專利名稱：一種雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于固體熱導(dǎo)率測(cè)試技術(shù)，涉及超短激光脈沖抽運(yùn)探測(cè)技術(shù)，尤其涉及一種雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
薄膜材料已廣泛地運(yùn)用于微電子、光電子等領(lǐng)域，而這些微器件在工作時(shí)將產(chǎn)生極高的熱流密度，熱堆積將直接影響到此類器件的工作效率以及可靠性。解決上述微器件散熱問(wèn)題極為迫切，這需要對(duì)組成上述微器件的薄膜材料熱輸運(yùn)性質(zhì)進(jìn)行準(zhǔn)確表征，以便揭示其熱輸運(yùn)機(jī)理。在研究超快熱力學(xué)過(guò)程，常常需要借助超短脈沖激光抽運(yùn)-探測(cè)技術(shù)。在傳統(tǒng)的超短激光脈沖抽運(yùn)探測(cè)系統(tǒng)中，一般用一束水平(或垂直)的激光抽運(yùn)，用另外一束偏振方向恰好相反的光束探測(cè)，兩束光以一定夾角入射，或者兩束光共線入射，因此需要加入非線性晶體實(shí)現(xiàn)抽運(yùn)光與探測(cè)光的分離；用光電探測(cè)器接收探測(cè)光，將信號(hào)傳輸給鎖相放大器。然而，現(xiàn)有的非線性晶體的光消除效率僅為10_3至10_4，信噪比極低?，F(xiàn)有技術(shù)中由于單波長(zhǎng)抽運(yùn)探測(cè)系統(tǒng)的低信噪比，則對(duì)抽運(yùn)光與探測(cè)光的光路系統(tǒng)要求極高，使得系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜和操作不方便。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，包括偏振輸出脈沖激光器，用于輸出偏振的脈沖激光；第一波片，用于接收偏振輸出脈沖激光器輸出的脈沖激光，并將該脈沖激光的偏振方向旋轉(zhuǎn)；第一分光器件，用于將偏振方向旋轉(zhuǎn)的脈沖激光分成偏振方向互相垂直的兩激光束，該兩束激光分別為水平方向偏振的抽運(yùn)激光束和垂直方向偏振的探測(cè)激光束；電光調(diào)制器，接收并調(diào)制透射的水平方向偏振的激光束，并輸出調(diào)制激光束；第一反射鏡，接收并反射電光調(diào)制器透射的調(diào)制激光束，調(diào)節(jié)第一反射鏡的方向，將電光調(diào)制器透射的調(diào)制激光束偏轉(zhuǎn)；第一聚焦透鏡，接收并聚焦第一反射鏡反射的激光束；倍頻晶體，將第一聚焦透鏡聚焦的激光束生成二次諧波激光束；第二聚焦透鏡，接受并聚焦倍頻晶體投射的二次諧波激光束；第一濾光片，將第二聚焦透鏡透射的二次諧波激光束中未倍頻的激光濾除，形成抽運(yùn)光束； 擴(kuò)束器，用于實(shí)現(xiàn)探測(cè)光束直徑的擴(kuò)大；第二反射鏡，接受并反射被擴(kuò)束的探測(cè)激光束，調(diào)節(jié)第二反射鏡的方向，將被擴(kuò)束的探測(cè)激光束偏轉(zhuǎn)；
平行光反射鏡，接受第二反射鏡入射的探測(cè)激光束，并反射與入射的探測(cè)激光束平行的探測(cè)光束；電控位移平臺(tái)，由外部計(jì)算機(jī)控制沿著箭頭方向移動(dòng)，而且移動(dòng)方向與從第二反射鏡入射到平行光反射鏡的激光方向平行；第二波片，接收平行光反射鏡反射的激光束，用于使水平偏振的激光束的偏振方向發(fā)生旋轉(zhuǎn)，調(diào)節(jié)探測(cè)光束的功率；第二分光器件，接收偏振方向發(fā)生旋轉(zhuǎn)的水平偏振的激光束，用于輸出偏振方向水平的激光束；
冷光鏡，用于倍頻的抽運(yùn)光束與非倍頻的探測(cè)光束耦合為一束激光；
物鏡，用于聚焦抽運(yùn)光束與探測(cè)光束；固定調(diào)整架，用于物鏡聚焦的光束垂直入射到固定調(diào)整架上的待測(cè)量樣品表面；第三聚焦透鏡，接收并聚焦第二分光器件的垂直偏振的探測(cè)光束；第二濾光片，用于濾除第三聚焦透鏡透射的倍頻的抽運(yùn)光束；光電探測(cè)器，用于接收第二濾光片透射的探測(cè)光束；濾波放大器，與外部計(jì)算機(jī)連接，讀取從濾波放大器輸出的信號(hào)；用于濾除光電探測(cè)器輸出信號(hào)的高頻奇次諧波；第三波片，用于探測(cè)光束兩次通過(guò)第三波片時(shí)，偏振方向改變90度。所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，偏振輸出脈沖激光器是波長(zhǎng)為790nm到910nm的飛秒光纖激光器，重復(fù)頻率80MHz，功率I. 85W，脈沖寬度lOOfs。所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，第一波片和第二波片均采用二分之一波片；第三波片采用四分之一波片。所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，在45度角入射冷光鏡情況下，倍頻激光束全部反射，非倍頻激光束全部透射。所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，電光調(diào)制器的調(diào)制頻率800Hz到30MHz可調(diào)節(jié)，頻率由外部計(jì)算機(jī)控制，或用數(shù)據(jù)信號(hào)發(fā)生器輸出的信號(hào)外觸發(fā)工作。所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，電控位移平臺(tái)的精度lOOnm，掃描范圍60cm，對(duì)應(yīng)的光學(xué)延遲范圍4ns。所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，光電探測(cè)器是高速PIN 二 極管、雪崩二極管、光電倍增管或電荷耦合器件，響應(yīng)時(shí)間小于10ns。所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，倍頻晶體是BBO晶體或BIBO晶體，厚度為O. 5至1mm，邊長(zhǎng)5至IOmm的正方形，或者直徑為5到IOmm的圓形。所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，濾波放大器是由電感、BNC接頭及絕緣盒構(gòu)成。所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，第一濾光片對(duì)未倍頻激光束的透過(guò)率為10_7到10_9，第二濾光片對(duì)倍頻激光束的透過(guò)率為10_7到10Λ本發(fā)明的技術(shù)效果和優(yōu)點(diǎn)是本發(fā)明將抽運(yùn)光和探測(cè)光使用不同波長(zhǎng)的飛秒脈沖激光，通過(guò)冷光鏡合為一束共線光，在兩束激光到達(dá)探測(cè)器之前使用具有高選擇透過(guò)性的濾光片濾除抽運(yùn)光，避免抽運(yùn)光對(duì)信號(hào)的干擾，可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確高效的測(cè)量；使得操作更加簡(jiǎn)單；利用濾波放大器有效濾除高頻諧波的影響，有效提高信號(hào)的準(zhǔn)確度。


圖I是本發(fā)明實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。附 圖中主要部件說(shuō)明I偏振輸出脈沖激光器；2第一波片；3第一分光器件；4電光調(diào)制器；5電光調(diào)制器驅(qū)動(dòng)器；6第一反射鏡；7第一聚焦透鏡；8倍頻晶體；9第二聚焦透鏡；10第一濾光片；11擴(kuò)束器；12第二反射鏡；13平行光反射鏡；14電控位移平臺(tái)；15第二波片；16第二分光器件；17第三波片；18冷光鏡；19物鏡；20固定調(diào)整架；21第三聚焦透鏡；22第二濾光片；23光電探測(cè)器；24濾波放大器。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明提供的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)的技術(shù)方案是通過(guò)倍頻模塊，將抽運(yùn)光倍頻，再通過(guò)冷光鏡與未倍頻的探測(cè)光耦和的方式合并為一束光。下面結(jié)合圖I對(duì)本發(fā)明加以詳細(xì)說(shuō)明，應(yīng)指出的是，所描述的實(shí)施例僅旨在便于對(duì)本發(fā)明的理解，而對(duì)其不起任何限定作用。如圖I所示，偏振輸出脈沖激光器I是波長(zhǎng)790nm 910nm的飛秒光纖激光器，重復(fù)頻率80MHz，脈沖寬度lOOfs，波長(zhǎng)800nm時(shí)平均功率為IW I. 85W。第一波片2和第二波片15均采用二分之一波片；第三波片17采用四分之一波片；第一分光器件3和第二分光器件16均采用偏振分光器件；第一反射鏡6和第二反射鏡12均米用45度激光反射鏡；冷光鏡對(duì)于800nm波長(zhǎng)的激光束為垂直透射；對(duì)于400nm波長(zhǎng)的激光束為45度全反射。第一濾光片10與第二濾光片22的透光率為1(Γ7至10Λ電光調(diào)制器4的調(diào)制頻率800Hz到30MHz可調(diào)節(jié)，頻率由電光調(diào)制器驅(qū)動(dòng)器5控制；電光調(diào)制器驅(qū)動(dòng)器5由外部計(jì)算機(jī)控制，也可以用其它數(shù)據(jù)信號(hào)發(fā)生器輸出的信號(hào)外觸發(fā)工作；倍頻晶體8，采用規(guī)格為5mmX5mmX0· 5mm的非線性光學(xué)晶體(ΒΙΒ0晶體)，與第一聚焦透鏡7、第二聚焦透鏡9構(gòu)成倍頻模塊；第一聚焦透鏡7、第二聚焦透鏡9的焦距均為30mm ；擴(kuò)束器11，由不同焦距的凹透鏡及凸透鏡組成；電控位移平臺(tái)14最高精度每步lOOnm，掃描范圍60cm，對(duì)應(yīng)的光學(xué)延遲范為4ns ；物鏡19采用消色差，放大倍數(shù)10倍，焦距為20mm ；光電探測(cè)器23可以是雪崩二極管、光電倍增管，或是電荷耦合器件CCD，響應(yīng)時(shí)間小于IOns0第三聚焦透鏡21，根據(jù)要求的不同可以選擇焦距為IOmm到300mm ；
濾波放大器24，根據(jù)要求的不同可以選擇不同大小的電感及BNC接頭以及絕緣盒組成。本發(fā)明的主要結(jié)構(gòu)與原理如下描述本發(fā)明的主要結(jié)構(gòu)由偏振輸出脈沖激光器I、光延遲線、第一波片2、電光調(diào)制器4、第一聚焦透鏡7、倍頻晶體8、第二聚焦透鏡9、擴(kuò)束器11、冷光鏡18、第一濾光片10、第二濾光片22、第一偏振分光器件3、第二偏振分光器件16、光電探測(cè)器23及高頻濾波器24組成。偏振輸出脈沖激光器I輸出的脈沖激光如果是線偏振的，通過(guò)第一波片2后偏振方向發(fā)生旋轉(zhuǎn)，再通過(guò)第一分光器件3后,將脈沖激光分為偏振方向互相垂直的兩束光；通過(guò)手 動(dòng)或電控的辦法旋轉(zhuǎn)第一波片2，能夠連續(xù)改變兩束光的強(qiáng)度比。垂直于水平面偏振的激光被第一分光器件3反射后入射到擴(kuò)束器11上，偏振方向不會(huì)發(fā)生變化，再入射到平行光反射鏡13上，由于入射是垂直偏振的，平行光反射鏡13反射的光平行于入射的激光束,且反射的激光束為垂直于水平面偏振的激光。平行光反射鏡13反射的激光通過(guò)旋轉(zhuǎn)第二波片15與第二分光器件16后,將脈沖激光分為偏振方向互相垂直的兩束光；通過(guò)手動(dòng)或電控的辦法旋轉(zhuǎn)第一波片2，能夠連續(xù)改變兩束光的強(qiáng)度比，使得水平偏振的激光通過(guò)第三波片17后，垂直入射冷光鏡18與物鏡19輻照在樣品固定調(diào)整架20上的樣品表面。其中，平行光反射鏡13固定在電控位移平臺(tái)14上，電控位移平臺(tái)14由外部計(jì)算機(jī)控制，能夠沿著箭頭方向移動(dòng)；而且移動(dòng)方向與入射激光方向垂直，從第二反射鏡12到平行光反射鏡13的光束，與平行光反射鏡13反射到第二波片15的光束平行，確保電控位移平臺(tái)14前后移動(dòng)時(shí)入射到樣品上的光斑位置不會(huì)發(fā)生變化。電光調(diào)制器4接收并調(diào)制透過(guò)第一分光器件3的偏振方向水平激光束，用于輸出透射的調(diào)制激光束。由外部計(jì)算機(jī)輸出TTL信號(hào)給電光調(diào)制驅(qū)動(dòng)器5來(lái)調(diào)制透過(guò)電光調(diào)制器4的激光束。電光調(diào)制器4輸出的激光束入射到第一反射鏡6，調(diào)節(jié)第一反射鏡6的光束方向，入射至第一聚焦透鏡7。第一聚焦透鏡7接受并聚焦第一反射鏡6的激光束至倍頻晶體8。激光束經(jīng)倍頻晶體8后生成二次諧波，被第二聚焦透鏡9接受并聚焦。第一濾光片10濾除倍頻激光束中未倍頻的激光，通過(guò)冷光鏡18后45度全反射至物鏡19，并被物鏡19聚焦到樣品表面。通過(guò)調(diào)節(jié)第二分光器件16與冷光鏡18 (冷光鏡18的作用是將兩束波長(zhǎng)不同的激光束合并為一束激光，實(shí)現(xiàn)共線抽運(yùn)探測(cè))，使得抽運(yùn)光束與探測(cè)光束重合，共線后的光束垂直入射到固定調(diào)整架20上的樣品表面。通過(guò)第二濾光片22后，只有未被調(diào)制的探測(cè)光的光束可通過(guò)，再入射到光電探測(cè)器23上。第一反射鏡6反射的激光束經(jīng)倍頻晶體8后，激光束被倍頻為二次諧波。第一偏振分光器件3反射的激光束通過(guò)擴(kuò)束器11，激光束直徑被放大。光延遲線由電控位移平臺(tái)14和平行光反射鏡13組成，延遲范圍由電控位移平臺(tái)14的移動(dòng)范圍確定，實(shí)例中延遲范圍為O到4ns。偏振方向?yàn)樗降募す馐ㄟ^(guò)第二分光器16與第三波片17垂直入射固定調(diào)整架20上的樣品表面后，由樣品表面反射，再原路返回通過(guò)第三波片17，激光束的偏振方向變?yōu)榇怪逼?，通過(guò)第二分光器16將激光反射至第三聚焦透鏡21。電光調(diào)制器4與電控位移平臺(tái)14及光電探測(cè)器23同步運(yùn)行，電光調(diào)制器4輸出一串脈沖激光，電控位移平臺(tái)14移動(dòng)一次，光電探測(cè)器23接受激光。光電探測(cè)器23的輸出的光電信號(hào)通過(guò)高頻濾波器24后，由外部數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)從高頻濾波器24讀取一個(gè)信號(hào)。最終得到不同延遲時(shí)間的散射、或反射強(qiáng)度，反推出材料的熱學(xué)特性。
以上所述，僅為本發(fā)明中的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任 何熟悉該技術(shù)的人在本發(fā)明所揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可理解想到的變換或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的包含范圍之內(nèi)，因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求保護(hù)的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其特征在于，包括 偏振輸出脈沖激光器，用于輸出偏振的脈沖激光； 第一波片，用于接收偏振輸出脈沖激光器輸出的脈沖激光，并將該脈沖激光的偏振方向旋轉(zhuǎn)； 第一分光器件，用于將偏振方向旋轉(zhuǎn)的脈沖激光分成偏振方向互相垂直的兩激光束，該兩束激光分別為水平方向偏振的抽運(yùn)激光束和垂直方向偏振的探測(cè)激光束； 電光調(diào)制器，接收并調(diào)制透射的水平方向偏振的激光束，并輸出調(diào)制激光束； 第一反射鏡，接收并反射電光調(diào)制器透射的調(diào)制激光束，調(diào)節(jié)第一反射鏡的方向，將電光調(diào)制器透射的調(diào)制激光束偏轉(zhuǎn)； 第一聚焦透鏡，接收并聚焦第一反射鏡反射的激光束； 倍頻晶體，將第一聚焦透鏡聚焦的激光束生成二次諧波激光束； 第二聚焦透鏡，接受并聚焦倍頻晶體投射的二次諧波激光束； 第一濾光片，將第二聚焦透鏡透射的二次諧波激光束中未倍頻的激光濾除，形成抽運(yùn)光束； 擴(kuò)束器，用于實(shí)現(xiàn)探測(cè)光束直徑的擴(kuò)大； 第二反射鏡，接受并反射被擴(kuò)束的探測(cè)激光束，調(diào)節(jié)第二反射鏡的方向，將被擴(kuò)束的探測(cè)激光束偏轉(zhuǎn)； 平行光反射鏡，接受第二反射鏡入射的探測(cè)激光束，并反射與入射的探測(cè)激光束平行的探測(cè)光束； 電控位移平臺(tái)，由外部計(jì)算機(jī)控制沿著箭頭方向移動(dòng)，而且移動(dòng)方向與從第二反射鏡入射到平行光反射鏡的激光束方向平行； 第二波片，接收平行光反射鏡反射的激光束，用于使水平偏振的激光束的偏振方向發(fā)生旋轉(zhuǎn)，調(diào)節(jié)探測(cè)光束的功率； 第二分光器件，接收偏振方向發(fā)生旋轉(zhuǎn)的水平偏振的激光束，用于輸出偏振方向水平的激光束； 冷光鏡，用于倍頻的抽運(yùn)光束與非倍頻的探測(cè)光束耦合為一束激光； 物鏡，用于聚焦抽運(yùn)光束與探測(cè)光束； 固定調(diào)整架，用于物鏡聚焦的光束垂直入射到固定調(diào)整架上的待測(cè)量樣品表面； 第三聚焦透鏡，接收并聚焦第二分光器件的垂直偏振的探測(cè)光束； 第二濾光片，用于濾除第三聚焦透鏡透射的倍頻的抽運(yùn)光束； 光電探測(cè)器，用于接收第二濾光片透射的探測(cè)光束； 濾波放大器，與外部計(jì)算機(jī)連接，讀取從濾波放大器輸出的信號(hào)；用于濾除光電探測(cè)器輸出信號(hào)的高頻奇次諧波； 第三波片，用于探測(cè)光束兩次通過(guò)第三波片時(shí)，偏振方向改變90度。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，偏振輸出脈沖激光器是波長(zhǎng)為790nm到910nm的飛秒光纖激光器，重復(fù)頻率80MHz，功率I. 85W，脈沖寬度 IOOfs0
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，第一波片和第二波片均采用二分之一波片；第三波片采用四分之一波片。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，在45度角入射冷光鏡情況下，倍頻激光束全部反射，非倍頻激光束全部透射。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，電光調(diào)制器的調(diào)制頻率800Hz到30MHz可調(diào)節(jié)，頻率由外部計(jì)算機(jī)控制，或用數(shù)據(jù)信號(hào)發(fā)生器輸出的信號(hào)外觸發(fā)工作。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，電控位移平臺(tái)的精度lOOnm，掃描范圍60cm，對(duì)應(yīng)的光學(xué)延遲范圍4ns。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，光電探測(cè)器是高速PIN 二極管、雪崩二極管、光電倍增管或電荷耦合器件，響應(yīng)時(shí)間小于10ns。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，倍頻晶體是BBO晶體或BIBO晶體，厚度為0. 5至1mm，邊長(zhǎng)5至IOmm的正方形，或者直徑為5到IOmm的圓形。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，濾波放大器是由電感、BNC接頭及絕緣盒構(gòu)成。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，其中，第一濾光片對(duì)未倍頻激光束的透過(guò)率為10_7到10_9，第二濾光片對(duì)倍頻激光束的透過(guò)率為10_7到10_9。
全文摘要
一種雙色飛秒激光共線抽運(yùn)探測(cè)熱反射系統(tǒng)，包括偏振輸出脈沖激光器輸出脈沖激光；波片使激光偏振方向旋轉(zhuǎn)；分光器件將激光束分成偏振方向互相垂直的兩束；反射鏡接收并反射激光束；電光調(diào)制器對(duì)激光束調(diào)制；倍頻晶體使激光產(chǎn)生二次諧波；濾光片濾除指定波長(zhǎng)區(qū)間內(nèi)激光；擴(kuò)束器將激光束直徑擴(kuò)大；電控位移平臺(tái)前后移動(dòng)；冷光鏡將不同波長(zhǎng)的激光束合束；固定調(diào)整架固定樣品；聚焦透鏡將激光輻照在樣品表面；光電探測(cè)器接受濾光片透過(guò)的激光產(chǎn)生電信號(hào)；光電探測(cè)器的信號(hào)被濾波放大器放大。本發(fā)明將抽運(yùn)光和探測(cè)光使用不同波長(zhǎng)的飛秒脈沖激光，使用具有高選擇透過(guò)性的濾光片濾除倍頻后的抽運(yùn)光，避免抽運(yùn)光對(duì)探測(cè)信號(hào)的干擾，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確高效的測(cè)量。
文檔編號(hào)G01N21/01GK102661917SQ20121014634
公開日2012年9月12日 申請(qǐng)日期2012年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月11日
發(fā)明者唐大偉, 孫方遠(yuǎn), 朱麗丹, 祝捷 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院工程熱物理研究所