一種掃描隧道顯微鏡減震裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及掃描探針顯微鏡領(lǐng)域，具體涉及掃描隧道顯微鏡減震裝置領(lǐng)域。
[0002]背景資料
[0003]在用掃描隧道顯微鏡對樣品表面進(jìn)行掃描成像時，掃描管前端固定的極細(xì)探針和樣品的理想間距接近納米級別。在掃描過程中，如果沒有減震裝置，外界的振動一方面很容易導(dǎo)致采集到的數(shù)據(jù)不真實(shí)，造成成像錯誤，實(shí)驗(yàn)失敗；另一方面也容易導(dǎo)致探針與樣品相撞，損壞探針，造成經(jīng)濟(jì)損失。
[0004]現(xiàn)有的掃描隧道顯微鏡減震裝置直接采用鋼絲拉簧進(jìn)行減震調(diào)平，鋼絲拉簧上端固定在框架上，下端直接懸吊載物臺。通過調(diào)節(jié)各鋼絲拉簧的上端來調(diào)平載物臺。缺點(diǎn)是:改變鋼絲拉簧的結(jié)構(gòu)對稱性，影響減震效果。本實(shí)用新型通過直接旋鈕螺栓調(diào)節(jié)載物臺和調(diào)節(jié)平臺的間距來調(diào)平載物臺，在該裝置下，鋼絲拉簧一端懸掛在橫梁上，另一端懸吊調(diào)節(jié)平臺。載物臺通過螺栓與調(diào)節(jié)平臺固定在一起，通過旋鈕螺栓可將載物臺調(diào)平，不改變鋼絲拉簧結(jié)構(gòu)對稱性，減震效果好。

【發(fā)明內(nèi)容】

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[0005]發(fā)明目的:為了解決外界振動導(dǎo)致采集的數(shù)據(jù)不真實(shí)，探針與樣品相撞問題。
[0006]技術(shù)方案:本實(shí)用新型提供了一種整體結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕、易裝卸、生產(chǎn)成本低，易調(diào)平，且能夠滿足常溫下掃描隧道顯微鏡實(shí)驗(yàn)的減震調(diào)平要求的減震裝置。
[0007]本實(shí)用新型提供的一種掃描隧道顯微鏡減震裝置包括框架、橫梁、鋼絲拉簧、載物臺、螺栓、調(diào)節(jié)平臺、橡膠墊，通過鋼絲拉簧將調(diào)節(jié)平臺懸掛在橫梁上，通過螺栓將載物臺安置在調(diào)節(jié)平臺上，通過旋鈕螺栓可調(diào)節(jié)二者的間距。所述的鋼絲拉簧，其特征是懸掛在橫梁上，保持豎直，下端懸掛調(diào)節(jié)平臺；調(diào)節(jié)平臺形狀為方形或圓形，其表面光滑平整，設(shè)有三個或三個以上的孔，螺栓通過孔與載物臺連接；載物臺設(shè)有與調(diào)節(jié)平臺相同數(shù)目的孔，通過孔與調(diào)節(jié)平臺連接；橡膠墊分布在框架I四個角。
[0008]本實(shí)用新型裝置中所述的框架材質(zhì)是帶孔不銹鋼，方便拆卸和組裝。
[0009]本實(shí)用新型裝置中所述的載物臺與調(diào)節(jié)平臺通過三個或三個以上的螺栓來調(diào)節(jié)間距，且螺栓上套有彈簧，。
[0010]本實(shí)用新型裝置中所述的橡膠墊數(shù)目是四個，分別分布在框架的四個角，使整個裝置達(dá)到平穩(wěn)的效果。
[0011]有益效果:采用橫梁方便垂直懸掛鋼絲拉簧，有效地減少外部振動對儀器的影響；采用調(diào)節(jié)平臺和載物臺，通過旋鈕三個或三個以上螺栓可以更改二者間距，可有效地進(jìn)行調(diào)平操作，避免直接調(diào)節(jié)鋼絲拉簧而改變鋼絲拉簧的結(jié)構(gòu)對成性，影響減震效果。完全符合常溫下掃描隧道顯微鏡實(shí)驗(yàn)的減震調(diào)平要求，具有實(shí)用性和創(chuàng)造性。
【附圖說明】
[0012]圖1 一種掃描隧道顯微鏡減震裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖
[0013]圖2調(diào)節(jié)平臺與載物臺位置關(guān)系示意圖
[0014]圖3為圖2的俯視圖
[0015]圖4為圖2的前視圖
[0016]圖中標(biāo)號:1、框架2、橫梁3、鋼絲拉簧4、載物臺5、螺栓6、調(diào)節(jié)平臺7、橡膠墊
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖1、附圖2、附圖3、附圖4對本實(shí)用新型作詳細(xì)說明。
[0018]如圖1、附圖2、附圖3、附圖4所示，一種掃描隧道顯微鏡減震裝置包括框架1、橫梁2、鋼絲拉簧3、載物臺4、螺栓5、調(diào)節(jié)平臺6、橡膠墊7。
[0019]所述的框架I為方形，上端設(shè)有兩個橫梁2，通過懸掛在橫梁2上且保持豎直的四個鋼絲拉簧3連接調(diào)節(jié)平臺6。調(diào)節(jié)平臺6通過三個及三個以上的螺栓5連接載物臺4。
[0020]所述的載物臺4和調(diào)節(jié)平臺6是平面板，載物臺4上放置掃描隧道顯微鏡，通過螺栓5將載物臺4與調(diào)節(jié)平臺6連接如圖2所示，并通過旋鈕螺栓5來調(diào)節(jié)載物臺4與調(diào)節(jié)平臺6的間距如圖4所示，從而使載物臺4達(dá)到水平。橡膠墊7放置在整個裝置的底部，使整個裝置平穩(wěn)。
[0021]本實(shí)用新型的工作原理是:將掃描隧道顯微鏡放置在減震裝置的載物臺4上，調(diào)節(jié)平臺6位置固定，通過螺栓5來調(diào)節(jié)載物臺4與調(diào)節(jié)平臺6之間的距離，使載物臺4達(dá)到水平。載物臺4、調(diào)節(jié)平臺6與鋼絲拉簧3連接，通過鋼絲拉簧3隔絕外部振動對掃描隧道顯微鏡的影響。
[0022]本實(shí)用新型裝置提供的一種掃描隧道顯微鏡減震裝置具有以下優(yōu)點(diǎn):采用橫梁方便垂直懸掛鋼絲拉簧，有效地減少外部振動對儀器的影響；采用調(diào)節(jié)平臺和載物臺，通過旋鈕三個或三個以上螺栓可以更改二者間距，可有效地進(jìn)行調(diào)平操作，避免直接調(diào)節(jié)鋼絲拉簧而改變鋼絲拉簧的結(jié)構(gòu)對成性，影響減震效果。完全符合常溫下掃描隧道顯微鏡實(shí)驗(yàn)的減震調(diào)平要求，具有實(shí)用性和創(chuàng)造性。
[0023]本實(shí)用新型不僅僅局限于上述【具體實(shí)施方式】，只要不脫離本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)內(nèi)容情況下，從事此領(lǐng)域的專業(yè)人員進(jìn)行的相關(guān)改進(jìn)、變形或者替換都將包含在本實(shí)用新型范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種掃描隧道顯微鏡減震裝置，該減震裝置包括框架(1)、橫梁(2)、鋼絲拉簧(3)、載物臺(4)、螺栓(5)、調(diào)節(jié)平臺(6)、橡膠墊(7)，其特征在于:框架(I)上設(shè)有橫梁(2)，調(diào)節(jié)平臺(6)通過鋼絲拉簧(3)懸掛在橫梁(2)上，載物臺⑷通過螺栓(5)安置在調(diào)節(jié)平臺(6)上，通過旋鈕螺栓(5)可自由調(diào)節(jié)二者的間距。
2.根據(jù)權(quán)利要求書I所述的一種掃描隧道顯微鏡減震裝置，其特征在于所述框架(I)四個角設(shè)有橡膠墊(7)。
3.根據(jù)權(quán)利要求書I所述的一種掃描隧道顯微鏡減震裝置，其特征在于:所述的框架(I)材質(zhì)是帶孔的不銹鋼。
4.根據(jù)權(quán)利要求書I所述的一種掃描隧道顯微鏡減震裝置，其特征在于:載物臺(4)與調(diào)節(jié)平臺(6)通過三個或三個以上的螺栓(5)來調(diào)節(jié)間距，且螺栓(5)上套有彈簧。
【專利摘要】本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種掃描隧道顯微鏡減震裝置，主要應(yīng)用于常溫下掃描隧道顯微鏡實(shí)驗(yàn)設(shè)備。該減震裝置包括框架、橫梁、鋼絲拉簧、調(diào)節(jié)平臺、載物臺、橡膠墊。在該裝置下，鋼絲拉簧一端懸掛在橫梁上，另一端懸吊調(diào)節(jié)平臺。載物臺通過螺栓與調(diào)節(jié)平臺固定在一起，通過旋鈕螺栓可將載物臺調(diào)平；橡膠墊放置在減震框架的四個角，使整個框架端正平穩(wěn)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊、簡單，易裝卸，生產(chǎn)成本低，且能夠滿足常溫下掃描隧道顯微鏡實(shí)驗(yàn)的減震調(diào)平要求。
【IPC分類】F16F15-067, F16M11-04, G01Q30-18, G01Q30-02
【公開號】CN204358018
【申請?zhí)枴緾N201420846634
【發(fā)明人】徐磊, 王龍, 龐宗強(qiáng)
【申請人】南京郵電大學(xué)
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2014年12月26日