專(zhuān)利名稱(chēng)：半導(dǎo)體測(cè)試儀測(cè)試頭的界面板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體測(cè)試儀，具體涉及一種半導(dǎo)體測(cè)試儀測(cè)試頭的界面板。
背景技術(shù)：
測(cè)試儀在使用過(guò)程中，需要與探針臺(tái)之間進(jìn)行物理連接。目前，測(cè)試儀的測(cè)試頭與 探針臺(tái)通過(guò)探針臺(tái)上的彈簧針陣列塔形連接器(pogo)實(shí)現(xiàn)物理連接，這就需要使測(cè)試儀 測(cè)試頭的界面板上的測(cè)試觸點(diǎn)(pogo pad)與探針臺(tái)上的彈簧針(pogo pin)的位置相匹 配。 —般情況下，測(cè)試頭上的pogo pad,以及探針臺(tái)上的pogo pin均設(shè)置于所在臺(tái)面 的中央位置，這樣的匹配是在購(gòu)買(mǎi)新機(jī)臺(tái)時(shí)就已經(jīng)考慮好的。 但是由于某些原因，所購(gòu)買(mǎi)新機(jī)臺(tái)的測(cè)試頭與探針臺(tái)之間不能實(shí)現(xiàn)完整的物理匹 配，當(dāng)測(cè)試頭的功能板(performance board, PB板)如

圖1所示，功能板10上的測(cè)試觸點(diǎn) (pogo pad) 1排列成為多個(gè)矩形框，且測(cè)試觸點(diǎn)1位于功能板10的中央位置；而探針臺(tái)如 圖2所示，探針臺(tái)20上的彈簧針(pogo pin)2為圓型排列，且彈簧針2也位于探針臺(tái)20的 中央位置。 為了使功能板10的測(cè)試觸點(diǎn)1與探針臺(tái)20的彈簧針2實(shí)現(xiàn)良好匹配，目前采用 的方法是對(duì)探針臺(tái)20進(jìn)行改造，改變探針臺(tái)20上彈簧針2的排列及位置成為圖3所示，以 使其與測(cè)試頭進(jìn)行物理匹配。但是這種改造方法的成本很高，不僅需要將彈簧針2的排列 改為矩形框，而且還需將彈簧針陣列的位置左移，以使探針臺(tái)20的左端與測(cè)試頭功能板10 的左端對(duì)齊，這就增加了測(cè)試費(fèi)用。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種半導(dǎo)體測(cè)試儀測(cè)試頭的界面板，它可 以減少設(shè)備改造成本，降低測(cè)試費(fèi)用。 為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型半導(dǎo)體測(cè)試儀測(cè)試頭的界面板的技術(shù)解決方案 為 包括測(cè)試頭功能板、測(cè)試觸點(diǎn)，測(cè)試觸點(diǎn)設(shè)置于功能板的表面；所述測(cè)試觸點(diǎn)的排 列形狀與探針臺(tái)上彈簧針的排列形狀一致；測(cè)試觸點(diǎn)陣列與探針臺(tái)上彈簧針的陣列位置相 同。 所述測(cè)試觸點(diǎn)為圓型排列。 所述測(cè)試觸點(diǎn)陣列所在位置偏離功能板的中心位置，與探針臺(tái)上彈簧針的位置相 匹配。 所述功能板靠近測(cè)試觸點(diǎn)陣列的一端設(shè)有補(bǔ)強(qiáng)筋。
本實(shí)用新型可以達(dá)到的技術(shù)效果是 本實(shí)用新型能夠在不改造探針臺(tái)的基礎(chǔ)上使功能板上的測(cè)試觸點(diǎn)的排列及位置
3與探針臺(tái)上的彈簧針相匹配，從而使測(cè)試頭功能板與探針臺(tái)相匹配，達(dá)到節(jié)約改造費(fèi)用的 目的。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明 圖1是現(xiàn)有技術(shù)半導(dǎo)體測(cè)試儀測(cè)試頭的界面板的示意圖； 圖2是現(xiàn)有技術(shù)探針臺(tái)的示意圖； 圖3是與圖1的測(cè)試頭相匹配的探針臺(tái)的示意圖； 圖4是本實(shí)用新型半導(dǎo)體測(cè)試儀測(cè)試頭的界面板的示意圖，其與圖2的探針臺(tái)相 匹配。 圖中附圖標(biāo)記說(shuō)明 10為測(cè)試頭功能板， 1為測(cè)試觸點(diǎn)(pogo pad)， 20為探針臺(tái)， 2為彈簧針(pogo pin)， 3為補(bǔ)強(qiáng)筋。
具體實(shí)施方式本實(shí)用新型半導(dǎo)體測(cè)試儀測(cè)試頭的界面板，包括測(cè)試頭功能板10、測(cè)試觸點(diǎn)l，測(cè) 試觸點(diǎn)1設(shè)置于功能板10的表面，測(cè)試觸點(diǎn)1的排列形狀與探針臺(tái)20上彈簧針2的排列 形狀一致；測(cè)試觸點(diǎn)1陣列與探針臺(tái)20上彈簧針2的陣列位置相同。 如圖4所示，測(cè)試觸點(diǎn)1為圓型排列，且測(cè)試觸點(diǎn)1陣列所在位置偏離功能板10
的中心位置，與探針臺(tái)20上彈簧針2的位置相匹配。 功能板10靠近測(cè)試觸點(diǎn)1陣列的一端設(shè)有補(bǔ)強(qiáng)筋3。 本實(shí)用新型的測(cè)試觸點(diǎn)1陣列偏離了功能板10的中心位置，因此功能板10所受 壓力的中心也有所偏移，本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置補(bǔ)強(qiáng)筋3使功能板10所受壓力均衡。
權(quán)利要求一種半導(dǎo)體測(cè)試儀測(cè)試頭的界面板，包括測(cè)試頭功能板、測(cè)試觸點(diǎn)，測(cè)試觸點(diǎn)設(shè)置于功能板的表面；其特征在于所述測(cè)試觸點(diǎn)的排列形狀與探針臺(tái)上彈簧針的排列形狀一致；測(cè)試觸點(diǎn)陣列與探針臺(tái)上彈簧針的陣列位置相同。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測(cè)試儀測(cè)試頭的界面板，其特征在于所述測(cè)試觸點(diǎn) 為圓型排列。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體測(cè)試儀測(cè)試頭的界面板，其特征在于所述測(cè)試 觸點(diǎn)陣列所在位置偏離功能板的中心位置，與探針臺(tái)上彈簧針的位置相匹配。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體測(cè)試儀測(cè)試頭的界面板，其特征在于所述功能板靠 近測(cè)試觸點(diǎn)陣列的一端設(shè)有補(bǔ)強(qiáng)筋。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體測(cè)試儀測(cè)試頭的界面板，包括測(cè)試頭功能板、測(cè)試觸點(diǎn)，測(cè)試觸點(diǎn)設(shè)置于功能板的表面；所述測(cè)試觸點(diǎn)的排列形狀與探針臺(tái)上彈簧針的排列形狀一致；測(cè)試觸點(diǎn)陣列與探針臺(tái)上彈簧針的陣列位置相同。本實(shí)用新型能夠在不改造探針臺(tái)的基礎(chǔ)上使功能板上的測(cè)試觸點(diǎn)的排列及位置與探針臺(tái)上的彈簧針相匹配，從而使測(cè)試頭功能板與探針臺(tái)相匹配，達(dá)到節(jié)約改造費(fèi)用的目的。
文檔編號(hào)G01R1/02GK201548560SQ20092007472
公開(kāi)日2010年8月11日 申請(qǐng)日期2009年11月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月26日
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