專利名稱：基于聚二甲基硅氧烷的微型生物試劑分析檢測芯片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及的是一種生物試劑分析檢測芯片，特別是一種基于聚二甲基硅氧烷的微型生物試劑分析高效檢測芯片。屬于微電子技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在生物化學(xué)和醫(yī)學(xué)檢測分析系統(tǒng)中，生物試劑和化學(xué)試劑濃度和組分檢測是至關(guān)重要的組成環(huán)節(jié)，微機電技術(shù)(MEMS)的發(fā)展使這一檢測可以在芯片上完成?；诓煌瑱z測原理的眾多檢測方法都被用于生物試劑和化學(xué)試劑濃度和組分檢測研究中，檢測器件一般按其檢測原理進(jìn)行分類，大致可以分為光學(xué)檢測器、電化學(xué)檢測器、質(zhì)譜檢測器等。到目前為止，光學(xué)檢測器是應(yīng)用最為廣泛的一種技術(shù)，而作為光學(xué)檢測器這一大類的重要一支，光學(xué)檢測器對于某些熒光效率高的物質(zhì)，通過采用光子記數(shù)、雙光子激發(fā)等一些改進(jìn)的技術(shù)甚至可達(dá)到單分子檢測，此外，光學(xué)檢測方法還具有良好的選擇性和較寬的線性范圍，并且許多如氨基酸、DNA等重要的生化物質(zhì)樣品均可以用熒光試劑進(jìn)行標(biāo)記和檢測，因此在生物試劑和化學(xué)試劑濃度和組分檢測中，光學(xué)檢測是一種應(yīng)用最早、并且至今仍然應(yīng)用較多的光學(xué)檢測方法，也是目前在商品化化學(xué)分析系統(tǒng)中惟一被采用的檢測途徑。
經(jīng)對現(xiàn)有技術(shù)的文獻(xiàn)檢索發(fā)現(xiàn)Grewe等人于2000年在《Applied Physics B》(《應(yīng)用物理B卷》)上發(fā)表了”Theoretical and experimental investigationsof the optical waveguiding properties of on-chip microfabricatedcapillaries” (”片上微毛細(xì)管光導(dǎo)特性的理論和實驗研究”)，該文中提到了光學(xué)檢測系統(tǒng)，利用光刻、鍵合等工藝制造毛細(xì)管芯片，對于毛細(xì)管的廣導(dǎo)特性進(jìn)行了實驗和理論的分析，在514nm波長段光路檢測銜接衰減僅3dB，然而該系統(tǒng)功能還是比較單一，只能進(jìn)行生物試劑的熒光誘導(dǎo)檢測，而對于試劑濃度卻無法檢測，該裝置也無法對待測試劑進(jìn)行前期混合和溫控反應(yīng)，還停留在單一器件制造上，不是一個一體化集成的、功能全面的生物和化學(xué)試劑分析處理系統(tǒng)，而且，這些器件的制造都受到LCVD(低壓化學(xué)氣象沉積)技術(shù)的局限，應(yīng)用面不廣，而且制造代價非常昂貴，外圍的光路耦合步驟極為復(fù)雜。另外，光學(xué)檢測模式都是通過單光導(dǎo)作業(yè)來完成，導(dǎo)致測定數(shù)據(jù)的波動性，導(dǎo)致缺乏良好的重復(fù)性，不利于對于待測試劑組分進(jìn)行系統(tǒng)而又全面地數(shù)據(jù)定量分析。由于待測試劑前期混合，反應(yīng)和劑量控制等需要附屬設(shè)備分開來進(jìn)行，在一定程度上制約了光導(dǎo)檢測的速度，使即時檢測周期較長，不利于于對于生物試劑檢測的高效性要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有微型分析檢測芯片功能單一、集成度和測量穩(wěn)定性不理想的缺點，提出一種基于聚二甲基硅氧烷的微型生物試劑分析檢測芯片，通過集成多個功能器件于一只芯片上，使待測試劑的輸送、混合、溫控反應(yīng)和光學(xué)檢測在一塊上芯片上完成，縮短了待測試劑的檢測周期，提高了整體的工作效率，同時，利用雙路光導(dǎo)檢測方法提高了檢測精度和穩(wěn)定性，使待測試劑的檢測具有更好的重復(fù)性和系統(tǒng)化的特征，解決了背景技術(shù)中存在的問題。
本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的，本發(fā)明包括聚二甲基硅氧烷層、玻璃層、陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器、芯片固緊夾具系統(tǒng)、超聲生物試劑混合系統(tǒng)、集成溫控反應(yīng)系統(tǒng)。其連接方式為玻璃層與聚二甲基硅氧烷層通過等離子氧化技術(shù)鍵合密封在一起，在PMDS層上設(shè)有試劑樣品輸入口、試劑樣品輸出口，試劑樣品輸入口、試劑樣品輸出口分別與玻璃層上的各個通道起點、通道終點相對應(yīng)，陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器在芯片聚二甲基硅氧烷層的外側(cè)，通過計算機控制，陶瓷壓電片的電致彎曲擠壓聚二甲基硅氧烷層變形從而引起玻璃層上試劑導(dǎo)流通道的開關(guān)閉合，芯片固緊夾具系統(tǒng)將陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器緊密貼合在鍵合后芯片的聚二甲基硅氧烷基片一側(cè)，芯片固緊夾具系統(tǒng)同時可以將芯片固定在底座上，便于進(jìn)行外部管道和輔助設(shè)備的穩(wěn)定連接，超聲生物試劑混合器為一嵌入粘貼在聚二甲基硅氧烷層的陶瓷壓電片，其振動導(dǎo)致玻璃層混合微腔中試劑的震蕩混合，與混合微腔對應(yīng)的玻璃層外側(cè)為集成溫控反應(yīng)系統(tǒng)，它負(fù)責(zé)調(diào)控微腔的混合試劑反應(yīng)溫度。
本發(fā)明芯片用玻璃和聚二甲基硅氧烷兩種材質(zhì)制作封裝成形，聚二甲基硅氧烷層上包括試劑樣品輸入口、四個平行的試劑樣品輸出口，在注模時用2mm直徑鋁柱預(yù)留。
玻璃層包括雙路光導(dǎo)檢測點、通過多層金屬掩?？涛g技術(shù)形成的試劑導(dǎo)流通道，30度錐形拔模槽體，混合微腔、主檢測通道，其連接方式為30度錐形拔模槽體共四個，每兩個之間是一條平行穿越的試劑導(dǎo)流通道，試劑導(dǎo)流通道與混合微腔連接，混合微腔與主檢測通道相接，集成雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)設(shè)置于玻璃層內(nèi)側(cè)，與主檢測通道正交相接于雙路光導(dǎo)檢測點。試劑導(dǎo)流通道閉合開啟受控于陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器，選擇性的輸入試劑進(jìn)入到混合微腔中進(jìn)行超聲混合和溫控反應(yīng)，主檢測通道利用真空或者電泳方法驅(qū)動待測試劑，集成雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)與主檢測通道正交相接，利用光學(xué)誘導(dǎo)熒光檢測方法對主檢測通道內(nèi)流經(jīng)的待測試劑進(jìn)行濃度和組分檢測。玻璃層上混合微腔的末端設(shè)計為錐狀，伸張入主檢測通道，于兩側(cè)的試劑導(dǎo)流通道配合，便于使混合反應(yīng)后的試劑以夾流進(jìn)樣的方式注入到主檢測通道。
本發(fā)明芯片通過陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器控制試劑導(dǎo)流通道閉合和開啟，對于進(jìn)入玻璃層上混合微腔的試劑進(jìn)行選擇性調(diào)配，陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器的執(zhí)行部件為一刻蝕加工成型的壓電片，每支試劑導(dǎo)流通道上分布平行的兩組壓電執(zhí)行部件以提高壓電閥進(jìn)樣控制器對于導(dǎo)流通道的閉合效果。
芯片固緊夾具系統(tǒng)不銹鋼制作，由上壓片、下壓片和彈性膠墊組成，上壓片為一彎曲為“T”型的薄片，下壓片為一水平薄片，利用在玻璃層上30度錐形拔模槽體和芯片固緊夾具系統(tǒng)的彈性膠墊，芯片固緊夾具系統(tǒng)將陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器緊密貼合在鍵合后芯片的聚二甲基硅氧烷基片一側(cè)，同時可以將芯片固定在底座上，便于進(jìn)行外部管道和輔助設(shè)備的穩(wěn)定連接。
超聲生物試劑混合器為一嵌入粘貼在聚二甲基硅氧烷層的陶瓷壓電片，其振動導(dǎo)致玻璃層上混合微腔中試劑的震蕩混合，集成溫控反應(yīng)系統(tǒng)在混合微腔對應(yīng)的玻璃層外側(cè)，負(fù)責(zé)對于混合微腔的溫度實施調(diào)控。集成溫控反應(yīng)系統(tǒng)由微Pt(鉑)膜傳感器和微鉑膜加熱器組成，采用濺射鉑后Lift-Off(以光刻膠為犧牲層制作金屬功能層的方法)工藝制作。
集成雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)由聚二甲基硅氧烷包皮層和SU8(一種可做高深寬比結(jié)構(gòu)的負(fù)光刻膠)芯子組成，這兩種材質(zhì)對于400-600nm左右的光波具有良好的透射率，而兩種材質(zhì)的折射率差異又使其可以制作成為光導(dǎo)傳輸器件。這一光導(dǎo)通路與主檢測通道正交，待測試劑于主檢測通道中流經(jīng)時，由雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)一側(cè)入射的特定波長激光穿越待測混合試劑，在雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)另一側(cè)通過PMT(集成光電倍增模塊)器件調(diào)制放大，轉(zhuǎn)換為相應(yīng)電信號，主檢測通道中待測混合試劑的濃度和組分變化會引起光導(dǎo)傳輸通路中的光強衰減變化，這種變化使采集的電信號相應(yīng)變化，通過對雙路光導(dǎo)通路的信號采集和分析，得出微管道中待測試劑的即時濃度和組分。
本發(fā)明中的檢測芯片在進(jìn)行生物試劑和化學(xué)試劑濃度檢測時，利用真空作用驅(qū)動待測試劑在微管道中流動，在微管道側(cè)壁上集成有雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)，試劑濃度的變化會引起光導(dǎo)傳輸通路中的光強衰減變化，并將這一變化傳遞給PMT調(diào)制放大，形成電信號的波動，通過計算機信號拾取系統(tǒng)對這一電信號分析計算，得出微管道中待測試劑的即時濃度，并繪制時域曲線。本發(fā)明在進(jìn)行生物試劑和化學(xué)試劑組分檢測時，待測試劑和相關(guān)熒光試劑需要先行在芯片上集成超聲混合系統(tǒng)中混合，然后通過電泳驅(qū)動流經(jīng)集成雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)的通道，光導(dǎo)傳輸通路中傳輸?shù)南鄳?yīng)波長的激光誘發(fā)熒光試劑發(fā)光，光強的衰減變化通過透鏡系統(tǒng)和PMT放大后映射為電信號變化，計算機數(shù)據(jù)拾取系統(tǒng)檢測這一變化，通過對比和運算得出試劑不同組分所占配比。本發(fā)明集成了多路壓電閥，調(diào)配控制并行的多條通道進(jìn)出片上微反應(yīng)器和微分析通道，實現(xiàn)檢測分析。微型分析檢測芯片是當(dāng)前生物化學(xué)分析研究的熱點，研究結(jié)果表明微型分析檢測芯片以其自身結(jié)構(gòu)的特點克服了傳統(tǒng)光學(xué)誘導(dǎo)熒光檢測設(shè)備體積較大、結(jié)構(gòu)復(fù)雜和成本較高的缺點，同時，使分子化學(xué)分析中的效率大大提高。
本發(fā)明具有實質(zhì)性的特點和進(jìn)步，本發(fā)明改變了已有生物試劑分析檢測芯片功能單一，制作成本高和兼容性不強的缺點，通過微細(xì)加工技術(shù)，不僅大大減小了器件體積，降低了成本，也使其批量化加工成為可能。配合使用不同的驅(qū)動方式、熒光試劑和激發(fā)光波長，本發(fā)明芯片不僅可以用于化學(xué)試劑的濃度檢測，也可以進(jìn)行生物分子和細(xì)胞顆粒的定量分析。此外，本發(fā)明芯片因為采用了高速的光學(xué)檢測方法，具有很高的響應(yīng)速度，可以廣泛用于生物試劑、化學(xué)試劑濃度和組分的實時測定，對于預(yù)防醫(yī)學(xué)、環(huán)境水源監(jiān)控都具有很強的實用價值。


圖1本發(fā)明正面結(jié)構(gòu)示意2圖1所示局部放大示意3本發(fā)明后視4圖3所示局部放大示意5本發(fā)明各組成部分結(jié)構(gòu)圖其中，集成雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)1、聚二甲基硅氧烷層2、玻璃層3、超聲生物試劑混合系統(tǒng)4、芯片固緊夾具系統(tǒng)5、集成溫控反應(yīng)系統(tǒng)6、陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器7、試劑樣品輸入口8、試劑樣品輸出口9、通道起點10、通道終點11、雙路光導(dǎo)檢測點12、試劑導(dǎo)流通道13、30度錐形拔模槽體14、混合微腔15、主檢測通道16、執(zhí)行部件17、上壓片18、下壓片19、彈性膠墊20、微鉑膜傳感器21、微鉑膜加熱器22、聚二甲基硅氧烷包皮23、SU8芯子24，金電極25。
具體實施例方式
如圖1-5所示，本發(fā)明包括集成雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)1、聚二甲基硅氧烷層2、玻璃層3、超聲生物試劑混合系統(tǒng)4、芯片固緊夾具系統(tǒng)5、集成溫控反應(yīng)系統(tǒng)6、陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器7。其連接方式為玻璃層3與聚二甲基硅氧烷層2通過等離子氧化技術(shù)鍵合密封在一起，在PMDS層2上設(shè)有試劑樣品輸入口8、試劑樣品輸出口9，玻璃層3上設(shè)有各個通道起點10、通道終點11，試劑樣品輸入口8、試劑樣品輸出口9分別與各個通道起點10、通道終點11相對應(yīng)，陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器7在聚二甲基硅氧烷層2的外側(cè)，芯片固緊夾具系統(tǒng)5將陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器7緊密貼合在鍵合后聚二甲基硅氧烷層2一側(cè)，芯片固緊夾具系統(tǒng)5同時將芯片固定在底座上，便于進(jìn)行外部管道和輔助設(shè)備的穩(wěn)定連接。超聲生物試劑混合系統(tǒng)4嵌入粘貼在聚二甲基硅氧烷層上，其下方為玻璃層3，玻璃層3外側(cè)為集成溫控反應(yīng)系統(tǒng)6。
聚二甲基硅氧烷層2上的試劑樣品輸入口8、試劑樣品輸出口9在注模時用2mm直徑鋁柱預(yù)留，試劑樣品輸出口9有四個，且平行。
玻璃層3包括雙路光導(dǎo)檢測點12、試劑導(dǎo)流通道13、30度錐形拔模槽體14、混合微腔15、主檢測通道16，其連接方式為30度錐形拔模槽體14共四個，每兩個之間是一條平行穿越的試劑導(dǎo)流通道13，試劑導(dǎo)流通道13與混合微腔15連接，混合微腔15與主檢測通道16相接，集成雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)1設(shè)置于玻璃層3內(nèi)側(cè)，與主檢測通道16正交相接于雙路光導(dǎo)檢測點12?；旌衔⑶?5的末端為錐狀，伸展進(jìn)入主檢測通道16，與兩側(cè)的試劑導(dǎo)流通道13配合。
集成雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)1的核心部分是由聚二甲基硅氧烷包皮23和SU8芯子24組成的光導(dǎo)通路，這一光導(dǎo)通路與主檢測通道16正交。位于雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)1外層的聚二甲基硅氧烷包皮23和位于雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)1內(nèi)芯的SU8芯子24緊密結(jié)合在一起，負(fù)責(zé)光信號傳導(dǎo)。
超聲生物試劑混合系統(tǒng)4為一嵌入粘貼在聚二甲基硅氧烷層的陶瓷壓電片，其正下方玻璃層3上的對應(yīng)位置有混合微腔15，而在混合微腔15正下方玻璃層3外側(cè)為集成溫控反應(yīng)系統(tǒng)6。
陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器7中設(shè)有執(zhí)行部件17，執(zhí)行部件17為一刻蝕加工成型的壓電片，每支試劑導(dǎo)流通道13上分布平行的兩組壓電執(zhí)行部件，通過計算機控制電致彎曲變形，擠壓聚二甲基硅氧烷層2從而引起玻璃層3上試劑導(dǎo)流通道13的開關(guān)閉合。
芯片固緊夾具系統(tǒng)5采用不銹鋼制作，由上壓片18、下壓片19和彈性膠墊20組成，上壓片18與下壓片19緊密接觸連接在一起，彈性膠墊20在上壓片18和下壓片19之間，三者緊密連接，將芯片固定在底座上，便于進(jìn)行外部管道和輔助設(shè)備的穩(wěn)定連接。
集成溫控反應(yīng)系統(tǒng)6由微鉑膜傳感器21和微鉑膜加熱器22組成，鉑膜傳感器21和鉑膜加熱器22平行逶迤在玻璃層3外側(cè)，在微鉑膜傳感器21和微鉑膜加熱器22上是金電極25，通過二次濺射制作，與外部信號拾取系統(tǒng)和電源控制器連接。
權(quán)利要求
1.一種基于聚二甲基硅氧烷的微型生物試劑分析檢測芯片，包括聚二甲基硅氧烷層(2)、玻璃層(3)，其特征在于，還包括集成雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)(1)，超聲生物試劑混合系統(tǒng)(4)，芯片固緊夾具系統(tǒng)(5)，集成溫控反應(yīng)系統(tǒng)(6)，陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器(7)，玻璃層(3)與聚二甲基硅氧烷層(2)鍵合密封在一起，在聚二甲基硅氧烷層(2)上設(shè)有試劑樣品輸入口(8)、試劑樣品輸出口(9)，玻璃層(3)上設(shè)有各個通道起點(10)、通道終點(11)，試劑樣品輸入口(8)、試劑樣品輸出口(9)分別與各個通道起點(10)、通道終點(11)相對應(yīng)，陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器(7)在聚二甲基硅氧烷層(2)的外側(cè)，芯片固緊夾具系統(tǒng)(5)將陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器(7)緊密貼合在鍵合后聚二甲基硅氧烷層(2)一側(cè)，芯片固緊夾具系統(tǒng)(5)同時將芯片固定在底座上，超聲生物試劑混合系統(tǒng)(4)嵌入粘貼在聚二甲基硅氧烷層(2)上，其下方為玻璃層(3)，玻璃層(3)外側(cè)為集成溫控反應(yīng)系統(tǒng)(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聚二甲基硅氧烷的微型生物試劑分析高效檢測芯片，其特征是，玻璃層(3)包括雙路光導(dǎo)檢測點(12)、試劑導(dǎo)流通道(13)、30度錐形拔模槽體(14)、混合微腔(15)、主檢測通道(16)，其連接方式為30度錐形拔模槽體(14)共四個，每兩個之間是一條平行穿越的試劑導(dǎo)流通道(13)，試劑導(dǎo)流通道(13)與混合微腔(15)連接，混合微腔(15)與主檢測通道(16)相接，集成雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)(1)設(shè)置于玻璃層(3)內(nèi)側(cè)，與主檢測通道(16)正交相接于雙路光導(dǎo)檢測點(12)，混合微腔(15)的末端為錐狀，伸展進(jìn)入主檢測通道(16)，與兩側(cè)的試劑導(dǎo)流通道(13)配合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于聚二甲基硅氧烷的微型生物試劑分析高效檢測芯片，其特征是，集成雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)(1)的核心部分是由聚二甲基硅氧烷包皮(23)和SU8芯子(24)組成的光導(dǎo)通路，位于雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)(1)外層的聚二甲基硅氧烷包皮(23)和位于雙路光導(dǎo)檢測系統(tǒng)(1)內(nèi)芯的SU8芯子(24)緊密結(jié)合在一起，負(fù)責(zé)光信號傳導(dǎo)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的基于聚二甲基硅氧烷的微型生物試劑分析高效檢測芯片，其特征是，超聲生物試劑混合系統(tǒng)(4)為一嵌入粘貼在聚二甲基硅氧烷層(2)上的陶瓷壓電片，其正下方玻璃層(3)上的對應(yīng)位置有混合微腔(15)，而在混合微腔(15)正下方玻璃層(3)外側(cè)為集成溫控反應(yīng)系統(tǒng)(6)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聚二甲基硅氧烷的微型生物試劑分析高效檢測芯片，其特征是，聚二甲基硅氧烷層(2)上的試劑樣品輸入口(8)、試劑樣品輸出口(9)在注模時用2mm直徑鋁柱預(yù)留，試劑樣品輸出口(9)有四個，且平行。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聚二甲基硅氧烷的微型生物試劑分析高效檢測芯片，其特征是， 陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器(7)中設(shè)有執(zhí)行部件(17)，執(zhí)行部件(17)為一刻蝕加工成型的壓電片，每支試劑導(dǎo)流通道(13)上分布平行的兩組壓電執(zhí)行部件，通過計算機控制電致彎曲變形，擠壓聚二甲基硅氧烷層(2)從而引起玻璃層(3)上試劑導(dǎo)流通道(13)的開關(guān)閉合。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聚二甲基硅氧烷的微型生物試劑分析高效檢測芯片，其特征是，芯片固緊夾具系統(tǒng)(5)采用不銹鋼制作，由上壓片(18)、下壓片(19)和彈性膠墊(20)組成，上壓片(18)與下壓片(19)緊密接觸連接在一起，彈性膠墊(20)在上壓片(18)和下壓片(19)之間，三者緊密連接，將芯片固定在底座上，便于進(jìn)行外部管道和輔助設(shè)備的穩(wěn)定連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于聚二甲基硅氧烷的微型生物試劑分析高效檢測芯片，其特征是，集成溫控反應(yīng)系統(tǒng)(6)由微鉑膜傳感器(21)和微鉑膜加熱器(22)組成，鉑膜傳感器(21)和鉑膜加熱器(22)平行逶迤在玻璃層(3)外側(cè)，在微鉑膜傳感器(21)和微鉑膜加熱器(22)上是Au電極(25)，通過二次濺射制作，與外部信號拾取系統(tǒng)和電源控制器連接。
全文摘要
一種微電子技術(shù)領(lǐng)域的基于聚二甲基硅氧烷的微型生物試劑分析高效檢測芯片，其中，玻璃層與聚二甲基硅氧烷層通過鍵合密封在一起，在聚二甲基硅氧烷層上設(shè)有試劑樣品輸入口、試劑樣品輸出口，玻璃層上設(shè)有各個通道起點、通道終點，試劑樣品輸入口、試劑樣品輸出口分別與各個通道起點、通道終點相對應(yīng)，陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器在聚二甲基硅氧烷層的外側(cè)，芯片固緊夾具系統(tǒng)將陶瓷壓電閥進(jìn)樣控制器緊密貼合在鍵合后聚二甲基硅氧烷層一側(cè)，芯片固緊夾具系統(tǒng)同時將芯片固定在底座上，超聲生物試劑混合系統(tǒng)嵌入粘貼在聚二甲基硅氧烷層，其下方為玻璃層，玻璃層外側(cè)為集成溫控反應(yīng)系統(tǒng)。本發(fā)明不僅大大減小了器件體積，降低了成本，也使其批量化加工成為可能。
文檔編號G01N35/00GK1645141SQ20051002345
公開日2005年7月27日 申請日期2005年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月20日
發(fā)明者陳文元, 賈曉宇, 牛志強, 張衛(wèi)平 申請人:上海交通大學(xué)