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管路漏液監(jiān)控裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5819910

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本實(shí)用新型涉及一種監(jiān)控系統(tǒng),且特別是涉及一種管路漏液監(jiān)控裝置。背景技術(shù)目前半導(dǎo)體廠(chǎng)為了產(chǎn)量效能的提升,其設(shè)備安置的設(shè)計(jì)多采高密度的安排。因此,輸送各式各樣化學(xué)液體的管路及各種設(shè)備交錯(cuò)設(shè)置,若輸送液體的管路不慎泄漏液體至半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)中,對(duì)半導(dǎo)體的生產(chǎn)會(huì)造成相當(dāng)嚴(yán)重的影響。 舉例來(lái)說(shuō),光致抗蝕劑涂布機(jī)的光致抗蝕劑輸送管需包覆用以控溫的循環(huán)水管,當(dāng)管路老化耗損后發(fā)生破裂、滲漏,常造成芯片缺陷及良率損失。然而,由于光致抗蝕劑涂布機(jī)的內(nèi)部環(huán)境必須避免電氣接觸易燃液體(...
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