專利名稱：探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
探針臺(tái)是用在半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)A上的器件進(jìn)行特性或故障分析而使用的精密機(jī) 臺(tái)。對(duì)晶圓的測(cè)試過(guò)程由測(cè)試機(jī)、探針臺(tái)等實(shí)現(xiàn)，通過(guò)探針臺(tái)上的探針卡實(shí)現(xiàn)芯片上每個(gè)接 腳與測(cè)試機(jī)的穩(wěn)定連接，由測(cè)試機(jī)判定晶圓上芯片的特性。探針臺(tái)種類繁多，從操作上可分為手動(dòng)、半自動(dòng)以及全自動(dòng)探針臺(tái)；從功能上可分 為高溫探針臺(tái)，低溫探針臺(tái)，RF探針臺(tái)，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái)，表面電阻率探針α寸。通常，在半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域，一個(gè)實(shí)驗(yàn)室或者企業(yè)需要配備多臺(tái)或多個(gè)種類的探針 臺(tái)，以滿足不同產(chǎn)品的測(cè)試需求。為了提高測(cè)試效率，往往希望對(duì)這些探針臺(tái)的使用狀態(tài)進(jìn) 行監(jiān)控，然而，目前的監(jiān)控方式為人工方式，即配備專門(mén)的工作人員，不斷地到各個(gè)探針臺(tái) 前巡視，這不僅浪費(fèi)人力，而且會(huì)影響操作人員的工作，監(jiān)控效果也不理想。即使，有些探針 臺(tái)制造廠商為其探針臺(tái)配備了監(jiān)控系統(tǒng)，可是，其成本較高，需要另外購(gòu)買(mǎi)，而且對(duì)于其他 廠商的探針臺(tái)無(wú)法實(shí)現(xiàn)兼容，對(duì)于整個(gè)監(jiān)控系統(tǒng)的擴(kuò)展十分不利。為此，如何提供一種有效 的探針臺(tái)實(shí)時(shí)監(jiān)控方法實(shí)為本領(lǐng)域一重要課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有探針臺(tái)監(jiān)控效率 低下等技術(shù)問(wèn)題。為解決以上技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，用以監(jiān)控多個(gè)探 針臺(tái)的工作狀態(tài)，其包括服務(wù)端以及多個(gè)分別與所述多個(gè)探針臺(tái)連接的監(jiān)控單元，所述服 務(wù)端通過(guò)所述監(jiān)控單元獲得探針臺(tái)的工作狀態(tài)，其中所述監(jiān)控單元包括多個(gè)比較器，連接 對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)，以分別接收其所連接的探針臺(tái)的多種工作狀態(tài)信號(hào)，并將所接收的信號(hào)轉(zhuǎn) 換為統(tǒng)一的電平信號(hào)；存儲(chǔ)器，存儲(chǔ)對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)的信息；通訊接口，連接所述服務(wù)端；微 處理器，分別與所述多個(gè)比較器、存儲(chǔ)器和通訊接口連接，將所述統(tǒng)一的電平信號(hào)與對(duì)應(yīng)的 探針臺(tái)信息轉(zhuǎn)換為所述通訊接口對(duì)應(yīng)的通訊協(xié)議信號(hào)，以通過(guò)所述通訊接口將該通訊協(xié)議 信號(hào)傳輸給服務(wù)端。進(jìn)一步的，所述服務(wù)端包括集線器，連接所述多個(gè)監(jiān)控單元，以接收所述通訊協(xié) 議信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換為工作機(jī)可以識(shí)別的信號(hào)；工作機(jī)，連接所述集線器，以從集線器轉(zhuǎn)換 的信號(hào)中獲得對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)信息及其工作狀態(tài)。進(jìn)一步的，所述服務(wù)端與所述監(jiān)控單元之間的信息交換方式為主動(dòng)詢問(wèn)方式，即 服務(wù)端向監(jiān)控單元發(fā)送詢問(wèn)信號(hào)，其中所述詢問(wèn)信號(hào)內(nèi)包括一探針臺(tái)的地址信息；對(duì)應(yīng)于 所述詢問(wèn)信號(hào)內(nèi)的探針臺(tái)的地址信息的監(jiān)控單元將其獲得的探針臺(tái)工作狀態(tài)信號(hào)轉(zhuǎn)換為 通訊協(xié)議信號(hào)傳輸給服務(wù)端。
進(jìn)一步的，所述探針臺(tái)的多種工作狀態(tài)信號(hào)是通過(guò)其狀態(tài)指示燈接口引出，即所 述多個(gè)比較器，分別連接對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)的多個(gè)狀態(tài)指示燈接口。進(jìn)一步的，所述探針臺(tái)的狀態(tài)指示燈包括紅燈、綠燈與黃燈。進(jìn)一步的，所述服務(wù)端包括顯示裝置與轉(zhuǎn)換程序，所述轉(zhuǎn)換程序運(yùn)行將所接收到 的探針臺(tái)工作狀態(tài)信號(hào)轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的指示燈顏色，并根據(jù)對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)信息，于顯示裝置 上圖形化顯示各個(gè)探針臺(tái)的工作狀態(tài)。進(jìn)一步的，所述服務(wù)端與監(jiān)控單元之間的連接方式為有線連接。進(jìn)一步的，所述服務(wù)端與監(jiān)控單元之間的連接方式為雙絞線?？梢?jiàn)，以上探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)利用探針臺(tái)引出的多路接口信號(hào)來(lái)于遠(yuǎn)端統(tǒng)一 監(jiān)控多個(gè)探針臺(tái)的工作狀態(tài)，具體，其將引出的信號(hào)轉(zhuǎn)換為遠(yuǎn)端的服務(wù)端(例如，為計(jì)算 機(jī))可以識(shí)別及處理的信號(hào)，并將該信號(hào)傳送給服務(wù)端，以在服務(wù)端集中監(jiān)控所有探針臺(tái) 的工作狀態(tài)，從而提高探針臺(tái)工作狀態(tài)的監(jiān)控效率。


圖1為本發(fā)明一實(shí)施列所提供的探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框圖；圖2為本發(fā)明一實(shí)施列所提供的探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)的服務(wù)端所顯示的信息 狀態(tài)；圖3為本發(fā)明一實(shí)施列所提供實(shí)時(shí)監(jiān)控探針測(cè)試?yán)寐实姆椒ǖ牧鞒淌疽鈭D。
具體實(shí)施例方式為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉示例性實(shí)施例，并配合附 圖，作詳細(xì)說(shuō)明如下。通常，在半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域，一個(gè)實(shí)驗(yàn)室或者企業(yè)需要配備多臺(tái)或多個(gè)種類的探針 臺(tái)，以滿足不同產(chǎn)品的測(cè)試需求。然而，現(xiàn)有技術(shù)中卻缺乏對(duì)這些探針臺(tái)利用率的有效監(jiān) 控，無(wú)法及時(shí)了解哪些探針臺(tái)處于使用狀態(tài)，哪些探針臺(tái)處于閑置狀態(tài)，對(duì)于出現(xiàn)故障的探 針臺(tái)難以及時(shí)發(fā)現(xiàn)，使得整個(gè)實(shí)驗(yàn)室的探針臺(tái)利用率無(wú)法達(dá)到最佳狀態(tài)，進(jìn)而使得測(cè)試效 率下降。本發(fā)明充分考慮到這一問(wèn)題，對(duì)各種探針臺(tái)做了研究，發(fā)現(xiàn)探針臺(tái)為了方便操作 者實(shí)時(shí)觀測(cè)到它的工作狀態(tài)，往往引出多路接口信號(hào)，以控制不同的狀態(tài)顯示。一種較為常 見(jiàn)的方式就是控制狀態(tài)指示燈的顯示。例如，探針臺(tái)P8、UF200、UF3000等都設(shè)置有狀態(tài)指 示燈，分別為紅燈、綠燈和黃燈。其中紅燈閃爍表示機(jī)器故障，需要處理；綠燈表示機(jī)器正處 于工作狀態(tài)；黃燈表示機(jī)器暫停工作，需要人為干預(yù)操作。本發(fā)明正是利用探針臺(tái)引出的多路接口信號(hào)，將這些信號(hào)轉(zhuǎn)換為一個(gè)遠(yuǎn)端的服務(wù) 端(例如，為計(jì)算機(jī))可以識(shí)別及處理的信號(hào)，并將該信號(hào)傳送給服務(wù)端，以在服務(wù)端集中 監(jiān)控所有探針臺(tái)的工作狀態(tài)，從而提高探針臺(tái)工作狀態(tài)的監(jiān)控效率。具體，請(qǐng)參考圖1，其為本發(fā)明一實(shí)施列所提供的探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框 圖。如圖宿松，該探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)用以監(jiān)控多個(gè)探針臺(tái)10的工作狀態(tài)，該系統(tǒng)包括 服務(wù)端30以及多個(gè)監(jiān)控單元20，其中每個(gè)監(jiān)控單元20連接一個(gè)探針臺(tái)10，且服務(wù)端30通 過(guò)監(jiān)控單元20獲得探針臺(tái)10的工作狀態(tài)。具體監(jiān)控單元20包括微處理器21，以及分別與該微處理器21連接的多個(gè)比較器22、存儲(chǔ)器23和通訊接口 24。其中比較器21連接對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)10，即每個(gè)監(jiān)控單元20內(nèi)，每個(gè)比較器21連接 一路探針臺(tái)10的接口信號(hào)，例如在本實(shí)例中，探針臺(tái)10具有三路接口信號(hào)分別代表機(jī)器故 障、正常運(yùn)行、暫停工作等工作狀態(tài)，每個(gè)比較器21接收一種工作狀態(tài)信號(hào)，并將所接收的 信號(hào)轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電平信號(hào)。這是因?yàn)?，通常引出的接口信?hào)的電壓比較高，不利于后續(xù)處 理，因此，利用比較器將其轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電平信號(hào)，以便于后續(xù)微處理器的處理。舉例而言， 當(dāng)引出的接口信號(hào)為指示燈驅(qū)動(dòng)信號(hào)時(shí)，其工作電壓往往為MV，故為比較器施加24V (或 略低)的基準(zhǔn)電壓，當(dāng)指示燈閃爍時(shí)，比較器就有等于或高于基準(zhǔn)電壓的輸入，進(jìn)而輸出高 電平，代表信號(hào)燈閃爍，產(chǎn)生相應(yīng)的工作狀態(tài)；當(dāng)指示燈不閃爍或未亮?xí)r，比較器就有低于 基準(zhǔn)電壓的輸入，進(jìn)而輸出低電平，代表信號(hào)燈未亮，相應(yīng)的工作狀態(tài)未產(chǎn)生。存儲(chǔ)器23存儲(chǔ)對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)10的信息，這里所說(shuō)的信息可以包括探針臺(tái)的地址 信息、配置信息等。這是因?yàn)?，在?duì)探針臺(tái)的工作狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)控時(shí)，服務(wù)端30需要識(shí)別每個(gè) 探針臺(tái)10，以將所接收到的工作狀態(tài)信號(hào)與探針臺(tái)對(duì)應(yīng)起來(lái)。其中，可以為每個(gè)探針臺(tái)編 號(hào)，利用序號(hào)來(lái)實(shí)現(xiàn)地址的記錄。當(dāng)然，本發(fā)明在此不以此為限，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù) 需要利用配置號(hào)或者其他信息來(lái)實(shí)現(xiàn)這種地址的記錄。通訊接口 M用以與服務(wù)端30建立連接，在此，本發(fā)明不限制其連接方式，可以為 有線連接，也可以為無(wú)線連接。較佳的，采用有線連接的傳輸方式，例如雙絞線傳輸，這樣可 以有效的避免信號(hào)干擾給測(cè)試帶來(lái)的不利。微處理器21是監(jiān)控單元20的核心，用以協(xié)調(diào)比較器22、存儲(chǔ)器23和通訊接口 M 之間的工作，具體其將比較器22所得到的統(tǒng)一的電平信號(hào)與對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)器23內(nèi)的探針臺(tái) 信息轉(zhuǎn)換為通訊接口 M對(duì)應(yīng)的通訊協(xié)議信號(hào)，以通過(guò)該通訊接口 M將該通訊協(xié)議信號(hào)傳 輸給服務(wù)端30。例如，當(dāng)通訊接口 M與服務(wù)端30之間通過(guò)雙絞線連接時(shí)，就需要將比較器 22所得到的統(tǒng)一的電平信號(hào)與對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)器23內(nèi)的探針臺(tái)信息轉(zhuǎn)換為RS485信號(hào)?？梢?jiàn)，以上探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)利用探針臺(tái)引出的多路接口信號(hào)來(lái)于遠(yuǎn)端統(tǒng)一 監(jiān)控多個(gè)探針臺(tái)的工作狀態(tài)，具體，其將引出的信號(hào)轉(zhuǎn)換為遠(yuǎn)端的服務(wù)端(例如，為計(jì)算 機(jī))可以識(shí)別及處理的信號(hào)，并將該信號(hào)傳送給服務(wù)端，以在服務(wù)端集中監(jiān)控所有探針臺(tái) 的工作狀態(tài)，從而提高探針臺(tái)工作狀態(tài)的監(jiān)控效率。由于探針臺(tái)的數(shù)量較多，相應(yīng)的傳輸路徑不止一個(gè)，而且不是每種傳輸過(guò)來(lái)的信 號(hào)都可以被服務(wù)端的工作機(jī)所識(shí)別，故較佳的，如圖所示，可以在服務(wù)端30設(shè)置集線器31， 以連接多個(gè)監(jiān)控單元20，接收其所傳輸?shù)耐ㄓ崊f(xié)議信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換為工作機(jī)32可以識(shí)別 的信號(hào)；而工作機(jī)32連接集線器31，以從集線器31轉(zhuǎn)換的信號(hào)中獲得對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)信息 及其工作狀態(tài)。例如，當(dāng)通訊接口 M與服務(wù)端30之間通過(guò)雙絞線連接，且集線器31與工 作機(jī)之間通過(guò)USB連接時(shí)，集線器將接收到的RS485信號(hào)轉(zhuǎn)換為USB信號(hào)，以便于工作機(jī)的 后續(xù)處理。需要說(shuō)明的是，該系統(tǒng)可以設(shè)置固定時(shí)間，各個(gè)監(jiān)控單元將其所獲得的信息傳送 給服務(wù)端，也可以以服務(wù)端主動(dòng)詢問(wèn)的方式來(lái)獲得各個(gè)監(jiān)控單元所獲得的信息。由于半導(dǎo) 體測(cè)試對(duì)于環(huán)境的要求比較高，故較佳的，服務(wù)端30與監(jiān)控單元20之間的信息交換方式采 用主動(dòng)詢問(wèn)方式，這樣可以避免所有傳輸路徑共同傳輸所帶來(lái)的信號(hào)干擾。具體，服務(wù)端30 向監(jiān)控單元20發(fā)送詢問(wèn)信號(hào)，其中詢問(wèn)信號(hào)內(nèi)包括一探針臺(tái)10的地址信息；應(yīng)服務(wù)端30的詢問(wèn)信號(hào)，對(duì)應(yīng)其內(nèi)地址的探針臺(tái)的監(jiān)控單元20將其獲得的探針臺(tái)工作狀態(tài)信號(hào)轉(zhuǎn)換 為通訊協(xié)議信號(hào)傳輸給服務(wù)端30。在前面已經(jīng)提及，現(xiàn)有探針臺(tái)的工作狀態(tài)多是通過(guò)指示燈來(lái)顯示給操作人員的， 故較佳的，所述探針臺(tái)的多種工作狀態(tài)信號(hào)是通過(guò)其狀態(tài)指示燈接口引出，即每個(gè)監(jiān)控單 元20內(nèi)的比較器22分別連接對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)10的多個(gè)狀態(tài)指示燈接口。在本實(shí)施列中，包 括三個(gè)指示燈，分別為紅燈、綠燈與黃燈。然而，本發(fā)明不以此為限，可以根據(jù)具體探針臺(tái)的 工作狀態(tài)指示情況而設(shè)計(jì)。指示燈的好處在于可以直觀的顯示每個(gè)探針臺(tái)的工作狀態(tài)，而在遠(yuǎn)端的服務(wù)端， 這種狀態(tài)可以轉(zhuǎn)換為數(shù)據(jù)或信息顯示給監(jiān)控人員，但這種信息不如指示燈那么直觀，所以 較佳的，可以在服務(wù)端設(shè)置顯示裝置與轉(zhuǎn)換程序，利用轉(zhuǎn)換程序運(yùn)行將所接收到的探針臺(tái) 工作狀態(tài)信號(hào)轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的指示燈顏色，并根據(jù)對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)信息，于顯示裝置上圖形化 顯示各個(gè)探針臺(tái)的工作狀態(tài)。如圖2，其示出了一種顯示裝置33上所顯示的信息狀態(tài)。其 中，每個(gè)小方框331代表一個(gè)探針臺(tái)，其具有與實(shí)驗(yàn)室探針臺(tái)地址相同或相應(yīng)的地址，R代 表紅色，Y代表黃色，G代表綠色。如此，監(jiān)控人員便可以直觀的從遠(yuǎn)端實(shí)時(shí)掌握各個(gè)探針臺(tái) 的工作狀態(tài)，以提高探針臺(tái)的利用率。對(duì)應(yīng)于以上探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，本發(fā)明還提供一種實(shí)時(shí)監(jiān)控探針測(cè)試?yán)寐?的方法，用以監(jiān)控多個(gè)探針臺(tái)的工作狀態(tài)。結(jié)合參考圖3，該方法包括如下步驟S310 根據(jù)每個(gè)探針臺(tái)10的工作狀態(tài)顯示接口數(shù)量，為每個(gè)探針臺(tái)配置一監(jiān)控單 元20.如圖1所示，該監(jiān)控單元20包括微處理器21以及分別與該微處理器21連接的多個(gè) 比較器22、存儲(chǔ)器23、通訊接口 24，其中每個(gè)監(jiān)控單元20內(nèi)的比較器的數(shù)量為每個(gè)探針臺(tái) 10的工作狀態(tài)顯示接口數(shù)量。在本實(shí)施列中，探針臺(tái)10的工作狀態(tài)顯示接口數(shù)量為三個(gè)，則相應(yīng)需要配置三個(gè) 比較器22。較佳的，探針臺(tái)的多種工作狀態(tài)顯示接口為其狀態(tài)指示燈接口。因?yàn)?，指示燈?探針臺(tái)較為常見(jiàn)的像操作人員顯示其工作狀態(tài)的方式，這在前面已經(jīng)提及，例如，分別為利 用紅燈表示機(jī)器故障、需要處理；綠燈表示機(jī)器正處于工作狀態(tài)；黃燈表示機(jī)器暫停工作， 需要人為干預(yù)操作。那么此時(shí)，比較器22分別連接紅燈、綠燈和黃燈的接口，以引出其接口 信號(hào)。即，如步驟S320:S320:利用多個(gè)比較器22分別接收其所連接的探針臺(tái)的多種工作狀態(tài)信號(hào)，并將 所接收的信號(hào)轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電平信號(hào)；S330 利用存儲(chǔ)器23存儲(chǔ)對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)的信息；S340 利用微處理器21將所述統(tǒng)一的電平信號(hào)與對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)信息轉(zhuǎn)換為通訊 接口 M對(duì)應(yīng)的通訊協(xié)議信號(hào)，以通過(guò)通訊接口 M將該通訊協(xié)議信號(hào)傳輸給服務(wù)端30 ；S350 利用服務(wù)端30根據(jù)所接收的通訊協(xié)議信號(hào)獲取探針臺(tái)的工作狀態(tài)?？梢?jiàn)，以上方法從探針臺(tái)的工作狀態(tài)顯示接口引出探針臺(tái)的各種工作狀態(tài)信號(hào)， 并利用比較器將其轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電平信號(hào)，交由微處理器處理，利用微處理器將統(tǒng)一的電 平信號(hào)與相應(yīng)的探針臺(tái)信息轉(zhuǎn)為通訊協(xié)議信號(hào)傳輸給遠(yuǎn)端的服務(wù)端，以在遠(yuǎn)端統(tǒng)一對(duì)所有 探針臺(tái)進(jìn)行監(jiān)控，避免了人員不斷到各個(gè)探針臺(tái)去巡視所帶來(lái)的效率低下等技術(shù)問(wèn)題。且 可以根據(jù)不同探針臺(tái)的工作狀態(tài)顯示接口的不同，設(shè)置所需數(shù)量的比較器，實(shí)現(xiàn)了對(duì)不同 種類探針臺(tái)的統(tǒng)一化管理，增加了探針臺(tái)監(jiān)控的實(shí)時(shí)性，進(jìn)而可以提高探針臺(tái)的利用率。
在使用中，由于探針臺(tái)的數(shù)量較多，相應(yīng)的傳輸路徑不止一個(gè)，而且不是每種傳輸 過(guò)來(lái)的信號(hào)都可以被服務(wù)端的工作機(jī)所識(shí)別，故較佳的，如圖ι所示，可以在服務(wù)端30設(shè)置 集線器31，以連接多個(gè)監(jiān)控單元20，接收其所傳輸?shù)耐ㄓ崊f(xié)議信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換為工作機(jī) 32可以識(shí)別的信號(hào)。則該方法還包括如下步驟利用集線器接收多每個(gè)監(jiān)控單元所傳輸?shù)?通訊協(xié)議信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換為工作機(jī)可以識(shí)別的信號(hào)；利用工作機(jī)從集線器轉(zhuǎn)換的信號(hào)中 獲得對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)信息及其工作狀態(tài)。例如，當(dāng)通訊接口 M與服務(wù)端30之間通過(guò)雙絞線 連接，且集線器31與工作機(jī)之間通過(guò)USB連接時(shí)，集線器將接收到的RS485信號(hào)轉(zhuǎn)換為USB 信號(hào)，以便于工作機(jī)的后續(xù)處理。需要說(shuō)明的是，在本方法中，可以設(shè)置固定時(shí)間間隔讓各個(gè)監(jiān)控單元將其所獲得 的信息傳送給服務(wù)端，也可以以服務(wù)端主動(dòng)詢問(wèn)的方式來(lái)獲得各個(gè)監(jiān)控單元所獲得的信 息。由于半導(dǎo)體測(cè)試對(duì)于環(huán)境的要求比較高，故較佳的，服務(wù)端30與監(jiān)控單元20之間的信 息交換方式采用主動(dòng)詢問(wèn)方式，這樣可以避免所有傳輸路徑共同傳輸所帶來(lái)的信號(hào)干擾。 具體，服務(wù)端30向監(jiān)控單元20發(fā)送詢問(wèn)信號(hào)，其中詢問(wèn)信號(hào)內(nèi)包括一探針臺(tái)10的地址信 息；應(yīng)服務(wù)端30的詢問(wèn)信號(hào)，對(duì)應(yīng)其內(nèi)地址的探針臺(tái)的監(jiān)控單元20將其獲得的探針臺(tái)工作 狀態(tài)信號(hào)轉(zhuǎn)換為通訊協(xié)議信號(hào)傳輸給服務(wù)端30。在前面已經(jīng)提及，指示燈是探針臺(tái)較為常見(jiàn)的像操作人員顯示其工作狀態(tài)的方 式，指示燈的好處在于可以直觀的顯示每個(gè)探針臺(tái)的工作狀態(tài)，而在遠(yuǎn)端的服務(wù)端，這種狀 態(tài)可以轉(zhuǎn)換為數(shù)據(jù)或信息顯示給監(jiān)控人員，但這種信息不如指示燈那么直觀，所以較佳的， 可以在服務(wù)端設(shè)置顯示裝置與轉(zhuǎn)換程序，利用轉(zhuǎn)換程序運(yùn)行將所接收到的探針臺(tái)工作狀態(tài) 信號(hào)轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的指示燈顏色，并根據(jù)對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)信息，于顯示裝置上圖形化顯示各個(gè) 探針臺(tái)的工作狀態(tài)。以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理、主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。本領(lǐng)域的技術(shù) 人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述的只是本發(fā)明 的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下本發(fā)明還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和 改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本發(fā)明的范圍內(nèi)。本發(fā)明要求的保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)及其 等同物界定。
權(quán)利要求
1.一種探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，用以監(jiān)控多個(gè)探針臺(tái)的工作狀態(tài)，其特征是，包括服務(wù) 端以及多個(gè)分別與所述多個(gè)探針臺(tái)連接的監(jiān)控單元，所述服務(wù)端通過(guò)所述監(jiān)控單元獲得探 針臺(tái)的工作狀態(tài)，其中所述監(jiān)控單元包括多個(gè)比較器，連接對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)，以分別接收其所連接的探針臺(tái)的多種工作狀態(tài)信號(hào)， 并將所接收的信號(hào)轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電平信號(hào)；存儲(chǔ)器，存儲(chǔ)對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)的信息；通訊接口，連接所述服務(wù)端；微處理器，分別與所述多個(gè)比較器、存儲(chǔ)器和通訊接口連接，將所述統(tǒng)一的電平信號(hào)與 對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)信息轉(zhuǎn)換為所述通訊接口對(duì)應(yīng)的通訊協(xié)議信號(hào)，以通過(guò)所述通訊接口將該通 訊協(xié)議信號(hào)傳輸給服務(wù)端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，其特征是，所述服務(wù)端包括集線器，連接所述多個(gè)監(jiān)控單元，以接收所述通訊協(xié)議信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換為工作機(jī)可以 識(shí)別的信號(hào)；工作機(jī)，連接所述集線器，以從集線器轉(zhuǎn)換的信號(hào)中獲得對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)信息及其工作 狀態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，其特征是，所述服務(wù)端與所述監(jiān)控 單元之間的信息交換方式為主動(dòng)詢問(wèn)方式，即服務(wù)端向監(jiān)控單元發(fā)送詢問(wèn)信號(hào)，其中所述詢問(wèn)信號(hào)內(nèi)包括一探針臺(tái)的地址信息；對(duì)應(yīng)于所述詢問(wèn)信號(hào)內(nèi)的探針臺(tái)的地址信息的監(jiān)控單元將其獲得的探針臺(tái)工作狀態(tài) 信號(hào)轉(zhuǎn)換為通訊協(xié)議信號(hào)傳輸給服務(wù)端。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，其特征是，所述探針臺(tái)的多種工作 狀態(tài)信號(hào)是通過(guò)其狀態(tài)指示燈接口引出，即所述多個(gè)比較器，分別連接對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)的多 個(gè)狀態(tài)指示燈接口。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，其特征是，所述探針臺(tái)的狀態(tài)指示 燈包括紅燈、綠燈與黃燈。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，其特征是，所述服務(wù)端包括顯示裝 置與轉(zhuǎn)換程序，所述轉(zhuǎn)換程序運(yùn)行將所接收到的探針臺(tái)工作狀態(tài)信號(hào)轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)的指示燈 顏色，并根據(jù)對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)信息，于顯示裝置上圖形化顯示各個(gè)探針臺(tái)的工作狀態(tài)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，其特征是，所述服務(wù)端與監(jiān)控單元 之間的連接方式為有線連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，其特征是，所述服務(wù)端與監(jiān)控單元 之間的連接方式為雙絞線。
全文摘要
本發(fā)明揭示了一種探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，用以監(jiān)控多個(gè)探針臺(tái)的工作狀態(tài)，包括服務(wù)端以及多個(gè)分別與多個(gè)探針臺(tái)連接的監(jiān)控單元，服務(wù)端通過(guò)監(jiān)控單元獲得探針臺(tái)的工作狀態(tài)，其中所述監(jiān)控單元包括多個(gè)比較器，連接對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)，以分別接收其所連接的探針臺(tái)的多種工作狀態(tài)信號(hào)，并將所接收的信號(hào)轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電平信號(hào)；存儲(chǔ)器，存儲(chǔ)對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)的信息；通訊接口，連接服務(wù)端；微處理器，分別與多個(gè)比較器、存儲(chǔ)器和通訊接口連接，將所述統(tǒng)一的電平信號(hào)與對(duì)應(yīng)的探針臺(tái)信息轉(zhuǎn)換為通訊接口對(duì)應(yīng)的通訊協(xié)議信號(hào)，以通過(guò)通訊接口將該通訊協(xié)議信號(hào)傳輸給服務(wù)端。利用以上探針測(cè)試實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)可以在遠(yuǎn)端集中監(jiān)控所有探針臺(tái)的工作狀態(tài)，從而提高探針臺(tái)工作狀態(tài)的監(jiān)控效率。
文檔編號(hào)G01R1/073GK102135768SQ20101060039
公開(kāi)日2011年7月27日 申請(qǐng)日期2010年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月21日
發(fā)明者凌儉波, 葉建明, 周建青, 張春余, 方華, 沈懿樺, 祁建華, 陳燕 申請(qǐng)人:上海華嶺集成電路技術(shù)股份有限公司