專(zhuān)利名稱(chēng)：電路圖案檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種采用非接觸方式能夠檢查形成于基板上的導(dǎo)電圖案的缺陷的電 路圖案檢查裝置。
背景技術(shù)：
最近，顯示裝置以在玻璃基板上使用液晶的液晶顯示裝置、或者利用等離子的等 離子顯示裝置為主。在這些顯示裝置的制造工序中，對(duì)形成于玻璃基板上的作為電路配線(xiàn) 的導(dǎo)電圖案進(jìn)行有無(wú)斷線(xiàn)和短路不良的檢查。作為過(guò)去常用的導(dǎo)電圖案的檢查方法，例如如專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的那樣，已知有 如下的接觸式檢查方法(插針式觸點(diǎn)方式)其中，使檢查探針的針頭接觸導(dǎo)電圖案的兩 端，從一側(cè)的檢查探針施加直流檢測(cè)信號(hào)，檢測(cè)從另一側(cè)的檢查探針傳輸出的直流檢查信 號(hào)，通過(guò)有無(wú)檢測(cè)信號(hào)來(lái)檢查有無(wú)斷線(xiàn)和短路。作為其他檢查方法，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2中，使至少兩個(gè)檢查探針接近導(dǎo)體圖案，在采用 與導(dǎo)體圖案非接觸的方式進(jìn)行電容耦合的狀態(tài)下使其移動(dòng)的同時(shí)，從一側(cè)的檢查探針施加 交流檢查信號(hào)，通過(guò)另一側(cè)的檢查探針檢測(cè)傳輸于導(dǎo)體圖案的交流檢查信號(hào)。通過(guò)檢測(cè)信 號(hào)的波形變化，進(jìn)行導(dǎo)電圖案中有無(wú)斷線(xiàn)和短路的檢查。專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)昭62-269075號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2 日本特開(kāi)2004-191381號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
(發(fā)明要解決的問(wèn)題)隨著追求顯示畫(huà)面的大畫(huà)面化，上述的顯示裝置的畫(huà)面尺寸更大型化，同時(shí)要求 顯示畫(huà)面的致密度，力求顯示像素的微細(xì)化。因此，顯示像素的驅(qū)動(dòng)用配線(xiàn)或信號(hào)線(xiàn)等導(dǎo)電 圖案變長(zhǎng)的同時(shí)，被微細(xì)化。在對(duì)多個(gè)導(dǎo)電圖案進(jìn)行檢查時(shí)，在由專(zhuān)利文獻(xiàn)1所提案的使針頭尖接觸的檢查探 針中，作為第一方法，以橫穿排列的導(dǎo)電圖案上的方式使檢查探針滑行移動(dòng)，順次進(jìn)行檢 查?；蛘咦鳛榈诙椒?，配備與導(dǎo)電圖案數(shù)相同數(shù)的檢查探針，使檢查探針統(tǒng)一接觸，或者 作為第三方法，使檢查探針上下移動(dòng)的同時(shí)，以選擇性地與導(dǎo)電圖案接觸的方式使其移動(dòng)。在使檢查探針滑行移動(dòng)時(shí)，因?yàn)樵卺橆^尖接觸導(dǎo)電圖案的狀態(tài)下移動(dòng)，所以造成 由剝落或傷痕所形成的損壞的問(wèn)題。此外，即使檢查探針不滑動(dòng)而接觸導(dǎo)電圖案，也造成因 為針頭尖的接觸而向?qū)щ妶D案加壓所形成的傷痕等損壞問(wèn)題。此外，在使用程序等力求檢 查探針的接觸動(dòng)作和移動(dòng)自動(dòng)化的情況下，隨著導(dǎo)電圖案的細(xì)線(xiàn)化和配線(xiàn)間隔的微小化的 進(jìn)展，位置控制變得愈發(fā)不容易。此外，在采用通過(guò)非接觸方式與導(dǎo)電圖案進(jìn)行電容耦合的電極的檢查裝置中，隨 著與電極相對(duì)向的導(dǎo)電圖案的表面積的縮小的進(jìn)展，檢測(cè)出的檢查信號(hào)值也變小。當(dāng)增大 導(dǎo)電圖案的檢查信號(hào)值時(shí)，檢測(cè)出的檢查信號(hào)也變大，但是，隨著導(dǎo)電圖案的微細(xì)化，可以容許的檢查信號(hào)值也變小。此外，在檢測(cè)信號(hào)中，除檢查信號(hào)外檢測(cè)出包含來(lái)自外部的被重 疊的噪聲。因此，對(duì)判斷檢查信號(hào)是否為噪聲需要熟練程度，或者在進(jìn)行計(jì)算機(jī)判斷時(shí)，基 準(zhǔn)值的設(shè)定變得困難。此外，當(dāng)對(duì)檢查對(duì)象基板，使用一個(gè)傳感器部并使其移動(dòng)進(jìn)行檢查時(shí)，得到一個(gè)檢 測(cè)信號(hào)。在僅由一個(gè)檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行判斷時(shí)，雖然通過(guò)嚴(yán)格設(shè)定閾值，能夠從微小的信號(hào)變化 中判斷有無(wú)缺陷，但是，因?yàn)橥瑫r(shí)也對(duì)檢測(cè)信號(hào)中可能包含的噪聲成分也作為判斷對(duì)象，所 以得到的判斷結(jié)果不能確定是否僅為真的缺陷。因此，再次以相同條件實(shí)施第二次的檢查， 將得到的第二次檢查結(jié)果與第一次的檢查結(jié)果進(jìn)行比較，進(jìn)行缺陷的確定。因此，為了得到 正確的檢查結(jié)果，以相同的檢查條件對(duì)同一檢查對(duì)象必須進(jìn)行至少兩次檢查。在該檢查方 法中，為了得到正確的檢查結(jié)果，因?yàn)榛ㄙM(fèi)進(jìn)行兩次檢查的時(shí)間，所以，不易縮短檢查時(shí)間。 再有，當(dāng)?shù)谝淮蔚臋z查和第二次的檢查之間空有時(shí)間時(shí)，以相同的條件進(jìn)行檢查不易做到。因此，本發(fā)明的目的在于提供一種電路圖案檢查裝置，該電路圖案檢查裝置對(duì)排 列于基板上的各導(dǎo)電圖案以時(shí)間序列的方式采用多組傳感器進(jìn)行多次檢測(cè)，生成將這些檢 測(cè)信號(hào)進(jìn)行乘積運(yùn)算的判斷信號(hào)，來(lái)實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電圖案好壞的適當(dāng)判斷。(解決技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案)為了達(dá)到上述目的，基于本發(fā)明的實(shí)施方式，提供一種電路圖案檢查裝置，該電路 圖案檢查裝置將多個(gè)導(dǎo)電圖案形成直列狀的基板作為檢查對(duì)象，包括第1傳感器對(duì)，該第 1傳感器對(duì)都具備與所述導(dǎo)電圖案中的第一導(dǎo)電圖案相對(duì)向的第一供電電極和第一傳感電 極；第2傳感器對(duì)，該第2傳感器對(duì)都具備與從所述第一導(dǎo)電圖案間隔預(yù)先設(shè)定的圖案數(shù)目 的距離的第二導(dǎo)電圖案相對(duì)向的第二供電電極和第二傳感電極；移動(dòng)部，該移動(dòng)部保持所 述第1傳感器對(duì)和所述第2傳感器對(duì)，在所述導(dǎo)電圖案的上方以一定的距離分開(kāi)，并且以與 該導(dǎo)電圖案的直列相交叉的方式進(jìn)行移動(dòng)；檢查信號(hào)供給部，該檢查信號(hào)供給部在利用所 述移動(dòng)部的所述第1傳感器對(duì)和所述第2傳感器對(duì)的移動(dòng)中，供給所述第一供電電極和所 述第二供電電極由交流信號(hào)構(gòu)成的同一檢查信號(hào)，將該檢查信號(hào)順次施加于與所述第一供 電電極和所述第二供電電極相對(duì)向、并且進(jìn)行電容耦合的各個(gè)導(dǎo)電圖案；檢查信號(hào)處理部， 該檢查信號(hào)處理部將預(yù)先設(shè)定的判斷基準(zhǔn)值，與通過(guò)分別與施加所述檢查信號(hào)的所述導(dǎo)電 圖案進(jìn)行電容耦合的所述第一傳感電極和所述第二傳感電極獲得的第一檢測(cè)信號(hào)和第二 檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行比較，從而選出缺陷候補(bǔ)，進(jìn)而，以在所述第一檢測(cè)信號(hào)上和所述第二檢測(cè)信 號(hào)上的導(dǎo)電圖案的位置一致的方式進(jìn)行使任一檢測(cè)信號(hào)的位置移動(dòng)的距離軸匹配；以及缺 陷判斷部，該缺陷判斷部將所述導(dǎo)電圖案的位置一致的所述第一檢測(cè)信號(hào)和所述第二檢測(cè) 信號(hào)中的所述缺陷候補(bǔ)彼此進(jìn)行比較，將在相同圖案位置上共通存在的缺陷候補(bǔ)判斷為所 述導(dǎo)電圖案的真缺陷。再者，提供一種電路圖案檢查裝置的檢查方法，為具備檢查部的電路圖案檢查裝 置的檢查方法，該檢查部將多個(gè)導(dǎo)電圖案形成直列狀的基板作為檢查對(duì)象，由在與用于檢 測(cè)存在缺陷的導(dǎo)電圖案的所述導(dǎo)電圖案的直列相交叉的方向上空開(kāi)規(guī)定的圖案數(shù)目的距 離而并排設(shè)置的至少兩組供電電極和一對(duì)傳感電極所構(gòu)成，其中，使所述檢查部沿與所述 直列交叉的方向移動(dòng)，并通過(guò)電容耦合從各個(gè)所述供電電極對(duì)彼此分開(kāi)的不同的導(dǎo)電圖案 順次施加由交流信號(hào)構(gòu)成的同一檢查信號(hào)，通過(guò)對(duì)傳輸于施加了所述檢查信號(hào)的各個(gè)所述 導(dǎo)電圖案的所述檢查信號(hào)進(jìn)行電容耦合，分別從所述傳感電極獲得第一檢測(cè)信號(hào)和第二檢測(cè)信號(hào)，將預(yù)先設(shè)定的判斷基準(zhǔn)值與所述第一檢測(cè)信號(hào)和第二檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行比較，從而選 出缺陷候補(bǔ)，以在所述第一檢測(cè)信號(hào)上和所述第二檢測(cè)信號(hào)上的導(dǎo)電圖案的位置一致的方 式，使任一檢測(cè)信號(hào)的位置移動(dòng)而得到距離軸匹配，將所述導(dǎo)電圖案的位置一致的所述第 一檢測(cè)信號(hào)和所述第二檢測(cè)信號(hào)中的所述缺陷候補(bǔ)彼此進(jìn)行比較，將在相同圖案位置上共 通存在的缺陷候補(bǔ)判斷為所述導(dǎo)電圖案的真缺陷。(發(fā)明的效果)根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種電路圖案檢查裝置，該電路圖案檢查裝置對(duì)排列于基 板上的各導(dǎo)電圖案以時(shí)間序列的方式采用多組傳感器進(jìn)行多次檢測(cè)，生成將這些檢測(cè)信號(hào) 進(jìn)行乘積運(yùn)算的判斷信號(hào)，來(lái)實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電圖案好壞的適當(dāng)判斷。


圖1為表示本發(fā)明涉及的電路圖案檢查裝置的雙組檢查部的示意構(gòu)成的圖。圖2(a)、(b)為用于說(shuō)明有關(guān)在電路圖案檢查裝置中判斷有無(wú)缺陷的說(shuō)明圖。圖3為表示本實(shí)施方式涉及的電路圖案檢查裝置的整體構(gòu)成的框圖。圖4為表示電路圖案檢查裝置的雙組檢查部的示意構(gòu)成的圖。圖5(a)為表示在檢查信號(hào)處理部中利用雙通道電極的檢測(cè)信號(hào)的圖，圖5(b)為 表示對(duì)檢測(cè)信號(hào)實(shí)施平滑化處理的信號(hào)的圖，圖5(c)為表示實(shí)施距離軸匹配處理的檢測(cè) 信號(hào)的圖。圖6(a)為表示得到距離軸匹配處理的檢測(cè)信號(hào)差分的差分信號(hào)的圖，圖6(b)為 表示對(duì)差分信號(hào)利用乘積運(yùn)算的進(jìn)行微小變化增強(qiáng)處理的乘積信號(hào)的圖，圖6(c)為表示 在乘積信號(hào)中對(duì)脈沖噪聲進(jìn)行平滑化處理的信號(hào)的圖。圖7為用于說(shuō)明有關(guān)在電路圖案檢查裝置中的測(cè)定的圖。(符號(hào)說(shuō)明)1電路圖案檢查裝置2雙組檢查部3移動(dòng)機(jī)構(gòu)4驅(qū)動(dòng)控制部5檢查信號(hào)處理部6控制部7輸入部8顯示部9存儲(chǔ)器11檢查信號(hào)供給單元12傳感器單元13檢查信號(hào)供給部14平滑化部15距離軸匹配部16差值算出部17微小變化增強(qiáng)部
6
18192021a、21b22、2322a、23a22b、23b10010110310具體實(shí)施例方式下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。利用本發(fā)明的電路圖案檢查裝置為與基板分體的檢查裝置，在制造工序中，例如 用于檢測(cè)形成于玻璃制的基板上的多列導(dǎo)電圖案(配線(xiàn)圖案)的斷線(xiàn)或短路的不良圖案。 作為檢查對(duì)象的導(dǎo)電圖案為，例如用于液晶顯示面板或接觸式面板等的電路配線(xiàn)、多列平 行排列的導(dǎo)電圖案、或者整個(gè)導(dǎo)電圖案的一端側(cè)通過(guò)短路棒(bar)連接的櫛狀導(dǎo)電圖案。 另外，形成于基板上的各導(dǎo)電圖案當(dāng)圖案的位置為能夠確定時(shí)，即使不是等間隔的配置也 能夠進(jìn)行檢查。再者，在下述的雙組檢查部移動(dòng)時(shí)，在同一導(dǎo)電圖案上，當(dāng)為供電電極和傳 感電極能夠相對(duì)向的圖案時(shí)，即使在導(dǎo)電圖案的途中為彎曲或?qū)挾茸兓材軌蜻M(jìn)行同等的 檢查。另外，在下面說(shuō)明中，為了易于理解，將以一定間隔形成直列狀的導(dǎo)電圖案作為檢查 對(duì)象進(jìn)行說(shuō)明。圖1為表示本發(fā)明涉及的電路圖案檢查裝置的雙組檢查部的示意構(gòu)成的說(shuō)明圖。 圖2(a)、(b)為說(shuō)明有關(guān)在電路圖案檢查裝置中判斷有無(wú)缺陷的說(shuō)明圖。如圖1所示，電路圖案檢查裝置1具備雙組檢查部2，該雙組檢查部2間隔規(guī)定 距離設(shè)置在形成于玻璃基板等具有絕緣性的基板100上的多列導(dǎo)電圖案101的上方；檢查 信號(hào)供給部13，該檢查信號(hào)供給部13供給雙組檢查部2由交流構(gòu)成的檢查信號(hào)；檢查信號(hào) 處理部5，該檢查信號(hào)處理部5對(duì)從雙組檢查部2檢測(cè)出的檢測(cè)信號(hào)實(shí)施下述的信號(hào)處理； 缺陷判斷部20，該缺陷判斷部20設(shè)置在下述控制部(圖2所示的控制部6)內(nèi)；以及顯示 部8，該顯示部8顯示包括檢查結(jié)果的檢查信息。雙組檢查部2具有兩組由供電電極和一對(duì)傳感電極構(gòu)成的檢查部。具體是，雙組 檢查部2由具備用于將檢查信號(hào)供給(施加)于導(dǎo)電圖案101的供電電極21(21a，21b)的 檢查信號(hào)供給單元11、以及具備將供給于導(dǎo)電圖案101的檢查信號(hào)作為檢測(cè)信號(hào)SO檢測(cè)的 傳感電極22、23的傳感器單元12所構(gòu)成。在該例中，通過(guò)由位于同一導(dǎo)電體圖案上方的供 電電極21a和傳感電極22構(gòu)成的第一檢查部、以及由一起位于對(duì)于第一檢查部間隔數(shù)個(gè)圖 案的距離的導(dǎo)電圖案上方的供電電極21b和傳感電極23構(gòu)成的第二檢查部所構(gòu)成。供電 電極21b和傳感電極23也位于同一導(dǎo)電體圖案上方。檢查信號(hào)供給部13以相同周期時(shí)刻分別對(duì)供電電極21a和供電電極21b施加同
脈沖噪聲平滑化部 CPU
缺陷判斷部 供電電極 傳感器對(duì) 傳感電極
噪聲電極(傳感電極) 基板 導(dǎo)電圖案 臂部
導(dǎo)向部件電壓值相同頻率的交流檢查信號(hào)。供電電極21a、21b分別對(duì)相對(duì)向的導(dǎo)電圖案101進(jìn)行電 容耦合，并施加交流檢查信號(hào)。這些檢查信號(hào)傳輸于導(dǎo)電圖案101，被相對(duì)向進(jìn)行電容耦合 的傳感電極22、23所獲得。另外，檢查信號(hào)為通過(guò)電容耦合傳輸?shù)男盘?hào)即可，不僅是交流正 弦波，也可以為矩形(脈沖)波的信號(hào)。這些單元11、12通過(guò)移動(dòng)機(jī)構(gòu)3，在從供電電極21a、21b對(duì)導(dǎo)電圖案101施加檢查 信號(hào)的狀態(tài)、并且在傳感電極22、23從導(dǎo)電圖案101檢測(cè)檢查信號(hào)的狀態(tài)、在圖案的上方保 持相同間隔距離(測(cè)定間隔)的狀態(tài)，以與導(dǎo)電圖案的直列交叉(橫穿)的方式進(jìn)行移動(dòng)。 另外，檢查信號(hào)供給單元11和傳感器單元12為與導(dǎo)電圖案、以及供電電極和傳感電極相對(duì) 向的位置時(shí)，在檢查對(duì)象的基板上也可以間隔配置(例如導(dǎo)電圖案的兩端)，相反，也可以 配置在接近位置上。這是因?yàn)殡p組檢查部2通過(guò)電容耦合，檢測(cè)檢測(cè)信號(hào)的變化，因而由于 斷線(xiàn)在導(dǎo)電圖案中的容量與正常時(shí)不同，作為檢測(cè)信號(hào)的變化呈現(xiàn)。這樣構(gòu)成的第一檢查部和第二檢查部在對(duì)作為檢查對(duì)象的基板100上方進(jìn)行一 體地一次掃描移動(dòng)中，分別實(shí)施檢查動(dòng)作，對(duì)一個(gè)導(dǎo)電圖案101都進(jìn)行各一次檢查，在分別 檢測(cè)出的檢測(cè)信號(hào)S0a、S0b中包含對(duì)同一導(dǎo)電圖案的檢查結(jié)果。即，當(dāng)從檢查部側(cè)看時(shí)，通 過(guò)一次的檢查能夠得到兩次的結(jié)果，從導(dǎo)電圖案?jìng)?cè)看時(shí)，通過(guò)僅有的時(shí)間差能夠?qū)嵤﹥纱?檢查。圖2 (a)表示利用第一檢查部(傳感電極22)的判斷信號(hào)Sja、以及利用第二檢查 部(傳感電極23)的判斷信號(hào)Sjb，為用于說(shuō)明關(guān)于根據(jù)各個(gè)的相同水平的判斷基準(zhǔn)選出缺 陷候補(bǔ)的圖。這里，縱軸可以表示信號(hào)值，橫軸可以表示時(shí)間軸或者導(dǎo)電圖案位置。在檢查信號(hào)供給單元11移動(dòng)到導(dǎo)電圖案上方時(shí)，通過(guò)從供電電極21a和供電電極 21b分別與不同的導(dǎo)電圖案進(jìn)行電容耦合，施加相同的交流的檢查信號(hào)。傳感電極22、23通過(guò)圖案上方的同時(shí)，將傳輸于導(dǎo)電圖案101的檢查信號(hào)分別作 為檢測(cè)信號(hào)SOa從傳感電極22、作為檢測(cè)信號(hào)SOb從傳感電極23檢測(cè)。因此，對(duì)于一個(gè)導(dǎo) 電圖案101，能夠得到兩個(gè)檢查結(jié)果。這兩個(gè)檢查結(jié)果因?yàn)閮H偏差傳感器之間的距離，所以， 通過(guò)下述的距離軸匹配，對(duì)齊檢查位置。另外，這里所說(shuō)的距離軸匹配是指因?yàn)閭鞲须姌O22 和傳感電極23間隔數(shù)個(gè)圖案的距離而配置，所以在兩個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)(檢測(cè)信號(hào))中，產(chǎn)生相 應(yīng)距離的偏差。在用于對(duì)其進(jìn)行比較時(shí)，為了消除該距離的差異，接近檢測(cè)數(shù)據(jù)的任一方或 者雙方，在軸上以同一導(dǎo)電圖案一致的方式進(jìn)行移動(dòng)。在圖2(b)中，使圖2(a)所示的各個(gè)判斷信號(hào)沿橫軸方向移動(dòng)，使在縱軸上的圖案
位置一致。首先，檢測(cè)信號(hào)S0a、S0b被輸出至檢查信號(hào)處理部5。在檢查信號(hào)處理部5中，根 據(jù)需要實(shí)施檢測(cè)信號(hào)的放大，從放大的檢測(cè)信號(hào)中除去噪聲成分，從檢查信號(hào)SOa、SOb生 成判斷信號(hào)Sja、Sjb，輸出至缺陷判斷部20。如圖2(a)所示，該缺陷判斷部20，首先將作為預(yù)先設(shè)定的判斷基準(zhǔn)的相同基準(zhǔn)信 號(hào)和各個(gè)判斷信號(hào)Sja、Sjb進(jìn)行比較，對(duì)基準(zhǔn)以下的峰值作為缺陷候補(bǔ)Pal、Pa2和Pbl、Pb2 選出。另外，在圖2(a)中，將基準(zhǔn)以下(或者未到基準(zhǔn))的峰值信號(hào)作為缺陷候補(bǔ)設(shè)定，但 是，在信號(hào)檢測(cè)方法中，也有將基準(zhǔn)以上(或者超過(guò)基準(zhǔn))的峰值信號(hào)作為缺陷候補(bǔ)設(shè)定的 情況。如上所述，這些判斷信號(hào)Sja、Sjb,因?yàn)殚g隔數(shù)個(gè)圖案距離配置傳感電極22和傳感電極23，所以，如圖2(b)所示，為了在判斷信號(hào)中圖案為同一位置(相同檢測(cè)時(shí)刻)，通 過(guò)距離軸匹配使圖案位置一致。接著，比較如圖2(b)所示的在判斷信號(hào)Sja、Sjb中的缺陷候補(bǔ)Pal、Pa2以及Pbl、 Pb2。在該比較中，缺陷候補(bǔ)Pa2和Pbl在縱軸上一致。另外的缺陷候補(bǔ)Pal和Pb2都在縱 軸上一致的缺陷候補(bǔ)不存在。根據(jù)該比較結(jié)果，缺陷判斷部20判斷缺陷候補(bǔ)Pa2和Pbl為 真缺陷，判斷另外的缺陷候補(bǔ)Pal和Pb2為疑似缺陷候補(bǔ)，即為噪聲等。即，導(dǎo)電圖案中的 缺陷為不變的，即使進(jìn)行多次檢查，也得到表示同樣缺陷的檢測(cè)信號(hào)。與此對(duì)比，重疊于檢 測(cè)信號(hào)的噪聲等，在短時(shí)間且單獨(dú)產(chǎn)生的情況較多。因此，在包含在利用最初的第一檢查部 的檢測(cè)信號(hào)中的缺陷候補(bǔ)，作為缺陷候補(bǔ)不包含在利用之后的第二檢查部的檢測(cè)信號(hào)中的 情況下，第一檢查部的缺陷候補(bǔ)判斷為起因于噪聲等的疑似缺陷。在本實(shí)施方式中，為兩組由供電電極和一對(duì)傳感電極構(gòu)成的檢查部，但是，當(dāng)然， 并不局限于兩組，必要時(shí)，也可以使用三組以上的供電電極和一對(duì)傳感電極。由以上可知，根據(jù)本實(shí)施方式的雙組檢查部，從檢查部側(cè)看，通過(guò)在對(duì)檢查對(duì)象的 基板100上方進(jìn)行一次移動(dòng)檢查，第一檢查部和第二檢查部分別進(jìn)行檢查動(dòng)作，對(duì)一個(gè)導(dǎo) 電圖案101都進(jìn)行各一次檢查，分別得到檢測(cè)信號(hào)SOa、SOb0在這些檢測(cè)信號(hào)中，都包含 對(duì)同一導(dǎo)電圖案的檢查結(jié)果，通過(guò)一次的檢查能夠得到兩次的結(jié)果。在從這些檢測(cè)信號(hào)中 選出缺陷候補(bǔ)并進(jìn)行圖案的對(duì)位的檢測(cè)信號(hào)中，將存在于同一位置的缺陷候補(bǔ)判斷為真缺 陷。因而，通過(guò)由一次檢測(cè)動(dòng)作得到的檢查信號(hào)，實(shí)現(xiàn)可靠的判斷，能夠得到適當(dāng)?shù)爻?去噪聲等的導(dǎo)電圖案好壞的結(jié)果。下面，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及的電路圖案檢查裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖3為表示第二實(shí)施方式涉及的電路圖案檢查裝置的整體構(gòu)成的框圖。圖4為表 示電路圖案檢查裝置中雙組檢查部的構(gòu)成的圖。另外，對(duì)于與圖1所示的構(gòu)成部位相同的 部位賦予相同的參照符號(hào)。該電路圖案檢查裝置1構(gòu)成為包括雙組檢查部2，該雙組檢查部2在檢查時(shí)被設(shè) 定成在形成于上述基板100上的多列導(dǎo)電體圖案101上方間隔規(guī)定距離；移動(dòng)機(jī)構(gòu)3，該移 動(dòng)機(jī)構(gòu)3保持雙組檢查部2的間隔(非接觸)狀態(tài)，以在導(dǎo)電體圖案101上方交叉的方式 進(jìn)行移動(dòng)；驅(qū)動(dòng)控制部4，該驅(qū)動(dòng)控制部4驅(qū)動(dòng)控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)3 ；檢查信號(hào)供給部13，該檢查 信號(hào)供給部13供給雙組檢查部2由交流構(gòu)成的檢查信號(hào)；噪聲除去部24、25，該噪聲除去 部24、25生成從由雙組檢查部2的傳感電極22a、23a檢測(cè)出的檢測(cè)信號(hào)減去利用噪聲電極 22b,23b的噪聲信號(hào)的檢測(cè)信號(hào)S0(S0a，SOb)；檢查信號(hào)處理部5，該檢查信號(hào)處理部5對(duì) 檢測(cè)信號(hào)S0(S0a，D0b)實(shí)施下述的信號(hào)處理；控制部6，該控制部6控制裝置的整體，而且， 進(jìn)行基于來(lái)自檢查信號(hào)處理部5的缺陷判斷信號(hào)Sj的導(dǎo)電圖案的好壞的缺陷判斷；輸入部 7，該輸入部7由用于對(duì)控制部6進(jìn)行指示的鍵盤(pán)或開(kāi)關(guān)面板等構(gòu)成；以及顯示部8，該顯示 部8顯示包含輸入的指示或檢查結(jié)果的檢查信息。雙組檢查部2由將檢查信號(hào)供給(施加)于導(dǎo)電圖案101的檢查信號(hào)供給單元 11、以及檢測(cè)供給導(dǎo)電圖案101的檢查信號(hào)的傳感器單元12所構(gòu)成。這些單元通過(guò)移動(dòng)機(jī) 構(gòu)3對(duì)導(dǎo)電圖案101在上方保持間隔距離(測(cè)定間隔)的狀態(tài)下進(jìn)行移動(dòng)。在移動(dòng)機(jī)構(gòu)3 中設(shè)有未圖示的用于測(cè)定與導(dǎo)電圖案101距離的距離傳感器和高度調(diào)整機(jī)構(gòu)，調(diào)整成從檢查時(shí)的檢查信號(hào)供給單元11以及傳感器單元12的導(dǎo)電圖案的間隔距離總是恒定。如圖3所示，在檢查信號(hào)供給單元11中，在間隔圖案數(shù)列的距離的導(dǎo)電圖案101 的上方分別設(shè)有間隔相同距離的供電電極21a、21b。在供電電極21a、21b中，從檢查信號(hào) 供給部13以相同的周期時(shí)刻分別施加同電壓值相同頻率的交流檢查信號(hào)。這些供電電極 21a、21b的電極寬度為被適宜地設(shè)定，當(dāng)檢查信號(hào)能夠適當(dāng)?shù)毓┙o時(shí)，可以為導(dǎo)電圖案101 的寬度以下，當(dāng)向鄰接的導(dǎo)電圖案不施加檢查信號(hào)時(shí)，也可以具有導(dǎo)電圖案101寬度以上。本實(shí)施方式在傳感器單元12中分別設(shè)有兩個(gè)傳感電極成對(duì)的傳感器對(duì)22、23。例如，在傳感器對(duì)22中，一側(cè)的傳感電極22a在與供電電極21a同一導(dǎo)電圖案上 方配置成能夠相對(duì)向。此外，成對(duì)的傳感電極22b在從傳感電極22a間隔數(shù)個(gè)圖案的導(dǎo)電 圖案101的上方配置成相對(duì)向。該傳感電極22b被構(gòu)成為配置于從供給檢查信號(hào)的導(dǎo)電圖 案間隔數(shù)個(gè)圖案的導(dǎo)電圖案上方，并檢測(cè)噪聲。在下面的說(shuō)明中，將該傳感電極22b稱(chēng)作噪 聲電極22b。像本實(shí)施方式那樣，在利用由與檢查對(duì)象(導(dǎo)電圖案)非接觸的檢查電極的電容 耦合進(jìn)行測(cè)定的情況下，不存在接觸型傳感器那樣的絕對(duì)性的基準(zhǔn)電位(例如，GND :0V)。 因此，設(shè)置具有與傳感電極22a相同特性的噪聲電極22b，對(duì)不供給檢查信號(hào)的導(dǎo)電圖案進(jìn) 行檢測(cè)，檢測(cè)無(wú)信號(hào)狀態(tài)下的信號(hào)值例如噪聲信號(hào)。通過(guò)從由傳感電極22a檢測(cè)出的檢查 信號(hào)比較或者減去重疊的噪聲，成為合適的檢測(cè)信號(hào)。在通過(guò)傳感器單元12檢測(cè)出的實(shí)際的檢測(cè)信號(hào)中，不僅有起因?qū)щ婓w圖案中配 線(xiàn)誤差的周期性的噪聲的影響，還包括移動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的機(jī)械伺服機(jī)構(gòu)噪聲、以及間隔距離的 變動(dòng)和來(lái)自配置在周邊的器械的共態(tài)噪聲(傳輸在接地線(xiàn)上的噪聲)的影響等。在本實(shí)施方式中，在從傳感電極22a間隔規(guī)定距離，例如2mm位置配置噪聲電極 22b。根據(jù)該構(gòu)成，將利用傳感電極22a的檢測(cè)輸出、以及利用噪聲電極22b的檢測(cè)輸出輸 送至檢查信號(hào)處理部5，通過(guò)減去重疊的噪聲，在作出虛擬接地電位(GND)的同時(shí)，進(jìn)行噪 聲的除去。此外，在本實(shí)施方式中，在圖1中表示將檢查信號(hào)供給單元11和傳感器單元12配 置在導(dǎo)電圖案101的兩端的實(shí)例，但是，該配置僅表示為一個(gè)實(shí)例，在實(shí)際中，也可以設(shè)置 成使其接近。此外，在檢查地方也沒(méi)有必要在導(dǎo)電圖案101的兩端側(cè)。在檢查信號(hào)供給單 元11和傳感器單元12作為一個(gè)單元接近基板上進(jìn)行配置的構(gòu)成的情況下，當(dāng)為導(dǎo)電圖案 上方時(shí)，不論為中央側(cè)，還是在任一端側(cè)，當(dāng)以交叉方式進(jìn)行移動(dòng)時(shí)，就能夠?qū)嵤z查。在本實(shí)施方式中，傳感電極22a、23a以及噪聲電極22b、23b為了盡量大地檢測(cè)出 信號(hào)值，具有為導(dǎo)電圖案101的寬度以上、且不覆蓋鄰接的導(dǎo)電圖案的寬度。S卩，具有導(dǎo)電 圖案101的寬度和鄰接的圖案間隙之和(兩側(cè)兩個(gè)間隙)以下的寬度。此外，對(duì)于沿導(dǎo)電 圖案的方向不作限定，也可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)定電極的長(zhǎng)度。下面，對(duì)檢查信號(hào)處理部5進(jìn)行說(shuō)明。檢查信號(hào)處理部5由利用平滑化部14、距離軸匹配部15、差值算出部16、微小變化 增強(qiáng)部17、脈沖噪聲平滑化部18的各電子電路所構(gòu)成。再者，使用對(duì)導(dǎo)電圖案101進(jìn)行缺 陷判斷的控制部6內(nèi)的缺陷判斷部20。檢查信號(hào)處理部5對(duì)輸入的檢查信號(hào)S0a、S0b順次進(jìn)行實(shí)施平滑處理的平滑化處 理、上述的距離軸匹配處理、差值算出處理、微小變化增強(qiáng)處理、脈沖噪聲平滑化處理。檢查信號(hào)被實(shí)施這些處理，變換成缺陷判斷信號(hào)Sj (Sja，Sjb)，輸出至對(duì)整個(gè)導(dǎo)電圖案101進(jìn)行 缺陷判斷的缺陷判斷部20。在缺陷判斷部20中，基于各個(gè)判斷信號(hào)Sja、Sjb來(lái)判斷有無(wú) 缺陷，并將其判斷結(jié)果顯示于顯示部8的畫(huà)面上?？刂撇?由進(jìn)行裝置整體的各構(gòu)成部的控制的CPU(中央處理單元)19、缺陷判斷 部20、存儲(chǔ)有關(guān)程序或數(shù)據(jù)信息的存儲(chǔ)器9構(gòu)成。存儲(chǔ)器9為一般的存儲(chǔ)器，利用例如ROM、RAM或者閃存器等，存儲(chǔ)控制用程序、各 種運(yùn)算用程序以及數(shù)據(jù)(圖表)等。下面，參照?qǐng)D5 (a)-(c)和圖6(a)-(c)，對(duì)通過(guò)檢查信號(hào)處理部5的各構(gòu)成部進(jìn)行 的處理進(jìn)行說(shuō)明。圖7表示測(cè)定條件。圖5 (a)表示傳感器對(duì)22、23的各個(gè)檢測(cè)信號(hào)SO (SOa, SOb)。該檢測(cè)信號(hào)SO為從 利用上述傳感電極22a、23b的檢測(cè)信號(hào)獲取利用噪聲電極22b、23b的檢測(cè)信號(hào)(噪聲信 號(hào))之差，制作噪聲除去和虛擬接地電位(GND)的信號(hào)。在本實(shí)施例中，如上所述，因?yàn)榭臻_(kāi)多個(gè)導(dǎo)電圖案的間隔配置傳感器對(duì)22、23，所 以，如圖4所示，在使其在基板100上的導(dǎo)電圖案101上移動(dòng)并且以時(shí)間序列的方式實(shí)施檢 查的情況下，在通過(guò)同一導(dǎo)電圖案時(shí)，產(chǎn)生時(shí)間差。因此，在檢測(cè)的檢測(cè)信號(hào)S0a、S0b中，如 圖5(a)的Al、A2、A3所示具有時(shí)間差，在信號(hào)波形產(chǎn)生相同的變化。此外，在對(duì)導(dǎo)電圖案施加檢查信號(hào)時(shí)，存在噪聲從外部通過(guò)其他途徑進(jìn)入并且該 噪聲重疊于檢測(cè)信號(hào)而被檢測(cè)的情況。這樣的噪聲的大部分瞬間附加的情況較多，當(dāng)用兩 個(gè)傳感電極錯(cuò)開(kāi)時(shí)間，對(duì)同一導(dǎo)電圖案進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，即使用一側(cè)的傳感電極檢測(cè)出噪聲，但 另一側(cè)的傳感電極中該噪聲沒(méi)被檢測(cè)出。因此，通過(guò)設(shè)定時(shí)間差，比較兩個(gè)電極的檢測(cè)信 號(hào)，能夠辨別是檢測(cè)信號(hào)變化還是噪聲。接著，如果需要，對(duì)檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行平滑化處理，對(duì)檢測(cè)信號(hào)的振幅和波動(dòng)進(jìn)行緩慢 化。如圖5(a)所示，這里，波動(dòng)是指整個(gè)信號(hào)(或者振幅中心)像波起伏那樣值(電壓值) 產(chǎn)生變化。圖5 (b)表示通過(guò)平滑化部14對(duì)檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行平滑化處理的檢測(cè)信號(hào)Sl (Sla, Slb)。采用一般的平滑化電路實(shí)施平滑化處理，使檢測(cè)信號(hào)的振幅遲緩。平滑化的檢測(cè)信號(hào)Sla、Slb因?yàn)檫€具有時(shí)間差(相位差)，所以，如圖5 (c)所示， 通過(guò)距離軸匹配部15實(shí)施使兩個(gè)檢測(cè)信號(hào)的相位一致的匹配處理。通過(guò)該匹配處理，在圖 5(a)所示的Al中表示檢測(cè)信號(hào)S2(S2a，S2b)。在該匹配處理中，因?yàn)閮蓚€(gè)傳感電極之間的 距離、以及檢測(cè)時(shí)的傳感電極的移動(dòng)速度是已知，所以能夠容易地算出移動(dòng)距離差。只使一 側(cè)的檢測(cè)信號(hào)僅移動(dòng)其移動(dòng)距離差即可。通過(guò)該匹配處理，同一導(dǎo)電圖案中的檢測(cè)信號(hào)一致。這是表示例如，圖5(a)所示 的括起來(lái)的相同的注意地方的Al傾斜。但是，通過(guò)實(shí)施匹配處理，Al成垂直方向，其傾斜 消失，顯示為一致。再者，分別對(duì)一致的檢測(cè)信號(hào)S2a、S2b通過(guò)差值算出部16獲得差值。具體是，如 圖6(a)所示的差分信號(hào)S3(S3a、S3b)在檢測(cè)信號(hào)S2a、S2b為以某個(gè)間隔抽樣的信號(hào)值的 情況下，獲取與之前的信號(hào)值的差分，為用該差值圖示的信號(hào)。因此，縱軸的輸出電壓值與 圖5(c)相比，小兩位以上。此外，通過(guò)獲取該信號(hào)的差分，僅抽取兩個(gè)差分信號(hào)S3a、S3b的 變化特征，而且，能夠作出一致的虛擬接地電位(GND)。通過(guò)虛擬接地電位，整個(gè)信號(hào)的波動(dòng) (信號(hào)振幅的基準(zhǔn)值的上下變化)消失，成為處于恒定基準(zhǔn)值(OV)的振幅信號(hào)。
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在圖6(b)中，表示通過(guò)微小變化增強(qiáng)部17對(duì)差分信號(hào)S3a、S3b實(shí)施增強(qiáng)處理的 乘積信號(hào)S4。該增強(qiáng)處理利用差分信號(hào)S3a和差分信號(hào)S3b的乘積進(jìn)行運(yùn)算處理(下面， 稱(chēng)作乘積運(yùn)算)。該乘積運(yùn)算當(dāng)同一導(dǎo)電圖案101存在不良地方時(shí)，差分信號(hào)S3a、S3b中因 為在信號(hào)值上都產(chǎn)生變化，所以，通過(guò)這些相乘(乘積運(yùn)算)，比未處理的算出值更增強(qiáng)其 變化。當(dāng)簡(jiǎn)單地說(shuō)明時(shí)，例如，正常時(shí)的信號(hào)值為3，當(dāng)不良(有缺陷)時(shí)的信號(hào)值為5時(shí)， 必須通過(guò)其差2進(jìn)行好壞判斷。但是，如本實(shí)施方式那樣，從同一導(dǎo)電圖案將進(jìn)行兩次檢測(cè)的信號(hào)彼此相乘，正常 時(shí)為3X3 = 9，不良時(shí)為5X5 = 25，9與25比較，根據(jù)其差16能夠進(jìn)行好壞判斷。根據(jù)采用本實(shí)施方式中利用圖7中的測(cè)定條件的測(cè)定結(jié)果，增強(qiáng)圖6(b)所示的 Al、A2、A3地方的檢測(cè)信號(hào)。接著，如圖6(c)所示，對(duì)增強(qiáng)處理的乘積信號(hào)S4通過(guò)使用一般的濾波器等的脈沖 噪聲平滑化部18，進(jìn)行脈沖噪聲的平滑化處理。通過(guò)該處理對(duì)在極短時(shí)間的急劇的變化進(jìn) 行緩慢化，通過(guò)使脈沖噪聲不突出，能夠得到如圖6(c)所示的振幅變化緩慢化的信號(hào)(缺 陷判斷信號(hào)Sj)。接著，判斷信號(hào)Sj輸出至設(shè)置在控制部6的缺陷判斷部20。在缺陷判斷部20中， 設(shè)定如圖6(c)所示的判斷閾值。該判斷閾值基于判斷信號(hào)Sj的正常時(shí)的值(信號(hào)B1，B2 的范圍)進(jìn)行適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。在本實(shí)施方式中，作為一例設(shè)定判斷閾值為正常時(shí)的峰值的大 致2倍的0.00012V。對(duì)檢測(cè)出超過(guò)該閾值的信號(hào)值A(chǔ)1、A2、A3的導(dǎo)電圖案101，判斷為在3 根導(dǎo)電圖案101上存在缺陷(斷線(xiàn))。另外，基于坐標(biāo)圖的橫軸所示的移動(dòng)距離，能夠特定 存在缺陷的導(dǎo)電圖案101。如上說(shuō)明那樣，在本實(shí)施方式的電路圖案檢查裝置中，對(duì)作為檢查對(duì)象的導(dǎo)電圖 案，在移動(dòng)的供電電極21a相對(duì)向時(shí)，采用非接觸方式進(jìn)行電容耦合，施加交流檢查信號(hào)， 此時(shí)，從與該導(dǎo)電圖案相對(duì)向的傳感電極22a檢測(cè)出第一檢測(cè)信號(hào)。再者，經(jīng)時(shí)后對(duì)同一導(dǎo) 電圖案，在移動(dòng)的供電電極21b相對(duì)向時(shí)，采用非接觸方式進(jìn)行電容耦合，施加交流檢查信 號(hào)，此時(shí)，從與該導(dǎo)電圖案相對(duì)向的傳感電極23a檢測(cè)出第二檢測(cè)信號(hào)。因此，在本實(shí)施方式中，對(duì)同一導(dǎo)電圖案通過(guò)至少兩組的傳感器對(duì)進(jìn)行兩次檢測(cè)， 并通過(guò)比較同步的兩個(gè)檢測(cè)信號(hào)，判斷有無(wú)缺陷。再者，在利用比較的判斷中，在檢測(cè)的兩個(gè)檢測(cè)信號(hào)中變化少的情況下，獲取這些 第一檢測(cè)信號(hào)和第二檢測(cè)信號(hào)的乘積，生成使缺陷地方的信號(hào)變化顯著增強(qiáng)的缺陷判斷信 號(hào)。缺陷判斷信號(hào)使用噪聲電極的檢測(cè)信號(hào)來(lái)除去穩(wěn)定地重疊在檢測(cè)信號(hào)中的噪聲。另外，在本實(shí)施方式中，說(shuō)明了對(duì)于各個(gè)導(dǎo)電圖案，通過(guò)兩組的傳感器對(duì)進(jìn)行兩次 檢測(cè)的實(shí)例，當(dāng)然，并不限定于此，也可以使用兩組以上的傳感器對(duì)，進(jìn)行兩次以上的檢測(cè)。此外，在上述的實(shí)施方式中，為傳感電極和噪聲電極的傳感器對(duì)。但是，傳感電極 (第一傳感電極)在與某個(gè)導(dǎo)電圖案相對(duì)向時(shí)，通過(guò)以與鄰接的導(dǎo)電圖案相對(duì)向的方式鄰 接設(shè)置第二傳感電極，不僅能夠檢測(cè)斷線(xiàn)缺陷，而且能夠檢測(cè)短路缺陷。在該情況下，第二 傳感電極未必需要正對(duì)鄰接的導(dǎo)電圖案，即使僅覆蓋該導(dǎo)電圖案的一部分也能夠檢測(cè)。此 外，在上述的實(shí)例中，獲取兩個(gè)檢測(cè)信號(hào)的乘積進(jìn)行增強(qiáng)處理，但是，也可以為在兩個(gè)以上 的檢測(cè)信號(hào)中的乘積運(yùn)算。此外，在本實(shí)施方式中，是為了力求檢查時(shí)間的效率化(提高檢查處理速度)，通過(guò)搭載雙組檢查部2的移動(dòng)機(jī)構(gòu)3，在移動(dòng)狀態(tài)下連續(xù)進(jìn)行檢查的實(shí)例。與此對(duì)比，現(xiàn)有的 電路圖案檢查裝置例如搭載傳感器對(duì)(傳感電極和噪聲電極)或者一個(gè)傳感器(僅傳感 電極)的檢查裝置也能夠適用本發(fā)明的檢查方法。即，對(duì)每個(gè)排列的導(dǎo)電圖案進(jìn)行使其移 動(dòng)停止的步驟，通過(guò)在停止時(shí)進(jìn)行至少兩次檢查，能夠得到具有時(shí)間差的檢查結(jié)果。對(duì)于這 些檢查結(jié)果，通過(guò)進(jìn)行上述的檢查信號(hào)的乘積運(yùn)算，能夠得到圖6(c)所示的相同的缺陷判 斷信號(hào)，能夠得到同等的檢查結(jié)果?？傊?，當(dāng)能夠獲得對(duì)一個(gè)檢查對(duì)象具有時(shí)間差的多個(gè)檢測(cè)信號(hào)時(shí)，能夠?qū)θ魏螜z 查裝置都適用，能夠得到同等的檢查結(jié)果。另外，雖然實(shí)際上是不可能的，但是，作為單純的 理論，當(dāng)為噪聲沒(méi)有明顯重疊的檢測(cè)信號(hào)時(shí)，即使為一個(gè)檢測(cè)信號(hào)S的乘積(SXS)，也能夠 得到同等的檢查結(jié)果。在該乘積運(yùn)算中，也可以進(jìn)行多次。此外，與本實(shí)施方式不同，對(duì)檢測(cè)信號(hào)即使乘以某個(gè)系數(shù)，也能夠使正常的導(dǎo)電圖 案的檢測(cè)信號(hào)與存在缺陷的導(dǎo)電圖案的檢測(cè)信號(hào)之差在一定程度上變大。但是，因?yàn)閷?duì)各 個(gè)導(dǎo)電圖案的檢測(cè)信號(hào)乘以同一系數(shù)，所以，在檢測(cè)信號(hào)之間的差較小的情況下，其差不會(huì) 變得太大，未必能夠說(shuō)判斷變得容易，而且，沒(méi)有系數(shù)中的依據(jù)，因?yàn)槊撾x了發(fā)明宗旨，所以 不采用。下面，對(duì)搭載圖7所示的第二實(shí)施方式涉及的雙組檢查部的電路圖案檢查裝置進(jìn) 行說(shuō)明。雖然為在上述的第一實(shí)施方式中的檢查信號(hào)處理部5中采用電子電路進(jìn)行實(shí)施 的實(shí)例，但是，本實(shí)施方式為通過(guò)應(yīng)用軟件(高精度缺陷抽出算法)實(shí)現(xiàn)檢查信號(hào)處理部5 執(zhí)行的信號(hào)處理的實(shí)例。在本實(shí)施方式中，首先，對(duì)由傳感器對(duì)22、23所得的檢測(cè)信號(hào)，實(shí)施為了將各檢測(cè) 信號(hào)的振幅和波動(dòng)緩慢化的平滑化處理(平滑化處理工序)。接著，將由傳感器對(duì)22所得的檢測(cè)信號(hào)設(shè)為fn，由傳感器對(duì)23所得的檢測(cè)信號(hào)設(shè) 為gn，在將形成包括缺陷的波形的數(shù)據(jù)點(diǎn)數(shù)的1/2設(shè)為i的情況下，該i的數(shù)據(jù)數(shù)的差分表 示為(差值算出處理工序)
權(quán)利要求
1.一種電路圖案檢查裝置，將多個(gè)導(dǎo)電圖案形成直列狀的基板作為檢查對(duì)象，所述電 路圖案檢查裝置的特征在于包括第1傳感器對(duì)，該第1傳感器對(duì)具備與所述導(dǎo)電圖案中的第一導(dǎo)電圖案同時(shí)相對(duì)向的 第一供電電極和第一傳感電極；第2傳感器對(duì)，該第2傳感器對(duì)具備與從所述第一導(dǎo)電圖案間隔預(yù)先設(shè)定的圖案數(shù)目 的距離的第二導(dǎo)電圖案同時(shí)相對(duì)向的第二供電電極和第二傳感電極；移動(dòng)部，該移動(dòng)部保持所述第1傳感器對(duì)和所述第2傳感器對(duì)，在所述導(dǎo)電圖案的上方 以一定的距離分開(kāi)，并且以與該導(dǎo)電圖案的直列相交叉的方式進(jìn)行移動(dòng)；檢查信號(hào)供給部，該檢查信號(hào)供給部在利用所述移動(dòng)部的所述第1傳感器對(duì)和所述第 2傳感器對(duì)的移動(dòng)中，供給所述第一供電電極和所述第二供電電極由交流信號(hào)構(gòu)成的同一 檢查信號(hào)，將該檢查信號(hào)順次施加于與所述第一供電電極和所述第二供電電極相對(duì)向、并 且進(jìn)行電容耦合的各個(gè)導(dǎo)電圖案；檢查信號(hào)處理部，該檢查信號(hào)處理部將預(yù)先設(shè)定的判斷基準(zhǔn)值，與通過(guò)分別與施加所 述檢查信號(hào)的所述導(dǎo)電圖案進(jìn)行電容耦合的所述第一傳感電極和所述第二傳感電極獲得 的第一檢測(cè)信號(hào)和第二檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行比較，從而選出缺陷候補(bǔ)，進(jìn)而，以在所述第一檢測(cè)信 號(hào)上和所述第二檢測(cè)信號(hào)上的導(dǎo)電圖案的位置一致的方式進(jìn)行使任一檢測(cè)信號(hào)的位置移 動(dòng)的距離軸匹配；以及缺陷判斷部，該缺陷判斷部將所述導(dǎo)電圖案的位置一致的所述第一檢測(cè)信號(hào)和所述第 二檢測(cè)信號(hào)中的所述缺陷候補(bǔ)彼此進(jìn)行比較，將在相同圖案位置上共通存在的缺陷候補(bǔ)判 斷為所述導(dǎo)電圖案的真缺陷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于 所述檢查信號(hào)處理部除了所述距離軸匹配部，還包括差值算出部，該差值算出部以任意間隔從所述檢測(cè)信號(hào)中抽取信號(hào)值，通過(guò)以時(shí)間序 列的方式與之前的信號(hào)值的差分，生成各個(gè)差分信號(hào)；以及微小變化增強(qiáng)部，該微小變化增強(qiáng)部將所述差分信號(hào)相乘，生成更加增強(qiáng)包含在該差 分信號(hào)中的信號(hào)的局部變化的乘積信號(hào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于 在所述電路圖案檢查裝置中，所述第1傳感器對(duì)具有第一噪聲電極，該第一噪聲電極在從所述第一傳感電極間隔任 意圖案數(shù)目的第三導(dǎo)電圖案的上方分開(kāi)配置；并且所述第2傳感器對(duì)具有第二噪聲電極，該第二噪聲電極在從所述第二傳感電極間隔任 意圖案數(shù)目的第四導(dǎo)電圖案的上方分開(kāi)配置。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電路圖案檢查裝置，其特征在于 在所述電路圖案檢查裝置中，所述缺陷判斷部在通過(guò)所述距離軸匹配部使所述第一檢測(cè)信號(hào)和所述第二檢測(cè)信號(hào) 的檢測(cè)時(shí)刻同步時(shí)，將所述檢測(cè)信號(hào)的局部變化與基于所述移動(dòng)部的移動(dòng)速度決定的所述 導(dǎo)電圖案的形成位置進(jìn)行對(duì)照，決定存在缺陷的導(dǎo)電圖案。
5.一種電路圖案檢查裝置的檢查方法，為具備檢查部的電路圖案檢查裝置的檢查方 法，該檢查部將多個(gè)導(dǎo)電圖案形成直列狀的基板作為檢查對(duì)象，由在與用于檢測(cè)存在缺陷的導(dǎo)電圖案的所述導(dǎo)電圖案的直列相交叉的方向上空開(kāi)規(guī)定的圖案數(shù)目的距離而并排設(shè) 置的至少兩組供電電極和一對(duì)傳感電極所構(gòu)成，所述電路圖案檢查裝置的檢查方法的特征 在于使所述檢查部沿與所述直列交叉的方向移動(dòng)，并通過(guò)電容耦合從各個(gè)所述供電電極對(duì) 彼此分開(kāi)的不同的導(dǎo)電圖案順次施加由交流信號(hào)構(gòu)成的同一檢查信號(hào)，通過(guò)對(duì)傳輸于施加了所述檢查信號(hào)的各個(gè)所述導(dǎo)電圖案的所述檢查信號(hào)進(jìn)行電容耦 合，分別從所述傳感電極獲得第一檢測(cè)信號(hào)和第二檢測(cè)信號(hào)，將預(yù)先設(shè)定的判斷基準(zhǔn)值與所述第一檢測(cè)信號(hào)和第二檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行比較，從而選出缺 陷候補(bǔ)，以在所述第一檢測(cè)信號(hào)上和所述第二檢測(cè)信號(hào)上的導(dǎo)電圖案的位置一致的方式，使任 一檢測(cè)信號(hào)的位置移動(dòng)而得到距離軸匹配，將所述導(dǎo)電圖案的位置一致的所述第一檢測(cè)信號(hào)和所述第二檢測(cè)信號(hào)中的所述缺陷 候補(bǔ)彼此進(jìn)行比較，將在相同圖案位置上共通存在的缺陷候補(bǔ)判斷為所述導(dǎo)電圖案的真缺 陷。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電路圖案檢查裝置的檢查方法，其特征在于 以任意間隔從同步的所述多個(gè)檢測(cè)信號(hào)中抽取信號(hào)值，通過(guò)以時(shí)間序列的方式與之前 的信號(hào)值的差分，生成各個(gè)差分信號(hào)，將所述差分信號(hào)相乘，生成更加增強(qiáng)包含在該差分信號(hào)中的信號(hào)的局部變化的乘積信號(hào)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種電路圖案檢查裝置，能夠解決在采用非接觸方式與導(dǎo)體圖案進(jìn)行電容耦合的電極的電路圖案檢查裝置中，隨著檢查對(duì)象的導(dǎo)電圖案的微細(xì)化的進(jìn)展，得到的檢查信號(hào)值變小，判斷缺陷變難的問(wèn)題。本發(fā)明的電路圖案檢查裝置將具備空開(kāi)間隔配置的兩組的傳感器對(duì)的檢查部移動(dòng)的同時(shí)，通過(guò)電容耦合對(duì)各導(dǎo)電圖案施加由交流信號(hào)構(gòu)成的檢查信號(hào)，并且通過(guò)電容耦合檢測(cè)傳輸于導(dǎo)電圖案的檢查信號(hào)，通過(guò)利用一次移動(dòng)的檢查分別檢測(cè)來(lái)自各導(dǎo)電圖案的檢查信號(hào)，將這些檢測(cè)信號(hào)與判斷基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，從而選出缺陷候補(bǔ)，使在各檢查信號(hào)中的導(dǎo)電圖案的位置一致，將缺陷候補(bǔ)彼此進(jìn)行比較，將在相同圖案位置上共通存在缺陷候補(bǔ)的導(dǎo)電圖案判斷為不良。
文檔編號(hào)G01R31/28GK101995545SQ201010243928
公開(kāi)日2011年3月30日 申請(qǐng)日期2010年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月4日
發(fā)明者加藤浩介, 坂和正敏, 羽森寬 申請(qǐng)人:Oht株式會(huì)社