專利名稱：光纖型激光波長計(jì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及波長計(jì)，特別是一種光纖型激光波長計(jì)。
背景技術(shù)：
準(zhǔn)分子激光因其波長短、相干性弱而被廣泛用于極大規(guī)模集成電路光刻。作為光刻光源，要求激光輸出具有窄線寬、高波長穩(wěn)定性。激光器線寬壓窄裝置的振動(dòng)和溫度變化等因素可導(dǎo)致激光中心波長漂移，為了得到激光中心波長并判斷其與目標(biāo)波長之間的漂移量，并為激光中心波長調(diào)諧提供依據(jù)，因此需要對激光中心波長和線寬實(shí)時(shí)快速測量。測量激光波長常用的方法是利用費(fèi)索干涉儀，參見在先技術(shù)[中國專利公開號 1077530]。這種技術(shù)需要額外一種已知精確波長的激光作參考光源，然而波長校準(zhǔn)裝置本身的波長漂移將會降低波長計(jì)精度。另一方面，波長計(jì)各光學(xué)元件之間的激光傳輸采用空間耦合技術(shù)需要較多的光學(xué)元件，這樣增加了光學(xué)調(diào)諧和對準(zhǔn)的難度；采用光二極管監(jiān)測透過Pt空心透明陰極燈的激光強(qiáng)度的方法標(biāo)定吸收波長，該技術(shù)的缺點(diǎn)是激光能量的波動(dòng)將嚴(yán)重降低波長校準(zhǔn)的準(zhǔn)確性；波長粗測裝置中采用多個(gè)平面反射鏡來擴(kuò)束和準(zhǔn)直激光光束，多次反射增加了能量損耗和裝置復(fù)雜性，參見在先技術(shù)[EP0992093]。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種光纖型激光波長計(jì)，該波長計(jì)可精確、高速、便捷地測量激光線寬和中心波長。本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下一種光纖型激光波長計(jì)，其特點(diǎn)在于該波長計(jì)由聚焦透鏡、第一熔融石英光纖、第二熔融石英光纖、第三熔融石英光纖、第四熔融石英光纖、第五熔融石英光纖、第一光纖耦合器、第二光纖耦合器、波長校準(zhǔn)裝置、光柵單色儀、波長精測裝置、線性CCD、信號處理器和數(shù)據(jù)線組成，上述各部分的位置關(guān)系如下待測激光經(jīng)聚焦透鏡耦合到第一熔融石英光纖并傳輸?shù)礁叻质鹊牡谝还饫w耦合器進(jìn)行分束，經(jīng)該第一光纖耦合器分出的較強(qiáng)光束經(jīng)第二熔融石英光纖傳輸?shù)讲ㄩL校準(zhǔn)裝置進(jìn)行波長校準(zhǔn)；經(jīng)第一光纖耦合器分出的較弱的光束經(jīng)第三熔融石英光纖傳輸?shù)椒质葹? 5的第二光纖耦合器的輸入端，經(jīng)第二光纖耦合器分束后，一束光經(jīng)第四熔融石英光纖入射到光柵單色儀的輸入端，經(jīng)該光柵單色儀衍射的光斑在線性CCD上成像；經(jīng)第二光纖耦合器分束的第二光束經(jīng)第五熔融石英光纖入射到波長精測裝置的輸入端，經(jīng)波長精測裝置生成的干涉環(huán)也成像在所述的線性CXD上，該線性CXD記錄的條紋信息經(jīng)所述的數(shù)據(jù)線傳遞給所述的信號處理器進(jìn)行分析和處理，顯示出待測激光的中心波長和線寬的信息；所述的波長校準(zhǔn)裝置由聚焦透鏡、光斬波器、Fe透明空心陰極燈、高壓直流電源、 信號輸出電路、屏蔽箱和鎖相放大器組成；所述的光柵單色儀由依次的小孔、拋物面高反鏡、中階梯光柵和第一成像透鏡組成； 所述的波長精測裝置由依次的準(zhǔn)直透鏡、微透鏡陣列、標(biāo)準(zhǔn)具和第二成像透鏡組成；所述的線性CXD為高探測靈敏度的EMCXD ；所述的信號輸出電路由電流表、鎮(zhèn)流電阻和去耦電容組成。所述的聚焦透鏡、第一成像透鏡、準(zhǔn)直透鏡、第二成像透鏡和聚焦透鏡是由紫外級熔融石英材料制成，透鏡雙面鍍增透膜以提高透過率。所述的熔融石英光纖為由具有抗輻射的熔融石英纖芯的多模光纖。所述的信號處理器由PCI卡和電腦組成。所述的用于擴(kuò)束和準(zhǔn)直的拋物面高反鏡由紫外級熔融石英材料制成，且內(nèi)表面鍍高反膜，該高反膜可以為鋁膜加氟化鎂膜。所述的用于分光的中階梯光柵的閃耀角為79°，刻線密度為94. 13G/mm，在 193.37nm處的衍射級次為108級。該光柵具有衍射級次高，色散率大，分光效果好的特點(diǎn)。所述的微透鏡陣列由紫外級熔融石英材料制成，發(fā)散角為士5°。所述的標(biāo)準(zhǔn)具為空氣隙標(biāo)準(zhǔn)具，由兩塊紫外級熔融石英平板和平板間的墊片組成，該墊片由超低膨脹系數(shù)的玻璃制成，標(biāo)準(zhǔn)具精度達(dá)到0. 158GHz (0. 02pmil93. 37nm)。待測激光經(jīng)聚焦透鏡耦合到熔融石英光纖并傳輸?shù)礁叻质鹊牡谝还饫w耦合器進(jìn)行分束。第一光纖耦合器分出的較強(qiáng)的光束經(jīng)熔融石英光纖導(dǎo)引后，經(jīng)過一透鏡聚焦和光斬波器調(diào)制后入射到Fe透明空心陰極燈，F(xiàn)e透明空心陰極燈通過高壓放電在陰極和陽極間產(chǎn)生等離子體，金屬原子將對特定的波長產(chǎn)生吸收，當(dāng)放電等離子體的原子特征吸收波長與入射激光波長重合時(shí)，放電等離子體的電學(xué)特性將會發(fā)生改變，例如放電電壓、放電電流和阻抗，即產(chǎn)生光電偶效應(yīng)。通過信號輸出電路，即可獲得光電偶信號。當(dāng)激光波長和Fe原子特征吸收波長完全重合時(shí)，將會獲得最強(qiáng)的光電偶信號，而波長不重合時(shí)光電信號將會變得非常小。Fe透明空心陰極燈內(nèi)的金屬原子和填充氣體的吸收光譜的帶寬比入射激光帶寬窄的多。因?yàn)镕e特征吸收波長是已知的，當(dāng)光電偶信號最強(qiáng)時(shí)，入射激光的中心波長即為Fe原子的吸收線，利用該已知的激光中心波長即可實(shí)現(xiàn)對光柵單色儀和波長精測裝置的標(biāo)定。為提高信號的信噪比，將光電偶信號輸入到鎖相放大器并顯示，同時(shí)用光斬波器將入射到Fe透明空心陰極燈的光輻射信號通過電動(dòng)機(jī)調(diào)制成交變信號，從而避免因檢測信號時(shí)間過長而漂移，能對被測光進(jìn)行調(diào)制，同時(shí)輸出與調(diào)制頻率同步的參考電壓方波，作為鎖相放大器的參考信號，這樣就可以得到高信噪比的光電偶信號，進(jìn)而用來判斷 Fe透明空心陰極燈的吸收線并實(shí)現(xiàn)激光波長的校準(zhǔn)。根據(jù)美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)局[National Institute of Standards and Technology]的數(shù)據(jù)，F(xiàn)e原子在193nm附近的較強(qiáng)的吸收線有193. 45350nm和193. 72683nm, 二者的相對強(qiáng)度分別為309和240，吸收線的波長精度可達(dá)0.01pm。ArF準(zhǔn)分子激光的自由振蕩光譜線寬約500pm，F(xiàn)e的吸收線之間的間距為 273. 33pm，根據(jù)這兩個(gè)吸收線可實(shí)現(xiàn)光纖型波長計(jì)的標(biāo)定。此外，F(xiàn)e的兩吸收線之間的間距是確定的，根據(jù)該吸收線間距可對吸收線波長值的準(zhǔn)確性進(jìn)行驗(yàn)證。第二光纖耦合器分出的一束光經(jīng)熔融石英光纖導(dǎo)引入射到小孔，然后入射到拋物面高反鏡反射和擴(kuò)束，擴(kuò)束后的光束入射到光柵單色儀。入射激光光譜經(jīng)光柵衍射后在線性CCD上成像。根據(jù)光柵方程，激光的衍射方向與波長大小是相關(guān)的，經(jīng)校準(zhǔn)后，可通過衍射光斑在線性CCD上的成像的像素位置，即可得到對應(yīng)的波長信息。在波長變化較小的情況下，可認(rèn)為像素位置和激光波長之間的成線性關(guān)系。第二光纖耦合器分出的另一束光經(jīng)透鏡準(zhǔn)直后入射到微透鏡陣列，微透鏡陣列的主要作用是光束均勻化和增加入射到標(biāo)準(zhǔn)具的發(fā)散角。對入射到標(biāo)準(zhǔn)具進(jìn)行多光束干涉的激光進(jìn)行光束均勻可提高干涉條紋的反襯度和條紋間的均勻性；除第二成像透鏡焦距和線性CCD用于成像的有效像素尺寸外，標(biāo)準(zhǔn)具在給定像面成像的條紋個(gè)數(shù)與入射角范圍有關(guān)，入射角度范圍大可得到更多的條紋，然而入射角度過大將會使激光溢出標(biāo)準(zhǔn)具窗口，從而浪費(fèi)激光能量。因而，根據(jù)波長精測裝置的設(shè)計(jì)，需要合理控制光束發(fā)散角大小。標(biāo)準(zhǔn)具進(jìn)行多光束干涉的各級干涉條紋寬度是均勻的，任一干涉環(huán)即可得到激光的波長和線寬的信息，然而中心干涉環(huán)隨波長的變化會在亮紋和暗紋之間變化，因此不適于用作數(shù)據(jù)采集窗口，而中心干涉環(huán)之外的第二和第三個(gè)亮環(huán)所對應(yīng)的線性CXD的像素位置適合作為數(shù)據(jù)采集窗口。特別地，將發(fā)散角控制在士5°范圍內(nèi)，可保證在給定的線性CCD尺寸內(nèi)得到滿足測量用的3個(gè)合適寬度的干涉環(huán)，對于FWHM為0. 02pm的高精度標(biāo)準(zhǔn)具，絕對波長精度和帶寬測量精度均可以達(dá)到0. 02pm。

本發(fā)明的技術(shù)效果本發(fā)明通過熔融石英光纖傳導(dǎo)激光，減少了光路中所需的反射鏡，有效地降低了光路對準(zhǔn)和調(diào)節(jié)的難度；通過光纖耦合器分束可精確控制光束分束比，且能夠和熔融石英光纖方便地焊接，有效地降低了波長計(jì)空間尺寸；利用Fe透明空心陰極燈的光電偶效應(yīng)校準(zhǔn)波長的精度可達(dá)0. Olpm ；基于光電偶效應(yīng)的電學(xué)輸出方式檢測吸收波長降低了波長校準(zhǔn)對光源能量波動(dòng)的敏感度，提高了校準(zhǔn)的準(zhǔn)確度。同時(shí)波長校準(zhǔn)能夠與波長粗測和精測裝置有效結(jié)合，可在吸收波長處對光柵單色儀和標(biāo)準(zhǔn)具測量裝置實(shí)現(xiàn)校準(zhǔn)和標(biāo)定，避免了因增加額外的校準(zhǔn)光源而產(chǎn)生的維護(hù)和調(diào)試，以及校準(zhǔn)光源本身波動(dòng)帶來的測量誤差；光柵單色儀中采用拋物面高反鏡可同時(shí)實(shí)現(xiàn)激光光束的擴(kuò)束和準(zhǔn)直，簡化了光學(xué)設(shè)計(jì)，提高了能量傳輸效率；標(biāo)準(zhǔn)具應(yīng)用低膨脹系數(shù)玻璃作墊片降低了溫度和應(yīng)力等環(huán)境影響對標(biāo)準(zhǔn)具分辨率的影響，提高了波長測量的準(zhǔn)確度，高精細(xì)度標(biāo)準(zhǔn)具的高分辨率波長計(jì)的測量精度可達(dá) 0. 02pm。采用光柵單色儀粗測和標(biāo)準(zhǔn)具精測相結(jié)合的方式可實(shí)現(xiàn)高速度、高精度、高準(zhǔn)確度的激光中心波長測量，可同時(shí)用于脈沖激光和連續(xù)激光的中心波長的測量


圖1為本發(fā)明的光纖型激光波長計(jì)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明Fe透明空心陰極燈光電偶信號示意圖。圖3為本發(fā)明標(biāo)準(zhǔn)具干涉環(huán)成像示意圖。圖4為本發(fā)明標(biāo)準(zhǔn)具干涉環(huán)示意圖。
具體實(shí)施例方式
請參閱圖1，圖1是本發(fā)明的光纖型波長計(jì)的結(jié)構(gòu)原理圖。由圖可見，本發(fā)明光纖型激光波長計(jì)，由聚焦透鏡1、第一熔融石英光纖2、第二熔融石英光纖4、第三熔融石英光纖5、第四熔融石英光纖8、第五熔融石英光纖9、第一光纖耦合器3、第二光纖耦合器6、波長校準(zhǔn)裝置7、光柵單色儀10、波長精測裝置11、線性CXD 12、信號處理器13和數(shù)據(jù)線22組成，上述各部分的位置關(guān)系如下待測激光經(jīng)聚焦透鏡1耦合到第一熔融石英光纖2并傳輸?shù)礁叻质鹊牡谝还饫w耦合器3進(jìn)行分束，經(jīng)該第一光纖耦合器3分出的較強(qiáng)光束經(jīng)第二熔融石英光纖4傳輸?shù)讲ㄩL校準(zhǔn)裝置7進(jìn)行波長校準(zhǔn)；經(jīng)第一光纖耦合器3分出的較弱的光束經(jīng)第三熔融石英光纖5傳輸?shù)椒质葹? 5的第二光纖耦合器6的輸入端，經(jīng)第二光纖耦合器6分束后，一束光經(jīng)第四熔融石英光纖8入射到光柵單色儀10的輸入端，經(jīng)該光柵單色儀10輸出的光斑在所述的線性CXD 12上成像；經(jīng)第二光纖耦合器6分束的第二光束經(jīng)第五熔融石英光纖 9入射到波長精測裝置11的輸入端，經(jīng)波長精測裝置11生成的干涉環(huán)也成像在所述的線性 CXD 12上，該線性CXD 12記錄的條紋信息經(jīng)所述的數(shù)據(jù)線22傳遞給所述的信號處理器13 進(jìn)行分析和處理，顯示出待測激光的中心波長和線寬的信息；所述的波長校準(zhǔn)裝置7由聚焦透鏡23、光斬波器24、Fe透明空心陰極燈25、高壓直流電源30、信號輸出電路34、屏蔽箱35和鎖相放大器36組成；所述的光柵單色儀10由依次的小孔14、拋物面高反鏡15、中階梯光柵16和第一成像透鏡17組成；所述的波長精測裝置11由依次的準(zhǔn)直透鏡18、微透鏡陣列19、標(biāo)準(zhǔn)具20和第二成像透鏡21組成；所述的信號輸出電路34由電流表31、鎮(zhèn)流電阻32和去耦電容33組成。所述的波長校準(zhǔn)裝置7通過光電偶效應(yīng)來標(biāo)定激光波長。第二熔融石英光纖4傳輸?shù)男盘柟饨?jīng)透鏡23聚焦和光斬波器24調(diào)制后入射到Fe透明空心陰極燈25。Fe透明空心陰極燈25由高壓直流電源30驅(qū)動(dòng)，陽極28和陰極29間的高壓放電可產(chǎn)生等離子體，金屬原子將對特定的波長產(chǎn)生吸收，當(dāng)放電等離子體的原子特征吸收波長與入射激光波長重合時(shí)，放電等離子體的電學(xué)特性將會發(fā)生改變，例如放電電壓、放電電流和阻抗，即產(chǎn)生光電偶效應(yīng)，進(jìn)而可以獲得光電偶信號。通過信號輸出電路34，即可獲得光電偶信號。為了消除高壓直流電源30的電磁感應(yīng)效應(yīng)對信號提取的影響，信號輸出電路34需放在屏蔽箱 35內(nèi)。當(dāng)激光波長和Fe原子特征吸收波長完全重合時(shí)，將會獲得最強(qiáng)的光電偶信號，當(dāng)波長不重合時(shí)光電信號將會變得非常小，如圖2所示。Fe透明空心陰極燈25內(nèi)的金屬原子和填充氣體的吸收光譜的帶寬比入射激光帶寬窄的多。由于Fe的特征吸收波長是已知的， 當(dāng)激光波長和Fe原子特征吸收波長完全重合時(shí)，將會獲得最強(qiáng)的光電偶信號，如圖2中曲線B ；而波長不重合時(shí)光電信號將會變得非常小，如圖2中曲線A和C。Fe透明空心陰極燈 25內(nèi)的金屬原子和填充氣體的吸收光譜的帶寬比入射激光帶寬窄的多。因?yàn)镕e特征吸收波長是已知的，當(dāng)光電偶信號最強(qiáng)時(shí)，入射激光的中心波長即為Fe原子的吸收線，利用此時(shí)已知的激光中心波長即可實(shí)現(xiàn)對光柵單色儀10和波長精測裝置11的標(biāo)定。為提高信號的信噪比，將光電偶信號輸入到鎖相放大器36，同時(shí)用光斬波器24將入射到Fe透明空心陰極燈25的光輻射信號通過電動(dòng)機(jī)調(diào)制成交變信號，從而避免因檢測信號時(shí)間過長而漂移，能對被測光進(jìn)行調(diào)制，同時(shí)輸出與調(diào)制頻率同步的參考電壓方波，作為鎖相放大器36的參考信號，這樣就可以利用鎖相放大器36得到高信噪比的光電偶信號，進(jìn)而用來判斷Fe透明空心陰極燈25的吸收線并實(shí)現(xiàn)激光波長的校準(zhǔn)。根據(jù)美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)局[National Institute of Standards and Technology]的數(shù)據(jù)，F(xiàn)e原子在193nm附近的較強(qiáng)的吸收線有193. 45350nm和193. 72683nm, 二者的相對強(qiáng)度分別為309和240。ArF激光的自由振蕩光譜線寬約500pm，F(xiàn)e的吸收線之間的間距為273. 33pm，根據(jù)這兩個(gè)吸收線可對波長計(jì)的光柵單色儀10和波長精測裝置11實(shí)現(xiàn)精確標(biāo)定。此外，F(xiàn)e的兩吸收線的間距是確定的， 根據(jù)該吸收線間距可對吸收線波長值的準(zhǔn)確性進(jìn)行驗(yàn)證或修正。光柵單色儀10可實(shí)現(xiàn)激光中心波長的粗測。第五熔融石英光纖9傳輸?shù)男盘柟饨?jīng)小孔14入射到拋物面高反鏡15進(jìn)行擴(kuò)束和準(zhǔn)直，擴(kuò)束倍率由中階梯光柵16的尺寸決定， 而光柵尺寸和閃耀角決定光柵單色儀10的波長測量精度。擴(kuò)束后的光束入射到中階梯光柵16，衍射光斑經(jīng)第二成像透鏡17在線性CXD 12上成像，線性CXD 12記錄衍射光斑成像的像素位置并傳給信號處理器13。激光波長和像素位置之間為線性關(guān)系
權(quán)利要求
1.一種光纖型激光波長計(jì)，其特征在于該波長計(jì)由聚焦透鏡(1)、第一熔融石英光纖 O)、第二熔融石英光纖G)、第三熔融石英光纖(5)、第四熔融石英光纖(8)、第五熔融石英光纖(9)、第一光纖耦合器(3)、第二光纖耦合器(6)、波長校準(zhǔn)裝置(7)、光柵單色儀(10)、 波長精測裝置(11)、線性CCD(U)、信號處理器(1 和數(shù)據(jù)線0 組成，上述各部分的位置關(guān)系如下待測激光經(jīng)聚焦透鏡(1)耦合到第一熔融石英光纖( 并傳輸?shù)礁叻质鹊牡谝还饫w耦合器C3)進(jìn)行分束，經(jīng)該第一光纖耦合器C3)分出的較強(qiáng)光束經(jīng)第二熔融石英光纖(4) 傳輸?shù)讲ㄩL校準(zhǔn)裝置(7)進(jìn)行波長校準(zhǔn)；經(jīng)第一光纖耦合器( 分出的較弱的光束經(jīng)第三熔融石英光纖( 傳輸?shù)椒质葹? 5的第二光纖耦合器(6)的輸入端，經(jīng)第二光纖耦合器(6)分束后，一束光經(jīng)第四熔融石英光纖⑶入射到光柵單色儀(10)的輸入端，經(jīng)該光柵單色儀(10)衍射的光斑在線性CCD (1 上成像；經(jīng)第二光纖耦合器(6)分束的第二光束經(jīng)第五熔融石英光纖(9)入射到波長精測裝置(11)的輸入端，經(jīng)波長精測裝置(11)生成的干涉環(huán)也成像在所述的線性CCD (12)上，該線性CCD (12)記錄的條紋信息經(jīng)所述的數(shù)據(jù)線0 傳遞給所述的信號處理器(1 進(jìn)行分析和處理，顯示出待測激光的中心波長和線寬的信息；所述的波長校準(zhǔn)裝置(7)由聚焦透鏡(23)、光斬波器04)、狗透明空心陰極燈(25)、 高壓直流電源(30)、信號輸出電路(34)、屏蔽箱(3 和鎖相放大器(36)組成。其上述各部分之間的關(guān)系為經(jīng)第二熔融石英光纖(4)傳輸?shù)墓馐?jīng)聚焦透鏡并穿過光斬波器 (23)后聚焦到狗透明空心陰極燈05)的電極之間，高壓直流電源(30)為!^e透明空心陰極燈05)提供電源，位于屏蔽箱(35)內(nèi)的信號輸出電路(34)與狗透明空心陰極燈05) 和高壓直流電源(30)串聯(lián)，信號輸出電路(34)提取的信號輸出到鎖相放大器(36)實(shí)現(xiàn)輸出和顯示；所述的光柵單色儀(10)由依次的小孔(14)、拋物面高反鏡(15)、中階梯光柵(16)和第一成像透鏡(17)組成。其上述各部分之間的關(guān)系為經(jīng)第四熔融石英光纖(8)輸出的信號光入射到位于拋物面高反鏡(15)焦點(diǎn)處的小孔(14)，光束經(jīng)拋物面高反鏡(15)實(shí)現(xiàn)擴(kuò)束和準(zhǔn)直，然后入射到中階梯光柵(16)進(jìn)行衍射，衍射光斑經(jīng)第一成像透鏡(17)成像到線性 CCD (12)；所述的波長精測裝置(11)由依次的準(zhǔn)直透鏡(18)、微透鏡陣列(19)、標(biāo)準(zhǔn)具(20)和第二成像透鏡組成。所述的上述各部分之間的關(guān)系為經(jīng)第五熔融石英光纖(9)入射到準(zhǔn)直透鏡(18)，準(zhǔn)直后的光束入射到微透鏡陣列(19)實(shí)現(xiàn)均勻和小角度發(fā)散，然后入射到標(biāo)準(zhǔn)具OO)實(shí)現(xiàn)多光束干涉，干涉條紋經(jīng)第二成像透鏡成像到線性CCDQ2)；所述的線性CCD (12)為高探測靈敏度的EMCCD ；所述的信號輸出電路(34)由電流表(31)、鎮(zhèn)流電阻(32)和去耦電容(33)組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖型激光波長計(jì)，其特征在于所述的聚焦透鏡(1)、第一成像透鏡(17)、準(zhǔn)直透鏡(18)、第二成像透鏡和聚焦透鏡是由紫外級熔融石英材料制成，透鏡雙面鍍增透膜以提高透過率。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖型激光波長計(jì)，其特征在于所述的熔融石英光纖為由具有抗輻射的熔融石英纖芯的多模光纖。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖型激光波長計(jì)，其特征在于所述的信號處理器(13)由PCI卡和電腦組成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖型激光波長計(jì)，其特征在于所述的用于擴(kuò)束和準(zhǔn)直的拋物面高反鏡(15)由紫外級熔融石英材料制成，且內(nèi)表面鍍高反膜，該高反膜可以為鋁膜加氟化鎂膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖型激光波長計(jì)，其特征在于所述的用于分光的中階梯光柵(16)的閃耀角為79°，刻線密度為94. 13G/mm，在193. 37nm處的衍射級次為108級。該光柵具有衍射級次高，色散率大，分光效果好的特點(diǎn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖型激光波長計(jì)，其特征在于所述的微透鏡陣列(19)由紫外級熔融石英材料制成，發(fā)散角為士5°。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖型激光波長計(jì)，其特征在于所述的標(biāo)準(zhǔn)具00)為空氣隙標(biāo)準(zhǔn)具，由兩塊紫外級熔融石英平板和平板間的墊片組成，該墊片由超低膨脹系數(shù)的玻璃制成，標(biāo)準(zhǔn)具分辨率達(dá)到0. 158GHz。
全文摘要
一種光纖型激光波長計(jì)，由透鏡、熔融石英光纖、光纖耦合器、波長校準(zhǔn)裝置、光柵單色儀、波長精測裝置、線性CCD、信號處理器和數(shù)據(jù)線組成。本發(fā)明采用熔融石英光纖導(dǎo)光和光纖耦合器分束有效降低了波長計(jì)的空間尺寸和復(fù)雜性；波長的校準(zhǔn)、粗測和精測有效結(jié)合可實(shí)現(xiàn)激光中心波長和光譜帶寬高精度實(shí)時(shí)測量。本發(fā)明可精確、高速、便捷地測量連續(xù)激光和脈沖激光的線寬和中心波長。特別是準(zhǔn)分子激光器的激光波長測量。
文檔編號G01J9/02GK102155997SQ20111006293
公開日2011年8月17日 申請日期2011年3月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月16日
發(fā)明者周軍, 張海波, 樓祺洪, 董景星, 袁志軍, 魏運(yùn)榮 申請人:中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所