專利名稱:面向集成電路測(cè)試的測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種能夠?qū)崿F(xiàn)集成電路測(cè)試數(shù)據(jù)批量轉(zhuǎn)換的方法,尤 其涉及一種面向大規(guī)模集成電路測(cè)試的實(shí)際需求,能夠自動(dòng)實(shí)時(shí)地將
ASCII碼的J750測(cè)試數(shù)據(jù)批量轉(zhuǎn)換為其它數(shù)據(jù)格式的方法,屬于集成
電路測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù):
在集成電路制造過程中,測(cè)試是必須但又是耗時(shí)而昂貴的過程, 它是保證集成電路性能、質(zhì)量的關(guān)鍵手段之一。40年來,隨著集成電 路發(fā)展到第四代,集成電路測(cè)試機(jī)也從最初測(cè)試小規(guī)模集成電路發(fā)展 到測(cè)試中規(guī)模、大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路,到了八十年代,超大規(guī) 模集成電路測(cè)試機(jī)進(jìn)入全盛時(shí)期。
目前,集成電路測(cè)試機(jī)已經(jīng)進(jìn)入第四代,測(cè)量對(duì)象為VLSI,可測(cè) 管腳數(shù)高達(dá)1024個(gè),功能測(cè)試圖形速率高達(dá)lOOMHz,測(cè)試圖形深度 可達(dá)4M以上。測(cè)試機(jī)的智能化水平進(jìn)一步提高,具備與計(jì)算機(jī)輔助設(shè) 計(jì)(CAD)連接能力,利用自動(dòng)生成測(cè)試圖形向量,并加強(qiáng)了數(shù)字系統(tǒng) 與模擬系統(tǒng)的融合。從1970年仙童(Fair child)公司形成Sentry系 列以來,繼而形成系列的還有泰克(Tektronix)公司的3200系列, 泰瑞達(dá)(Teradyne)公司的J750系列等。
在國(guó)內(nèi),美國(guó)泰瑞達(dá)(Teradyne)公司針對(duì)微處理器測(cè)試需求的 J750系列集成電路測(cè)試機(jī)得到了廣泛的應(yīng)用。J750是一個(gè)將1024個(gè) 數(shù)字通道完全整合到一個(gè)測(cè)試頭的"零占地"系統(tǒng),具有強(qiáng)大的并行 測(cè)試能力和超過95%的并行測(cè)試效率,能夠覆蓋國(guó)內(nèi)現(xiàn)階段設(shè)計(jì)公司 開發(fā)設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。因此,很多國(guó)內(nèi)客戶用這款測(cè)試機(jī)作為產(chǎn)品量產(chǎn)的 測(cè)試機(jī)器。但是,由于泰瑞達(dá)公司沒有為J750開發(fā)完全的軟件來支持 生產(chǎn)測(cè)試數(shù)據(jù)的處理,而只是提供了一些接口。所以業(yè)界沒有一個(gè)統(tǒng) 一的標(biāo)準(zhǔn)方法來轉(zhuǎn)換生成的測(cè)試數(shù)據(jù)。有的公司根據(jù)自己的實(shí)際情況 寫了一些簡(jiǎn)單的腳本完成一些簡(jiǎn)單的功能,不僅通用性差,也很難移
植和擴(kuò)展。這一缺陷在最新推出的J750Ex測(cè)試機(jī)中仍然沒有得到有效
的解決。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足,本發(fā)明的目的是提供一種面向集成
電路測(cè)試的測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法。該方法針對(duì)目前業(yè)界通用的J750系列測(cè) 試機(jī)實(shí)現(xiàn),能夠?qū)SCII碼的J750測(cè)試數(shù)據(jù)批量轉(zhuǎn)換為用戶所需的其 它數(shù)據(jù)格式。
為實(shí)現(xiàn)上述的發(fā)明目的,本發(fā)明采用下述的技術(shù)方案 一種面向集成電路測(cè)試的測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法,針對(duì)J750系列測(cè)試 機(jī)實(shí)施,其特征在于包括如下步驟
(1) 將所述測(cè)試機(jī)輸出的原始數(shù)據(jù)文件按照預(yù)定的路徑存放,并且按 照預(yù)定的格式生成新建數(shù)據(jù)文件的文件名;
(2) 根據(jù)原始數(shù)據(jù)文件中的內(nèi)容,在所述新建數(shù)據(jù)文件中填寫相關(guān)
項(xiàng);
(3) 在多個(gè)芯片并行測(cè)試的情況下,首先在所述新建數(shù)據(jù)文件的列標(biāo) 題處填寫預(yù)定數(shù)據(jù)項(xiàng),然后啟動(dòng)多線程掃描原始數(shù)據(jù)中同一個(gè)坐標(biāo)的不 同測(cè)試項(xiàng)得出的數(shù)據(jù),分別填寫在對(duì)應(yīng)的測(cè)試名稱下。
其中,所述步驟(l)中,所述原始數(shù)據(jù)中包括原始測(cè)試數(shù)據(jù)和復(fù)測(cè)數(shù) 據(jù),所述該原始測(cè)試數(shù)據(jù)放置在Test Data/Device/Lot/Data目錄之下, 所述復(fù)測(cè)數(shù)據(jù)放置在Test Data/ Device/Lot/Retest目錄之下。
所述步驟(l)中,通過記事本程序打開所述原始數(shù)據(jù)文件,識(shí)別該項(xiàng) 測(cè)試起始時(shí)的日期和時(shí)間、任務(wù)名稱和節(jié)點(diǎn)名稱,再?gòu)腖ot log文件中 得到晶片的信息,把這些信息拆分并整合,得出新建數(shù)據(jù)文件的文件名。
所述步驟(2)中,根據(jù)原始數(shù)據(jù)文件中的內(nèi)容,在所述新建數(shù)據(jù)文件 中填寫相關(guān)項(xiàng),確定行標(biāo)題和列標(biāo)題。
所述步驟(3)中,所述預(yù)定數(shù)據(jù)項(xiàng)包括但不限于坐標(biāo)、地點(diǎn)、ID序列、 自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)生的測(cè)試名稱以及最后測(cè)試結(jié)果信息。
所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法在執(zhí)行前,通過讀取wafer log日志文件,判斷 此片數(shù)據(jù)是否已經(jīng)處理;如果已經(jīng)進(jìn)行處理則放棄該數(shù)據(jù),轉(zhuǎn)而進(jìn)行下 一批待處理數(shù)據(jù)的處理;如果還未進(jìn)行處理則判斷是否有需要進(jìn)行復(fù)測(cè) 的數(shù)據(jù)文件,然后按先原始數(shù)據(jù)、再?gòu)?fù)測(cè)數(shù)據(jù)的順序讀取數(shù)據(jù)文件,獲 取數(shù)據(jù)并把數(shù)據(jù)寫入臨時(shí)文件中。
所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法在執(zhí)行完畢后,在wafer log日志文件中寫入表 示數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換完畢的信息。
本發(fā)明所提供的測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法能夠批量處理測(cè)試過程中產(chǎn)生的
ASCII數(shù)據(jù),可以做到完全自動(dòng)化,無人工干預(yù),定時(shí)完成數(shù)據(jù)處理。
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說明。
圖1是在J750系列測(cè)試機(jī)中,用于放置測(cè)試數(shù)據(jù)的目錄示意圖2為L(zhǎng)ot log文件中晶片信息的示意圖3是本測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法中,判斷Lot目錄下的數(shù)據(jù)是否已經(jīng) 處理的流程示意圖4通過讀取wafer log日志文件判斷數(shù)據(jù)是否已經(jīng)處理的流程示 意圖5是在數(shù)據(jù)未曾處理的情況下,通過讀取data文件獲取數(shù)據(jù)并 把數(shù)據(jù)寫入臨時(shí)文件的流程示意圖6執(zhí)行數(shù)據(jù)批量轉(zhuǎn)換的流程示意圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明所提供的測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法主要針對(duì)現(xiàn)有J750系列測(cè)試機(jī)實(shí) 現(xiàn),其核心的技術(shù)思想在于從J750系列測(cè)試機(jī)所輸出的ASCII碼格式 的輸出文件中提取相關(guān)信息,按照用戶需要的數(shù)據(jù)格式進(jìn)行相應(yīng)的數(shù)據(jù) 處理,批量生成符合用戶格式要求的數(shù)據(jù)文件。
J750系列測(cè)試機(jī)的輸出數(shù)據(jù)格式為基于ASCII碼的文本文件,輸出 數(shù)據(jù)包括的信息有泖J試時(shí)間、Job Name、 Operator、 Tester Name、Channel map以及每顆芯片的X、 Y坐標(biāo)、IDString、測(cè)試結(jié)果等。在本專利申請(qǐng) 中,用data文件表示J50的輸出數(shù)據(jù),BHTC文件表示經(jīng)過數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換的文 件,MAP文件表示生成的wafer (晶片)map文件。
下面詳細(xì)介紹本測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法的具體實(shí)施步驟。
首先,按照規(guī)定的路徑存放測(cè)試的原始數(shù)據(jù),并且按照規(guī)定的格式 生成文件名。
圖1是在J750系列測(cè)試機(jī)中,用于放置測(cè)試數(shù)據(jù)的目錄示意圖。 在J750系列測(cè)試機(jī)進(jìn)行測(cè)試之后,需要被轉(zhuǎn)換的測(cè)試數(shù)據(jù)分為兩類, 一類是原始測(cè)試數(shù)據(jù)。該原始測(cè)試數(shù)據(jù)放置在Test Data/Device/Lot/ Data目錄之下;另外一類是復(fù)測(cè)數(shù)據(jù),該復(fù)測(cè)數(shù)據(jù)放置在Test Data/ Device/Lot/Retest目錄之下。此處將Teradyne J750測(cè)試機(jī)隨時(shí)產(chǎn)生的
測(cè)試數(shù)據(jù)按照規(guī)定的路徑存放,并且按照規(guī)定的格式生成文件名的處理 方式不需要操作員為大量的檢測(cè)數(shù)據(jù)設(shè)置存儲(chǔ)路徑和文件名,降低了操 作員的工作量,避免了操作員的誤操作,提高了工作效率。
J750系列測(cè)試機(jī)的輸出數(shù)據(jù)都是采用ASCII碼的文件,該文件可以 通過記事本程序打開。文件打開后,自動(dòng)識(shí)別該項(xiàng)測(cè)試起始時(shí)的date & time (日期和時(shí)間),job name (任務(wù)名稱),node name (節(jié)點(diǎn)名稱), 在本目錄下新建記事本文檔,文件名則根據(jù)這三個(gè)信息的內(nèi)容按照預(yù)定 格式要求編寫。
例如,在原始數(shù)據(jù)的Job Name自動(dòng)獲取任務(wù)名(例如 Hed0409_bv65—8Site—Sortl),再?gòu)腖ot log文件中得到圖2所示關(guān)于 wafer (晶片)的信息,之后把這些信息拆分并整合,得出文件名
(Hed0409—h6x7273一bv65—90_Sortl—01. bhtc)。
圖3是本測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法中,判斷Lot目錄下的數(shù)據(jù)是否已經(jīng) 處理的流程示意圖。處理過程從步驟101開始,進(jìn)入Test Data目錄
(步驟201)后開始遍歷Test Data目錄下的文件或目錄,對(duì)每一個(gè) 進(jìn)行判斷(步驟202),如果是文件就返回步驟201,如果是目錄就到 步驟301。如果跳到步驟301,這說明找到一種Device的測(cè)試數(shù)據(jù)目 錄,進(jìn)入Device目錄后,開始遍歷Device目錄下的文件或目錄,也 對(duì)每一個(gè)進(jìn)行判斷(步驟302),如果是文件,就跳回到步驟301,如 果是目錄說明找到一個(gè)新的批次的數(shù)據(jù)就到步驟303,這時(shí)需要通過 讀Lot log日志文件(Lot log日志文件是一個(gè)對(duì)已經(jīng)完成整個(gè)批次 數(shù)據(jù)處理的批號(hào)進(jìn)行記錄的文件)檢査此批次的數(shù)據(jù)是否已經(jīng)做過數(shù) 據(jù)處理,如果已經(jīng)完成數(shù)據(jù)處理,那么跳回到步驟301進(jìn)行下一批次。 如果沒有就到步驟401進(jìn)入此批次的目錄下。
在判斷數(shù)據(jù)是否已經(jīng)得到處理的過程中,可以通過設(shè)置時(shí)鐘控件 自動(dòng)在規(guī)定的時(shí)間間隔內(nèi)執(zhí)行上述的檢查判斷工作,從而實(shí)時(shí)檢查數(shù) 據(jù)是否需要更新。
圖4是本測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法中,通過讀取wafer log日志文件判斷 數(shù)據(jù)是否已經(jīng)處理的流程示意圖。首先在步驟401,開始查找Lot目錄下 是否存在data目錄,如果不存在說明此文件夾不是存放數(shù)據(jù)目錄,就跳 回到步驟401,如果存在就進(jìn)入data目錄。到步驟501,開始遍歷data 目錄下的文件,也對(duì)每一個(gè)文件進(jìn)行判斷(步驟502),如果不是data文
件,就跳回到步驟501,如果是data文件跳到步驟503獲取Device Name (設(shè)備名稱)、Test Type (測(cè)試類型)、Test Time (測(cè)試時(shí)間)和Wafer ID(晶片ID)信息,這時(shí)需要到步驟504通過讀wafer log日志文件(wafer log日志文件是一個(gè)對(duì)已經(jīng)完成數(shù)據(jù)處理的晶片進(jìn)行記錄的文件)檢查此 片的數(shù)據(jù)是否已經(jīng)做過數(shù)據(jù)處理,如果已經(jīng)完成數(shù)據(jù)處理,那么跳回 到步驟501進(jìn)行下一片數(shù)據(jù)處理。
圖5是本測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法中,在數(shù)據(jù)未曾處理的情況下,通過 讀取data文件獲取數(shù)據(jù)并把數(shù)據(jù)寫入臨時(shí)文件的流程示意圖。如果通 過wafer log日志文件判斷此片晶片的數(shù)據(jù)沒有處理,那么到步驟403, 判斷此批號(hào)下面是否存在retest目錄,如果不存在,就到步驟505。如 果存在,就到步驟601進(jìn)入retest目錄,檢査是否此片晶片的復(fù)測(cè)數(shù)據(jù), 如果沒有,就跳到步驟505,如果有,找出此片晶片的所有復(fù)測(cè)數(shù)據(jù),按 時(shí)間先后順序排序。進(jìn)入步驟505到配置文件中檢査是否有此設(shè)備的相 關(guān)信息,如果不存在就輸出錯(cuò)誤日志到error log(步驟507),然后跳到 步驟401。如果存在,從配置文件中找出此設(shè)備的相關(guān)信息(步驟506), 根據(jù)設(shè)備的相關(guān)信息,按先原始數(shù)據(jù),再?gòu)?fù)測(cè)數(shù)據(jù)的順序讀取data文件, 獲取數(shù)據(jù)并把數(shù)據(jù)寫入臨時(shí)文件中(步驟508)。
圖6是本測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法中,執(zhí)行數(shù)據(jù)批量轉(zhuǎn)換的流程示意圖。 在步驟509中,從臨時(shí)文件讀取數(shù)據(jù)按要求輸出需要的相關(guān)格式的文件, 最后到步驟510寫入相關(guān)的信息到wafer log日志文件。在此數(shù)據(jù)批量 轉(zhuǎn)換過程中,可以將Teradyne J750測(cè)試機(jī)產(chǎn)生的文本格式的ASCII測(cè) 試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成客戶需要格式的數(shù)據(jù),裝換后信息量不變,存儲(chǔ)空間減小, 而且轉(zhuǎn)換后的數(shù)據(jù)可以導(dǎo)入excel,利用excel工具進(jìn)行數(shù)據(jù)分析,為進(jìn) 行檢測(cè)數(shù)據(jù)分析提供了便利。另外,將Teradyne J750測(cè)試機(jī)產(chǎn)生的文 本格式的測(cè)試數(shù)據(jù)自動(dòng)定時(shí)轉(zhuǎn)換成wafer map,轉(zhuǎn)換生成的wafer map可 以代替掃描探針臺(tái)生成的wafer map,從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)存儲(chǔ)。
在執(zhí)行數(shù)據(jù)批量轉(zhuǎn)換之前,要根據(jù)測(cè)試數(shù)據(jù)文檔中的內(nèi)容,在新建 記事本中填寫相關(guān)項(xiàng),確定行標(biāo)題和列標(biāo)題。值得一提的是,因?yàn)閮蓚€(gè) 文檔的數(shù)據(jù)項(xiàng)不一致,某些信息較為零散或者集中,需要集合或拆分原 始數(shù)據(jù)以便達(dá)到客戶對(duì)文檔的要求,這就要求原始數(shù)據(jù)的信息字段分配 固定。
舉例說在原始數(shù)據(jù)中同時(shí)測(cè)試的8個(gè)site的ID String表示為Coordinated-43Y16—X-42Y16—X_41Y16_X-40Y16—X-39Y16_X-38Y16—X-3
7Y16_X-36Y16
ID String:061114_0001977—Ol一Coordinate 但是在客戶文檔中將這8個(gè)芯片拆分開,ID String設(shè)為
X 1Y I Site| ID Strings
—43|16|0I 061114000197701-043+016
在多個(gè)芯片并行測(cè)試的情況下,原始數(shù)據(jù)是按照多個(gè)不同坐標(biāo)芯片 的多項(xiàng)測(cè)試為一組進(jìn)行記錄的。用于執(zhí)行本發(fā)明所述方法的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換程 序需要把這些分散、凌亂的數(shù)據(jù)重新組合起來寫進(jìn)客戶文檔。因此,首 先在文檔寫上坐標(biāo)、Site (地點(diǎn))、ID Strings (ID序列)、自動(dòng)識(shí)別產(chǎn) 生的測(cè)試名稱,以及最后測(cè)試結(jié)果等信息填寫到列標(biāo)題處。之后啟動(dòng)多 線程掃描原始數(shù)據(jù)中同一個(gè)坐標(biāo)的不同測(cè)試項(xiàng)得出的數(shù)據(jù),分別填寫在 對(duì)應(yīng)的測(cè)試名稱下。如果一個(gè)待測(cè)芯片的每一項(xiàng)測(cè)試均為pass (通過), 在測(cè)試結(jié)果一欄填寫pass;反之若其中一項(xiàng)或多項(xiàng)測(cè)試fail (失敗)導(dǎo) 致隨后的測(cè)試不能進(jìn)行,則在缺測(cè)項(xiàng)里以*號(hào)代替,并且將該消息傳遞給 測(cè)試結(jié)果,使它設(shè)為fail。這種標(biāo)志方法能夠保證客戶文檔中的測(cè)試數(shù) 據(jù)準(zhǔn)確、易懂,而不會(huì)產(chǎn)生串行或缺值。
這一步驟是本測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法的核心步驟,其核心在于將測(cè)試機(jī) 產(chǎn)生的每一項(xiàng)原始測(cè)試數(shù)據(jù)填寫到以芯片在整個(gè)晶片中的坐標(biāo)為行,測(cè) 試項(xiàng)序號(hào)為列的交叉點(diǎn)上。
例如,對(duì)于提供原始數(shù)據(jù)的DATA文件,其中的數(shù)據(jù)經(jīng)過信息提取和 數(shù)據(jù)處理,轉(zhuǎn)換成用戶所需格式的文件(命名為BHTC文件)中的數(shù)據(jù), 其對(duì)應(yīng)關(guān)系舉例如下
例1:
MTA文件中的數(shù)據(jù)
Coordinated-35Y34—X-34Y34_X-33Y34_X-32Y34_X-31Y34_X-30Y34 —X-29Y34一X-28Y34
ID String:061114_0001977—01—Coordinate 對(duì)應(yīng)BHTC文件中的數(shù)據(jù)
X IY ISite| ID Strings
—35|34|0 I 061114000197701-035+034
例2:
DATA文件中的數(shù)據(jù)
Site Bin
0 1 對(duì)應(yīng)BHTC文件中的數(shù)據(jù) Bin| X IY I Sitel
1| - 35134|0 I
例3:
MTA文件中的數(shù)據(jù)
NumberSiteTest NamePinChannelMeasured
00cont_gndmrst136-500.6259 mV
10cont—gndmc Ik9-499.8950 mV
160cont—vdd1012656.2770 mV
170cont一vdd10217655.5902 mV
180Idd一rstO兩2153. 8121 uA
NumberSiteResultTestNams
190PASSSortl
200PASSCPTEST_0
對(duì)應(yīng)BHTC文件中的數(shù)據(jù)
Site|test0|testl|testl6|testl7|testl8|testl9|test20| 0卜500. 6259卜499. 8950 | 656. 2770 | 655. 5902 | 153. 8121 | PASS | PASS |
例4:
DATA文件中的數(shù)據(jù)
Number Site Result Test Name
19 1 FAIL Sortl
后面項(xiàng)的數(shù)據(jù)沒有。 對(duì)應(yīng)BHTC文件中的數(shù)據(jù)
Site I test 19 I test20|test211test22|test23 | 1 |* | * |**** |* |* | 其中缺少的數(shù)據(jù)用*代替。當(dāng)實(shí)現(xiàn)到步驟404時(shí),說明完成一片晶片的數(shù)據(jù)處理,檢査此數(shù)據(jù) 是否是這一批的最后一片數(shù)據(jù),如果不是就跳到步驟401,如果是就跳到 步驟304。當(dāng)跳到步驟304時(shí),說明當(dāng)前一個(gè)批次的晶片數(shù)據(jù)已經(jīng)處理完 成,檢查是否是最后一個(gè)lot,如果不是就跳到步驟301,如果是就跳到 步驟203。當(dāng)跳到步驟203時(shí),說明當(dāng)前設(shè)備下所有的數(shù)據(jù)已經(jīng)完成,然 后檢查時(shí)候還有其他設(shè)備,如果有,就跳到步驟201,如果沒有,就退出 數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換工作。
上面雖然通過實(shí)施例描繪了本發(fā)明,但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員知道, 本發(fā)明有許多變形和變化而不脫離本發(fā)明的精神,所附的權(quán)利要求將包 括這些變形和變化。
權(quán)利要求
1.一種面向集成電路測(cè)試的測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法,針對(duì)J750系列測(cè)試機(jī)實(shí)施,其特征在于包括如下步驟(1)將所述測(cè)試機(jī)輸出的原始數(shù)據(jù)文件按照預(yù)定的路徑存放,并且按照預(yù)定的格式生成新建數(shù)據(jù)文件的文件名;(2)根據(jù)原始數(shù)據(jù)文件中的內(nèi)容,在所述新建數(shù)據(jù)文件中填寫相關(guān)項(xiàng);(3)在多個(gè)芯片并行測(cè)試的情況下,首先在所述新建數(shù)據(jù)文件的列標(biāo)題處填寫預(yù)定數(shù)據(jù)項(xiàng),然后啟動(dòng)多線程掃描原始數(shù)據(jù)中同一個(gè)坐標(biāo)的不同測(cè)試項(xiàng)得出的數(shù)據(jù),分別填寫在對(duì)應(yīng)的測(cè)試名稱下。
2. 如權(quán)利要求1所述的面向集成電路測(cè)試的測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法, 其特征在于所述步驟(l)中,所述原始數(shù)據(jù)中包括原始測(cè)試數(shù)據(jù)和復(fù)測(cè)數(shù)據(jù),所 述該原始測(cè)試數(shù)據(jù)放置在Test Data/Device/Lot/ Data目錄之下,所述 復(fù)測(cè)數(shù)據(jù)放置在Test Data/ Device/Lot/Retest目錄之下。
3. 如權(quán)利要求1所述的面向集成電路測(cè)試的測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法, 其特征在于所述步驟U)中,通過記事本程序打開所述原始數(shù)據(jù)文件,識(shí)別該項(xiàng) 測(cè)試起始時(shí)的日期和時(shí)間、任務(wù)名稱和節(jié)點(diǎn)名稱,再?gòu)腖ot log文件中 得到晶片的信息,把這些信息拆分并整合,得出新建數(shù)據(jù)文件的文件名。
4. 如權(quán)利要求1所述的面向集成電路測(cè)試的測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法, 其特征在于所述步驟(2)中,根據(jù)原始數(shù)據(jù)文件中的內(nèi)容,在所述新建數(shù)據(jù)文件 中填寫相關(guān)項(xiàng),確定行標(biāo)題和列標(biāo)題。
5. 如權(quán)利要求1所述的面向集成電路測(cè)試的測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法,其特征在于所述步驟(3)中,所述預(yù)定數(shù)據(jù)項(xiàng)包括但不限于坐標(biāo)、地點(diǎn)、ID序列、 自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)生的測(cè)試名稱以及最后測(cè)試結(jié)果信息。
6. 如權(quán)利要求1所述的面向集成電路測(cè)試的測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法,其特征在于 所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法在執(zhí)行前,通過讀取wafer log日志文件,判斷 此片數(shù)據(jù)是否已經(jīng)處理;如果已經(jīng)進(jìn)行處理則放棄該數(shù)據(jù),轉(zhuǎn)而進(jìn)行下 一批待處理數(shù)據(jù)的處理;如果還未進(jìn)行處理則判斷是否有需要進(jìn)行復(fù)測(cè)的數(shù)據(jù)文件,然后按先原始數(shù)據(jù)、再?gòu)?fù)測(cè)數(shù)據(jù)的順序讀取數(shù)據(jù)文件,獲 取數(shù)據(jù)并把數(shù)據(jù)寫入臨時(shí)文件中。
7.如權(quán)利要求1所述的面向集成電路測(cè)試的測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法, 其特征在于所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法在執(zhí)行完畢后,在wafer log日志文件中寫入表 示數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換完畢的信息。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種面向集成電路測(cè)試的測(cè)試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法,針對(duì)J750系列測(cè)試機(jī)實(shí)施,包括如下步驟(1)將所述測(cè)試機(jī)輸出的原始數(shù)據(jù)文件按照預(yù)定的路徑存放,并且按照預(yù)定的格式生成新建數(shù)據(jù)文件的文件名;(2)根據(jù)原始數(shù)據(jù)文件中的內(nèi)容,在所述新建數(shù)據(jù)文件中填寫相關(guān)項(xiàng);(3)在多個(gè)芯片并行測(cè)試的情況下,首先在所述新建數(shù)據(jù)文件的列標(biāo)題處填寫預(yù)定數(shù)據(jù)項(xiàng),然后啟動(dòng)多線程掃描原始數(shù)據(jù)中同一個(gè)坐標(biāo)的不同測(cè)試項(xiàng)得出的數(shù)據(jù),分別填寫在對(duì)應(yīng)的測(cè)試名稱下。本方法能夠批量處理測(cè)試過程中產(chǎn)生的數(shù)據(jù),可以做到完全自動(dòng)化,無需人工干預(yù)。
文檔編號(hào)G01R31/28GK101364219SQ200710120008
公開日2009年2月11日 申請(qǐng)日期2007年8月6日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月6日
發(fā)明者煒 劉, 吉國(guó)凡, 博 孫, 楊 孫, 琳 張, 慧 王, 石志剛, 趙智昊, 鄭忠林, 蘭 金, 希 陳 申請(qǐng)人:北京華大泰思特半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)有限公司