí)，依據(jù)該脈沖信號(hào)開始取樣該切換信號(hào)，以產(chǎn)生所述子控制信號(hào)。
9.如權(quán)利要求7所述的測(cè)試裝置的測(cè)試電壓產(chǎn)生方法，其中各該待測(cè)元件是否接收到該測(cè)試電壓為由與其對(duì)應(yīng)的子控制信號(hào)所決定。
【文檔編號(hào)】G01R31/00GK103901289SQ201210580148
【公開日】2014年7月2日 申請(qǐng)日期:2012年12月27日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月27日
【發(fā)明者】陳瑞堂, 林泳辰 申請(qǐng)人:華邦電子股份有限公司