專(zhuān)利名稱(chēng)：管路漏液監(jiān)控裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種監(jiān)控系統(tǒng)，且特別是涉及一種管路漏液監(jiān)控裝置。
背景技術(shù)：
目前半導(dǎo)體廠為了產(chǎn)量效能的提升，其設(shè)備安置的設(shè)計(jì)多采高密度的安排。因此，輸送各式各樣化學(xué)液體的管路及各種設(shè)備交錯(cuò)設(shè)置，若輸送液體的管路不慎泄漏液體至半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)中，對(duì)半導(dǎo)體的生產(chǎn)會(huì)造成相當(dāng)嚴(yán)重的影響。 舉例來(lái)說(shuō)，光致抗蝕劑涂布機(jī)的光致抗蝕劑輸送管需包覆用以控溫的循環(huán)水管，當(dāng)管路老化耗損后發(fā)生破裂、滲漏，常造成芯片缺陷及良率損失。然而，由于光致抗蝕劑涂布機(jī)的內(nèi)部環(huán)境必須避免電氣接觸易燃液體(如光致抗蝕劑)，故對(duì)管路漏液的檢測(cè)形成限制。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種管路漏液監(jiān)控裝置，其可即時(shí)進(jìn)行管路的漏液檢測(cè)及監(jiān)控。本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種管路漏液監(jiān)控裝置，其可有效地防止工安問(wèn)題的產(chǎn)生。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提出一種管路漏液監(jiān)控裝置，其用以監(jiān)控管路的漏液，且包括承接容器、監(jiān)控容器、干射薄膜、光源、反射鏡、光檢測(cè)器及警報(bào)器。承接容器環(huán)繞管路，承接容器的下部與管路密合，且位于下部上方的承接容器與管路之間形成盛液空間。監(jiān)控容器與承接容器連通。干射薄膜設(shè)置于監(jiān)控容器內(nèi)，且干射薄膜于干燥時(shí)具有第一光穿透率，且與漏液接觸后具有第二光穿透率，且第二光穿透率不同于第一光穿透率。光源發(fā)射照射到干射薄膜的光線。反射鏡設(shè)置于監(jiān)控容器內(nèi)，且在光線的光行進(jìn)路線上干射薄膜設(shè)置于反射鏡與光源之間。光檢測(cè)器接收來(lái)自反射鏡的反射光。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，當(dāng)光源位于監(jiān)控容器外部時(shí)，監(jiān)控容器例如是具有透光壁，以使光線穿透透光壁而照射到干射薄膜。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，警報(bào)器耦接于光檢測(cè)器，且接收來(lái)自光檢測(cè)器的觸發(fā)信號(hào)，當(dāng)反射光的強(qiáng)度改變時(shí)，警報(bào)器發(fā)出警報(bào)信號(hào)。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，警報(bào)器例如是光警報(bào)器、聲音警報(bào)器或上述警報(bào)器的組合。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，警報(bào)器還包括將反饋信號(hào)發(fā)送至監(jiān)控主機(jī)。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，反饋信號(hào)例如是正向反饋信號(hào)或反向反饋信號(hào)。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，監(jiān)測(cè)容器例如是設(shè)置于承接容器上或與承接容器分離。[0013]依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，當(dāng)監(jiān)測(cè)容器設(shè)置于承接容器上時(shí)，承接容器上例如是具有通道，通道導(dǎo)引漏液進(jìn)入監(jiān)測(cè)容器。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，當(dāng)監(jiān)測(cè)容器與承接容器分離時(shí)，更包括導(dǎo)管，導(dǎo)管導(dǎo)引漏液進(jìn)入監(jiān)測(cè)容器。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，承接容器例如是一體成型或由多個(gè)部件組成。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，當(dāng)承接容器由多個(gè)部件組成時(shí)，承接容器更包括結(jié)合裝置，用以組合部件。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，承接容器例如是設(shè)置于管路的末端，末端例如是位于管路的低位處。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，光源與光檢測(cè)器例如是一體成型或?yàn)榛ハ喾蛛x的裝置。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，管路例如是用以包覆液體輸送管的控溫管。依照本實(shí)用新型的一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，干射薄膜的材料例如是與該漏液接觸后會(huì)改變光穿透率的材料或與該漏液接觸后會(huì)溶解的材料。本實(shí)用新型另提出一種管路漏液監(jiān)控裝置，其用以監(jiān)控管路的漏液，且包括承接容器、監(jiān)控容器、干射薄膜、光源及光檢測(cè)器。承接容器環(huán)繞管路，承接容器的下部與管路密合，且位于下部上方的承接容器與管路之間形成盛液空間。監(jiān)控容器與承接容器連通。干射薄膜設(shè)置于監(jiān)控容器內(nèi)，且干射薄膜于干燥時(shí)具有第一光穿透率，且與漏液接觸后具有第二光穿透率，且第二光穿透率不同于第一光穿透率。光源發(fā)射照射到干射薄膜的光線。光檢測(cè)器接收穿透干射薄膜的穿透光。依照本實(shí)用新型的另一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，當(dāng)光源位于監(jiān)控容器外部時(shí)，監(jiān)控容器例如是具有透光壁，以使光線穿透透光壁而照射到干射薄膜。依照本實(shí)用新型的另一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，更包括警報(bào)器，耦接于光檢測(cè)器，且接收來(lái)自光檢測(cè)器的觸發(fā)信號(hào)，當(dāng)反射光的強(qiáng)度改變時(shí)，警報(bào)器發(fā)出警報(bào)信號(hào)。依照本實(shí)用新型的另一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，警報(bào)器例如是光警報(bào)器、聲音警報(bào)器或上述警報(bào)器的組合。依照本實(shí)用新型的另一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，警報(bào)器更包括將反饋信號(hào)發(fā)送至監(jiān)控主機(jī)。依照本實(shí)用新型的另一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，反饋信號(hào)例如是正向反饋信號(hào)或反向反饋信號(hào)。依照本實(shí)用新型的另一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，監(jiān)測(cè)容器例如是設(shè)置于承接容器上或與承接容器分離。依照本實(shí)用新型的另一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，當(dāng)監(jiān)測(cè)容器設(shè)置于承接容器上時(shí)，承接容器上例如是具有通道，通道導(dǎo)引漏液進(jìn)入監(jiān)測(cè)容器。依照本實(shí)用新型的另一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，當(dāng)監(jiān)測(cè)容器與承接容器分離時(shí)，更包括導(dǎo)管，導(dǎo)管導(dǎo)引漏液進(jìn)入監(jiān)測(cè)容器。 依照本實(shí)用新型的另一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，承接容器例如是一體成型或由多個(gè)部件組成。依照本實(shí)用新型的另一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，當(dāng)承接容器由多個(gè)部件組成時(shí)，承接容器更包括結(jié)合裝置，用以組合部件。依照本實(shí)用新型的另一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，承接容器例如是設(shè)置于管路的末端，末端例如是位于管路的低位處。依照本實(shí)用新型的另一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，光源與光檢測(cè)器例如是一體成型或?yàn)榛ハ喾蛛x的裝置。依照本實(shí)用新型的另一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，管路例如是用以包覆液體輸送管的控溫管。依照本實(shí)用新型的另一實(shí)施例所述，在上述的管路漏液監(jiān)控裝置中，干射薄膜的材料例如是與該漏液接觸后會(huì)改變光穿透率的材料或與該漏液接觸后會(huì)溶解的材料。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于，基于上述，在使用本實(shí)用新型所提出的管路漏液監(jiān)控裝置時(shí)，當(dāng)管路產(chǎn)生漏液時(shí)，流入盛液空間中的漏液會(huì)流入監(jiān)測(cè)容器中，因此可防止漏液自承接容器中溢出。此外，流入監(jiān)測(cè)容器的漏液會(huì)潤(rùn)濕干射薄膜，而改變干射薄膜的光穿透率，所以光檢測(cè)器會(huì)檢測(cè)到反射光或穿透光的強(qiáng)度改變，由此可得知管路發(fā)生漏液的情況，因此可即時(shí)進(jìn)行管路的漏液檢測(cè)及監(jiān)控。為讓本實(shí)用新型的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例，并配合所附附圖作詳細(xì)說(shuō)明如下。

圖I為本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置于未產(chǎn)生漏液時(shí)的示意圖；圖2為本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置于產(chǎn)生漏液時(shí)的示意圖；圖3為本實(shí)用新型的另一實(shí)施例的套管的示意圖；圖4為本實(shí)用新型的一實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置應(yīng)用于光致抗蝕劑涂布機(jī)的示意圖；圖5為本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置的示意圖；圖6為本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置于未產(chǎn)生漏液時(shí)的示意圖；圖7為圖6中的干射薄膜與光檢測(cè)器的放大示意圖；圖8為本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置于產(chǎn)生漏液時(shí)的示意圖；圖9為圖8中的干射薄膜與光檢測(cè)器的放大示意圖；圖10為本實(shí)用新型的第四實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置的示意圖。主要元件符號(hào)說(shuō)明1000,6000,7000,8000 管 1260 :反射光路漏液監(jiān)控裝置1280 :警報(bào)器1020:套管1300 :監(jiān)控主機(jī)1020a:下部1320 :穿透光[0053]1040,6040,8040 :監(jiān)控容器 2000 :管路1040a:凹部2020 :末端1040b :蓋板3000 :漏液1060 :干射薄膜4000 :光致抗蝕劑管路1080 :光源4020 :光致抗蝕劑輸送管1100:反射鏡4040 :控溫管1120、1120a :光檢測(cè)器4060 :轉(zhuǎn)接環(huán)1140:盛液空間5000 :光致抗蝕劑涂布機(jī)1160、1180:部件5020 :機(jī)械手臂1200 :結(jié)合裝置5040 :噴嘴1220 :通道6040a、8040a :透光壁1240 :光線6220、8220 :導(dǎo)管
具體實(shí)施方式
圖I所繪示為本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置于未產(chǎn)生漏液時(shí)的示意圖。圖2所繪示為本實(shí)用新型的第一實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置于產(chǎn)生漏液時(shí)的示意圖。圖3所繪示為本實(shí)用新型的另一實(shí)施例的套管的示意圖。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)DI及圖2，管路漏液監(jiān)控裝置1000用以監(jiān)控管路2000的漏液3000。管路漏液監(jiān)控裝置1000包括承接容器1020、監(jiān)控容器1040、干射薄膜1060、光源1080、反射鏡1100、及光檢測(cè)器1120。管路2000例如是液體輸送管。承接容器1020環(huán)繞管路2000，承接容器1020的下部1020a與管路2000密合，且位于下部1020a上方的承接容器1020與管路2000之間形成盛液空間1140，用以盛裝管路2000所產(chǎn)生的漏液3000。在此實(shí)施例中，承接容器1020是以環(huán)繞一個(gè)管路2000為例進(jìn)行說(shuō)明，但本實(shí)用新型并不以此為限。在其他實(shí)施例中，承接容器1020也可環(huán)繞多個(gè)管路。承接容器1020的材料例如是耐腐蝕材料，如聚乙烯(polyethylene, PE)、高密度聚乙烯(high-density polyethylene, HDPE)、聚丙烯(polypropylene, PP)、聚氯乙烯(polyvinylchloride, PVC)或高聚合度聚氯乙烯(high polymerization degree ofpolyvinylchloride, HPVC)。承接容器1020的材料可依據(jù)所要盛裝的漏液3000的成份而進(jìn)行材料的選擇。承接容器1020例如是設(shè)置于管路2000的末端2020，此末端2020位于該管路2000的低位處，以使得漏液3000可通過(guò)重力沿著管路2000的外壁流入盛液空間1140中。此外，在承接容器1020延伸方向上的高度可依據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行調(diào)整，以控制盛液空間1140的高度。承接容器1020例如是一體成型或由多個(gè)部件組成。在此實(shí)施例中，承接容器1020是以一體成型為例進(jìn)行說(shuō)明。在其他實(shí)施例中，承接容器1020也可由多個(gè)部件組成。以圖3為例，承接容器1020例如是由兩個(gè)部件1160、1180組成，但本實(shí)用新型并不以此為限，承接容器1020更可由三個(gè)以上的部件所組成。此外，承接容器1020更包括結(jié)合裝置1200，用以組合部件1160、1180。在此實(shí)施例中，結(jié)合裝置1200例如是螺絲組，但本實(shí)用新型并不以此為限請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)DI及圖2，監(jiān)控容器1040與承接容器1020連通。在此實(shí)施例中，監(jiān)測(cè)容器1040例如是由承接容器1020外壁上的凹部1040a與蓋板1040b所形成，而設(shè)置在承接容器1020上。在此實(shí)施例中，監(jiān)測(cè)容器1040是以嵌入于承接容器102中進(jìn)行說(shuō)明，但本實(shí)用新型并不限于此。在其他實(shí)施例中，監(jiān)測(cè)容器1040也可凸出于承接容器102的外壁。當(dāng)監(jiān)測(cè)容器1040設(shè)置于承接容器1020上時(shí)，承接容器1020上例如是具有通道1220，通道1220導(dǎo)引漏液3000進(jìn)入監(jiān)測(cè)容器1040。在此實(shí)施例中，雖然通道1220是位于干射薄膜1060上方，但本實(shí)用新型并不限于此。在其他實(shí)施例中，通道1220也可位于干射薄膜1060下方。亦即，通道1220的位置只要是可以連通承接容器1020與監(jiān)控容器1040即屬于本實(shí)用新型所保護(hù)的范圍。干射薄膜1060設(shè)置于監(jiān)控容器1040內(nèi)，且干射薄膜1060于干燥時(shí)具有第一光穿透率，且與漏液 3000接觸后具有第二光穿透率，且第二光穿透率不同于第一光穿透率。干射薄膜1060的材料例如是與漏液3000接觸后會(huì)改變光穿透率的材料。第一光穿透率例如是小于50%。第二光穿透率例如是大于或等于50%。舉例來(lái)說(shuō)，當(dāng)干射薄膜1060于干燥時(shí)的第一光穿透率為O %時(shí)，干射薄膜1060例如是不透光薄膜或有色薄膜(在圖I中，以干射薄膜1060加上剖面線表示"不透光"或"有色"的狀態(tài))，光線1240無(wú)法穿透干射薄膜1060。當(dāng)干射薄膜1060與漏液3000接觸后的第二光穿透率約為100%時(shí)，干射薄膜1060為可透光薄膜(在圖2中，以干射薄膜1060不加上剖面線表示"可透光"的狀態(tài))，光線1240幾乎可完全穿透干射薄膜1060。此外，干射薄膜1060的材料也可為與漏液3000接觸后會(huì)溶解的材料，所以在干射薄膜1060與漏液3000接觸后的第二光穿透率會(huì)逐漸增加。在此實(shí)施例中，是以第二光穿透率大于第一穿透率為例進(jìn)行說(shuō)明，但本實(shí)用新型并不以此為限。在其他實(shí)施例中，依據(jù)不同材料的選擇，第二光穿透率也可小于第一穿透率。光源1080例如是面向反射鏡1100進(jìn)行設(shè)置，用以發(fā)射照射到干射薄膜1060的光線1240。光源1080例如是激光光源或紅外線等可供檢測(cè)的光源，但本實(shí)用新型并不以此為限。當(dāng)光源1080位于監(jiān)控容器1040外部時(shí)，監(jiān)控容器1040例如是具有透光壁(在此實(shí)施例中的透光壁為蓋板1040b)，以使光線1240穿透透光壁而照射到干射薄膜1060，但本實(shí)用新型并不以此為限。在其他實(shí)施例中，光源1080也可位于監(jiān)控容器1040內(nèi)部。反射鏡1100設(shè)置于監(jiān)控容器1040內(nèi)，且在光線1240的光行進(jìn)路線上干射薄膜1060設(shè)置于反射鏡1100與光源1080之間。在此實(shí)施例中，反射鏡1100例如是設(shè)置于監(jiān)控容器1040內(nèi)的承接容器1020的外壁上，用以反射光源1080所產(chǎn)生的光線1240。反射鏡1100的材料例如是金屬或鍍有反射膜的玻璃或平板。此外，在此實(shí)施例中，是以干射薄膜1060完全覆蓋反射鏡1100為例來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。然而，在其他實(shí)施例中，干射薄膜1060也可僅覆蓋部分反射鏡1100，只要反射鏡1100在干射薄膜1060于干燥狀態(tài)及濕潤(rùn)狀態(tài)所產(chǎn)生的反射光強(qiáng)度不同即可。光檢測(cè)器1120例如是面向反射鏡1100進(jìn)行設(shè)置，用以接收來(lái)自反射鏡1100的反射光1260。光源1080與光檢測(cè)器1120例如是一體成型或?yàn)榛ハ喾蛛x的裝置。在此實(shí)施例中，是以光源1080與光檢測(cè)器1120為一體成型進(jìn)行說(shuō)明，但本實(shí)用新型并不以此為限。此外，管路漏液監(jiān)控裝置1000更可選擇性地包括警報(bào)器1280，耦接于光檢測(cè)器1120，且接收來(lái)自光檢測(cè)器1120的觸發(fā)信號(hào)，當(dāng)反射光1260的強(qiáng)度改變時(shí)，警報(bào)器發(fā)出警報(bào)信號(hào)。警報(bào)器1280例如是光警報(bào)器、聲音警報(bào)器或上述警報(bào)器的組合。另外，警報(bào)器1280更包括將反饋信號(hào)發(fā)送至監(jiān)控主機(jī)1300而由監(jiān)控主機(jī)1300控制是否將機(jī)臺(tái)鎖定，停止機(jī)臺(tái)的運(yùn)作。反饋信號(hào)例如是正向反饋信號(hào)或反向反饋信號(hào)。以下，舉例說(shuō)明管路漏液監(jiān)控裝置1000的監(jiān)控方法。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)DI及圖2，首先，進(jìn)行步驟S100，以光源1080所產(chǎn)生的光線1240照射干射薄膜1060。在此實(shí)施例中，干射薄膜1060于干燥時(shí)的第一光穿透率是以0%為例，所以覆蓋于反射鏡1100上的干射薄膜1060為不透光且可遮蔽光源1080所發(fā)出的光線1240，亦即光線1240無(wú)法照射到反射鏡1100，所以不會(huì)產(chǎn)生反射光1260(如圖I所示)。
接著，進(jìn)行步驟S102，利用光檢測(cè)器1120檢測(cè)反射光1260。當(dāng)發(fā)生管路2000產(chǎn)生漏液3000時(shí)，干射薄膜1060與漏液3000接觸后的第二光穿透率不同于第一光穿透率。在此實(shí)施例中，是以第二光穿透率大于第一光穿透率為例進(jìn)行說(shuō)明。其中，第二光穿透率是以約100%為例，所以干射薄膜1060會(huì)轉(zhuǎn)變成可透光薄膜。因此，光線1240會(huì)穿過(guò)干射薄膜1060而照射到反射鏡1100，進(jìn)而產(chǎn)生反射光1260，而使得光檢測(cè)器1120檢測(cè)到反射光1260(如圖2所示)。然后，進(jìn)行步驟S104，當(dāng)光檢測(cè)器1120檢測(cè)到反射光1260的強(qiáng)度改變時(shí)，將機(jī)臺(tái)鎖定(lock)，停止機(jī)臺(tái)的運(yùn)作。在此實(shí)施例中，是以干射薄膜1060在干燥狀態(tài)及濕潤(rùn)狀態(tài)時(shí)分別為「不透光」及「完全透光」為例來(lái)進(jìn)行說(shuō)明，所以所檢測(cè)到反射光1260的強(qiáng)度增強(qiáng)。亦即，此處反射光1260的強(qiáng)度增加的情況是指從「無(wú)」反射光1260到「有」反射光1260的情況，但本實(shí)用新型并不限于此。在其他實(shí)施例中，干射薄膜1060例如是在干燥狀態(tài)及濕潤(rùn)狀態(tài)時(shí)均可透光的薄膜，且利用干射薄膜1060由干燥狀態(tài)變成濕潤(rùn)狀態(tài)時(shí)的光穿透率改變的特性，可造成反射光1260的強(qiáng)度改變。舉例來(lái)說(shuō)，反射光1260的強(qiáng)度增加的情況例如是指從「弱」反射光1260到「強(qiáng)」反射光1260的情況。此外，更可選擇性地進(jìn)行步驟S106，當(dāng)光檢測(cè)器1120檢測(cè)到反射光1260的強(qiáng)度改變時(shí)，耦接于光檢測(cè)器1120的警報(bào)器1280接收來(lái)自光檢測(cè)器1120的觸發(fā)信號(hào)，而發(fā)出警報(bào)信號(hào)。警報(bào)器1280例如是發(fā)出光信號(hào)、聲音信號(hào)或上述信號(hào)的組合，以引起操作人員的注意。其中，步驟S106與步驟S104并無(wú)特定順序，步驟S106可在步驟S104之前或之后進(jìn)行、或與步驟S104同時(shí)進(jìn)行。另外，當(dāng)機(jī)臺(tái)是由監(jiān)控主機(jī)1300所控制時(shí)，警報(bào)器1280可將反饋信號(hào)發(fā)送至監(jiān)控主機(jī)1300，而由監(jiān)控主機(jī)1300控制是否將機(jī)臺(tái)鎖定，停止機(jī)臺(tái)的運(yùn)作?；谏鲜鰧?shí)施例可知，在利用管路漏液監(jiān)控裝置1000進(jìn)行管路漏液監(jiān)控時(shí)，當(dāng)管路2000產(chǎn)生漏液3000時(shí)，流入盛液空間1140中的漏液3000會(huì)流入監(jiān)測(cè)容器1040中，因此可防止漏液3000自承接容器1020中溢出。此外，流入監(jiān)測(cè)容器1040的漏液3000會(huì)潤(rùn)濕干射薄膜1060，而改變干射薄膜1060的光穿透率，所以光檢測(cè)器1120會(huì)檢測(cè)到反射光1260的強(qiáng)度改變，由此可得知管路2000產(chǎn)生漏液3000，因此可即時(shí)進(jìn)行管路2000的漏液檢測(cè)及監(jiān)控。此外，由于管路漏液監(jiān)控裝置1000所進(jìn)行的漏液檢測(cè)為非接觸式檢測(cè)方式，因此可防止電氣接觸易燃液體所產(chǎn)生的工安問(wèn)題。圖4所繪示為本實(shí)用新型的一實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置應(yīng)用于光致抗蝕劑涂布機(jī)的示意圖。[0089]請(qǐng)參照?qǐng)D4，管路漏液監(jiān)控裝置1000設(shè)置于光致抗蝕劑涂布機(jī)5000中，用以檢測(cè)光致抗蝕劑管路4000的漏液。光致抗蝕劑管路4000包括光致抗蝕劑輸送管4020、控溫管4040及轉(zhuǎn)接環(huán)4060?？販毓?040用以包覆光致抗蝕劑輸送管4020，可作為循環(huán)水管?？販毓?040例如是蛇管。轉(zhuǎn)接環(huán)4060將光致抗蝕劑輸送管4020連接至光致抗蝕劑涂布機(jī)5000中位于機(jī)械手臂5020上的噴嘴5040。在此實(shí)施例中，管路漏液監(jiān)控裝置1000中的承接容器1020環(huán)繞光致抗蝕劑管路4000，承接容器1020的下部1020a與控溫管4040及轉(zhuǎn)接環(huán)4060密合，且位于下部1020a上方的承接容器1020與光致抗蝕劑管路4000之間形成盛液空間1140，用以盛裝光致抗蝕劑管路4000所產(chǎn)生的漏液。此外，管路漏液監(jiān)控裝置1000中的其他構(gòu)件的材料、配置方式及功能已于上文中的實(shí)施例進(jìn)行詳盡地說(shuō)明，故于此不再贅述。由上述實(shí)施例可知,在利用管路漏液監(jiān)控裝置1000進(jìn)行管路漏液監(jiān)控時(shí)，當(dāng)管路2000產(chǎn)生漏液3000時(shí)，盛液空間1140及監(jiān)測(cè)容器1040可防止漏液3000自承接容器1020中溢出。此外，在利用管路漏液監(jiān)控裝置1000進(jìn)行管路漏液監(jiān)控時(shí)，會(huì)以光源1080產(chǎn)生的光線1240照射干射薄膜1060。當(dāng)光致抗蝕劑管路4000產(chǎn)生漏液時(shí)，利用干射薄膜1060由干燥狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闈駶?rùn)狀態(tài)所產(chǎn)生的光穿透率改變的特性，而使得由光檢測(cè)器1120所檢測(cè)到的反射光1260的強(qiáng)度改變。通過(guò)光檢測(cè)器1120檢測(cè)到反射光1260的強(qiáng)度改變，可得知光致抗蝕劑管路4000產(chǎn)生漏液，因此可即時(shí)進(jìn)行光致抗蝕劑管路4000的漏液檢測(cè)及監(jiān)控。此外，由于管路漏液監(jiān)控裝置1000所進(jìn)行的漏液檢測(cè)為非接觸式檢測(cè)方式，因此可避免電氣接觸光致抗蝕劑漏液所造成的火災(zāi)。雖然，上述實(shí)施例中的管路漏液監(jiān)控裝置1000是以應(yīng)用于光致抗蝕劑管路，然而本實(shí)用新型并不限于此。在其他實(shí)施例中，管路漏液監(jiān)控裝置1000對(duì)于各種不同類(lèi)型管路皆可進(jìn)行客制化設(shè)計(jì)及安裝。圖5所繪示為本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置的示意圖。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)DI及圖5，第二實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置6000與第一實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置1000的差異在于管路漏液監(jiān)控裝置6000中的監(jiān)測(cè)容器6040是與承接容器1020分離。當(dāng)監(jiān)測(cè)容器6040與承接容器1020分離時(shí)，管路漏液監(jiān)控裝置6000更包括導(dǎo)管6220，導(dǎo)管6220導(dǎo)引漏液3000進(jìn)入監(jiān)測(cè)容器6040。同樣地，當(dāng)光源1080位于監(jiān)控容器6040外部時(shí)，監(jiān)控容器6040例如是具有透光壁6040a，以使光線1240穿透透光壁6040a而照射到干射薄膜1060，但本實(shí)用新型并不以此為限。管路漏液監(jiān)控裝置6000與管路漏液監(jiān)控裝置1000相同的構(gòu)件使用相同的標(biāo)號(hào)表示，且這 些構(gòu)件的材料、配置方式及功能已于上文中的實(shí)施例進(jìn)行詳盡地說(shuō)明，故于此不再贅述。圖6所繪示為本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置于未產(chǎn)生漏液時(shí)的示意圖。圖7所繪示為圖6中的干射薄膜與光檢測(cè)器的放大示意圖。圖8所繪示為本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置于產(chǎn)生漏液時(shí)的示意圖。圖9所繪示為圖8中的干射薄膜與光檢測(cè)器的放大示意圖。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)DI、圖2及圖6至圖9，第三實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置7000與第一實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置1000的差異在于管路漏液監(jiān)控裝置7000中的光檢測(cè)器1120a是用以接收穿透干射薄膜1060的穿透光1320，因此管路漏液監(jiān)控裝置7000可不需具有管路漏液監(jiān)控裝置1000中的反射鏡1100。光檢測(cè)器1120a例如是設(shè)置于干射薄膜1060的光出射側(cè)，如設(shè)置于干射薄膜1060與承接容器1020之間。管路漏液監(jiān)控裝置7000與管路漏液監(jiān)控裝置1000相同的構(gòu)件使用相同的標(biāo)號(hào)表示，且這些構(gòu)件的材料、配置方式及功能已于上文中的實(shí)施例進(jìn)行詳盡地說(shuō)明，故于此不再贅述。以下，請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D6至圖9。在此實(shí)施例中，干射薄膜1060于干燥時(shí)的第一光穿透率是以0%為例，所以干射薄膜1060為不透光且可遮蔽光源1080所發(fā)出的光線1240，亦即光線1240無(wú)法穿透干射薄膜1060，所以不會(huì)產(chǎn)生穿透光1320。其中，以干射薄膜1060加上剖面線表示"不透光"或"有色"的狀態(tài)。(請(qǐng)參照?qǐng)D6及圖7)當(dāng)發(fā)生管路2000產(chǎn)生漏液3000時(shí)，干射薄膜1060與漏液3000接觸后的第二光穿透率不同于第一光穿透率。在此實(shí)施例中，是以第二光穿透率大于第一光穿透率為例進(jìn)行說(shuō)明。其中，第二光穿透率是以約100%為例，所以干射薄膜1060會(huì)轉(zhuǎn)變成可透光薄膜。因此，光線1240會(huì)穿過(guò)干射薄膜1060產(chǎn)生穿透光1320，而使得光檢測(cè)器1120檢測(cè)到穿透光1320。其中，以干射薄膜1060不加上剖面線表示"可透光"的狀態(tài)。(請(qǐng)參照?qǐng)D8及圖9)當(dāng)光檢測(cè)器1120檢測(cè)到穿透光1320的強(qiáng)度改變時(shí)，將機(jī)臺(tái)鎖定(lock)，停止機(jī)臺(tái)的運(yùn)作。在此實(shí)施例中，是以干射薄膜1060在干燥狀態(tài)及濕潤(rùn)狀態(tài)時(shí)分別為「不透光」及「完全透光」為例來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。亦即，此處穿透光1320的強(qiáng)度增加的情況是指從「無(wú)」穿透光1320到「有」穿透光1320的情況，但本實(shí)用新型并不限于此。在其他實(shí)施例中，干射薄膜1060例如是在干燥狀態(tài)及濕潤(rùn)狀態(tài)時(shí)均可透光的薄膜，且利用干射薄膜1060由干燥狀態(tài)變成濕潤(rùn)狀態(tài)時(shí)的光穿透率改變的特性，可造成穿透光1320的強(qiáng)度改變。舉例來(lái)說(shuō)，穿透光1320的強(qiáng)度增加的情況是指從「弱」穿透光1320到「強(qiáng)」穿透光1320的情況。此外，當(dāng)光檢測(cè)器1120檢測(cè)到穿透光1320的強(qiáng)度改變時(shí)，耦接于光檢測(cè)器1120的警報(bào)器1280接收來(lái)自光檢測(cè)器1120的觸發(fā)信號(hào)，而發(fā)出警報(bào)信號(hào)。警報(bào)器1280例如是發(fā)出光信號(hào)、聲音信號(hào)或上述信號(hào)的組合，以引起操作人員的注意。其中，機(jī)臺(tái)鎖定的步驟與發(fā)出警報(bào)信號(hào)的步驟并無(wú)特定順序，機(jī)臺(tái)鎖定的步驟可在發(fā)出警報(bào)信號(hào)的步驟之前或之后進(jìn)行、或與發(fā)出警報(bào)信號(hào)的步驟同時(shí)進(jìn)行。當(dāng)機(jī)臺(tái)是由監(jiān)控主機(jī)1300所控制時(shí)，警報(bào)器1280可將反饋信號(hào)發(fā)送至監(jiān)控主機(jī)1300，而由監(jiān)控主機(jī)1300控制是否將機(jī)臺(tái)鎖定，停止機(jī)臺(tái)的運(yùn)作?；谏鲜鰧?shí)施例可知，在利用管路漏液監(jiān)控裝置7000進(jìn)行管路漏液監(jiān)控時(shí)，當(dāng)管路2000產(chǎn)生漏液3000時(shí)，由盛液空間1140中流出的漏液3000會(huì)潤(rùn)濕干射薄膜1060，而改變干射薄膜1060的光穿透率，所以光檢測(cè)器1120會(huì)檢測(cè)到的穿透光1320的強(qiáng)度改變，由此可得知管路2000產(chǎn)生漏液3000，因此可即時(shí)進(jìn)行管路2000的漏液檢測(cè)及監(jiān)控。圖10所繪示為本實(shí)用新型的第四實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置的示意圖。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D6及圖10，第三實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置7000與第四實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置8000的差異在于管路漏液監(jiān)控裝置8000中的監(jiān)測(cè)容器8040是與承接容器1020分離。當(dāng)監(jiān)測(cè)容器8040與承接容器1020分離時(shí)，管路漏液監(jiān)控裝置8000更包括導(dǎo)管8220，導(dǎo)管8220導(dǎo)引漏液3000進(jìn)入監(jiān)測(cè)容器8040。同樣地，當(dāng)光源1080位于監(jiān)控容器8040外部時(shí)，監(jiān)控容器8040例如是具有透光壁8040a，以使光線1240穿透透光壁8040a而照射到干射薄膜1060，但本實(shí)用新型并不以此為限。管路漏液監(jiān)控裝置8000與管路漏液監(jiān)控裝置7000相同的構(gòu)件使用相同的標(biāo)號(hào)表示，且這些構(gòu)件的材料、配置方式及功能已于上文中的實(shí)施例進(jìn)行詳盡地說(shuō)明，故于此不再贅述。綜上所述，上述實(shí)施例至少具有下列優(yōu)點(diǎn)I.上述實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置可防止漏液自承接容器中溢出。2.通過(guò)上述實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置可即時(shí)進(jìn)行管路的漏液檢測(cè)及監(jiān)控。3.上述實(shí)施例的管路漏液監(jiān)控裝置采用非接觸式檢測(cè)方式，因此可防止電氣接觸易燃液體所產(chǎn)生的工安問(wèn)題。
權(quán)利要求1.一種管路漏液監(jiān)控裝置，其用以監(jiān)控一管路的一漏液，其特征在于，該管路漏監(jiān)控裝置包括 承接容器，環(huán)繞該管路，該承接容器的一下部與該管路密合，且位于該下部上方的該承接容器與該管路之間形成一盛液空間； 監(jiān)控容器，與該承接容器連通； 干射薄膜，設(shè)置于該監(jiān)控容器內(nèi)，且該干射薄膜于干燥時(shí)具有第一光穿透率，且與該漏液接觸后具有第二光穿透率，且該第二光穿透率不同于該第一光穿透率； 光源，發(fā)射照射到該干射薄膜的一光線； 反射鏡，設(shè)置于該監(jiān)控容器內(nèi)，且在該光線的光行進(jìn)路線上該干射薄膜設(shè)置于該反射鏡與該光源之間；以及 光檢測(cè)器，接收來(lái)自該反射鏡的一反射光。
2.如權(quán)利要求I所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，當(dāng)該光源位于該監(jiān)控容器外部時(shí)，該監(jiān)控容器具有透光壁，以使該光線穿透該透光壁而照射到該干射薄膜。
3.如權(quán)利要求I所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該管路漏監(jiān)控裝置還包括警報(bào)器，耦接于該光檢測(cè)器，且接收來(lái)自該光檢測(cè)器的一觸發(fā)信號(hào)，當(dāng)該反射光的強(qiáng)度改變時(shí)，該警報(bào)器發(fā)出一警報(bào)信號(hào)。
4.如權(quán)利要求3所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該警報(bào)器包括光警報(bào)器、聲音警報(bào)器或上述警報(bào)器的組合。
5.如權(quán)利要求3所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該警報(bào)器還包括將一反饋信號(hào)發(fā)送至一監(jiān)控主機(jī)。
6.如權(quán)利要求5所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該反饋信號(hào)包括正向反饋信號(hào)或反向反饋信號(hào)。
7.如權(quán)利要求I所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該監(jiān)測(cè)容器設(shè)置于該承接容器上或與該承接容器分離。
8.如權(quán)利要求7所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，當(dāng)該監(jiān)測(cè)容器設(shè)置于該承接容器上時(shí)，該承接容器上具有通道，該通道導(dǎo)引該漏液進(jìn)入該監(jiān)測(cè)容器。
9.如權(quán)利要求7所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，當(dāng)該監(jiān)測(cè)容器與該承接容器分離時(shí)，還包括導(dǎo)管，該導(dǎo)管導(dǎo)引該漏液進(jìn)入該監(jiān)測(cè)容器。
10.如權(quán)利要求I所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該承接容器為一體成型或由多個(gè)部件組成。
11.如權(quán)利要求10所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，當(dāng)該承接容器由該些部件組成時(shí)，該承接容器還包括結(jié)合裝置，用以組合該些部件。
12.如權(quán)利要求I所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該承接容器設(shè)置于該管路的一末端，該末端位于該管路的低位處。
13.如權(quán)利要求I所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該光源與該光檢測(cè)器為一體成型或?yàn)榛ハ喾蛛x的裝置。
14.如權(quán)利要求I所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該管路包括用以包覆一液體輸送管的一控溫管。
15.如權(quán)利要求I所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該干射薄膜的材料包括與該漏液接觸后會(huì)改變光穿透率的材料或與該漏液接觸后會(huì)溶解的材料。
16.一種管路漏液監(jiān)控裝置，其用以監(jiān)控一管路的一漏液，其特征在于該管路漏監(jiān)控裝置包括 承接容器，環(huán)繞該管路，該承接容器的一下部與該管路密合，且位于該下部上方的該承接容器與該管路的間形成一盛液空間； 監(jiān)控容器，與該承接容器連通； 干射薄膜，設(shè)置于該監(jiān)控容器內(nèi)，且該干射薄膜于干燥時(shí)具有第一光穿透率，且與該漏液接觸后具有第二光穿透率，且該第二光穿透率不同于該第一光穿透率； 光源，發(fā)射照射到該干射薄膜的一光線；以及 光檢測(cè)器，接收穿透該干射薄膜的一穿透光。
17.如權(quán)利要求16所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，當(dāng)該光源位于該監(jiān)控容器外部時(shí)，該監(jiān)控容器具有透光壁，以使該光線穿透該透光壁而照射到該干射薄膜。
18.如權(quán)利要求16所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該管路漏監(jiān)控裝置還包括警報(bào)器，耦接于該光檢測(cè)器，且接收來(lái)自該光檢測(cè)器的一觸發(fā)信號(hào)，當(dāng)該反射光的強(qiáng)度改變時(shí)，該警報(bào)器發(fā)出一警報(bào)信號(hào)。
19.如權(quán)利要求18所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該警報(bào)器包括光警報(bào)器、聲音警報(bào)器或上述警報(bào)器的組合。
20.如權(quán)利要求18所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該警報(bào)器還包括將一反饋信號(hào)發(fā)送至一監(jiān)控主機(jī)。
21.如權(quán)利要求20所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該反饋信號(hào)包括正向反饋信號(hào)或反向反饋信號(hào)。
22.如權(quán)利要求16所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該監(jiān)測(cè)容器設(shè)置于該承接容器上或與該承接容器分離。
23.如權(quán)利要求22所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，當(dāng)該監(jiān)測(cè)容器設(shè)置于該承接容器上時(shí)，該承接容器上具有通道，該通道導(dǎo)引該漏液進(jìn)入該監(jiān)測(cè)容器。
24.如權(quán)利要求22所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，當(dāng)該監(jiān)測(cè)容器與該承接容器分離時(shí)，還包括導(dǎo)管，該導(dǎo)管導(dǎo)引該漏液進(jìn)入該監(jiān)測(cè)容器。
25.如權(quán)利要求16所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該承接容器為一體成型或由多個(gè)部件組成。
26.如權(quán)利要求25所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，當(dāng)該承接容器由該些部件組成時(shí)，該承接容器還包括結(jié)合裝置，用以組合該些部件。
27.如權(quán)利要求16所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該承接容器設(shè)置于該管路的一末端，該末端位于該管路的低位處。
28.如權(quán)利要求16所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該光源與該光檢測(cè)器為一體成型或?yàn)榛ハ喾蛛x的裝置。
29.如權(quán)利要求16所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該管路包括用以包覆一液體輸送管的一控溫管。
30.如權(quán)利要求16所述的管路漏液監(jiān)控裝置，其特征在于，該干射薄膜的材料包括與該漏液接觸后會(huì)改變光穿透率的材料或與該漏液接觸后會(huì)溶解的材料。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)一種管路漏液監(jiān)控裝置，其包括下列構(gòu)件承接容器環(huán)繞管路，承接容器的下部與管路密合，且位于下部上方的承接容器與管路之間形成盛液空間。監(jiān)控容器與承接容器連通。干射薄膜設(shè)置于監(jiān)控容器內(nèi)，且干射薄膜于干燥時(shí)具有第一光穿透率，且與漏液接觸后具有第二光穿透率，且第二光穿透率不同于第一光穿透率。光源發(fā)射照射到干射薄膜的光線。反射鏡設(shè)置于監(jiān)控容器內(nèi)，且在光線的光行進(jìn)路線上干射薄膜設(shè)置于反射鏡與光源之間。光檢測(cè)器接收來(lái)自反射鏡的反射光。警報(bào)器接收來(lái)自光檢測(cè)器的信號(hào)，信號(hào)強(qiáng)度符合設(shè)定條件時(shí)，警報(bào)器發(fā)報(bào)信息。
文檔編號(hào)F17D5/02GK202361084SQ201120377998
公開(kāi)日2012年8月1日 申請(qǐng)日期2011年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月21日
發(fā)明者張盛淇, 謝壽鏞 申請(qǐng)人:力晶科技股份有限公司