一種新型抽氣管路連接件的制作方法
【專利說明】
[0001]技術(shù)領(lǐng)域:本實(shí)用新型涉及一種抽氣管路的連接件，尤其是一種對等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積腔體進(jìn)行抽氣的新型管路連接件。
[0002]【背景技術(shù)】:目前連接PECVD(等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)腔體和F0reline(前級真空管線)的連接件都是一個(gè)入口一個(gè)出口的結(jié)構(gòu)，這樣勢必會(huì)增大連接件的體積，對設(shè)備的維護(hù)空間減小了。
[0003]【實(shí)用新型內(nèi)容】:針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種新型抽氣管路連接件。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種新型抽氣管路連接件，包括雙孔法蘭盤，錐形法蘭管，底部法蘭盤和法蘭接頭。雙孔法蘭盤固定在錐形法蘭管粗的一端，底部法蘭盤固定在錐形法蘭管細(xì)的一端。法蘭接頭固定在錐形法蘭管的外面。
[0005]本實(shí)用新型有兩個(gè)入口端，一個(gè)出口端，采用流線型過渡，減少了氣流阻力，減少了零件體積，為設(shè)備預(yù)留了更多維護(hù)空間。
【附圖說明】
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[0006]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
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[0007]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0008]如圖1所示:一種新型抽氣管路連接件，包括雙孔法蘭盤I，錐形法蘭管2，底部法蘭盤4和法蘭接頭4。雙孔法蘭盤I固定在錐形法蘭管2粗的一端，底部法蘭盤4固定在錐形法蘭管2細(xì)的一端。法蘭接頭4固定在錐形法蘭管2的外面。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型抽氣管路連接件，其特征在:包括雙孔法蘭盤，錐形法蘭管，底部法蘭盤和法蘭接頭；雙孔法蘭盤固定在錐形法蘭管粗的一端，底部法蘭盤固定在錐形法蘭管細(xì)的一端，法蘭接頭固定在錐形法蘭管的外面。
【專利摘要】一種新型抽氣管路連接件，包括雙孔法蘭盤，錐形法蘭管，底部法蘭盤和法蘭接頭。雙孔法蘭盤固定在錐形法蘭管粗的一端，底部法蘭盤固定在錐形法蘭管細(xì)的一端。法蘭接頭固定在錐形法蘭管的外面。本實(shí)用新型有兩個(gè)入口端，一個(gè)出口端，采用流線型過渡，減少了氣流阻力，減少了零件體積，為設(shè)備預(yù)留了更多維護(hù)空間。
【IPC分類】F16L23/00
【公開號(hào)】CN204739337
【申請?zhí)枴緾N201520329524
【發(fā)明人】柴智, 鄭佳彤
【申請人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2015年11月4日
【申請日】2015年5月19日