本發(fā)明涉及一種閘板閥，尤其是一種應(yīng)用在高真空系統(tǒng)的閘板閥，特別提供了一種平穩(wěn)閘板真空開閉裝置。

背景技術(shù)：

目前，真空閘板閥在真空系統(tǒng)中通常用于傳送腔體或緩沖腔體的開啟和關(guān)閉，并保證在關(guān)閉狀態(tài)下的腔體真空密封，但是現(xiàn)有的真空閘板閥一般直接由驅(qū)動桿驅(qū)動閘板關(guān)閉，然后在閘板上另外施加壓力或者通過楔形閘板靠斜面施加壓力保證真空密封，而這種方式在較大的腔體上，由于閘板較大，難以保證閘板的平穩(wěn)運(yùn)行和垂直度，可能會導(dǎo)致最終密封性能不好，在閘板上另外施加壓力增加了設(shè)備復(fù)雜性，通過楔形閘板靠斜面施加壓力由于受斜面安裝位置影響可能會影響閘板受力面積和位置，導(dǎo)致閘板受力不好而影響密封性能，另外斜面上可能會存在顆粒污染情況導(dǎo)致閘板密封不平。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是為了解決上述存在的密封性能不好、設(shè)備復(fù)雜等技術(shù)問題，特提供了一種平穩(wěn)閘板真空開閉裝置。

本發(fā)明提供了一種平穩(wěn)閘板真空開閉裝置，其特征在于：所述的平穩(wěn)閘板真空開閉裝置包括驅(qū)動缸支臂（1）、驅(qū)動缸（2）、伸縮缸（3）、驅(qū)動板（4）、滑塊（5）、封頭（6）、閘板（7）、導(dǎo)軌（8）、截止板（9）、密封腔（10）；

其中：密封腔（10）上設(shè)有封頭（6），封頭（6）一端設(shè)有驅(qū)動缸支臂（1），驅(qū)動缸支臂（1）固定安裝驅(qū)動缸（2），驅(qū)動缸（2）內(nèi)設(shè)伸縮缸（3），伸縮缸（3）頭連接安裝驅(qū)動板（4），驅(qū)動板（4）下端面固定安裝有滑塊（5），滑塊（5）與封頭（6）上滑動安裝的閘板（7）固定連接，封頭（6）另一端固定設(shè)有截止板（9），截止板（9）固接導(dǎo)軌（8）的一側(cè)，導(dǎo)軌（8）與滑塊（5）相適應(yīng)。

所述的驅(qū)動缸（2）為液壓缸或是氣動缸。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)：

本發(fā)明所述的平穩(wěn)閘板真空開閉裝置，具有結(jié)構(gòu)簡單，閘板運(yùn)動平穩(wěn)，密封效果好，應(yīng)用廣泛，結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省空間和成本等特點(diǎn)。

附圖說明

下面結(jié)合附圖及實(shí)施方式對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明：

圖1為 本發(fā)明的原理示意圖。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1

本實(shí)施例提供了一種平穩(wěn)閘板真空開閉裝置，其特征在于：所述的平穩(wěn)閘板真空開閉裝置包括驅(qū)動缸支臂（1）、驅(qū)動缸（2）、伸縮缸（3）、驅(qū)動板（4）、滑塊（5）、封頭（6）、閘板（7）、導(dǎo)軌（8）、截止板（9）、密封腔（10）；

其中：密封腔（10）上設(shè)有封頭（6），封頭（6）一端設(shè)有驅(qū)動缸支臂（1），驅(qū)動缸支臂（1）固定安裝驅(qū)動缸（2），驅(qū)動缸（2）內(nèi)設(shè)伸縮缸（3），伸縮缸（3）頭連接安裝驅(qū)動板（4），驅(qū)動板（4）下端面固定安裝有滑塊（5），滑塊（5）與封頭（6）上滑動安裝的閘板（7）固定連接，封頭（6）另一端固定設(shè)有截止板（9），截止板（9）固接導(dǎo)軌（8）的一側(cè)，導(dǎo)軌（8）與滑塊（5）相適應(yīng)。

所述的驅(qū)動缸（2）為液壓缸。

實(shí)施例2

一種平穩(wěn)閘板真空開閉裝置，其特征在于：所述的平穩(wěn)閘板真空開閉裝置包括驅(qū)動缸支臂（1）、驅(qū)動缸（2）、伸縮缸（3）、驅(qū)動板（4）、滑塊（5）、封頭（6）、閘板（7）、導(dǎo)軌（8）、截止板（9）、密封腔（10）；

其中：密封腔（10）上設(shè)有封頭（6），封頭（6）一端設(shè)有驅(qū)動缸支臂（1），驅(qū)動缸支臂（1）固定安裝驅(qū)動缸（2），驅(qū)動缸（2）內(nèi)設(shè)伸縮缸（3），伸縮缸（3）頭連接安裝驅(qū)動板（4），驅(qū)動板（4）下端面固定安裝有滑塊（5），滑塊（5）與封頭（6）上滑動安裝的閘板（7）固定連接，封頭（6）另一端固定設(shè)有截止板（9），截止板（9）固接導(dǎo)軌（8）的一側(cè)，導(dǎo)軌（8）與滑塊（5）相適應(yīng)。

所述的驅(qū)動缸（2）為氣動缸。