光學隔振平臺自動調(diào)整高度閥的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明高度自動控制，特別是一種光學隔振平臺自動調(diào)整高度閥。
【背景技術(shù)】
[0002]在光學實驗中，光學平臺是重要的實驗設(shè)備，它的精密程度對實驗有很大的影響。其中，光學平臺的抗振性能和形狀穩(wěn)定性能要求較高。光學平臺放在具有隔振性能的支撐裝置之上，用以減少環(huán)境中振動對實驗產(chǎn)生的影響，并保持平臺上表面的水平，使實驗光路不受影響。實現(xiàn)光學平臺隔振的核心器件就是裝在支撐系統(tǒng)中的隔振器。目前隔振器有阻尼式和氣浮式。阻尼式隔振依靠支撐腿上方的阻尼減振器，阻尼式結(jié)構(gòu)應(yīng)用較廣泛，但是對于低頻(通常小于10HZ)振動，效果一般，甚至有可能引起共振。而氣浮隔振是一種空氣彈簧阻尼系統(tǒng)，它的主要結(jié)構(gòu)是用富有彈性的材料構(gòu)成的氣囊彈性腔，氣囊彈性腔又通過阻尼孔與氣囊阻尼腔相通。氣囊中充入一定量的氣體后，靠彈性材料的變形來完成氣囊的收縮和擴張。而氣囊體積的縮小和擴張就使得它所承載的光學平臺上下浮動，形成固有頻率較低的振動系統(tǒng)，使光學平臺與來自地面的振動隔離。但已有技術(shù)中，自動控制氣囊進出氣的高度閥，密封性能不夠好，響應(yīng)速度不夠快，高度復(fù)位靈敏度低，所以隔振器的的隔振反應(yīng)精度不高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明的目的是提供一種光學隔振平臺自動調(diào)整高度閥，該裝置能自動調(diào)整光學隔振平臺的高度，具有響應(yīng)速度快、靈敏度高的特點。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案是:
[0005]一種光學隔振平臺自動調(diào)整高度閥，特征在于包括杠桿板、頂針、鉸座、鑲套、上鋼套、下鋼套、閥芯、閥體、第一壓簧、第一薄密封圈、第二壓簧和第二薄密封圈:
[0006]所述的閥體的內(nèi)腔由豎直的直徑較小的下圓空腔和直徑較大的上圓空腔構(gòu)成，所述的下圓空腔有進氣口，上圓空腔有放氣口和出氣口 ；
[0007]所述的閥芯是一個由兩段不同直徑的圓柱體構(gòu)成，下段短而直徑大，上段長而直徑小，在閥芯的下段與上段的連接處有一圈坑，供第二薄密封圈置放，在閥芯上段的中部還有一圈坑，供第一薄密封圈置放，所述的閥芯、第一薄密封圈和第二薄密封圈為一體式結(jié)構(gòu)，所述的上鋼套和下鋼套都具有豎直的軸孔，所述的上鋼套還有橫向通孔，該橫向通孔與所述的豎直的軸孔相通，所述的下鋼套的軸孔套在所述的閥芯的下段與上段的連接處，下鋼套的下表面緊貼閥芯大直徑的圓柱的上端面，所述的上鋼套的軸孔套固在所述的閥芯的上段外至所述的第一薄密封圈，在所述的上鋼套和下鋼套之間的閥芯外套設(shè)所述的第一壓簧，第一壓簧的上端面與上鋼套的下表面接觸，第一壓簧的下端面與下鋼套的上端面接觸，構(gòu)成閥芯組件；
[0008]在所述的閥體的下圓空腔置放第二壓簧，所述的閥芯組件的下端置于所述的第二壓簧上，所述的下鋼套位于所述的閥體的上圓空腔的底端，所述的上鋼套和下鋼套的最大直徑的外壁與所述的閥體的上圓空腔形成可移動配合，所述的鑲套具有相通的豎直的軸孔和橫向通孔，所述的鑲套的豎直的軸孔的下半部分套在上鋼套的上端，并將該鑲套過盈配合地固定在閥體上圓空腔的上段，該鑲套的豎直的軸孔的上半部分套在所述的頂針的下端，所述的頂針的下端面和上鋼套上端面緊貼并可在所述的鑲套內(nèi)上下移動，所述的上鋼套和下鋼套與閥芯的第一薄密封圈和第二薄密封圈的密封面接觸，形成閥體氣室；所述的上鋼套的橫向通孔和鑲套的橫向通孔與所述的閥體出氣口相通；
[0009]所述的頂針上端面的鋼球與所述的杠桿板點接觸，閥體氣室通過放氣口與光學平臺氣浮支撐腿的氣囊相通，所述的進氣口與空壓機氣源相通，所述的出氣口與外界相通。
[0010]所述杠桿板與光學平臺的下表面通過調(diào)節(jié)螺釘點接觸，把平臺振動引起的高低位移量按比例縮小，然后傳遞到閥芯。
[0011]閥的進氣口和出氣口之間有閥體氣室，進氣口連接空壓機氣源，閥體氣室通過放氣口連接光學平臺的氣囊支撐腿，上鋼套和下鋼套與閥芯的第一薄密封圈、第二薄密封圈接觸密封，形成密封氣室。當閥芯位于平衡位置時，上鋼套和下鋼套與閥芯同時緊密接觸，形成密封，氣囊既不充氣也不放氣。當平臺受力向下位移，上鋼套和閥芯隨平臺臺面向下，下鋼套和閥芯脫開，進氣口打開，空壓機氣源向支撐腿氣囊補氣，氣壓增加，撐起平臺向上，使平臺回到平衡位置。當支撐腿氣囊內(nèi)的氣壓過高，平臺高出平衡位置時，下鋼套與閥芯接觸密封，進氣口關(guān)閉，上鋼套與閥芯脫開，出氣口打開，支撐腿氣囊的氣從出氣口逸出，氣囊內(nèi)的氣壓減小，平臺向下回到平衡位置。
[0012]所述的閥芯和第一薄密封圈、第二薄密封圈為一體式結(jié)構(gòu)，薄密封圈采用橡膠材料以閥芯為模具固化成型。密封橡膠的厚度小于0.5mm，上鋼套和下鋼套的刀口高度小于
0.5_，密封圈的密封形變量小于等于0.3_。杠桿板與平臺下表面接觸，通過把平臺的高低位移量按比例縮小傳遞到閥芯。平臺的上下振動位移大于3mm時，自動調(diào)整高度閥啟動工作，上鋼套、下鋼套與閥芯脫開或接觸密封，向氣浮支撐腿的氣囊充氣或放氣，使氣浮支撐腿的支撐力與臺面重力平衡，保持光學平臺高度位置復(fù)位精度小于3_。所以高度自動調(diào)整閥響應(yīng)時間短，反應(yīng)靈敏，復(fù)位精度高。
[0013]本發(fā)明的優(yōu)點是:
[0014]1、本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊，性能穩(wěn)定可靠，由于采用的是自動控制，能快速調(diào)整光學平臺的振動，隔振效率尚。
[0015]2、所述薄密封圈與閥芯是一體式固化成型結(jié)構(gòu)，密封效果好，耐磨損，壽命高。
[0016]3、薄密封圈采用橡膠材料以閥芯為模具固化成型，橡膠厚度小于0.5_，密封壓縮形變量小于0.3mm。上下鋼套接觸密封位移量小，平臺上下位移變化時，高度自動調(diào)整閥響應(yīng)時間短，反應(yīng)靈敏，復(fù)位精度高。
【附圖說明】
[0017]圖1是本發(fā)明的整體示意圖
[0018]圖2是本發(fā)明光學隔振平臺的自動調(diào)整高度閥的結(jié)構(gòu)示意圖
[0019]圖3是閥芯和薄密封圈的結(jié)構(gòu)圖
【具體實施方式】
[0020]現(xiàn)結(jié)合附圖，對本發(fā)明作進一步描述。
[0021]先請參見圖2，圖2是本發(fā)明光學隔振平臺自動調(diào)整高度閥的結(jié)構(gòu)示意圖
[0022]一種光學隔振平臺自動調(diào)整高度閥，包括杠桿板1、頂針2、鉸座3