專利名稱：物理量檢測裝置、物理量檢測器及電子設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種物理量檢測裝置、物理量檢測器及電子設備。
背景技術：
一直以來，已知一種利用了振子等的物理量檢測元件的物理量檢測裝置(例如，力口速度傳感器)。這種物理量檢測裝置被構成為，當物理量檢測元件的共振頻率由于力向檢測軸方向作用而發(fā)生了變化時，根據該共振頻率的變化而對被施加到物理量檢測裝置上的力(加速度)進行檢測。在這種物理量檢測裝置中，例如通過在被施加了加速度時會發(fā)生位移的可動部上設置質量部，從而提高加速度的檢測靈敏度(參照專利文獻I)。但是，在專利文獻I所公開的技術中，由于可動部和質量部的熱膨脹系數有所不同，因此有時會因兩者的熱膨脹系數之差而在可動部上產生應力。而且，這種應力有時會被傳遞至物理量檢測元件。其結果為，存在物理量檢測元件的共振頻率由于傳遞過來的應力而發(fā)生變動，從而導致物理量檢測裝置的檢測靈敏度降低的情況。專利文獻1:日本特開2011-169671號公報

發(fā)明內容
本發(fā)明的幾個方式所涉及的目的之一在于，提供一種能夠抑制應力向物理量檢測元件傳遞的情況的物理量檢測裝置。此外，本發(fā)明的幾個方式所涉及的目的之一在于，提供一種具有上述物理量檢測裝置的物理量檢測器及電子設備。應用例I為了解決上述課題，本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置包括:基部；可動部，其經由連接部而被設置在所述基部上，并根據物理量的變化而發(fā)生位移；物理量檢測元件，其以跨接所述基部與所述可動部的方式而被固定；質量部，其被固定在所述可動部上，所述可動部包括:第一固定部，其上固定有所述物理量檢測元件；第二固定部，其上固定有所述質量部；切口部，其與所述連接部分離，且具有從所述可動部的側面起到達至與連結所述第一固定部和所述第二固定部的線段交叉的部位處的切口形狀。根據這種物理量檢測裝置，即使因可動部與質量部之間的熱膨脹系數之差，而在可動部上(在第二固定部上)產生了應力，也能夠通過切口部來抑制該應力被傳遞至第一固定部的情況。即，能夠抑制該應力向物理量檢測元件傳遞的情況。其結果為，這種物理量檢測裝置能夠具有較高的檢測靈敏度。應用例2在本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置中，可以采用如下方式，即，所述切口部以從所述可動部的一個主面貫穿至另一個主面的方式而被設置。根據這種物理量檢測裝置，例如與切口部是有底的情況相比，能夠抑制應力向物理量檢測元件傳遞的情況。
應用例3在本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置中，可以采用如下方式，S卩，所述切口部是有底的。根據這種物理量檢測裝置，與切口部從可動部的一個主面貫穿至另一個主面的情況相比，能夠提高可動部的剛性。因此，在向物理量檢測裝置施加了加速度時，可動部能夠在不發(fā)生扭曲的條件下，進一步穩(wěn)定地進行動作。應用例4在本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置中，可以采用如下方式，S卩，所述切口部被設置于，在俯視觀察時不與所述物理量檢測元件重疊的位置處。根據這種物理量檢測裝置，能夠通過切口部來抑制物理量檢測元件的靈敏度降低的情況。應用例5在本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置中，可以采用如下方式，S卩，所述切口部包括在與所述可動部的旋轉軸方向交叉的方向上延伸的結構，通過所述切口部，從而設置有具有所述第一固定部的第一腳部、和具有所述第二固定部的第二腳部，在所述第二腳部上，于與所述第二固定部相比靠所述連接部側的位置處，沿著所述旋轉軸方向而存在剛性差，所述第二腳部的剛性在所述第一腳部側較低。根據這種物理量檢測裝置，由于第二腳部的剛性在第一腳部側的相反側較高，因此尤其是在將第二固定部沿著可動部的旋轉軸方向(沿著X軸)而設置在第二腳部中的與第一腳部相反的一側時，能夠提高可動部在第二固定部附近的剛性。因此，能夠抑制在可動部上產生的扭曲，從而能夠抑制加速度的檢測靈敏度降低的情況。應用例6在本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置中，可以采用如下方式，S卩，所述第二腳部在與所述第二固定部相比靠所述連接部側的位置處，包含開口部。根據這種物理量檢測裝置，即使因可動部與質量部之間的熱膨脹系數之差，而在可動部上(在第二固定部上)產生了應力，也能夠通過開口部來更進一步抑制該應力被傳遞至第一固定部的情況。即，能夠更進一步抑制該應力向物理量檢測元件傳遞的情況。應用例7在本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置中，可以采用如下方式，S卩，所述第二腳部具有:第一梁部，其被設置在所述開口部與所述切口部之間；第二梁部，其被設置在所述開口部、與所述可動部中的沿著與所述旋轉軸方向交叉的方向的側面之間，所述第一梁部的剛性低于所述第二梁部的剛性。根據這種物理量檢測裝置，能夠抑制在可動部上產生的扭曲，從而能夠抑制加速度的檢測靈敏度降低的情況。應用例8本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置包括:基部；可動部，其經由連接部而被設置在所述基部上，并根據物理量的變化而發(fā)生位移；物理量檢測元件，其以跨接所述基部與所述可動部的方式而被固定；質量部，其被固定在所述可動部上，所述可動部包括:第一固定部，其上固定有所述物理量檢測元件；第二固定部，其上固定有所述質量部；孔部，其與所述連接部分離，且與連結所述第一固定部和所述第二固定部的線段交叉。根據這種物理量檢測裝置，即使因可動部與質量部之間的熱膨脹系數之差，而在可動部上(在第二固定部上)產生了應力，也能夠通過孔部來抑制該應力被傳遞至第一固定部的情況。即，能夠抑制該應力向物理量檢測元件傳遞的情況。其結果為，這種物理量檢測裝置能夠具有較高的檢測靈敏度。應用例9在本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置中，可以采用如下方式，S卩，所述孔部以從所述可動部的一個主面貫穿至另一個主面的方式而設置。根據這種物理量檢測裝置，與例如孔部是有底的情況相比，能夠抑制應力向物理量檢測元件傳遞的情況。應用例10在本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置中，可以采用如下方式，即，所述孔部是有底的。根據這種物理量檢測裝置，與孔部從可動部的一個主面貫穿至另一個主面的情況相比，能夠提高可動部的剛性。因此，在向物理量檢測裝置施加了加速度時，可動部能夠在不發(fā)生扭曲的條件下，進一步穩(wěn)定地進行動作。應用例11在本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置中，可以采用如下方式，S卩，所述孔部被設置于，在俯視觀察時不與所述物理量檢測元件重疊的位置處。根據這種物理量檢測裝置，能夠通過孔部來抑制物理量檢測元件的靈敏度降低的情況。應用例12在本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置中，可以采用如下方式，S卩，所述可動部具有多個開口部，所述第二固定部被所述孔部及多個所述開口部所包圍，所述可動部具有通過所述孔部及多個所述開口部而被規(guī)定了形狀的支承部，所述第二固定部被所述支承部所支承。根據這種物理量檢測裝置，即使因可動部與質量部之間的熱膨脹系數之差，而在可動部上(在第二固定部上)產生了應力，也能夠通過多個開口部來更進一步抑制該應力被傳遞至第一固定部的情況。應用例13本發(fā)明所涉及的物理量檢測器包括:本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置；封裝件，其對所述物理量檢測裝置進行收納。由于這種物理量檢測器包括本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置，因此能夠具有較高的檢測靈敏度。應用例14本發(fā)明所涉及的電子設備包括本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置。由于這種電子設備包括本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置，因此能夠具有較高的檢測靈敏度。


圖1為概要地表示第一實施方式所涉及的物理量檢測裝置的立體圖。圖2為概要地表示第一實施方式所涉及的物理量檢測裝置的俯視圖。圖3為概要地表示第一實施方式所涉及的物理量檢測裝置的剖視圖。圖4為概要地表示第一實施方式所涉及的物理量檢測裝置的剖視圖。圖5為用于說明第一實施方式所涉及的物理量檢測裝置的動作的剖視圖。圖6為用于說明第一實施方式所涉及的物理量檢測裝置的動作的剖視圖。圖7為概要地表示第一實施方式的第一改變例所涉及的物理量檢測裝置的剖視圖。圖8為概要地表示第一實施方式的第二改變例所涉及的物理量檢測裝置的俯視圖。圖9為概要地表示第一實施方式的第三改變例所涉及的物理量檢測裝置的俯視圖。圖10為概要地表示第二實施方式所涉及的物理量檢測裝置的立體圖。圖11為概要地表示第二實施方式所涉及的物理量檢測裝置的俯視圖。圖12為概要地表示第二實施方式所涉及的物理量檢測裝置的剖視圖。圖13為概要地表示第二實施方式的第一改變例所涉及的物理量檢測裝置的剖視圖。圖14為概要地表示第二實施方式的第二改變例所涉及的物理量檢測裝置的俯視圖。圖15為概要地表示第二實施方式的第三改變例所涉及的物理量檢測裝置的俯視圖。圖16為概要地表示第三實施方式所涉及的物理量檢測器的俯視圖。圖17為概要地表示第三實施方式所涉及的物理量檢測器的剖視圖。圖18為概要地表示第四實施方式所涉及的電子設備的立體圖。
具體實施例方式下面，在參照附圖對本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式進行說明。1.第一實施方式1.1.物理量檢測裝置首先，參照附圖對第一實施方式所涉及的物理量檢測裝置進行說明。圖1為概要地表示第一實施方式所涉及的物理量檢測裝置100的立體圖。圖2為概要地表示第一實施方式所涉及的物理量檢測裝置100的俯視圖。圖3為概要地表示第一實施方式所涉及的物理量檢測裝置100的、沿著圖2中的II1-1II線的剖視圖。圖4為概要地表示第一實施方式所涉及的物理量檢測裝置100的、沿著圖2中的IV-1V線的剖視圖。另外，為了便于說明，在圖1 圖4及后述的圖5 圖15中，作為相互正交的三個軸，圖示了 X軸、Y軸、Z軸。如圖1 圖4所示，物理量檢測裝置100包括基部10、連接部12、可動部13、物理量檢測元件40、和質量部50、52。另外，物理量檢測裝置100可以具有框部30和質量部54、56。
另外，為了便于說明，在圖2及后述的圖8、圖9中，以透視的方式對質量部50、52、54、56進行了圖示。此外,在圖4中,僅對可動部13進行了圖示?；?0經由連接部12而對可動部13進行支承。基部10例如為板狀且具有相互朝向相反方向(對置)的主面10a、10b。連接部12被設置在基部10與可動部13之間，且與基部10及可動部13相連接。連接部12的厚度小于基部10的厚度及可動部13的厚度。例如，可以從水晶基板的兩個主面?zhèn)绕?，通過半蝕刻而形成槽部12a、12b (參照圖3)，從而形成連接部12。在圖示的示例中，槽部12a、12b沿著X軸而被形成。連接部12能夠成為，在可動部13相對于基部10而發(fā)生位移(旋轉)時，作為支點(中間鉸鏈)的、沿著X軸的可動部13的旋轉軸?？蓜硬?3經由連接部12而被連接在基部10上。S卩，可動部13經由連接部12而被設置在基部10上。在圖示的示例中，可動部13從基部10起經由連接部12而沿著Y軸(第一軸)延伸?？蓜硬?3為板狀，且具有相互朝向相反方向(對置)的主面13a、13b。另外，可動部13可以具有被連接在主面13a、13b上的側面13c、13d、13e。如圖2所示，在俯視觀察時，側面13c、13d為沿著Y軸的面，側面13e為沿著X軸且與側面13c、13d相連接的面。可以說側面13e為連接部12的相反側的側面。可動部13能夠根據施加在與主面13a (13b)交叉的方向(Z軸方向)上的物理量(加速度)的變化，而以連接部12為支點(旋轉軸)在與主面13a交叉的方向(Z軸方向)上發(fā)生位移(旋轉)?？蓜硬?3具有第一固定部14和第二固定部16a、16b。第一固定部14為，固定有物理量檢測元件40 (基座部42b)的部分。第一固定部14還可以為配置有接合部件60的部分，所述接合部件60用于將物理量檢測元件40固定在可動部13上。雖然第一固定部14的平面形狀并不被特別限定，但是在圖2所示的示例中為矩形。第二固定部16a、16b為，固定有質量部50、52的部分。更具體而言，第二固定部16a為，固定有質量部50的部分，且第二固定部16b為，固定有質量部52的部分。第二固定部16a、16b還可以為配置有接合部件62的部分，所述接合部件62用于將質量部50、52固定在可動部13上。雖然第二固定部16a、16b的平面形狀并不被特別限定，但是在圖2所示的示例中為圓形?？蓜硬?3具有切口部20a、20b。在圖示的示例中，切口部20a、20b從可動部13的側面13e朝向連接部12側，沿著Y軸(沿著與可動部13的旋轉軸方向交叉的方向)而被設置。切口部20a、20b與連接部12分離，并且如圖2所示，被設置于，在俯視觀察時不與物理量檢測元件40重疊的位置處。如圖4所示，切口部20a、20b以從可動部13的一個主面13a貫穿至另一個主面13b的方式而設置。如圖2所示，切口部20a以與線段LI (假想的線段LI)交叉的方式而設置，所述線段LI為，連結第一固定部14與第二固定部16a的線段。即，切口部20a為，從可動部13的側面13e起到達至與線段LI交叉的部位處的切口形狀。更具體而言，線段LI為，連結第一固定部14的中心01和第二固定部16a的中心02的線段。切口部20b以與線段L2 (假想的線段L2)交叉的方式而設置，所述線段L2為，連結第一固定部14與第二固定部16b的線段。S卩，切口部20b為，從可動部13的側面13e起到達至與線段L2交叉的部位處的切口形狀。更具體而言，線段L2為，連結固定部14的中心Ol和第二固定部16b的中心03的線段。通過切口部20a、20b，從而在可動部13上設置有:具有第一固定部14的第一腳部
15、和具有第二固定部16a、16b的第二腳部17a、17b。更具體而言，第二腳部17a具有第二固定部16a，第二腳部17b具有第二固定部16b。在圖示的例中，第一腳部15被設置在切口部20a、20b之間。第二腳部17a被設置在切口部20a與間隙32a (可動部13與框部30的延伸部31a之間的間隙)之間。第二腳部17b被設置在切口部20b與間隙32b (可動部13與框部30的延伸部31b之間的間隙)之間。另外，雖然沒有圖示，但是只要切口部20a、20b以不與物理量檢測元件40重疊的方式而與線段L1、L2交叉設置，則也可以使切口部20a從可動部13的側面13c起沿著X軸而設置，且使切口部20b從可動部13的側面13d起沿著X軸而設置?？虿?0隔著間隙而沿著可動部13被設置，且被連接在基部10上?？蓜硬?3通過框部30及基部10而被包圍。在圖示的示例中，框部30具有:與可動部13隔著間隙32a而沿著Y軸被設置的延伸部31a、與可動部13隔著間隙32b而沿著Y軸被設置的延伸部31b、和與可動部13隔著間隙32c而沿著X軸被設置的延伸部31c。延伸部31a隔著間隙32a而與第二腳部17a對置配置，且延伸部31b隔著間隙32b而與第二腳部17b對置配置。延伸部31c與延伸部31a及延伸部31b相連接。框部30可以具有封裝件固定部34，所述封裝件固定部34在將物理量檢測裝置100安裝在封裝件等的外部部件上時，被固定在封裝件上。封裝件固定部34還可以為配置有接合部件的部分，所述接合部件用于將物理量檢測裝置100接合在封裝件上。在圖2所示的示例中，封裝件固定部34設置有兩個，且被配置在框部30的彎曲部(角部)上。封裝件固定部34被設置于，在俯視觀察時不與質量部50、52、54、56重疊的位置上。雖然沒有圖示，但封裝件固定部34只要是在俯視觀察時不與質量部50、52、54、56重疊的位置處，則可以設置有兩個以上?；?0、連接部12、可動部13以及框部30，例如通過利用光刻技術及蝕刻技術而對水晶基板進行圖案形成，從而被一體地形成，其中，所述水晶基板是以預定的角度從水晶的原石等中切割出的。另外，基部10、連接部12、可動部13以及框部30的材質并不限定于水晶，也可以為玻璃、或硅等的半導體材料。物理檢測元件40以跨接基部10與可動部13的方式而被固定。物理量檢測元件40至少可以具有作為檢測部的振動梁部41a、41b、和基座部42a、42b。檢測部只需為處于基座部42a與基座部42b之間，且通過產生于基座部42a與基座部42b之間的力被傳遞，從而檢測部所產生的物理量檢測信息發(fā)生變化的結構即可，在本實施方式中，例如，振動梁部41a、41b沿著可動部13的延伸方向(沿著Y軸)，而從基座部42a延伸至基座部42b。振動梁部41a、41b的形狀例如為棱柱狀。當向被設置于振動梁部41a、41b上的激勵電極(未圖不)施加驅動信號(交流電壓)時，振動梁部41a、41b將能夠以沿著X軸相互遠離或接近的方式而進行彎曲振動。基座部42a、42b被連接在振動梁部41a、41b的兩端處。在圖示的示例中，基座部42a經由接合部件60而被固定在基部10的主面IOa上，基座部42b經由接合部件60而被固定在可動部13的主面13a (與基部10的主面IOa同側的主面)上。更具體而言,用于對基座部42b進行固定的接合部件60被設置在可動部13的第一固定部14上。作為接合部件60，例如使用低熔點玻璃、能夠進行共晶接合的Au/Sn合金薄膜。另外，在振動梁部41a、41b與基部10以及可動部13之間，設置有預定的間隙，從而在可動部13位移時，振動梁部41a、41b與基部10以及可動部13不會發(fā)生接觸。該間隙例如可以通過接合部件60的厚度而被管理。此外，雖然沒有圖示，但是可以在可動部13的主面13a上，且在俯視觀察時的接合部件60與振動梁部41a、41b之間的位置處，形成有凹部，所述凹部通過對可動部13進行半蝕刻而形成。例如，在接合部件60從預定的位置溢出時，能夠通過該凹部來承接接合部件60，從而能夠抑制接合部件60粘著在振動梁部41a、41b上的情況。如上文所述，物理量檢測元件40具有兩根振動梁部41a、41b、和一對基座部42a、42b。因此，能夠將物理量檢測元件40稱為雙音叉元件(雙音叉型振動元件)。物理量檢測元件40例如通過用光刻技術及蝕刻技術來對水晶基板進行圖案形成，從而被形成，其中，所述水晶基板是以預定的角度從水晶的原石等中切割出的。由此，能夠一體地形成振動梁部41a、41b及基座部42a、42b。另外，物理量檢測元件40的材質并不限于水晶，還可以為鉭酸鋰(LiTa03)、四硼酸鋰(Li2B407)、鈮酸鋰(LiNb03)、鋯鈦酸鉛(PZT)、氧化鋅(ZnO)、氮化鋁(AlN)等的壓電材料，或者具備氧化鋅(ZnO)、氮化鋁(AlN)等的壓電體以作為被膜的硅等的半導體材料。但是，當考慮到縮小與基部10、可動部13之間的線膨脹系數之差時，物理量檢測元件40優(yōu)選設定為與基部10、可動部13的材質相同的材質。在物理量檢測元件40的基座部42a上，例如設置有引出電極44a、44b。引出電極44a,44b與被設置在振動梁部41a、41b上的激勵電極(未圖示)電連接。引出電極44a、44b例如通過Au、Al等的金屬線48，而與被設置在基部10的主面IOa上的連接端子46a、46b電連接。更具體而言，引出電極44a與連接端子46a電連接，弓丨出電極44b與連接端子46b電連接。連接端子46a、46b通過未圖示的配線而與外部連接端子49a、49b電連接。更具體而言，連接端子46a與外部連接端子49a電連接,連接端子46b與外部連接端子49b電連接。外部連接端子49a、49b例如被設置在，框部30的被安裝于封裝件等上的一側的面(基部10的主面IOb側的面)，且在俯視觀察時與封裝件固定部34重疊的位置處。作為激勵電極、引出電極44a、44b、連接端子46a、46b以及外部連接端子49a、49b,例如使用將Cr層作為基底并在其上層壓了 Au層的層壓體。激勵電極、引出電極44a、44b、連接端子46a、46b以及外部連接端子49a、49b例如通過如下方式而形成，即，用濺射法等來形成導電層(未圖示)，并對該導電層進行圖案形成。質量部50、52、54、56例如經由接合部件62而被固定在可動部13的主面13a、13b上。更具體而言，質量部50、52被固定在主面13a上，質量部54、56被固定在主面13b上。作為質量部50、52、54、56的材質，可以列舉出例如Cu、Au等的金屬。通過質量部50、52、54、56，從而能夠提高對施加到物理量檢測裝置100上的加速度的檢測靈敏度。用于對質量部50進行固定的接合部件62被設置在可動部13的第二固定部16a上，用于對質量部52進行固定的接合部件62被設置在可動部13的第二固定部16b上。即，質量部50被固定在第二固定部16a上，質量部52被固定在第二固定部16b上。作為接合部件62，例如使用硅樹脂類的熱固化型粘合劑。從抑制熱應力的觀點出發(fā)，優(yōu)選為，接合部件62以對可動部13及質量部50、52、54、56的一部分的范圍進行粘合的方式而被涂覆。另外，雖然沒有圖示，但是可以將用于對質量部54進行固定的接合部件62設置于，在俯視觀察時與第二固定部16a重疊的位置處，將用于對質量部56進行固定的接合部件62設置于，在俯視觀察時與第二固定部16b重疊的位置處。此外，雖然沒有圖示，但是質量部50、52可以通過一體地被形成，從而構成一個質量部。在這種情況下,設置有一個固定有質量部的第二固定部。同樣,質量部54、56可以通過一體地被形成，從而構成一個質量部。此外，也可以不設置主面13b側的質量部54、56。接下來，對物理量檢測裝置100的動作進行說明。圖5及圖6為用于說明物理量檢測裝置100的動作的剖視圖。如圖5所示，當向物理量檢測裝置100施加箭頭標記α I方向的(+Z軸方向的)力口速度時，將在可動部13上向-Z軸方向作用有力，從而可動部13將以連接部12為支點而向-Z軸方向發(fā)生位移。由此，在物理量檢測元件40上，施加有使基座部42a和基座部42b沿著Y軸而相互遠離的方向上的力，從而在振動梁部41a、41b上產生牽拉應力。因此，振動梁部41a、41b的振動頻率(共振頻率)增高。另一方面，如圖6所示，當向物理量檢測裝置100施加箭頭標記α 2方向的(-Z軸方向的)加速度時，將在可動部13上向+Z軸方向作用有力，從而可動部13以連接部12為支點而向+Z軸方向發(fā)生位移。由此，在物理量檢測元件40上，施加有使基部42a和基部42b沿著Y軸而相互靠近的方向上的力，從而在振動梁部41a、41b上產生壓縮應力。因此，振動梁部41a、41b的共振頻率降低。在物理量檢測裝置100中，對如上文所述的物理量檢測元件40的共振頻率的變化進行檢測。更具體而言，施加到物理量檢測裝置100上的加速度通過根據上述所檢測出的共振頻率的變化的比例，而轉換為由查找表等所確定的數值，從而被導出。另外，在將物理量檢測裝置100用于傾斜儀中時，根據傾斜的姿態(tài)的變化，對傾斜儀施加重力加速度的方向將發(fā)生變化，從而在振動梁部41a、41b上產生牽拉應力或壓縮應力。并且,振動梁部41a、41b的共振頻率發(fā)生變化。此外，雖然在上述的示例中，對作為物理量檢測元件40而使用了所謂的雙音叉元件的示例進行了說明，但是只要共振頻率根據可動部13的位移而發(fā)生變化，則物理量檢測元件40的方式不特別地被限定。此外，雖然在上述的示例中，物理量檢測元件40被設置在可動部13的主面13a側，但是物理量檢測元件40也可以被設置在主面13a側及主面13b側這兩個面上。第一實施方式所涉及的物理量檢測裝置100例如具有以下的特征。根據物理量檢測裝置100，可動部13具有:與線段LI交叉的切口部20a，所述線段LI為，對固定有物理量檢測元件40的第一固定部14、和固定有質量部50的第二固定部16a進行連結的線段。而且，可動部13具有與線段L2交叉的切口部20b，所述線段L2為，對固定有物理量檢測元件40的第一固定部14、和固定有質量部52的第二固定部16b進行連結的線段。因此，即使因為可動部13與質量部50、52之間的熱膨脹系數之差，而在可動部13上(第二固定部16a、16b)上產生應力，也能夠通過切口部20a、20b而抑制該應力被傳遞到第一固定部14的情況。即，能夠抑制該應力向物理量檢測元件40傳遞的情況。其結果為，物理量檢測裝置100能夠具有較高的檢測靈敏度。此外，由于能夠抑制因熱膨脹系數之差而產生的應力向物理量檢測元件40傳遞的情況，因此物理量檢測裝置100能夠具有良好的溫度特性。根據物理量檢測裝置100，切口部20a、20b以從可動部13的一個主面13a貫穿至另一個主面13b的方式而形成。因此，與例如切口部是有底的情況相比，能夠抑制應力(因可動部13與質量部50、52之間的熱膨脹系數之差而產生的應力)向物理量檢測元件40的情況。根據物理量檢測裝置100，切口部20a、20b被設置在不與物理量檢測元件40重疊的位置上。因此，在物理量檢測裝置100中，能夠通過切口部20a、20b，來抑制物理量檢測元件40的靈敏度下降的情況。根據物理量檢測裝置100，雖然在使用熱固化型粘合劑以作為接合部件62時，由于熱固化型粘合劑固化而發(fā)生收縮，從而有時會在可動部13上(在第二固定部16a、16b上)產生應力，但是通過切口部20a、20b，能夠抑制該應力經由第一固定部14而被傳遞至物理量檢測元件40的情況。另外，雖然未圖示，但是可以采用如下方式，S卩，封裝件固定部34設置有兩個以上(例如，四個)，并且物理量檢測裝置100的重心位于被四個封裝件固定部所包圍的范圍內。由此，物理量檢測裝置100能夠在不向任一方向傾斜(不發(fā)生扭曲)的條件下，以穩(wěn)定的姿態(tài)被固定在封裝件等的外部部件上。例如，當通過施加加速度而使可動部發(fā)生了位移時，如果在物理量檢測裝置上產生扭曲，則存在加速度的檢測靈敏度降低的問題。此外，還存在如下的問題，即，由于扭曲而使物理量檢測裝置產生損壞，從而導致可靠性降低的問題。在重心位于被多個(例如四個)封裝件固定部所包圍的范圍內的物理量檢測裝置100中，由于如上文所述能夠抑制扭曲，因此能夠消除這種問題。1.2.改變例1.2.1.第一改變例接下來，參照附圖對第一實施方式的第一改變例所涉及的物理量檢測裝置進行說明。圖7為概要地表示第一實施方式的第一改變例所涉及的物理量檢測裝置110的剖視圖，且與圖4相對應。下面，在物理量檢測裝置110中，對于具有與上述的物理量檢測裝置100的結構部件相同的功能的部件，標記相同的符號，并且省略其詳細的說明。在物理量檢測裝置100的示例中，如圖4所示，切口部20a、20b以從可動部13的一個主面13a貫穿至另一個主面13b的方式而形成。與此相對，在物理量檢測裝置110中，如圖7所示，切口部20a、20b未從可動部13的一個主面13a貫穿至另一個主面13b，而是有底的切口部。S卩，切口部20a、20b可以具有底部。在圖示的示例中，切口部20a、20b被形成在主面13a側，在與主面13a相反的一側的主面13b上，形成有有底的切口部21a、21b。切口部21a、21b可以為與切口部20a、20b相同的形狀，且被設置于，在俯視觀察時與切口部20a、20b重疊的位置處。另外，雖然沒有圖示，但是可以不設置主面13b側的切口部 21a、21b。根據物理量檢測裝置110，由于切口部20a、20b有底，因此與物理量檢測裝置100相比，能夠提高可動部13的剛性。因此，在向物理量檢測裝置110施加了加速度時，可動部13能夠在不發(fā)生扭曲的條件下，而更加穩(wěn)定地進行動作。1.2.2.第二改變例接下來，參照附圖對第一實施方式的第二改變例所涉及的物理量檢測裝置進行說明。圖8為概要地表示第一實施方式的第二改變例所涉及的物理量檢測裝置120的俯視圖。下面，在物理量檢測裝置120中，對于具有與上述的物理量檢測裝置100的結構部件相同的功能的部件，標記相同的符號，并且省略其詳細的說明。在物理量檢測裝置100的示例中，如圖2所示，切口部20a、20b為，從可動部13的側面13e起沿著Y軸而向連接部12側延伸的形狀。與此相對，在物理量檢測裝置120中，如圖8所示，切口部20a為如下的形狀，SP，具有從側面13e起沿著Y軸而向連接部12側延伸的部分、和從該部分起沿著X軸而向側面13c側延伸的部分。切口部20b為如下的形狀，S卩，具有從側面13e起沿著Y軸而向連接部12側延伸的部分、和從該部分起沿著X軸而向側面13d側延伸的部分。即，切口部20a、20b具有大致L字狀的平面形狀。根據物理量檢測裝置120，與物理量檢測裝置100相同，能夠通過切口部20a、20b來抑制應力向物理量檢測元件40傳遞的情況。另外，只要切口部20a、20b以不與物理量檢測元件40重疊的方式而與線段L1、L2交叉設置，且與連接部12分離，則其形狀并不被特別地限定。1.2.3.第三改變例接下來，參照附圖對第一實施方式的第三改變例所涉及的物理量檢測裝置進行說明。圖9為概要地表示第一實施方式的第三改變例所涉及的物理量檢測裝置130的俯視圖。下面，在物理量檢測裝置130中，對于具有與上述的物理量檢測裝置100的結構部件相同的功能的部件，標記相同的符號，并且省略其詳細的說明。在物理量檢測裝置130中，如圖9所示，可動部13具有開口部24a、24b。在這一點上，物理量檢測裝置130與圖2所示的物理量檢測裝置100不同。開口部24a的至少一部分被設置在可動部13的第二腳部17a內。在圖示的示例中，開口部24a完全被設置在第二腳部17a內。開口部24a以與第二固定部16a分離的方式而設置，并且被形成在，與第二固定部16a相比，靠連接部12側且第一腳部15側(切口部20a側)的位置處。第二腳部17a可以具有被設置在開口部24a與切口部20a之間的第一梁部18a、和被設置在開口部24a與間隙32a之間的第二梁部19a。也可以說，第二梁部19a被設置在，開口部24a與可動部13的側面13c(可動部13的在俯視觀察時沿著Y軸的側面(可動部13的沿著與旋轉軸方向交叉的方向的側面))之間。梁部18a、19a沿著Y軸而被設置，并且第二梁部19a的Y軸方向上的長度A2短于第一梁部18a的Y軸方向上的長度Al。梁部18a、19a例如為第二腳部17a的連接根部的部分，且具有固定的寬度的部分(X軸方向上的長度固定的部分)。在圖示的示例中，第二固定部16a被設置在，切口部20a側和間隙32a側中的靠間隙32a側。S卩，第二固定部16a沿著X軸而被設置在,第一梁部18a和第二梁部19a中的靠第二梁部19a側。因為第二梁部19a的Y軸方向上的長度A2短于第一梁部18a的Y軸方向上的長度Al，所以第二梁部19a的剛性高于第一梁部18a的剛性。S卩，第一梁部18a的剛性低于第二梁部19a的剛性，從而在第二腳部17a上，于與第二固定部16a相比靠連接部12側的位置處，沿著X軸(沿著可動部13的旋轉軸方向)而存在剛性差。開口部24b的至少一部分被設置在可動部13的第二腳部17b內。在圖示的示例中，開口部24b完全被設置在第二腳部17b內。開口部24b以與第二固定部16b分離的方式而設置，且被形成在，與第二固定部16b相比靠連接部12側且第一腳部15側(切口部20b偵D的位置處。 第二腳部17b可以具有被設置在開口部24b與切口部20b之間的第一梁部18b、和被設置在開口部24b與間隙32b之間的第二梁部19b。也可以說，第二梁部19b被設置在，開口部24b與可動部13的側面13d (可動部13的在俯視觀察時沿著Y軸的側面)之間。第一梁部18b、第二梁部19b沿著Y軸而設置，且第二梁部19b的Y軸方向上的長度B2短于第一梁部18b的Y軸方向上的長度BI。第一梁部18b、第二梁部19b例如為第二腳部17b的連接根部的部分，且具有固定的寬度的部分(X軸方向上的長度固定的部分)。在圖示的示例中，第二固定部16b被設置在，切口部20b側與間隙32b側中的靠間隙32b側。S卩，第二固定部16b沿著X軸而被設置在，第一梁部18b和第二梁部19b中的靠第二梁部191^則。因為第二梁部19b的Y軸方向上的長度B2短于第一梁部18b的Y軸方向上的長度BI，所以第二梁部19b的剛性高于第一梁部18b的剛性。S卩，第一梁部18b的剛性低于第二梁部19b的剛性，從而在第二腳部17b上，于與第二固定部16b相比靠連接部12側的位置處，沿著X軸而存在剛性差。根據物理量檢測裝置130，即使因可動部13與質量部50、52之間的熱膨脹系數的差，而在可動部13上(在第二固定部16a、16b上)產生了應力，也能夠通過開口部24a、24b而更進一步抑制該應力被傳遞至物理量檢測元件40的情況。根據物理量檢測裝置130，開口部24a與間隙32a之間的第二梁部19a，與開口部24a和切口部20a之間的第一梁部18a相比，在Y軸方向上的長度較短。同樣，開口部24b與間隙32b之間的第二梁部19b，與開口部24b和切口部20b之間的第一梁部18b相比，在Y軸方向上的長度較短。因此，第二梁部19a的剛性高于第一梁部18a的剛性，且第二梁部19b的剛性高于第一梁部18b的剛性。因此，尤其在將固定有質量部50的第二固定部16a形成在切口部20a側與間隙32a側中的靠間隙32a側，且將固定有質量部52的第二固定部16b形成在切口部20b側與間隙32b側中的靠間隙32b側的情況下，在物理量檢測裝置130中，能夠提高可動部13在第二固定部16a、16b附近的剛性。由此，能夠抑制在可動部13上產生的扭曲，從而能夠抑制加速度的檢測靈敏度降低的情況。即，為了在檢測加速度時、檢測傾斜角時等的時候，更加有效地抑制扭曲，優(yōu)選為，例如圖9所示那樣，使第二固定部16a、16b沿著可動部13的旋轉軸(沿著X軸)而分別靠近第一梁部18a、18b和第二梁部19a、19b 中的第二梁部 19a、19b。

在此，通常情況下，固定有質量部的固定部附近的可動部在通過施加有加速度而使可動部發(fā)生了位移時，容易由于質量部而產生扭曲。當可動部上產生扭曲時,有時會產生加速度的檢測靈敏度降低的問題。
但是，在物理量檢測裝置130中，如上文所述，由于第二梁部19a、19b與第一梁部18a、18b相比，在Y軸方向上的長度較短，因此與例如第二梁部較之于第一梁部，在Y軸方向上的長度較長的情況相比，能夠提高第二梁部19a、19b的剛性。因此，例如圖9所示那樣，在使第二固定部16a、16b沿著X軸而分別靠近第一梁部18a、18b和第二梁部19a、19b中的第二梁部19a、19b的情況下，能夠提高可動部13在第二固定部16a、16b附近的剛性。其結果為，能夠抑制在可動部13上產生扭曲的情況。此外，例如圖9所示那樣，在使第二固定部16a、16b沿著X軸而分別靠近第一梁部18a、18b和第二梁部19a、19b中的第二梁部19a、19b的情況下，由于能夠以將第二固定部16a、16b的固定面積擴大與如下部分相對應的面積的方式而構成，所述部分為，使第二梁部19a、19b的Y軸方向上的長度與第一梁部18a、18b的Y軸方向上的長度相比縮短的部分，因此能夠牢固地保持質量部50、52。另外，開口部24a、24b可以以從可動部13的一個主面13a貫穿至另一個主面13b的方式而設置。由此，能夠更加可靠地抑制應力向物理量檢測元件40傳遞的情況。此外，開口部24a、24b也可以不從主面13a貫穿至另一個主面13b，而是有底的開口部。由此，能夠進一步提聞可動部13的剛性。此外，開口部24a、24b既可以以與線段L1、L2分離的方式而設置，也可以以與線段L1、L2交叉的方式而設置。2.第二實施方式2.1.物理量檢測裝置接下來，參照附圖對第二實施方式所涉及的物理量檢測裝置進行說明。圖10為概要地表示第二實施方式所涉及的物理量檢測裝置200的立體圖。圖11為概要地表示第二實施方式所涉及的物理量檢測裝置200的俯視圖。圖12為概要地表示第二實施方式所涉及的物理量檢測裝置200的、沿著圖11中的XI1-XII線的剖視圖。另外，為了方便說明，在圖11及后述的圖14中，以透視的方式對質量部50、52、54、56進行了圖示。此外，在圖12中，僅對可動部13進行了圖示。下面，在物理量檢測裝置200中，對于具有與上述的物理量檢測裝置100的結構部件相同的功能的部件，標記相同的符號，并且省略其詳細的說明。在物理量檢測裝置100的示例中，如圖2所示那樣，可動部13具有與線段L1、L2交叉的切口部20a、20b。與此相對，在物理量檢測裝置200中，如圖10及圖11所示那樣，可動部13具有與線段L1、L2交叉的孔部222a、222b。更具體而言，孔部222a與線段LI交叉，孔部222b與線段L2交叉?？撞?22a、222b與可動部13的側面13c、13d、13e以及連接部12分離?？撞?22a、222b被設置于，在俯視觀察時不與物理量檢測元件40重疊的位置處。雖然孔部222a、222b的形狀并不特別地被限定，但是在圖示的示例中為矩形?？撞?22a、222b如圖12所示那樣，以從可動部13的一個主面13a貫穿至另一個主面13b的方式而設置。第二實施方式所涉及的物理量檢測裝置200例如具有以下的特征。根據物理量檢測裝置200，即使因可動部13與質量部50、52之間的熱膨脹系數之差，而在可動部13上(在第二固定部16a、16b上)產生了應力，也能夠通過孔部222a、222b來抑制該應力被傳遞至第一固定部14的情況。即，與物理量檢測裝置100相同，能夠抑制應力向物理量檢測元件40傳遞的情況。其結果為，物理量檢測裝置200能夠具有較高的檢測靈敏度。根據物理量檢測裝置200，孔部222a、222b以從可動部13的一個主面13a貫穿至另一個主面13b的方式而形成。因此，與例如孔部是有底的情況相比，能夠抑制應力(因可動部13與質量部50、52之間的熱膨脹系數之差而產生的應力)向物理量檢測元件40傳遞的情況。根據物理量檢測裝置200，孔部222a、222b被設置在不與物理量檢測元件40重疊的位置處。因此，在物理量檢測裝置200中，能夠通過孔部222a、222b來抑制物理量檢測元件40的靈敏度降低的情況。2.2.改變例2.2.1.第一改變例接下來，參照附圖對第二實施方式的第一改變例所涉及的物理量檢測裝置進行說明。圖13為概要地表示第二實施方式的第一改變例所涉及的物理量檢測裝置210的剖視圖，且與圖12相對應。下面，在物理量檢測裝置210中，對于具有與上述的物理量檢測裝置200的結構部件相同的功能的部件，標記相同的符號，并且省略其詳細的說明。在物理量檢測裝置200的示例中，如圖12所示那樣，孔部222a、222b以從可動部13的一個主面13a貫穿至另一個主面13b的方式而形成。與此相對，在物理量檢測裝置210中，如圖13所示那樣，孔部222a、222b未從可動部13的一個主面13a貫穿至另一個主面13b，而是具有底部。S卩，孔部222a、222b可以具有底部。在圖示的示例中，孔部222a、222b被形成在主面13a側，在主面13a的相反側的主面13b上，形成有有底的孔部223a、223b。孔部223a、223b可以為與孔部222a、222b相同形狀，且被設置于，在俯視觀察時與孔部222a、222b重疊的位置處。另外，雖然未進行圖示，但是可以不設置主面13b側的孔部223a、223b。根據物理量檢測裝置210，由于孔部223a、223b是有底的，因此與物理量檢測裝置200相比，能夠提高可動部13的剛性。因此，在向物理量檢測裝置210施加了加速度時，可動部13能夠在不發(fā)生扭曲的條件下，而更加穩(wěn)定地進行動作。2.2.2.第二改變例接下來，參照附圖對第二實施方式的第二改變例所涉及的物理量檢測裝置進行說明。圖14為概要地表示第二實施方式的第二改變例所涉及的物理量檢測裝置220的俯視圖。下面，在物理量檢測裝置220中，對于具有與上述的物理量檢測裝置200的結構部件相同的功能的部件，標記相同的符號，并且省略其詳細的說明。在物理量檢測裝置220中，如圖14所示那樣，可動部13具有多個開口部224a、224b。在這一點上，物理量檢測裝置220與圖11所示的物理量檢測裝置200不同。在物理量檢測裝置220中，第二固定部16a被與線段LI交叉的孔部222a、以及多個開口部224a所包圍。可動部13具有通過孔部222a及多個開口部224a而被規(guī)定了形狀的支承部226a。支承部226a被設置在，相鄰的開口部224a之間、以及開口部224a與孔部222a之間。第二固定部16a被支承部226a所支承。在圖示的示例中，設置有三個開口部224a，且設置有四個支承部226a。第二固定部16b被與線段L2交叉的孔部222b、以及多個開口部224b所包圍。可動部13具有通過孔部222b及多個開口部224b而被規(guī)定了形狀的支承部226b。支承部226b被設置在，相鄰的開口部224b之間、以及開口部224b與孔部222b之間。第二固定部16b被支承部226b所支承。在圖示的示例中，設置有三個開口部224b，且設置有四個支承部 226b ο開口部224a、224b與可動部13的側面13c、13d、13e及連接部12分離，且被形成于，在俯視觀察時不與物理量檢測元件40重疊的位置處。開口部224a、224b既可以以從可動部13的一個主面13a貫穿至另一個主面13b的方式而設置，也可以不從主面13a貫穿至另一個主面13b，而是有底的開口部。支承部226a、226b為彎曲了的形狀。支承部226a、226b可以具有彈性。根據物理量檢測裝置220，即使因為可動部13與質量部50、52之間的熱膨脹系數之差，而在可動部13上(在第二固定部16a、16b上)產生了應力，也因為第二固定部16a、16b被多個開口部224a、224b所包圍，所以能夠更進一步抑制該應力被傳遞至第一固定部14的情況。根據物理量檢測裝置220，第二固定部16a、16b被具有彎曲了的形狀的支承部226a、226b所支承。支承部226a、226b可以具有彈性。因此，即使因可動部13與質量部50、52之間的熱膨脹系數之差，而在可動部13上(在第二固定部16a、16b上)產生了應力，也能夠在該應力被傳遞至第一固定部14之前，通過支承部226a、226b來緩和該應力。另外，在第二固定部16a、16b可以上形成有凹部，所述凹部通過對可動部13進行半蝕刻而形成。并且，接合部件62可以被配置在該凹部內。由此，能夠抑制接合部件62從預定的位置溢出的情況。2.2.3.第三改變例接下來，參照附圖對第二實施方式的第三改變例所涉及的物理量檢測裝置進行說明。圖15為概要地表示第二實施方式的第三改變例所涉及的物理量檢測裝置230的俯視圖。下面，在物理量檢測裝置230中，對于具有與上述的物理量檢測裝置200的結構部件相同的功能的部件，標記相同的符號，并且省略其詳細的說明。在物理量檢測裝置200的示例中，如圖11所示那樣，在可動部13的主面13a上固定有兩個質量部50、52。與此相對，在物理量檢測裝置230中，如圖15所示那樣，在可動部13的主面13a上固定有一個質量部250。另外，為了方便說明，在圖15中，以透視的方式對質量部250進行了圖示。雖然質量部250的形狀沒有特別地被限定，但是在圖示的示例中，具有從側面13e側起避開物理量檢測元件40而以兩叉形狀延伸至連接部12附近的、大致U字狀的平面形狀。作為質量部250的材質，可以列舉出例如Cu、Au等的金屬?？蓜硬?3具有孔部222?？撞?22以與線段L3 (假想的線段L3)交叉的方式而被設置，所述線段L3為，對經由接合部件60而固定有物理量檢測元件40的基座部42b的第一固定部14、和經由接合部件62而固定有質量部250的第二固定部16進行連結的線段。更具體而言，線段L3為連結第一固定部14的中心01、和第二固定部16的中心04的線段?？撞?22與可動部13的側面13c、13d、13e以及連接部12分離，且被形成于，在俯視觀察時不與物理量檢測元件40重疊的位置處。雖然孔部222的平面形狀沒有特別地被限定，但是在圖示的示例中為，從側面13e側起避開物理量檢測元件40的基座部42b而以兩叉形狀延伸至振動梁部41a、41b附近的形狀。根據物理量檢測裝置230，與物理量檢測裝置200相同，能夠抑制應力向物理量檢測元件40傳遞的情況。另外，雖然沒有進行圖示，但是可以在可動部13的主面13b(主面13a的相反側的主面)上，固定有與質量部250相同的形狀的質量部。此外，孔部222既可以以從可動部13的一個主面13a貫穿至另一個主面13b的方式而設置，也可以不從主面13a貫穿至另一個主面13b，而是有底的孔部。3.第三實施方式接下來，參照附圖對第三實施方式所涉及的物理量檢測器進行說明。圖16為概要地表示第三實施方式所涉及的物理量檢測器300的俯視圖。圖17為概要地表示第三實施方式所涉及的物理量檢測器300的、沿著圖16中的XVI 1-XVII線的剖視圖。另外，為了方便說明，在圖16中，以透視的方式對質量部50、52、54、56進行了圖示。如圖16及圖17所示，物理量檢測器300包括本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置、和封裝件310。下面，對作為本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置而使用了物理量檢測裝置100的示例進行說明。封裝件310對物理量檢測裝置100進行收納。封裝件310可以具有封裝件基座320、和蓋體330。另外，在圖16中，為了方便說明，省略了蓋體330的圖示。在封裝件基座320上形成有凹部321，在凹部321內配置有物理量檢測裝置100。封裝體基座320的平面形狀只要是能夠將物理量檢測裝置100配置在凹部321內，則并不特別地被限定。作為封裝件基座320，使用例如對陶瓷生片進行成形、層壓并燒成而得到的氧化鋁質燒結體、水晶、玻璃、硅等的材料。封裝件基座320可以具有從封裝件基座320的內底面(凹部的內側的底面)322向蓋體330側突出的高低差部323。高低差部323例如沿著凹部321的內壁而設置。在高低差部323上設置有內部端子340、342。內部端子340、342被設置在，與外部連接端子49a、49b相對置的位置(在俯視觀察時重疊的位置)處，所述外部連接端子49a、49b被設置在物理量檢測裝置100的框部30上。例如，外部連接端子49a與內部端子340電連接，外部連接端子49b與內部端子342電連接。在封裝件基座320的外底面(內底面322的相反側的面)324上，設置有外部端子344、346，所述外部端子344、346在被安裝于電子設備等的外部部件上時被使用。外部端子344、346經由未圖示的內部配線而與內部端子340、342電連接。例如，外部端子344與內部端子340電連接，外部端子346與內部端子342電連接。內部端子340、342及外部端子344、346由通過電鍍等的方法將N1、Au等的被膜層壓在W等的金屬噴鍍層上而得到的金屬膜構成。
在封裝件基座320上，于凹部321的底部處設置有對封裝件310的內部(空腔)進行密封的密封部350。密封部350被配置在貫穿孔325內，所述貫穿孔325被形成在封裝件基座320上。貫穿孔325從外底面324貫穿至內底面322。在圖示的示例中，貫穿孔325具有外底面324側的孔徑大于內底面322側的孔徑的、帶有階梯的形狀。密封部350通過將例如由Au/Ge合金、焊錫等構成的密封材料配置在貫穿孔325內，并且在加熱熔融后使其固化而形成。密封部350為對封裝件310的內部進行氣密密封的結構?？虿?0的封裝件固定部34經由接合部件64而被固定在封裝件基座320的高低差部323上。由此，物理量檢測裝置100被安裝在封裝件基座320上，并被收納于封裝件310內。通過將封裝件固定部34固定在高低差部323上，從而被設置在封裝件固定部34上的外部連接端子49a、49b、和被設置在高低差部323上的內部端子340、342經由接合部件64而電連接。作為接合部件64，例如使用混合有金屬填料等的導電性物質的硅樹脂類的導電性粘合劑。蓋體330以覆蓋封裝件基座320的凹部321的方式而設置。蓋體330的形狀例如為板狀。作為蓋體330，例如使用與封裝件基座320相同的材料、或科瓦鐵鎳鈷合金、42合金、不銹鋼等的金屬。蓋體330經由例如接縫圈、低熔點玻璃、粘合劑等的接合部件332，而與封裝件基座320相接合。通過在將蓋體330接合在封裝件基座320上之后，封裝件310的內部被減壓了的狀態(tài)(真空度較高的狀態(tài))下，將密封材料配置在貫穿孔325內，并在加熱熔融后使其固化，來形成密封部350，從而能夠對封裝件310內進行氣密密封。封裝件310的內部也可以填充有氮氣、氦氣、氬氣等的惰性氣體。當在物理量檢測器300中，當經由外部端子344、346、內部端子340、342、外部連接端子49a、49b、連接端子46a、46b等，而向物理量檢測元件40的激勵電極施加驅動信號時，物理量檢測元件40的振動梁部41a、41b將以預定的頻率進行振動(共振)。并且，物理量檢測器300能夠將根據所施加的加速度而發(fā)生變化的物理量檢測元件40的共振頻率作為輸出信號而輸出。根據物理量檢測器300，包括物理量檢測裝置100，所述物理量檢測裝置100能夠抑制應力向物理量檢測元件40傳遞的情況。因此，物理量檢測器300能夠具有較高的檢測靈敏度。另外，雖然沒有圖示，但是配置有物理量檢測裝置100的凹部既可以被形成在封裝件基座320及蓋體330雙方上，也可以僅被形成在蓋體330上。4.第四實施方式接下來，對第四實施方式所涉及的電子設備進行說明。下面，參照附圖對作為第四實施方式所涉及的電子設備的、包括本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置(在下面的示例中為物理量檢測裝置100)的傾斜儀進行說明。圖18為概要地表示第四實施方式所涉及的傾斜儀400的立體圖。如圖18所示,傾斜儀400包括物理量檢測裝置100以作為傾斜傳感器。傾斜儀400例如被設置在山的斜面、道路的坡面、堤壩的護墻面等的被測量部位處。傾斜儀400通過電纜410而從外部被供給電源，或將電源內置，并通過未圖示的驅動電路而向物理量檢測裝置100發(fā)送驅動信號。并且，傾斜儀40通過未圖示的檢測電路，從而根據對應于被施加到物理量檢測裝置100上的重力加速度而發(fā)生變化的共振頻率，來對傾斜儀400的姿態(tài)的變化(對傾斜儀400施加重力加速度的方向的變化)進行檢測，并將該變化換算成角度，且通過例如無線電等而向基站進行數據轉送。由此，傾斜儀400能夠有助于異常的早期發(fā)現(xiàn)。根據傾斜儀400，包括物理量檢測裝置100，所述物理量檢測裝置100能夠抑制應力向物理量檢測元件40傳遞的情況。因此，傾斜儀400能夠具有較高的檢測靈敏度。本發(fā)明所涉及的物理量檢測裝置并不限于上述的傾斜儀，能夠作為地震儀、導航裝置、姿態(tài)控制裝置、游戲控制器、移動電話等的加速度傳感器、傾斜傳感器等而恰當地被使用，并且在任一情況下，均能夠提供一種起到在上述實施方式及改變例中所說明的效果的電子設備。上述的實施方式及改變例為一個示例，并不限定于這些方式及改變例。例如，還能夠對各個實施方式及各個改變例進行適當組合。本發(fā)明包括與在實施方式中所說明的結構實質性相同的結構(例如，功能、方法及結果相同的結構、或者目的及效果相同的結構)。此外，本發(fā)明包括對在實施方式中所說明的結構的非本質的部分進行置換后的結構。此外，本發(fā)明包括起到了與在實施方式中所說明的結構相同的作用效果的結構、或者能夠達成相同的目的的結構。此外，本發(fā)明包括在實施方式中所說明的結構中追加了公知技術的結構。符號說明10 基部;10a、10b 主面；12 連接部；12a、12b 槽部；13可動部；13a、13b主面；13c 13e側面；14第一固定部；15第一腳部；16、16a、16b第二固定部；17a、17b 第二腳部；18a、18b 第一梁部；19a、19b 第二梁部；20a、20b 切 口部；21a、21b 切 口部；24a、24b 開 口部；30框部；31a 31c延伸部；32a 32c間隙；34封裝件固定部；40物理量檢測元件；41a、41b振動梁部；42a、42b基座部；44a、44b引出電極；46a、46b連接端子；48金屬線；49a、49b外部連接端子；50 56質量部；60 64接合部件；100 130物理量檢測裝置；200 230物理量檢測裝置；222、222a、222b孔部；223a,223b 孔部 224a、224b 開口部；226a、226b 支承部；250質量部；300物理量檢測器；310封裝件；320封裝件基座；321凹部；322內底面；323高低差部；324外底面；325貫穿孔；330蓋體；332接合部件；340,342內部端子；344、346外部端子；350密封部；400傾斜儀；410電纜。
權利要求
1.一種物理量檢測裝置，包括: 基部; 可動部，其經由連接部而被設置在所述基部上，并根據物理量的變化而發(fā)生位移； 物理量檢測元件，其以跨接所述基部與所述可動部的方式而被固定； 質量部，其被固定在所述可動部上， 所述可動部包括: 第一固定部，其上固定有所述物理量檢測元件； 第二固定部，其上固定有所述質量部； 切口部，其與所述連接部分離，且具有如下的切口形狀，即，從所述可動部的側面起到達至與連結所述第一固定部和所述第二固定部的線段交叉的部位處的切口形狀。
2.按權利要求1所述的物理量檢測裝置，其中， 所述切口部以從所述可動部的一個主面貫穿至另一個主面的方式而被設置。
3.按權利要求1所述的物理量檢測裝置，其中， 所述切口部是有底的。
4.按權利要求1至權利要求3中任一項所述的物理量檢測裝置，其中， 所述切口部被設置于，在 俯視觀察時不與所述物理量檢測元件重疊的位置處。
5.按權利要求1至權利要求3中任一項所述的物理量檢測裝置，其中， 所述切口部包括在與所述可動部的旋轉軸方向交叉的方向上延伸的結構， 通過所述切口部，從而設置有具有所述第一固定部的第一腳部、和具有所述第二固定部的第二腳部， 在所述第二腳部上，于與所述第二固定部相比靠所述連接部側的位置處，沿著所述旋轉軸方向而存在剛性差， 所述第二腳部的剛性在所述第一腳部側較低。
6.按權利要求5所述的物理量檢測裝置，其中， 所述第二腳部在與所述第二固定部相比靠所述連接部側的位置處，包含開口部。
7.按權利要求5所述的物理量檢測裝置，其中， 所述第二腳部具有: 第一梁部，其被設置在所述開口部與所述切口部之間； 第二梁部，其被設置在所述開口部、與所述可動部中的沿著與所述旋轉軸方向交叉的方向的側面之間， 所述第一梁部的剛性低于所述第二梁部的剛性。
8.一種物理量檢測裝置，包括: 基部; 可動部，其經由連接部而被設置在所述基部上，并根據物理量的變化而發(fā)生位移； 物理量檢測元件，其以跨接所述基部與所述可動部的方式而被固定； 質量部，其被固定在所述可動部上， 所述可動部包括: 第一固定部，其上固定有所述物理量檢測元件； 第二固定部，其上固定有所述質量部；孔部，其與所述連接部分離，且與連結所述第一固定部和所述第二固定部的線段交叉。
9.按權利要求8所述的物理量檢測裝置，其中，所述孔部以從所述可動部的一個主面貫穿至另一個主面的方式而被設置。
10.按權利要求8所述的物理量檢測裝置，其中，所述孔部是有底的。
11.按權利要求8至權利要求10中任一項所述的物理量檢測裝置，其中，所述孔部被設置于，在俯視觀察時不與所述物理量檢測元件重疊的位置處。
12.按權利要求8至權利要求10中任一項所述的物理量檢測裝置，其中，所述可動部具有多個開口部， 所述第二固定部被所述孔部及多個所述開口部所包圍，所述可動部具有通過所述孔部及多個所述開口部而被規(guī)定了形狀的支承部，所述第二固定部被所述支承部所支承。
13.一種物理量檢測器,包括:權利要求1至權利要求3、權利要求8至權利要求10中任一項所述的物理量檢測裝置；封裝件，其對所述物理量檢測裝置進行收納。
14.一種電子設備,包括:權利要求1至權利要求3、權利要求8至權利要求10中任一項所述的物理量檢測裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種物理量檢測裝置、物理量檢測器及電子設備，其能夠抑制應力向物理量檢測元件傳遞的情況。物理量檢測裝置(100)包括基部(10)；可動部(13)，其經由連接部(12)而被設置在基部(10)上，并根據物理量的變化而發(fā)生位移；物理量檢測元件(40)，其以跨接基部(10)與可動部(13)的方式而被固定；質量部(50、52)，其被固定在可動部(13)上，可動部(13)包括第一固定部(14)，其上固定有物理量檢測元件(40)；第二固定部(16a、16b)，其上固定有質量部(50、52)；切口部(20a、20b)，其與連接部(12)分離，且具有從可動部(13)的側面(13e)起到達至與連結第一固定部(14)和第二固定部(16a、16b)的線段(L1、L2)交叉的部位處的切口形狀。
文檔編號G01P15/00GK103091509SQ201210440050
公開日2013年5月8日 申請日期2012年11月6日 優(yōu)先權日2011年11月7日
發(fā)明者渡邊潤 申請人:精工愛普生株式會社