專利名稱：用于靜電模擬測試的電路的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及靜電模擬測試設(shè)備，特別設(shè)計(jì)一種用于靜電模擬測試的電路。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的人體靜電(ESD-HBM)測試設(shè)備均為對(duì)一顆電容充電后，僅使用一個(gè)高速繼電器(一般是水銀繼電器)切換到放電端對(duì)DUT (待測器件)放電，也就是只使用一個(gè)水銀繼電器作為開關(guān)在充電端與放電端做開關(guān)切換動(dòng)作。目前使用的水銀繼電器均為兩個(gè)金屬片在電磁場中實(shí)現(xiàn)偏轉(zhuǎn)，通常會(huì)使用惰性氣體防護(hù)，但是在高壓條件下(ESD通常都是幾千伏特)，惰性氣體會(huì)被電離，導(dǎo)致充電端對(duì)被測器件發(fā)生二次放電，而此二次放電的能量對(duì)于越來越先進(jìn)的集成電路(例如65nm制程的 IC)造成二次傷害，導(dǎo)致測試結(jié)果的不準(zhǔn)確。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種用于靜電模擬測試的電路，解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷。本實(shí)用新型的技術(shù)方案包括一種用于靜電模擬測試的電路，包括串聯(lián)的放電開關(guān)和放電電容，以及分別與該放電開關(guān)和放電電容并聯(lián)的充電電路和放電電路，其中在該充電電路中，設(shè)置與該放電開關(guān)串聯(lián)的第三開關(guān)。該放電開關(guān)通常是水銀繼電器。本實(shí)用新型的積極進(jìn)步效果在于避免充電電路對(duì)待測器件的二次放電，使現(xiàn)有靜電模擬測試機(jī)之測試結(jié)果更精確。

圖1是現(xiàn)有的用于靜電模擬測試的電路示意圖。圖2是用作放電開關(guān)的水銀繼電器的示意圖。圖3是本實(shí)用新型一實(shí)施例的電路示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖所示實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)說明。如圖1所示，現(xiàn)有的電路包括充電電路100和放電電路200，該兩個(gè)電路分別并聯(lián)在串聯(lián)的放電電容10以及用作放電開關(guān)Sl的水銀繼電器20的兩端。該充電電路100還包括高壓電源110和與該放電開關(guān)串聯(lián)的充電電阻120。該放電電路200還包括串聯(lián)的放電電阻210和待測器件(DUT) 300，在該待測器件300的兩端并聯(lián)設(shè)置保護(hù)開關(guān)S2。如圖2所示，該水銀繼電器20包括充電端22和放電端對(duì)，充電端22連接到該充電電路100，放電端M連接到該放電電路200。放電開關(guān)Sl (水銀繼電器20)切換到充電端22，對(duì)放電電容做充電動(dòng)作后，然后 Sl再次切換到放電端M，放電電容對(duì)待測器件300做放電，從而完成一次完整的靜電放電的動(dòng)作。水銀繼電器20在由充電端到放電端切換過程中，其玻璃管中的惰性氣體會(huì)被充電電路的高壓電離，放生二次放電。如圖3所示，根據(jù)本實(shí)用新型一實(shí)施例，用于靜電模擬測試的電路。在該充電電路100中，串聯(lián)第三開關(guān)S3。在放電開關(guān)Sl與充電電路100斷開前先將S3斷開，從而達(dá)到避免充電電路的電壓電離Sl中惰性氣體，解決二次放電問題。該第三開關(guān)S3可以是現(xiàn)有的任何合適的開關(guān)。本實(shí)用新型可以解決現(xiàn)有靜電模擬測試機(jī)對(duì)于先進(jìn)制程的集成電路測試時(shí)的二次放電問題，使現(xiàn)有靜電模擬測試機(jī)之測試結(jié)果更精確。盡管本實(shí)用新型依照其優(yōu)選實(shí)施方式描述，但是存在落入本實(shí)用新型范圍內(nèi)的改變、置換和各種替代等同物。這里提供的示例僅是說明性的，而不是對(duì)本實(shí)用新型的限制。為了簡明，本說明書省略了對(duì)公知技術(shù)的描述。
權(quán)利要求1.一種用于靜電模擬測試的電路，包括串聯(lián)的放電開關(guān)和放電電容，以及分別與該放電開關(guān)和放電電容并聯(lián)的充電電路和放電電路，其特征在于，在該充電電路中，設(shè)置與該放電開關(guān)串聯(lián)的第三開關(guān)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于靜電模擬測試的電路，其特征在于，該放電開關(guān)為水銀繼電器。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種用于靜電模擬測試的電路，包括串聯(lián)的放電開關(guān)和放電電容，以及分別與該放電開關(guān)和放電電容并聯(lián)的充電電路和放電電路，其中在該充電電路中，設(shè)置與該放電開關(guān)串聯(lián)的第三開關(guān)。本實(shí)用新型可避免充電電路對(duì)待測器件的二次放電，使現(xiàn)有靜電模擬測試機(jī)之測試結(jié)果更精確。
文檔編號(hào)G01R29/12GK202126465SQ201120238720
公開日2012年1月25日 申請(qǐng)日期2011年7月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月7日
發(fā)明者張育嘉, 曾元宏, 王春亮 申請(qǐng)人:宜碩科技(上海)有限公司