專利名稱：探針繼電器、測(cè)試夾具和使用測(cè)試夾具進(jìn)行隔離的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及探針繼電器、包括該探針繼電器的測(cè)試夾具和使用該測(cè)試 夾具將測(cè)試儀和待測(cè)試器件隔離的方法。
背景技術(shù)：
制作出來(lái)的電路板需要經(jīng)受一系列的測(cè)試以檢驗(yàn)電路板相對(duì)于設(shè)計(jì)規(guī) 格的性能，特別是電路板上元件的功能和電路連接的完整性。在測(cè)試裝置 中，具有多個(gè)探針的夾具起到電路板與測(cè)試儀之間接口的作用。夾具中的 探針將測(cè)試儀連接到電路板上的預(yù)定測(cè)試區(qū)。測(cè)試儀可以通過(guò)夾具向測(cè)試 區(qū)輸入激勵(lì)信號(hào)或者接收來(lái)自測(cè)試區(qū)的響應(yīng)信號(hào)。
圖1示出普通測(cè)試儀100和設(shè)置為對(duì)待測(cè)試器件300 (Device-under-Test, DUT)進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試夾具300的例子。通常，DUT 300為離開裝配 線后待測(cè)試的印刷電路板(PCB)。通常的PCB包括集成電路(IC)芯 片、電子元件(例如，電阻、電容等)和通過(guò)傳導(dǎo)層(圖中未示出)相連 接的測(cè)試區(qū)310和320。測(cè)試區(qū)310為PCB上的觸點(diǎn)，在測(cè)試過(guò)程中適當(dāng) 的激勵(lì)信號(hào)輸入的位置。PCB接著產(chǎn)生響應(yīng)信號(hào)以響應(yīng)激勵(lì)信號(hào)，并在測(cè) 試區(qū)320輸出響應(yīng)信號(hào)用于分析。在這個(gè)例子中，測(cè)試儀IOO是執(zhí)行以下 三個(gè)任務(wù)的器件產(chǎn)生輸入到DUT中的激勵(lì)信號(hào)；接受和處理DUT 300 輸出的響應(yīng)信號(hào)；產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)信號(hào)以控制測(cè)試夾具200以調(diào)節(jié)測(cè)試儀100和 DUT 300間的信號(hào)流并防止DUT 300上的負(fù)載作用。
傳統(tǒng)的測(cè)試儀100包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生器103、激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器 105和信號(hào)處理單元107。每個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生器103具有連接到相關(guān)驅(qū)動(dòng) 輸出端子102的輸出端。每個(gè)激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器105還具有連接到相關(guān)輸出 端子104的輸出端。每個(gè)信號(hào)處理單元有連接到相關(guān)輸入端子106的輸入
^山順。測(cè)試夾具200是獨(dú)立的系統(tǒng)，起測(cè)試儀100到DUT 300的接口作用， 并包括多個(gè)4針繼電器202。每個(gè)繼電器202包括螺線管204和開關(guān)206。 螺線管204的一端通過(guò)第一端子213連接到驅(qū)動(dòng)輸出端子102。螺線管的 另一端連接到電接地。開關(guān)206的一端通過(guò)第二端子216連接到測(cè)試儀 100的輸出端子104或者測(cè)試儀100的輸入端子106。開關(guān)206的另一端連 接到探針218。
在第一測(cè)試中，驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生器103產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)信號(hào)，該信號(hào)驅(qū)動(dòng)常開 繼電器202的螺線管204。驅(qū)動(dòng)信號(hào)從螺線管204中穿過(guò)使螺線管204產(chǎn) 生磁場(chǎng)，該磁場(chǎng)接著影響開關(guān)206使之閉合，以完成探針218與測(cè)試儀 100之間的電通路。連續(xù)的電通路使來(lái)自激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器105的激勵(lì)信號(hào) 能夠從測(cè)試儀100流向DUT 300。激勵(lì)信號(hào)導(dǎo)致DUT 300產(chǎn)生響應(yīng)信號(hào)。 測(cè)試儀100通過(guò)夾具200的另一個(gè)4針繼電器接收這個(gè)響應(yīng)信號(hào)，并分析 響應(yīng)信號(hào)以決定DUT 300是否通過(guò)第一測(cè)試。
為了在執(zhí)行第二測(cè)試時(shí)將第一測(cè)試中使用的激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器105和信 號(hào)處理單元107與DUT 300隔離，使各個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生器103停止產(chǎn)生驅(qū) 動(dòng)信號(hào)。在沒(méi)有驅(qū)動(dòng)信號(hào)的情況下，螺線管204停止產(chǎn)生磁場(chǎng)，并且開關(guān) 206回到斷開位置以使激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器105和信號(hào)處理單元107與DUT 300隔開。
先進(jìn)的電路設(shè)計(jì)技術(shù)允許DUT 300上的測(cè)試區(qū)310和320被更緊密的 封裝(pack)。如圖1所示的傳統(tǒng)測(cè)試儀100和測(cè)試夾具200不能測(cè)試 DUT 300的所有部分，因?yàn)闇y(cè)試夾具200的表面積只能容納有限數(shù)目的4 針繼電器。對(duì)DUT 300測(cè)試的全面性決定于能夠訪問(wèn)的測(cè)試區(qū)310和320 的數(shù)目。因此，測(cè)試夾具200中能夠容納的有限數(shù)目的4針繼電器限制了 測(cè)試的全面性。將4針繼電器202連接到測(cè)試儀IOO上也是消耗時(shí)間的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)方面涉及一種探針繼電器，其包括電通路，在兩個(gè)點(diǎn) 間建立電連接，所述電通路包括探針；連接到所述電通路的器件，其中， 所述器件可響應(yīng)于施加到所述器件的驅(qū)動(dòng)信號(hào)來(lái)中斷所述電通路提供的電
6連接。
本發(fā)明的另一個(gè)方面涉及一種測(cè)試夾具，用于檢測(cè)待測(cè)試器件以實(shí)現(xiàn) 向所述待測(cè)試器件施加激勵(lì)信號(hào)和從所述待測(cè)試器件接收響應(yīng)信號(hào)中的一 者，所述測(cè)試夾具包括至少一個(gè)探針繼電器，所述探針繼電器包括電通 路，置于所述待測(cè)試器件和測(cè)試儀之間，以建立電連接，所述電連接用于 在所述待測(cè)試器件與所述測(cè)試儀之間傳輸激勵(lì)信號(hào)和響應(yīng)信號(hào)之一，所述 電通路包括探針；連接到所述電通路的器件，其中，所述器件被施加到所
述器件的驅(qū)動(dòng)信號(hào)操作以中斷所述電連接。
本發(fā)明的再一個(gè)方面涉及一種方法，包括通過(guò)電通路建立測(cè)試儀與 待測(cè)試器件間的電通路；所述測(cè)試儀與所述待測(cè)試器件中的一者通過(guò)所述 電連接向所述測(cè)試儀與所述待測(cè)試器件中的另一者發(fā)送信號(hào)；所述測(cè)試儀 通過(guò)所述電通路向連接到所述電通路的器件施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)，以驅(qū)動(dòng)所述器 件來(lái)中斷所述電連接。


圖1是示出了用于測(cè)試DUT的傳統(tǒng)測(cè)試儀和測(cè)試夾具的例子的示意圖。
圖2A是示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的包括探針繼電器的測(cè)試夾具 的示意圖。
圖2B是示出了根據(jù)本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的包括探針繼電器的測(cè)試夾 具的示意圖。
圖3是示出了根據(jù)本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式
參考附圖l，在上述的傳統(tǒng)的測(cè)試夾具100中，4針繼電器202具有四 個(gè)外部連接點(diǎn)兩個(gè)用來(lái)連接測(cè)試儀100， 一個(gè)用來(lái)連接DUT 300，最后 一個(gè)用來(lái)接地。因?yàn)樾乱淮腄UT 300在一個(gè)DUT中封裝了更多的測(cè)試 區(qū)310和320，所以測(cè)試夾具200應(yīng)該優(yōu)選地被重新設(shè)置以包括更多的繼 電器以支持DUT 300中增加的測(cè)試區(qū)。但是，包括更多的繼電器受測(cè)試夾具200中可用空間的限制。本發(fā)明的實(shí)施例可用來(lái)優(yōu)化測(cè)試夾具200中空 間以包括更多的繼電器，從而能夠在DUT 300中訪問(wèn)更多的測(cè)試區(qū)310和 320。依據(jù)一種實(shí)施例，提供了一個(gè)檢測(cè)DUT 300的夾具來(lái)向DUT 300施 加激勵(lì)信號(hào)，或者接收來(lái)自DUT 300的響應(yīng)信號(hào)。夾具至少包含一個(gè)探針 繼電器。探針繼電器包括與DUT 300的測(cè)試區(qū)接觸的電通路和連接到電通 路的器件。所述電通路一般提供用于傳輸激勵(lì)信號(hào)或響應(yīng)信號(hào)的電連接。 所述裝置可由通過(guò)電通路向其施加的驅(qū)動(dòng)信號(hào)操作，以中斷由電通路提供 的電連接。換句話說(shuō)，在測(cè)試儀和每個(gè)探針繼電器間只有一個(gè)電通路，而 不是現(xiàn)有技術(shù)所需要的兩個(gè)電連接。因而，這種探針繼電器的面積 (footprint)相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)中的4針繼電器可以很小，因此夾具能夠支 持更多的探針繼電器。并且與連接4針繼電器相比，將每個(gè)探針繼電器連 接到測(cè)試儀所消耗的時(shí)間也更少了。
圖2A和2B為測(cè)試儀400和根據(jù)本發(fā)明的各個(gè)具體實(shí)施例的測(cè)試夾具 500的示意圖。這些圖示出了測(cè)試儀400和用于對(duì)DUT 300實(shí)施第一測(cè)試 的測(cè)試夾具500。在測(cè)試DUT 300時(shí)，對(duì)測(cè)試夾具500與DUT 300間、測(cè) 試夾具500與測(cè)試儀400間進(jìn)行必要的連接。在這些圖中，DUT 300中與 圖1中用相同標(biāo)號(hào)表示的相應(yīng)元件具有相同結(jié)構(gòu)和實(shí)施相同功能，在這里 將不會(huì)被再次描述。
根據(jù)這些實(shí)施例，測(cè)試儀400包括多個(gè)激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器402和多個(gè)信 號(hào)處理單元406 (圖2A和圖2B中各自僅示出了各一個(gè))。每個(gè)激勵(lì)信號(hào) 發(fā)生器402具有連接到測(cè)試儀400輸出端子403的輸出端，且每個(gè)信號(hào)處 理單元406具有連接到測(cè)試儀400的輸入-輸出端子407的輸入-輸出端。 激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器402產(chǎn)生激勵(lì)信號(hào)用于注入到DUT 300，而信號(hào)處理單元 406接收并處理DUT 300輸出的相應(yīng)響應(yīng)信號(hào)。另外，激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器 402和信號(hào)處理單元406都可操作以產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
根據(jù)這些實(shí)施例的測(cè)試夾具500包括多個(gè)探針繼電器，例如但不限于 3針繼電器，圖2A和圖2B分別示出了這些探針繼電器中的探針繼電器 520和540、 550和570。探針繼電器520和540、 550和570為根據(jù)本發(fā)明 的兩個(gè)實(shí)施例，其中，激勵(lì)信號(hào)和響應(yīng)信號(hào)在DUT 300和測(cè)試儀400間傳輸。在這兩個(gè)實(shí)施例中，探針繼電器520和探針繼電器540的結(jié)構(gòu)是相同 的，探針繼電器550與探針繼電器570在結(jié)構(gòu)上也一樣。唯一的區(qū)別是在 本發(fā)明中探針繼電器520和540、 550和570的使用方式。在圖2A所示的 實(shí)施例中，探針繼電器520被用來(lái)向DUT 300中注入激勵(lì)信號(hào)，而探針繼 電器540參與接收來(lái)自DUT 300的響應(yīng)信號(hào)。在圖2B中，探針繼電器 550允許激勵(lì)信號(hào)通過(guò)，而探針繼電器570允許來(lái)自DUT 300的響應(yīng)信號(hào) 通過(guò)。另外，所有的探針繼電器520、 540、 550和570都可由激勵(lì)信號(hào)操 作以將DUT 300從測(cè)試儀400隔離。
圖2A還示出了每個(gè)探針繼電器520和540包括電通路530和器件 533。電通路530可被置于DUT 300和測(cè)試儀400之間，以在它們之間建 立用于傳輸激勵(lì)信號(hào)和響應(yīng)信號(hào)之一的通路。在本實(shí)施例中，電通路530 包括探針531，探針531可操作以接觸測(cè)試區(qū)310和320來(lái)提供向DUT 300的電連接。器件533通過(guò)節(jié)點(diǎn)541連接到電通路530，并可響應(yīng)于經(jīng)節(jié) 點(diǎn)541施加到器件533上的激勵(lì)信號(hào)來(lái)從DUT 300移開電通路530，從而 中斷由電通路530提供的電連接。電連接的中斷從測(cè)試儀400隔離了 DUT 300的測(cè)試區(qū)310和320。裝置533的一個(gè)例子為環(huán)繞探針531的螺線管。 在這種情況下，探針531被移動(dòng)來(lái)中斷電連接。
電通路530還包括連接到探針531的第一彈簧532。第一彈簧532用 于對(duì)探針531向DUT 300施加偏置，以通過(guò)測(cè)試區(qū)310和320保持與 DUT 300的電連接。通過(guò)使探針531偏置，即使探針531的物理特性變化 或不均勻地將探針繼電器520和540安裝到夾具500上造成探針531的尖 端不在一個(gè)平面上，第一彈簧532仍能確保所有探針繼電器520和540在 沒(méi)有激勵(lì)信號(hào)的情況下電連接到DUT 300。通過(guò)使DUT 300與夾具500彼 此足夠靠近，第一彈簧532可以被壓縮到不同的程度，以保證探針531與 DUT 300的各個(gè)測(cè)試區(qū)310和320接觸。通常，具有探針531和第一彈簧 532的電通路530至少部分地接觸外殼534，外殼534用作將電通路530與 測(cè)試夾具500中的其他繼電器520和540隔離的電絕緣體。
圖2B示出了根據(jù)本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的各個(gè)探針繼電器550和570。 這些繼電器550和570中的每一個(gè)也包括電通路560和連接到電通路560的器件533。電通路560包括探針531、第一彈簧532、塞子(stopper) 535、接觸器536和第二彈簧537，它們按照以上陳述的順序安置在外殼 534中。探針53K器件533、外殼534和第一彈簧532與圖2A中所示的 由相同標(biāo)號(hào)表示的相應(yīng)元件具有相同的結(jié)構(gòu)和執(zhí)行相同的功能，這里不再 描述。在本實(shí)施例中，塞子535為固定在外殼534中適當(dāng)位置的電導(dǎo)體， 在第一彈簧532施加使探針531偏置的力以建立到測(cè)試區(qū)310和320的電 連接時(shí)對(duì)其提供支持。接觸器536為另一個(gè)電導(dǎo)體，但是與塞子535不 同，它能夠在外殼534中移動(dòng)。第二彈簧537連接到接觸器536以使接觸 器朝向塞子535偏置。與圖2A示出的實(shí)施例中一樣，器件533在節(jié)點(diǎn)541 處連接到電通路560，并且可以響應(yīng)于經(jīng)節(jié)點(diǎn)541施加到器件533上的驅(qū) 動(dòng)信號(hào)來(lái)中斷電連接。電連接的中斷使得DUT 300上的測(cè)試區(qū)310和320 與測(cè)試儀400隔離開。器件533的一個(gè)例子為環(huán)繞接觸器536的螺線管。 在這種情況下，接觸器536被從塞子535上移走，以中斷電通路560并因 此中斷DUT 300與測(cè)試儀400的電連接。
在圖2A和圖2B中示出的兩個(gè)實(shí)施例中，測(cè)試夾具500中的繼電器 520和540、 550和570在空間上按照DUT 300上的測(cè)試區(qū)310和320的布 局分布。當(dāng)使DUT 300與測(cè)試夾具500連接時(shí)，這種空間分布允許探針繼 電器的探針531直接連接到測(cè)試區(qū)310和320。
在圖2A示出的用于第一測(cè)試的測(cè)試儀500的設(shè)置中，探針繼電器520 將測(cè)試儀400的輸出端子403連接到DUT 300的測(cè)試區(qū)310。在這個(gè)設(shè)置 中，探針繼電器540還將測(cè)試儀400的輸入-輸出端子407連接到DUT 300 的測(cè)試區(qū)320。在探針繼電器520和540中，在沒(méi)有驅(qū)動(dòng)信號(hào)的情況下， 電通路530的第一彈簧532把力施加到探針531上使其接觸DUT 300的測(cè) 試區(qū)310和320。在激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器402和測(cè)試區(qū)310之間、信號(hào)處理單 元406和測(cè)試區(qū)320之間，與測(cè)試區(qū)310和320接觸的探針531為電通路 530提供電連續(xù)性。通過(guò)這種電連續(xù)性，激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器402能夠施加激 勵(lì)信號(hào)到測(cè)試區(qū)310。 DUT 300，作為對(duì)激勵(lì)信號(hào)的響應(yīng)，產(chǎn)生并輸出響 應(yīng)信號(hào)到測(cè)試區(qū)320。類似的，探針繼電器540中電通路530的電連續(xù)性 允許信號(hào)處理單元406接收并處理來(lái)自測(cè)試區(qū)320的響應(yīng)信號(hào)。根據(jù)第一測(cè)試的性質(zhì)，激勵(lì)信號(hào)和響應(yīng)信號(hào)可以是模擬的或數(shù)字的。在本實(shí)施例
中，激勵(lì)信號(hào)和響應(yīng)信號(hào)都不會(huì)對(duì)器件533產(chǎn)生會(huì)驅(qū)動(dòng)器件533的顯著影 響。
在一個(gè)實(shí)施例中，第一測(cè)試檢査DUT 300中測(cè)試區(qū)310和測(cè)試區(qū)320 的電路連續(xù)性。如果兩個(gè)測(cè)試區(qū)之間的電路沒(méi)有故障，那么加到測(cè)試區(qū) 310的激勵(lì)信號(hào)將會(huì)在測(cè)試區(qū)320作為響應(yīng)信號(hào)出現(xiàn)。僅僅響應(yīng)信號(hào)的出 現(xiàn)或者缺失就足以指出電路是否完整。在另一個(gè)實(shí)施例中，第一測(cè)試是對(duì) 連接在測(cè)試區(qū)310和測(cè)試區(qū)320間的一個(gè)或多個(gè)電路元件的功能性測(cè)試。 在這種情況下，電路元件產(chǎn)生的響應(yīng)信號(hào)經(jīng)信號(hào)處理單元406的進(jìn)一步分 析以得出對(duì)電路元件功能性的結(jié)論。
在與針對(duì)第一測(cè)試所描述的繼電器520和540、測(cè)試區(qū)310和320、 激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器402和信號(hào)處理單元406無(wú)關(guān)的后續(xù)測(cè)試中，測(cè)試區(qū)310 和320可能必須與測(cè)試儀400和測(cè)試夾具500隔離開，以防止DUT 300上 有害的負(fù)載作用。測(cè)試區(qū)310和320的隔離不能夠通過(guò)在實(shí)體上解除DUT 300與測(cè)試夾具500的接觸來(lái)實(shí)現(xiàn)，因?yàn)檫@樣做的話，后續(xù)測(cè)試過(guò)程中需 要與測(cè)試夾具500接觸的其他測(cè)試區(qū)310和320也將會(huì)被斷開。另一方 面，從測(cè)試夾具500斷開測(cè)試儀400而同時(shí)允許測(cè)試夾具500保持和DUT 300的連接也是不可行的，因?yàn)楹罄m(xù)測(cè)試需要的激勵(lì)信號(hào)源(即激勵(lì)信號(hào) 發(fā)生器402)也會(huì)被移走。
在一個(gè)實(shí)施例中，為了隔離測(cè)試區(qū)310和320，通過(guò)探針繼電器520 和540分別連接到測(cè)試區(qū)310和320的激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器402和信號(hào)處理單 元406可以產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)信號(hào)。在一個(gè)例子中，激勵(lì)信號(hào)為至少24V的連續(xù)直 流電。產(chǎn)生之后，驅(qū)動(dòng)信號(hào)分別通過(guò)輸出端子403、輸入-輸出端子407和 節(jié)點(diǎn)541被施加到探針繼電器520和540中的器件533。本領(lǐng)域的技術(shù)人 員可以很容易的想到驅(qū)動(dòng)信號(hào)流過(guò)器件533 (螺線管)可在探針531上產(chǎn) 生電磁力使探針531沿遠(yuǎn)離測(cè)試區(qū)310和320的方向移動(dòng)。探針531遠(yuǎn)離 測(cè)試區(qū)310和320的移動(dòng)擠壓第一彈簧532并同時(shí)使探針531與DUT 300 電斷開，即通過(guò)將電通路530從DUT 300移走，中斷了用于傳輸激勵(lì)信號(hào) 和響應(yīng)信號(hào)之一的電連接。電連接的中斷使得DUT 300的測(cè)試區(qū)310和
ii320與它們此前相連的激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器402和信號(hào)處理單元406隔離開。 因?yàn)槠骷?33僅工作在至少24伏直流電下，為了不影響探針螺線管520和 540中的電通路530、破壞DUT 300和測(cè)試儀400間的激勵(lì)信號(hào)流和響應(yīng) 信號(hào)流，第一測(cè)試中的激勵(lì)信號(hào)和響應(yīng)信號(hào)必須小于24伏直流。
當(dāng)測(cè)試區(qū)310和320不再需要被隔離時(shí)，激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器402和信號(hào) 處理單元406停止產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)信號(hào)。沒(méi)有了驅(qū)動(dòng)信號(hào)，就沒(méi)有了由器件533 產(chǎn)生的將探針531拉離DUT 300的電動(dòng)力。于是第一彈簧532伸長(zhǎng)對(duì)探針 531朝向DUT 300施加偏置，以重新將探針繼電器520和540電連接到測(cè) 試區(qū)310和320。
圖2B中包括探針繼電器550和570的夾具500與圖2A中的夾具500 以相似的方式工作。唯一的區(qū)別在探針繼電器520、 540、 550和570的工 作方式上。在探針繼電器520和540中，器件533的驅(qū)動(dòng)將探針531縮回 使其不再與測(cè)試區(qū)310和320相接觸。在探針繼電器550和570中，探針 531不會(huì)被縮回。相反，器件533被驅(qū)動(dòng)使得接觸器536沿遠(yuǎn)離塞子535 的方向運(yùn)動(dòng)。接觸器536遠(yuǎn)離塞子535的運(yùn)動(dòng)壓縮第二彈簧537并同時(shí)將 探針繼電器550和570從DUT 300電斷開，即通過(guò)將電通路560斷開而中 斷了電連接。電通路的中斷將DUT 300的測(cè)試區(qū)310和320從他們此前相 連的激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器402和信號(hào)處理單元406隔離開來(lái)。
相應(yīng)的，本發(fā)明包括一種使用夾具從待測(cè)試器件(DUT)隔離測(cè)試儀 的方法。圖3為執(zhí)行依據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的方法的流程圖，示出了一 系列步驟。在步驟610中，提供了測(cè)試夾具，例如圖2A或2B中的夾具 500。
在步驟620中，待測(cè)試器件(DUT)通過(guò)測(cè)試夾具被連接到測(cè)試儀。 換句話說(shuō)，測(cè)試夾具通過(guò)上述的電通路建立了測(cè)試儀與DUT之間的電連 接。
在步驟630中，當(dāng)對(duì)DUT實(shí)施第一測(cè)試時(shí)，通過(guò)電連接，測(cè)試儀向 DUT發(fā)送激勵(lì)信號(hào)，或者DUT向測(cè)試儀發(fā)送響應(yīng)信號(hào)。
在步驟640中，當(dāng)測(cè)試儀對(duì)DUT執(zhí)行另一個(gè)測(cè)試時(shí)，可能需要將第 一測(cè)試中使用的測(cè)試儀的激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器402和信號(hào)處理單元406與DUT隔離開。這需要中斷測(cè)試儀這些部分與DUT之間的電連接。為了達(dá)到這 個(gè)目的，測(cè)試儀(或者更明確地說(shuō)，激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器402和信號(hào)處理單元 406)向夾具500施加各個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)以將測(cè)試儀的這些部分與DUT斷開。 如前面描述的，斷開電連接可以包括從DUT移走電通路，例如如圖2A所 示移走劃定了部分電通路的探針?；蛘?，斷開電連接也可以包括斷開電通 路，例如圖2B所示。
本公開通過(guò)示例性的實(shí)施例詳細(xì)描述了本發(fā)明。但是，由所附權(quán)利要 求限定的本發(fā)明不局限于上述具體的實(shí)施例。例如，盡管探針繼電器被描 述為用在測(cè)試夾具中以連接DUT和測(cè)試儀，但是它不應(yīng)給被理解為僅限 于這個(gè)應(yīng)用。探針繼電器的電通路可以被用在任意兩點(diǎn)間建立電連接。驅(qū) 動(dòng)信號(hào)可以被施加在探針繼電器連接到的這兩點(diǎn)中的任意一點(diǎn)，以驅(qū)動(dòng)器 件來(lái)中斷這兩點(diǎn)間的電連接。
權(quán)利要求
1.一種探針繼電器，包括電通路，在兩個(gè)點(diǎn)間建立電連接，所述電通路包括探針；和連接到所述電通路的器件，其中，所述器件可響應(yīng)于施加到所述器件的驅(qū)動(dòng)信號(hào)來(lái)中斷所述電通路提供的電連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針繼電器，其中，所述電通路還包括連接 到所述探針的第一彈簧，其中，所述第一彈簧可對(duì)所述探針施加偏置以與 所述兩個(gè)點(diǎn)中的一個(gè)點(diǎn)接觸。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針繼電器，其中，所述器件 為環(huán)繞所述探針的螺線管；并且通過(guò)將所述電通路從待測(cè)試器件移走來(lái)中斷所述電連接。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的繼電器，還包括 外殼，至少部分地封閉所述電通路； 其中，所述電通路還包括塞子，固定到所述外殼中的位置，以支持所述第一彈簧對(duì)所述探針施 加偏置；接觸器，可在所述外殼中移動(dòng)，以執(zhí)行所述電連接的保持和中斷中的 一者；和第二彈簧，與所述接觸器連接，可對(duì)所述接觸器向所述塞子施加偏置 以保持所述電連接； 其中，所述裝置是環(huán)繞著所述接觸器的螺線管；并且可響應(yīng)于所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)使所述接觸器離幵所述塞子以中斷所述電連接。
5. —種測(cè)試夾具，用于檢測(cè)待測(cè)試器件以實(shí)現(xiàn)向所述待測(cè)試器件施加 激勵(lì)信號(hào)和從所述待測(cè)試器件接收響應(yīng)信號(hào)中的一者，所述測(cè)試夾具包括 至少一個(gè)探針繼電器，所述探針繼電器包括電通路，置于所述待測(cè)試器件和測(cè)試儀之間，以建立電連接，所述電連接用于在所述待測(cè)試器件與所述測(cè)試儀之間傳輸激勵(lì)信號(hào)和響應(yīng)信號(hào)之 一，所述電通路包括探針；和連接到所述電通路的器件，其中，所述器件被施加到所述器件的驅(qū)動(dòng) 信號(hào)操作以中斷所述電連接。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試夾具，其中，所述器件 是環(huán)繞著所述探針的螺線管；并且可響應(yīng)于所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)使所述電通路離開所述DUT以中斷所述電通 路提供的電連接。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試夾具，其中，所述探針繼電器還包括 外殼，至少部分地封閉所述電通路；其中，所述電通路還包括-第一彈簧，與所述探針連接，其中，所述第一彈簧可偏置所述探針使 其與所述DUT接觸；塞子，固定到所述外殼中的位置，以支持所述第一彈簧對(duì)所述探針施加偏置；接觸器，可在所述外殼中移動(dòng)，以執(zhí)行所述電連接的保持或者中斷中 的一者；和第二彈簧，與所述接觸器連接，可使所述接觸器朝向所述塞子施加偏 置以保持所述電連接； 其中所述裝置是環(huán)繞著所述接觸器的螺線管；并且可響應(yīng)于所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)使所述接觸器離開所述塞子以中斷所述電連接。
8. —種方法，包括通過(guò)電通路建立測(cè)試儀與待測(cè)試器件間的電通路；所述測(cè)試儀與所述待測(cè)試器件中的一者通過(guò)所述電連接向所述測(cè)試儀 與所述待測(cè)試器件中的另一者發(fā)送信號(hào)；所述測(cè)試儀通過(guò)所述電通路向連接到所述電通路的器件施加驅(qū)動(dòng)信 號(hào)，以驅(qū)動(dòng)所述器件來(lái)中斷所述電連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，所述測(cè)試儀通過(guò)所述電通路向 連接到所述電通路的器件施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)，以驅(qū)動(dòng)所述器件來(lái)中斷所述電連接的步驟包括以下之一所述測(cè)試儀通過(guò)所述電通路向連接到所述電通路的器件施加驅(qū)動(dòng)信 號(hào)，以驅(qū)動(dòng)所述器件來(lái)移動(dòng)所述電通路遠(yuǎn)離所述待測(cè)試器件；和所述測(cè)試儀通過(guò)所述電通路向連接到所述電通路的器件施加驅(qū)動(dòng)信 號(hào)，以驅(qū)動(dòng)所述器件來(lái)中斷所述電通路。
全文摘要
本發(fā)明公開了探針繼電器、測(cè)試夾具和使用測(cè)試夾具進(jìn)行隔離的方法。包含探針的電通路建立了兩點(diǎn)間的電連接。器件可響應(yīng)于經(jīng)電通路加到器件上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)來(lái)中斷電通路。本發(fā)明還公開了包括至少一個(gè)探針繼電器的夾具和一種包括使用探針繼電器的方法。
文檔編號(hào)G01R1/02GK101639490SQ20081013491
公開日2010年2月3日 申請(qǐng)日期2008年7月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月31日
發(fā)明者李光偉 申請(qǐng)人:安捷倫科技有限公司