專利名稱：一種制備薄膜試樣用磨樣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及試樣加工裝置，尤其涉及一種制備薄膜試樣用磨樣裝置。
背景技術(shù)：
透射電鏡進(jìn)行析出物、位錯(cuò)密度等觀察需要將試樣加工成極薄試樣，首先需采用機(jī)械方法盡量減薄試樣，然后再用電解雙噴、離子減薄等方法進(jìn)行減薄試樣。在機(jī)械減薄試樣的過程中，若采用線切割的方法，加工厚度在1毫米以下的較薄試樣，其加工難度較大、加工精度差。通常采用手工打磨或化學(xué)減薄等方法，采用手工打磨時(shí)，如果試樣所受應(yīng)力過大，會(huì)對(duì)試樣觀察效果產(chǎn)生較大影響，嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致錯(cuò)誤的試驗(yàn)結(jié)論?，F(xiàn)有的手工打磨技術(shù)是通過直接將試樣按壓在砂紙上進(jìn)行打磨或通過夾具夾持試樣在砂紙上打磨。通過直接按壓試樣方法存在兩種不足，一是由于試樣受力不均導(dǎo)致打磨厚度不均；二是由于砂紙與試樣之間的摩擦系數(shù)較大，導(dǎo)致壓試樣的力加大，且當(dāng)試樣磨制到幾十個(gè)微米時(shí)易破損，導(dǎo)致試樣報(bào)廢。專利“一種制作薄膜試樣的磨樣夾”(專利號(hào) CN200920203487. 8)提供一種制作薄膜試樣的磨樣夾，該磨樣夾是通過吸附在頂砧上的磁鐵固定試樣，使被磨試樣嵌在緊固外套內(nèi)，通過調(diào)整頂砧與外套間的位置使試樣露出，以達(dá)到磨削目的，但由于試樣很薄，這增大了調(diào)整的難度，并且通過磁力吸附試樣存在三個(gè)問題1)要求試樣具有較強(qiáng)的鐵磁性，對(duì)于一些非鋼鐵材料，夾具不適用；3)磁鐵的磁力過小，則試樣夾持不牢靠；2)磁鐵的磁力過大，會(huì)導(dǎo)致試樣的磁化，對(duì)透射電鏡觀察不利，嚴(yán)重時(shí)會(huì)對(duì)電鏡造成損害。

實(shí)用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是通過提供一種制備薄膜試樣用磨樣裝置，該裝置易裝、卸試樣，使薄膜試樣的制備更可靠、高效，且對(duì)試樣的材質(zhì)不加限制。本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)一種制備薄膜試樣用磨樣裝置，包括安裝有真空閥的真空箱，真空箱上還安裝有至少1個(gè)連接頭，連接頭連接有軟管，軟管的另一端安裝有止氣閥，且軟管的該端部平直可以與吸盤無間隙配合，吸盤上具有若干個(gè)可吸附試樣的孔腔。真空箱上安裝有氣壓表，用以測(cè)定真空箱內(nèi)的壓強(qiáng)值。吸盤為具有一定強(qiáng)度且與試樣間具有較大的摩擦系數(shù)，其上的孔腔有若干個(gè)，可以是任意形狀，但其分布限于軟管的橫截面積內(nèi)；通過真空閥將真空箱抽取真空，在外界大氣壓的作用下，吸盤和試樣可以較牢靠地吸附在軟管上；真空箱、氣壓表、真空閥、軟管、連接頭、吸盤、孔腔和試樣共同形成一個(gè)封閉的腔體。本實(shí)用新型通過裝置內(nèi)、外的氣壓差將試樣吸附在摩擦系數(shù)較大的吸盤上，使兩者之間具有較大摩擦力，在進(jìn)行試樣磨削時(shí)不會(huì)產(chǎn)生相對(duì)滑動(dòng)現(xiàn)象，并且不需要用較大的力按壓試樣，試樣主要受切削力的作用，而不會(huì)因?yàn)槭軕?yīng)力過大導(dǎo)致試樣的損壞。
圖1為本實(shí)用新型的總體結(jié)構(gòu)圖；圖2為本實(shí)用新型孔腔在吸盤上的分布圖；圖3為本實(shí)用新型另一種孔腔在吸盤上的分布圖；其中，1真空箱、2氣壓表、3真空閥、4軟管、5止氣閥、6連接頭、7吸盤、8孔腔。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步說明如圖1所示該裝置包括安裝有真空閥3的真空箱1，真空箱1上還安裝有1個(gè)連接頭6，連接頭6連接有軟管4，軟管4的另一端安裝有止氣閥5，且軟管4的該端部平直可以與吸盤7無間隙配合，吸盤7上具有若干個(gè)可吸附試樣9的孔腔8，真空箱1上安裝有氣壓表2。真空箱1呈長(zhǎng)方體形狀，可以通過安裝于其上的真空閥3抽取真空，且在真空箱1 上安裝有氣壓表2，用以測(cè)定其內(nèi)的壓強(qiáng)值。真空箱1上還安裝有連接頭6，連接頭6連接有軟管4，使真空箱1的腔體與軟管4相通，軟管4的另一端安裝有止氣閥5，且軟管4的端部平直可以與形狀為長(zhǎng)方體形狀的吸盤7無間隙配合，吸盤7上具有若干孔腔8，且孔腔8 的分布均限于軟管4的橫截面積內(nèi)，吸盤7的另一端可與試樣9無間隙配合。首先將軟管4的一端牢靠地套接在連接頭6上，關(guān)閉止氣閥5，然后開啟真空閥3 將真空箱1抽取真空，當(dāng)氣壓表2指示氣壓IO-Itorr時(shí)，停止。將試樣9置于實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，然后使吸盤7的孔腔8對(duì)正試樣9并置于其上，使孔腔7完全被試樣9所覆蓋，吸盤7選用具有一定強(qiáng)度的橡皮或橡皮膏，其內(nèi)部孔腔7的形狀是圓柱形(還可以是其他任意形狀)，其個(gè)數(shù)與分布不限于圖2、圖3中的分布情況。將套接在連接頭6上的軟管4的另一端置于吸盤7上且與吸盤7無間隙接觸，同時(shí)使軟管的截面將孔腔8完全覆蓋住，此時(shí)開啟止氣閥 5，試樣9即被吸盤7牢靠地吸住，便可進(jìn)行試樣9的磨削。該裝置的總體結(jié)構(gòu)圖如圖1所示。在圖1中，當(dāng)需要更換試樣9或者需磨削試樣9的另一側(cè)時(shí)，關(guān)閉止氣閥5，試樣9便自由落下，安裝試樣9時(shí)，只需將試樣9對(duì)準(zhǔn)孔腔，然后開啟止氣閥5。應(yīng)用本實(shí)用新型制備薄膜試樣的過程為首先，通過線切割得到厚度為150微米的薄片試樣；其次，采用上述方法將試樣吸附于裝置上；最后，應(yīng)用不同型號(hào)的砂紙，由粗至細(xì)依次研磨試樣，研磨過程中所用的按壓力逐漸減小，將試樣研磨至接近要求厚度時(shí)，不對(duì)試樣施加按壓力，試樣受力主要為其表面與砂紙之間的切削力，以免造成假象。
權(quán)利要求1.一種制備薄膜試樣用磨樣裝置，其特征在于包括安裝有真空閥(3)的真空箱(1)， 真空箱(1)上還安裝有至少1個(gè)連接頭(6)，連接頭(6)連接有軟管，軟管的另一端安裝有止氣閥(5)，且軟管的該端部平直可以與吸盤(7)無間隙配合，吸盤(7)上具有若干個(gè)可吸附試樣(9)的孔腔(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述制備薄膜試樣用磨樣裝置，其特征在于所述的真空箱(1)上安裝有氣壓表(2)。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種制備薄膜試樣用磨樣裝置，其特征在于包括安裝有真空閥(3)的真空箱(1)，真空箱(1)上還安裝有至少1個(gè)連接頭(6)，連接頭(6)連接有軟管(4)，軟管(4)的另一端安裝有止氣閥(5)，且軟管(4)的該端部平直可以與吸盤(7)無間隙配合，吸盤(7)上具有若干個(gè)可吸附試樣(9)的孔腔(8)。真空箱上安裝有氣壓表。本實(shí)用新型通過裝置內(nèi)、外的氣壓差將試樣吸附在摩擦系數(shù)較大的吸盤上，使兩者之間具有較大摩擦力，在進(jìn)行試樣磨削時(shí)不會(huì)產(chǎn)生相對(duì)滑動(dòng)現(xiàn)象，并且不需要用較大的力按壓試樣，試樣主要受切削力的作用，而不會(huì)因?yàn)槭軕?yīng)力過大導(dǎo)致試樣的損壞。
文檔編號(hào)G01N1/28GK202133574SQ20112020052
公開日2012年2月1日 申請(qǐng)日期2011年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月14日
發(fā)明者孫樹華, 張之勝, 張鵬遠(yuǎn), 李桂艷, 楊靜, 趙寶純, 隋曉紅 申請(qǐng)人:鞍鋼股份有限公司