專利名稱：一種多用途充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種對充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器的改進(jìn)，該壓力傳感器可廣泛應(yīng) 用于工業(yè)、醫(yī)療、航空航天、石油化工和航海等領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器是目前測量壓力的一種重要傳感器，隨著該壓力傳感器 在各行業(yè)的廣泛應(yīng)用，對其各項技術(shù)指標(biāo)的要求不斷提高，但使用過程外界溫度干擾的缺陷 更突出顯現(xiàn)出來，限制了其測量精度的提高。
發(fā)明內(nèi)容
為了彌補(bǔ)現(xiàn)有技術(shù)中充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器容易受外界溫度干擾的缺陷，本實 用新型提出一種改進(jìn)的多用途充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器，它可以提高擴(kuò)散硅壓力傳感 器的測量精度，使擴(kuò)散硅壓力傳感器技術(shù)得到進(jìn)一步發(fā)展和應(yīng)用。
本實用新型的多用途充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器，在內(nèi)硅杯的四周設(shè)置電路板，其 改進(jìn)之處在于，該電路板上設(shè)有可與惠斯通橋臂相連的熱敏電阻。
進(jìn)一步地，所述熱敏電阻與電路中的電阻聯(lián)接，對溫度特性較差的壓力傳感器進(jìn)行二次 補(bǔ)償。
本實用新型的多用途充油型擴(kuò)散硅壓力傳感器彌補(bǔ)了現(xiàn)有擴(kuò)散硅壓力傳感器容易受外界 溫度干擾的缺陷，在傳感器溫度特性較差或?qū)囟忍匦砸筝^高的情況下，可對傳感器進(jìn)行 進(jìn)一步補(bǔ)償，達(dá)到使用要求；還使壓力傳感器同時具備了溫度傳感器的功能，可以獨(dú)立作為 溫度傳感器使用。本實用新型進(jìn)一步提高了擴(kuò)散硅壓力傳感器的測量精度，擴(kuò)展了其使用范 圍。


圖1是現(xiàn)有恒流源供電方式示意圖； 圖2是本實用新型帶溫度補(bǔ)償?shù)囊粋€示意圖； 圖3是本實用新型帶溫度補(bǔ)償?shù)牧硪粋€示意圖； 圖4是本實用新型的俯視示意圖； 圖5是圖4中A-A剖視圖。
圖中標(biāo)記1、不銹鋼壓緊環(huán)；2、不銹鋼彈性膜片；3、陶瓷蓋碗；4、不銹鋼外殼；5、
3玻璃封裝銅引線；6、引線基座；7、電路板；8、通氣孔；9、內(nèi)硅杯。
具體實施方式

現(xiàn)有擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器，由于其中的惠斯通橋臂電阻值隨溫度變化而變化。同時， 環(huán)境溫度的變化還會相應(yīng)的引起傳感器的零位輸出電壓、輸出幅度和壓力敏感度的變化。在 經(jīng)過常規(guī)的零點(diǎn)補(bǔ)償及滿量程溫度補(bǔ)償后，擴(kuò)散硅壓力傳感器仍未達(dá)到所需要的測量精度標(biāo)
準(zhǔn)，在此情況下，需對傳感器進(jìn)行二次補(bǔ)償，如圖1所示。本實用新型是在內(nèi)硅杯9的四周 設(shè)置電路板7，該電路板7上設(shè)有可與惠斯通橋臂相連的熱敏電阻R5，進(jìn)一步地，熱敏電阻 R5與電路中的電阻并聯(lián)，如圖2或圖3所示，可以對溫度特性較差的壓力傳感器進(jìn)行二次補(bǔ) 償。
當(dāng)熱敏電阻R5斷開時，本實用新型壓力傳感器可以獨(dú)立作為溫度傳感器使用。 其結(jié)構(gòu)如圖4和圖5所示。
權(quán)利要求1、一種多用途充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器，在內(nèi)硅杯的四周設(shè)置電路板，其特征在于，該電路板上設(shè)有可與惠斯通橋臂相連的熱敏電阻。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多用途充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器，其特征在于，所述熱 敏電阻與電路中的電阻聯(lián)接，對溫度特性較差的壓力傳感器進(jìn)行二次補(bǔ)償。
專利摘要本實用新型提出一種多用途充油型擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器，它在內(nèi)硅杯的四周設(shè)置電路板，其改進(jìn)之處在于，該電路板上設(shè)有可與惠斯通橋臂相連的熱敏電阻，對溫度特性較差的傳感器進(jìn)行二次補(bǔ)償。本實用新型改進(jìn)的充油型擴(kuò)散硅壓力傳感器彌補(bǔ)了現(xiàn)有擴(kuò)散硅壓力傳感器容易受外界溫度干擾的缺陷，提高了擴(kuò)散硅壓力傳感器的測量精度，同時擴(kuò)展了其使用范圍，使壓力傳感器同時具備壓力和溫度測量的功能。
文檔編號G01K7/24GK201413215SQ20092010888
公開日2010年2月24日 申請日期2009年6月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月16日
發(fā)明者剛 季 申請人:剛 季