專利名稱：一種集成光學(xué)m－z結(jié)構(gòu)模數(shù)轉(zhuǎn)換器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于光電子技術(shù)領(lǐng)域，它特別涉及集成光學(xué)Mach-Zehnder(簡稱M-Z)結(jié)構(gòu)模數(shù)轉(zhuǎn)換器。
背景技術(shù)：
將隨時(shí)間連續(xù)變化的模擬量在一定時(shí)間間隔采樣、量化，產(chǎn)生數(shù)字信號(hào)的過程稱為模數(shù)轉(zhuǎn)換A/D，實(shí)現(xiàn)這一功能的器件稱為模數(shù)轉(zhuǎn)換器ADC。計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展使ADC廣泛用于數(shù)據(jù)采集及實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)控制；由于在傳輸和再生中噪聲幾乎不影響數(shù)字信號(hào)再現(xiàn)精度，而模擬信號(hào)受噪聲影響巨大，因而模擬信號(hào)數(shù)字化后傳輸日漸成為主流，ADC廣泛用于通信?，F(xiàn)在，ADC已經(jīng)廣泛用于各種信號(hào)處理系統(tǒng)中。
衡量ADC性能的參數(shù)有采樣速率、轉(zhuǎn)換精度(或分辨率)、信噪比、無雜散信號(hào)動(dòng)態(tài)范圍、微分線性誤差、積分線性誤差、功耗、全功率帶寬等，其中采樣速率、轉(zhuǎn)換精度(或分辨率)是衡量ADC的兩大主要指標(biāo)，也是限制信號(hào)處理系統(tǒng)性能的瓶頸因素。近二十年來，電ADC的制造工藝建立在高度成熟的硅集成電路技術(shù)基礎(chǔ)上，已非常成熟。高采樣速率和高分辨率二者不可兼得。采樣速率每增加1倍頻程分辨率就降低一位(見文獻(xiàn)R.H.Walden，“Analog-to-digital convertersurvey and analysis，”IEEE.J.Select.Areas Commun.，vol.17，pp.539-549，Apr.1999.)。現(xiàn)在，分辨率為4位最好的電ADC采樣速率達(dá)到8Gs/s(giga samples persecond)；而12位電ADC采樣速率僅為100Ms/s(million samples per second)。進(jìn)一步提高ADC的性能遇到了重大的技術(shù)難題，特別是；①將孔徑抖動(dòng)降低到1ps以下；②最大采樣速率超過8Gs/s；③在滿足①②的基礎(chǔ)上功耗降低到＜5W。近6-8年來，電ADC在這方面的進(jìn)步是微乎其微的。由于電ADC的固有困難，因此人們不得不從新的角度、新的途徑來增強(qiáng)電ADC的功能或發(fā)明新的ADC。
現(xiàn)在，先進(jìn)的雷達(dá)、監(jiān)視及微波通信系統(tǒng)要求電ADC有高的分辨率和高的采樣速率(比如大于12bits的分辨率幾個(gè)Gs/s以上的采樣速率)。由于存在固有的困難，且發(fā)展速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于數(shù)字信號(hào)處理DSP技術(shù)，因而電ADC成為飛速發(fā)展的DSP技術(shù)的瓶頸問題，并促使光電混合集成的ADC的誕生。相對于電ADC，光電ADC在原理上具有巨大的優(yōu)勢。光振蕩頻率約為1014Hz，現(xiàn)代的鎖模激光器(見文獻(xiàn)C.DePriest，A.Braun，J.Abeles，and R.J.Delfyett，“10GHzultralow noise optical sampling stream from a semiconductor diode ring laser，”IEEE.Photonics Technol.Lett.，vol.13，no.10，pp.1109-1111，2001.)能產(chǎn)生＞10GHz的光脈沖序列，其定時(shí)抖動(dòng)＜10fs，以光脈沖序列作為采樣脈沖明顯由于電子脈沖，且可以顯著降低采樣后信號(hào)的相對帶寬，為后續(xù)處理奠定良好的基礎(chǔ)。因而催生了光電ADC。
近二十年來，許多人在這方面進(jìn)行了有益的探索，提出了許多新的方法與途徑。歸納起來，主要有以下幾類。針對現(xiàn)有電ADC采樣頻率低的問題，利用光時(shí)分復(fù)用OTDM技術(shù)(見文獻(xiàn)J.A.Bell，M.C.Hamilton，and D.A.Leep，“Opticalsampling and demultiplexing applied to A/D conversion，”Devices for OpticalProcessing，vol.1562，pp.276-280，1991.)、光波分復(fù)用OWDM技術(shù)(見文獻(xiàn)A.Yariv and R.G.M.P.Koumans，“Time interleaved optical sampling for ultrahigh speedA/D conversion,”Electron.Lett.vol.34，no.21，1998.)，將采樣光脈沖分段，分別進(jìn)入平行的多個(gè)量化通道，每個(gè)量化通道中有一個(gè)低速的電ADC將進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)化，這樣就可以降低對電ADC的要求。假設(shè)每個(gè)量化通道的采樣頻率為F0，有N個(gè)量化通道，則整個(gè)量化系統(tǒng)的采樣頻率為Fs＝N×F0。這樣，可以在現(xiàn)有電ADC性能的基礎(chǔ)上以增加系統(tǒng)的復(fù)雜程度為代價(jià)，從而提高采樣頻率。針對模擬信號(hào)頻率高，有的工作組從另外的角度思考這一問題，提出在信號(hào)調(diào)制到采樣光脈沖上后，利用色散元件將采樣光脈沖包絡(luò)在時(shí)域上無失真展寬(見文獻(xiàn)A.S.Bhushan，P.Kelkar and B.jalali，“30Gsample/s time-stretch analogue-to-digitalconverter，”Electron.Lett.，vol.36，no.18，2000.)，然后利用OTDM技術(shù)或OWDM技術(shù)量化。這樣也降低了對電ADC的要求。有的工作組利用電光調(diào)制器調(diào)制電壓Vin與光信號(hào)相位改變?chǔ)う＞€性關(guān)系，發(fā)展了相位編碼光采樣技術(shù)(見文獻(xiàn)Henry F.Taylor，“An Optical Analog-to-digital Converter-Design and Analysis，”IEEEJournal of Quantum Electronics，vol.QE-15，no.4，1975.)直接信號(hào)在光域內(nèi)量化。
用激光脈沖序列作為采樣脈沖是ADC理論和技術(shù)上的一次飛躍，它解決了傳統(tǒng)電ADC采樣速率低這一瓶頸問題。經(jīng)過二十多年的發(fā)展，已形成了如上所述的技術(shù)與方法，但還不成熟。無論OTDM技術(shù)、OWDM技術(shù)還是采樣光脈沖包絡(luò)在時(shí)域上無失真展寬技術(shù)均是借用電子通信中已成熟的技術(shù)，將其移植到光電ADC的光采樣這一過程，只是增強(qiáng)了ADC的功能。要構(gòu)成現(xiàn)代DSP技術(shù)所要求的分辨率＞12bits、采樣速率＞1Gs/s的ADC，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)是非常龐大的，實(shí)用化、小型化、模塊化較難，無法與硅集成的電ADC相比。實(shí)用化的器件還沒有出現(xiàn)。
相位調(diào)制技術(shù)將ADC的采樣、量化過程均在光學(xué)領(lǐng)域內(nèi)完成，因而可稱為光ADC，與前后電系統(tǒng)間只是一個(gè)電光轉(zhuǎn)換E/O和光電轉(zhuǎn)換O/E的關(guān)系如圖1所示。這樣系統(tǒng)構(gòu)成相對簡單，也利于光電ADC的分塊集成，為ADC技術(shù)的發(fā)展提供了一個(gè)新的技術(shù)思路——利用現(xiàn)代光集成技術(shù)將光ADC小型化集成化。但因Mach-Zehnder(簡稱M-Z)干涉儀陣列隨ADC有效位數(shù)n的增加調(diào)制電極長度以2n遞增，導(dǎo)致ADC的響應(yīng)速度降低，因而目前無法做到較高的位數(shù)，亟待探索新的方法與途徑來解決這一困難。因而利用集成光學(xué)手段實(shí)現(xiàn)A/D轉(zhuǎn)換是ADC技術(shù)很有前景的方向，值得致力于這方面的科技工作者努力探索。
總之，現(xiàn)代DSP技術(shù)追求盡可能高的分辨率(如＞12bits)、盡可能快的采樣速率(如＞1Gs/s)的ADC，但利用OTDM技術(shù)、OWDM技術(shù)還是采樣光脈沖包絡(luò)在時(shí)域上無失真展寬技術(shù)構(gòu)成的電光ADC是個(gè)復(fù)雜的系統(tǒng)，不易小型化、集成化。到目前為止，能小型化、集成化的只有利用相位調(diào)制技術(shù)的M-Z結(jié)構(gòu)的波導(dǎo)干涉儀陣列ADC。但M-Z干涉儀陣列隨ADC有效位數(shù)n的增加調(diào)制電極長度以2n遞增，導(dǎo)致ADC的響應(yīng)速度降低，因而目前無法做到較高的位數(shù)、高采樣速率。
泰勒(Taylor)方案的工作原理1975年泰勒(Taylor)提出用集成光學(xué)的M-Z波導(dǎo)干涉儀陣列作為相位調(diào)制器用于電光A/D轉(zhuǎn)換(見文獻(xiàn)Henry F.Taylor，“An Optical Analog-to-digitalConverter-Design and Analysis，”IEEE Journal of Quantum Electronics，vol.QE-15，no.4，1975.)。
如圖2所示，其中，1與13為電子放大器；2、4、6、8為M-Z干涉儀兩臂上的調(diào)制電極；3、5、7、9為M-Z干涉儀兩臂間的電極并且接地；10為光波導(dǎo)；11為襯底；12為光電探測器；14為電子比較器。
泰勒(Taylor)方案的特點(diǎn)是一個(gè)N位ADC是由N個(gè)M-Z干涉儀在同一塊襯底上通過光波導(dǎo)10并接在一個(gè)光路上，其中N個(gè)M-Z干涉儀的調(diào)制電極長度以2倍關(guān)系逐漸遞增的(如圖2所示的調(diào)制電極2、4、6、8)；被采樣電信號(hào)通過電子放大器1調(diào)整后以并聯(lián)方式分別加到N個(gè)M-Z干涉儀兩臂的調(diào)制電極2、4、6、8上，調(diào)制到采樣光脈沖上；N個(gè)M-Z干涉儀的輸出經(jīng)N個(gè)光電探測器12轉(zhuǎn)換為N路電信號(hào)，再經(jīng)電子放大器13放大后輸入N個(gè)電子比較器14，電子比較器14輸出即為被采樣信號(hào)的量化結(jié)果，如圖3所示。
各M-Z干涉儀調(diào)制電極之間的長度關(guān)系滿足下式Ln＝2n-1L1，n＝1，2，3，…，N(1)式中Ln為第n個(gè)M-Z干涉儀調(diào)制電極的長度，L1為第1個(gè)M-Z干涉儀調(diào)制電極長度。
調(diào)制信號(hào)電壓V加載到每個(gè)調(diào)制電極上引起載波光的相位變化ΔΓn為ΔΓn＝2n-1πV/Vπ，n＝1，2，3，…，N， (2)式中V為調(diào)制信號(hào)電壓，Vπ為第一個(gè)M-Z干涉儀的半波電壓。
這樣從每個(gè)M-Z干涉儀出來的光強(qiáng)In為In＝Ancos2(ΔΓn/2+ n/2)+Bn，n＝1，2，3，…，N (3)式中n為固定的相位移動(dòng)，An為調(diào)制幅度，Bn是未被調(diào)制的光強(qiáng)如圖2、3所示，只要適當(dāng)設(shè)置比較器的門限電平，輸出的就是輸入電壓的量化編碼。
理想情況下不考慮光脈沖的脈寬時(shí)，光脈沖通過電光作用區(qū)的時(shí)間ΔT最長為Δ&Tgr;=ηLNc=η2N-1L1c,---(4)]]>式中η為LiNbO3的折射率，c為真空中的光速。顯然考慮脈沖寬度后，ΔT總＝ΔT+脈寬。在這段時(shí)間內(nèi)要求被采樣信號(hào)穩(wěn)定，其最大的誤差|δV|max應(yīng)滿足
|δV|max<ΔV2=Vm2N,---(5)]]>式中，ΔV為被采樣信號(hào)在光脈沖通過電光作用區(qū)所用的時(shí)間ΔT內(nèi)產(chǎn)生的誤差，Vm為正弦調(diào)制信號(hào)的幅值。
經(jīng)理論分析和計(jì)算，|δV|max=(πfmΔT)2Vm6,---(6)]]>式中fm為被采樣信號(hào)最高頻率。
由上兩式可以確定被采樣信號(hào)的最高頻率fm為fm<(3/2N-1)1/2πΔT=3cnπL1(2N-1)3/2,---(7)]]>顯然此種設(shè)計(jì)位數(shù)越高，調(diào)制電極長度越長，導(dǎo)致被采樣信號(hào)的最高頻率fm降低十分明顯，與之相應(yīng)的由奈奎斯特(Nyquist)定理所決定的ADC的采樣速率降低也十分明顯。例如當(dāng)N＝6時(shí)，fm降低到N＝1時(shí)的1/181。
泰勒(Taylor)方案的優(yōu)點(diǎn)是在光域內(nèi)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量化，其缺點(diǎn)是隨著位數(shù)的增加，電極長度以2n遞增，導(dǎo)致ADC的采樣速率降低，因此它的ADC無法做到較高的位數(shù)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種新型集成光學(xué)M-Z結(jié)構(gòu)模數(shù)轉(zhuǎn)換器，它具有在光域內(nèi)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量化、高的采樣速率、較高位數(shù)的ADC等特點(diǎn)。
本發(fā)明是一種新型集成光學(xué)M-Z結(jié)構(gòu)模數(shù)轉(zhuǎn)換器，它包括N個(gè)M-Z干涉儀，且每個(gè)M-Z干涉儀包括位于兩個(gè)臂間接地電極16和兩個(gè)臂，其兩個(gè)臂均有調(diào)制電極15，N個(gè)M-Z干涉儀在同一塊襯底上，N個(gè)M-Z干涉儀通過光波導(dǎo)10并接在一個(gè)光路上，被采樣電信號(hào)通過放大器1調(diào)整后以并聯(lián)方式分別加到N個(gè)M-Z干涉儀兩個(gè)臂的調(diào)制電極15，再調(diào)制到采樣光脈沖上；N個(gè)M-Z干涉儀的輸出經(jīng)N個(gè)光電探測器12轉(zhuǎn)換為N路電信號(hào)，再經(jīng)電子放大器13放大后輸入N個(gè)比較器14，比較器14輸出即為被采樣信號(hào)的量化結(jié)果，其特征是所述的每個(gè)M-Z干涉儀的所有接地電極16和所有兩個(gè)臂的調(diào)制電極15長度相等；被采樣電信號(hào)通過放大器1調(diào)整后一路加到第一個(gè)M-Z干涉儀兩個(gè)臂的調(diào)制電極15上，另一路經(jīng)過電子放大器17放大2倍后又分兩路，一路加到第二個(gè)M-Z干涉儀兩個(gè)臂的調(diào)制電極15上，另一路經(jīng)電子放大器17放大2倍又分為兩路，一路加到第三個(gè)M-Z干涉儀兩個(gè)臂的調(diào)制電極15上，另一路經(jīng)電子放大器17放大2倍又分為兩路，……，直到一路加到第N-1個(gè)M-Z干涉儀兩個(gè)臂的調(diào)制電極15上，如圖4所示。
需要說明的是，上面所述的電子放大器17的放大倍數(shù)為2。
本發(fā)明的實(shí)質(zhì)是在泰勒(Taylor)方案的基礎(chǔ)上，使每一個(gè)M-Z干涉儀調(diào)制電極的長度相同，被采樣信號(hào)通過N-1個(gè)電子放大器17逐一放大2倍分別加到M-Z干涉儀兩個(gè)臂的調(diào)制電極15上，然后再調(diào)制到采樣光脈沖上。本發(fā)明的新型集成光學(xué)M-Z結(jié)構(gòu)模數(shù)轉(zhuǎn)換器就具有在光域內(nèi)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量化、高的采樣速率、較高位數(shù)的ADC等特點(diǎn)。
本發(fā)明的工作原理是每個(gè)調(diào)制器上引起載波光的相位變化ΔΓn為ΔΓn＝π(2n-1V1)/Vπ，n＝1，2，3，…，N， (8)V1為第一個(gè)M-Z干涉儀的調(diào)制電壓。
理想情況下不考慮光脈沖的脈寬時(shí)，光脈沖通過電光作用區(qū)的時(shí)間ΔT均為ΛT=ηL1c,---(9)]]>式中η為LiNbO3的折射率，c為真空中的光速，L1為第1個(gè)M-Z干涉儀調(diào)制電極長度。
而最低位LSB(The least significant bit)的相位變化最快，因而最低位的誤差要求高，|δVN|max=(πfmΔT)2VNm6=16(πηL1fmc)2---(10)]]>式中，fm為被采樣信號(hào)最高頻率，光脈沖通過電光作用區(qū)的時(shí)間ΔT，VNm為最低位的調(diào)制電壓的幅值，c為真空中的光速，η為LiNbO3的折射率，L1為第1個(gè)M-Z干涉儀調(diào)制電極長度。
要求最大的誤差|δVN|max<ΔV2=VNm2N,]]>于是被采樣信號(hào)最高頻率fmfm<3cηπL1(2N-1)1/2---(11)]]>比較(7)、(11)兩式可知，采取新方案在同樣的位數(shù)下，響應(yīng)頻率高出2N-1倍。
因此，本發(fā)明具有在光域內(nèi)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量化、高的采樣速率、較高位數(shù)的等特點(diǎn)。在同樣的位數(shù)下，采取新方案響應(yīng)頻率高出2N-1倍。


圖1是一個(gè)光學(xué)ADC的結(jié)構(gòu)框圖。
圖2是一個(gè)4位光學(xué)ADC的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中，1是被采樣信號(hào)輸入端的調(diào)整放大器，13為電子放大器；2、4、6、8為M-Z干涉儀兩臂上的調(diào)制電極；3、5、7、9為M-Z干涉儀兩臂間的電極并且接地；10為光波導(dǎo)；11為襯底；12為光電探測器；14為電子比較器。
圖3是一個(gè)4位ADC輸出光強(qiáng)隨M-Z干涉儀調(diào)制電壓V(t)變化曲線圖，及4位ADC在光域內(nèi)量化的原理圖。
其中，I1、I2、I3、I4分別是圖2中四個(gè)M-Z干涉儀輸出光強(qiáng)或光電探測器12輸出的光電流；It是比較器14設(shè)定的門限；a、b、c、d四圖中橫坐標(biāo)軸下的黑白相間的短橫線及對應(yīng)的0、1代碼是I1、I2、I3、I4與門限It比較所得的結(jié)果，大于It的比較器14輸出1碼，反之，比較器14輸出0碼。
圖3a是圖2中第一個(gè)(調(diào)制電極長度最短)的M-Z干涉儀輸出光強(qiáng)隨調(diào)制電壓V(t)變化曲線圖；橫坐標(biāo)軸下的黑白相間的短橫線及對應(yīng)的0、1代碼是I1與門限It比較所得的結(jié)果，大于It的比較器14輸出1碼，反之，比較器14輸出0碼。
圖3b是圖2中第二個(gè)的M-Z干涉儀輸出光強(qiáng)隨調(diào)制電壓V(t)變化曲線圖；橫坐標(biāo)軸下的黑白相間的短橫線及對應(yīng)的0、1代碼是I2與門限It比較所得的結(jié)果，大于It的比較器14輸出1碼，反之，比較器14輸出0碼。
圖3c是圖2中第三個(gè)的M-Z干涉儀輸出光強(qiáng)隨調(diào)制電壓V(t)變化曲線圖；橫坐標(biāo)軸下的黑白相間的短橫線及對應(yīng)的0、1代碼是I3與門限It比較所得的結(jié)果，大于It的比較器14輸出1碼，反之，比較器14輸出0碼。
圖3d是圖2中第四個(gè)的M-Z干涉儀輸出光強(qiáng)隨調(diào)制電壓V(t)變化曲線圖；橫坐標(biāo)軸下的黑白相間的短橫線及對應(yīng)的0、1代碼是I4與門限It比較所得的結(jié)果，大于It的比較器14輸出1碼，反之，比較器14輸出0碼。
圖4是本發(fā)明的一種新型集成光學(xué)M-Z結(jié)構(gòu)模數(shù)轉(zhuǎn)換器。
其中，1是被采樣信號(hào)輸入端的調(diào)整放大器，15是M-Z干涉儀兩個(gè)臂上的調(diào)制電極。16是M-Z干涉儀兩個(gè)臂間的電極，并且接地；17是放大2倍的電子放大器。
具體實(shí)施例方式
一種六位集成光學(xué)M-Z結(jié)構(gòu)模數(shù)轉(zhuǎn)換器L1＝1cm，電極間距d＝5μm，LiNbO3襯底為x切y傳，工作波長λ＝0.633μm單模工作，ne＝2.200，γ33＝30.8×10-12m/V，則最高位MSB(The most significantbit)半波電壓為Vπ=πλd2ne3γ33L1=1.52V,]]>以Vπ作為最高位調(diào)制電壓的幅值Vm，考慮有效位N＝6的情況，則①泰勒(Taylor)的方案最低位LSB的電極長度L6＝25L1＝32cm，這在集成光學(xué)中是難以實(shí)現(xiàn)的，而且由(7)式得出fm＜42MHz。
②本發(fā)明的方案最低位LSB電壓V6m＝25Vm＝48.6V，這在集成光學(xué)中是可以實(shí)現(xiàn)的，由(11)式得出fm＜1.33GHz，高出①約32倍。
因此，與現(xiàn)有的泰勒(Taylor)的方案相比，本發(fā)明除了具有在光域內(nèi)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量化外，還具有高的采樣速率、較高位數(shù)的ADC等特點(diǎn)。
權(quán)利要求
1.一種新型集成光學(xué)M-Z結(jié)構(gòu)模數(shù)轉(zhuǎn)換器，它包括N個(gè)M-Z干涉儀，且每個(gè)M-Z干涉儀包括位于兩個(gè)臂間接地電極(16)和兩個(gè)臂，所述的兩個(gè)臂均有調(diào)制電極(15)，N個(gè)M-Z干涉儀在同一塊襯底上，N個(gè)M-Z干涉儀通過光波導(dǎo)(10)并接在一個(gè)光路上，被采樣電信號(hào)通過放大器(1)調(diào)整后以并聯(lián)方式分別加到N個(gè)M-Z干涉儀兩個(gè)臂的調(diào)制電極(15)，再調(diào)制到采樣光脈沖上；N個(gè)M-Z干涉儀的輸出經(jīng)N個(gè)光電探測器(12)轉(zhuǎn)換為N路電信號(hào)，再經(jīng)電子放大器(13)放大后輸入N個(gè)比較器(14)，比較器(14)輸出即為被采樣信號(hào)的量化結(jié)果，其特征是所述的每個(gè)M-Z干涉儀的所有接地電極(16)和所有兩個(gè)臂的調(diào)制電極(15)長度相等；被采樣電信號(hào)通過放大器(1)調(diào)整后一路加到第一個(gè)M-Z干涉儀兩個(gè)臂的調(diào)制電極(15)上，另一路經(jīng)過電子放大器(17)放大2倍后又分兩路，一路加到第二個(gè)M-Z干涉儀兩個(gè)臂的調(diào)制電極(15)上，另一路經(jīng)電子放大器(17)放大2倍又分為兩路，一路加到第三個(gè)M-Z干涉儀兩個(gè)臂的調(diào)制電極(15)上，另一路經(jīng)電子放大器(17)放大2倍又分為兩路，……，直到一路加到第N-1個(gè)M-Z干涉儀兩個(gè)臂的調(diào)制電極(15)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型集成光學(xué)M-Z結(jié)構(gòu)模數(shù)轉(zhuǎn)換器，其特征是所述的電子放大器(17)的放大倍數(shù)為2。
全文摘要
本發(fā)明的提供一種新型集成光學(xué)M－Z結(jié)構(gòu)模數(shù)轉(zhuǎn)換器，它是在泰勒(Taylor)方案的基礎(chǔ)上，使每一個(gè)M－Z干涉儀調(diào)制電極的長度相同，被采樣信號(hào)通過N－1個(gè)電子放大器17逐一放大2倍分別加到M－Z干涉儀兩個(gè)臂的調(diào)制電極15上，然后再調(diào)制到采樣光脈沖上。本發(fā)明的新型集成光學(xué)M－Z結(jié)構(gòu)模數(shù)轉(zhuǎn)換器就具有在光域內(nèi)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量化、高的采樣速率、較高位數(shù)的ADC等特點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01J9/00GK1635417SQ200310104119
公開日2005年7月6日 申請日期2003年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月25日
發(fā)明者楊亞培, 張謙述, 戴基智, 張曉霞, 劉永智 申請人:電子科技大學(xué)