專利名稱：開閉閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種開閉閥，特別是涉及用于氣體的供給開始與供給停止的切換的開 閉閥。
背景技術(shù)：
以往，在氣體的供給開始與供給停止的切換上使用開閉閥。圖7(a)、圖7(b)中的附圖標(biāo)記200表示開閉閥，開閉閥200具有隔壁211和閥體 221。在隔壁211上設(shè)有閥體221嵌合在其中的孔212。閥體221安裝在未圖示的移動機構(gòu)上，當(dāng)通過移動機構(gòu)使閥體221就位于孔212 中時，閥體221的表面緊貼在孔212的內(nèi)壁面(閥座面215)上，一側(cè)的空間與另一側(cè)的空 間隔著隔壁211相分離而成為關(guān)閉狀態(tài)(圖7(b))。當(dāng)將閥體221從孔212中卸下，使閥體221的表面與閥座面215分離時，一側(cè)的空 間與另一側(cè)的空間隔著隔壁211相連而成為打開狀態(tài)(圖7(a))。開閉閥200廣泛地用于氣體或氣體等流體的供給開始與供給停止的切換。通常，開閉閥200的隔壁211與閥體221是由金屬或陶瓷等構(gòu)成的。當(dāng)重復(fù)開閉 這種開閉閥200時，閥體221及隔壁211的嵌合部分磨損，不僅開閉閥200的密閉性劣化， 也產(chǎn)生灰塵而成為流體污染的原因。而且，當(dāng)在高溫(240°C 400°C )下重復(fù)進行開閉動作時，存在密封面破損，閥的 密封性喪失的情況。專利文獻1 特表2001-523768號公報專利文獻2 特表2003-525349號公報專利文獻3 特開2004-204289號公報專利文獻4 特開2005-29885號公報專利文獻5 特開2006-111920號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題而提出的，其目的在于提供一種不會污染流體且壽命 長的開閉閥。而且，本發(fā)明提供一種即使在高溫下重復(fù)進行開閉也不會喪失密封性、壽命長 的開閉閥。為了解決上述問題，本發(fā)明的開閉閥對第一、第二連接空間之間的連接與隔斷進 行切換，上述開閉閥包括低熔點金屬，收容上述低熔點金屬的容器，下端能夠與上述低熔 點金屬相接觸的遮蔽部件，以及使配置在上述容器中的上述低熔點金屬和上述遮蔽部件相 對移動的移動機構(gòu)，當(dāng)在將上述低熔點金屬熔融后的狀態(tài)下使上述遮蔽部件的下端與上述 低熔點金屬的表面相接觸時，上述第一、第二連接空間被隔斷，當(dāng)使上述遮蔽部件的下端從 上述低融點金屬的表面離開時，上述第一、第二連接空間連接在一起。
本發(fā)明的開閉閥中，上述遮蔽部件為筒狀，上述遮蔽部件的下端由筒的下端構(gòu)成， 上述第一連接空間與上述遮蔽部件的內(nèi)部空間相連。本發(fā)明的開閉閥中，具有收容上述容器的掩蔽體，上述掩蔽體具有開口，上述遮蔽 部件貫通在上述開口中，并設(shè)置成上述遮蔽部件的外周與上述開口之間為氣密封，上述遮 蔽部件的上端開口在上述掩蔽體的外部，上述遮蔽部件的下端開口在上述掩蔽體的內(nèi)部， 上述移動機構(gòu)使上述容器相對于上述遮蔽部件移動，當(dāng)上述移動機構(gòu)使上述容器上升時， 上述遮蔽部件的下端與上述容器內(nèi)的低熔點金屬相接而隔斷上述掩蔽體內(nèi)部與上述遮蔽 部件的內(nèi)部，當(dāng)上述移動機構(gòu)使上述容器下降時，上述遮蔽部件的下端離開上述容器內(nèi)的 低熔點金屬，將上述掩蔽體內(nèi)部與上述遮蔽部件的內(nèi)部連接在一起。本發(fā)明的開閉閥中，上述移動機構(gòu)配置在上述掩蔽體的外部，具有配置在上述移 動機構(gòu)與上述容器之間并隔斷上述掩蔽體的內(nèi)部空間與外部空間的伸縮部件，上述容器與 上述移動機構(gòu)在上述伸縮部件的內(nèi)部空間內(nèi)相聯(lián)，當(dāng)上述移動機構(gòu)使上述容器移動時，上 述伸縮部件伸縮，在隔斷了上述掩蔽體的內(nèi)部與外部空間的狀態(tài)下，上述容器移動。本發(fā)明的開閉閥中，具有與上述開閉閥的內(nèi)部空間中上述遮蔽部件的外部空間相 連的連接部，上述第二連接空間與上述連接部相連。 本發(fā)明的開閉閥中，上述連接部相對于上述遮蔽部件靜止。本發(fā)明的開閉閥中，上述掩蔽體是固定的，上述容器安裝在上述移動機構(gòu)上，上述 連接部安裝在上述掩蔽體上。本發(fā)明的開閉閥中，具有前端被上述容器包圍的管以及蓋部，在上述蓋部底面形 成有由從上述蓋部底面突出地形成的環(huán)狀的突起構(gòu)成的筒狀的上述遮蔽部件，在上述管的 外周，當(dāng)上述遮蔽部件與配置在上述容器內(nèi)的熔融的上述低熔點金屬相接觸時，上述開閉 口被上述遮蔽部件和上述蓋部封閉，作為上述管的外側(cè)的上述第一連接空間與作為上述管 的內(nèi)側(cè)的上述第二連接空間被隔斷。本發(fā)明的開閉閥中，具有使上述遮蔽部件和上述容器相對移動的移動裝置。本發(fā)明的開閉閥具有掩蔽體，分別使上述掩蔽體的內(nèi)部與外部連通的連接口，以 及第一、第二開閉口，能夠切換成上述第二開閉口被封閉并且氣體能夠穿過上述掩蔽體的 內(nèi)部在上述第一開閉口與上述連接口之間通行的第一狀態(tài)，以及上述第一開閉口被封閉并 且氣體能夠穿過上述掩蔽體的內(nèi)部在上述第二開閉口與上述連接口之間通行的第二狀態(tài)， 其中，具有配置在上述掩蔽體內(nèi)且能夠分別配置氣體和液體的第一、第二容器，以及配置在 上述掩蔽體內(nèi)且能夠分別插入上述第一、第二容器中或從中拔出的筒狀的第一、第二遮蔽 部，在上述第一、第二容器中配置有熔融的低熔點金屬，當(dāng)上述第一容器在上述掩蔽體內(nèi)位 于下方時，上述第一遮蔽部從上述第一容器中拔出，上述第二遮蔽部插入上述第二容器中 并與上述低熔點金屬相接觸，成為上述第一狀態(tài)，當(dāng)上述第一容器在上述掩蔽體內(nèi)位于上 方時，上述第一遮蔽部插入上述第一容器中并與上述低熔點金屬相接觸，上述第二遮蔽部 從上述第二容器中拔出，成為上述第二狀態(tài)。本發(fā)明的開閉閥中，上述第二遮蔽部件設(shè)在上述第一容器上，插入到上述第二容 器中的管的上端的開口作為上述第二開閉口。本發(fā)明的開閉閥中，具有對上述低熔點金屬進行加熱的加熱機構(gòu)。本發(fā)明的開閉閥中，上述低熔點金屬是從銦、錫、或銦錫氧化物合金構(gòu)成的組中選擇出的至少一種以上的金屬。本發(fā)明如上所述地構(gòu)成，如果在第一、第二連接空間中形成有壓力差，則在使遮蔽 部件離開低熔點金屬的打開狀態(tài)下，氣體從第一、第二連接空間中高壓一側(cè)的空間向低壓 一側(cè)的空間供給。相反，在使遮蔽部件與低熔點金屬相接觸的狀態(tài)下，氣體的供給停止。這樣，本發(fā) 明的開閉閥配置在氣體的供給路徑的中途，用于該氣體的供給開始和供給停止的切換。高壓一側(cè)的空間例如是氣體發(fā)生裝置，儲氣瓶等高壓裝置的內(nèi)部空間，低壓一側(cè) 的空間是噴淋板、真空槽等低壓裝置的內(nèi)部空間。進行供給的開始和停止的切換的氣體是 蒸鍍材料的蒸氣、蝕刻氣體、CVD氣體、清潔氣體、濺射氣體等。另外，也可以用于將用于成膜等的真空槽作為高壓側(cè)空間，將真空排氣系統(tǒng)作為 低壓側(cè)空間，進行氣體的排氣開始和排氣停止的切換。如果第一、第二連接空間之間形成的壓力差過大，則在為打開狀態(tài)時，低熔點金屬 有可能被吹飛而從收容部件中溢出，所以必須要將該壓力差抑制在低熔點金屬不被吹飛的程度。由于遮蔽部件的下端與熔融的金屬無間隙地緊貼，所以和與固體相接觸的情況相 比，氣體的遮蔽性高。而且，即使重復(fù)地進行開閉閥的開閉，遮蔽部件的下端也不會磨損，開 閉閥的壽命長。而且，由于即使重復(fù)進行開閉也不會揚塵，所以灰塵不會混入穿過開閉閥 內(nèi)部的氣體中，即使是用于高溫的工藝，也不易發(fā)生密封部的破損，能夠供給壽命長的開閉閥。


圖1是表示采用了本發(fā)明的開閉閥的成膜裝置的一例的剖視圖。圖2是表示采用了本發(fā)明的開閉閥的成膜裝置的一例的示意俯視圖。圖3(a)是說明關(guān)閉狀態(tài)的剖視圖，圖3(b)是說明打開狀態(tài)的剖視圖。圖4是說明開閉閥的第二例的剖視圖。圖5是說明開閉閥的第三例的剖視圖。圖6是說明開閉閥的第四例的剖視圖。圖7(a)、圖7(b)是用于說明現(xiàn)有技術(shù)的開閉閥的剖視圖。圖8(a)、圖8(b)是用于說明本發(fā)明的其他例子的附圖。圖9是用于說明與冷卻裝置相連的本發(fā)明的例子的附圖(與冷卻槽隔斷)。圖10是用于說明與冷卻裝置相連的本發(fā)明的例子的附圖(與冷卻槽連接)。附圖標(biāo)記說明41 管，43、75、111、125 容器，48 加熱機構(gòu)，61 移動機構(gòu)，62 連接口，66 伸縮 部件，69 開閉口，70、70a、70b、100、110、120 開閉閥，71、101、111、121 收容部件，49、72、 98 遮蔽部件，46、76、96 低熔點金屬，77 開口，79、109、119、129 掩蔽體。
具體實施例方式本發(fā)明的開閉閥具有作為掩蔽體的框體，以及分別將框體的內(nèi)部與外部連通的 開閉口和連接口，進行氣體能夠穿過框體內(nèi)部在開閉口與連接口之間通行的連接狀態(tài)、和開閉口與連接口之間被遮蔽的遮蔽狀態(tài)的切換。掩蔽體氣密地構(gòu)成，能夠真空排氣。本發(fā)明的開閉閥具有配置在框體內(nèi)并能夠配置固體和液體的容器，以及配置在框 體內(nèi)的遮蔽部件。容器與遮蔽部件能夠相對移動地構(gòu)成，遮蔽部件構(gòu)成為能夠插入容器內(nèi)或從容器 內(nèi)拔出。開閉口被遮蔽部件或者容器的某一方包圍。能夠在容器中配置低熔點金屬，在將配置的低熔點金屬熔融而形成熔融金屬的情 況下，當(dāng)遮蔽部件插入容器內(nèi)時，遮蔽部件與熔融金屬接觸并浸潰在其中，接觸部分或浸漬 部分包圍開閉口而使開閉口封閉，當(dāng)從容器內(nèi)拔出遮蔽部件時，遮蔽部件與熔融金屬分離， 開閉口打開。將管氣密地插入框體中，使框體內(nèi)的管的前端朝向下方，將容器配置在開閉口的 下方。在框體上設(shè)有連接口，當(dāng)將框體內(nèi)的管的前端的開口作為開閉口時，管的前端與容器 內(nèi)的熔融金屬分離時開閉口與連接口是連接的，但如果使作為管在框體內(nèi)的前端的開閉口 的周圍的部分是環(huán)狀的遮蔽部件，則在使容器相對移動，遮蔽部件的整周與容器內(nèi)的熔融 金屬接觸并浸漬在其中時，管被封閉，開閉口與連接口隔斷。當(dāng)與此不同地將管氣密地插入框體中，使框體內(nèi)的管的前端朝向上方，預(yù)先由容 器包圍管的前端周圍時，則該管的前端部的開口成為開閉口。當(dāng)不使氣體通過地在成為蓋 的蓋部件的底面上氣密地形成作為環(huán)狀突起的筒狀的遮蔽部件時，包圍開閉口的容器內(nèi)的 熔融金屬與遮蔽部件在開閉口的外側(cè)、開閉口的整周接觸，遮蔽部件被浸漬時，開閉口被該 部件和遮蔽部件加蓋而封閉，當(dāng)預(yù)先在框體上設(shè)置連接口時，在加蓋的狀態(tài)下開閉口與連 接口被隔斷，遮蔽部件與熔融金屬分離而蓋打開時，則開閉口與連接口相連接。在本發(fā)明中，能夠設(shè)置使容器與遮蔽部件像上述那樣相對移動的移動裝置。可以 是遮蔽部件與容器的某一方或者雙方移動而進行開閉。圖2中的附圖標(biāo)記10是具有本發(fā)明的第一例的開閉閥70的成膜裝置的一例，圖 1相當(dāng)于圖2的A-A向剖視圖。開閉閥70具有低熔點金屬76，收容部件71，掩蔽體79，遮蔽部件72，以及伸縮部 件66。掩蔽體79配置成至少有一部分位于收容部件71的開口上方。在此，掩蔽體79為箱狀，在底面上形成有開口。收容部件71具有配置在掩蔽體 79的下方的支撐板64，立設(shè)在支撐板64的表面、且前端穿過掩蔽體79底面的開口而向掩 蔽體79內(nèi)部突出的支撐軸65，以及安裝在支撐軸65的前端的容器75。容器75是開口朝 向上方，低熔點金屬76配置在容器75的內(nèi)部。伸縮部件66是波紋管等筒狀部件，包圍支撐軸65的周圍，一端以氣密地包圍掩蔽 體79的開口的方式安裝在該開口的周圍，另一端安裝在支撐板64的表面。因此，伸縮部件66是一端與另一端分別氣密地與掩蔽體79和收容部件71相連， 由掩蔽體79的內(nèi)部空間，收容部件71的內(nèi)部空間，以及掩蔽體和收容部件71之間的空間 構(gòu)成的開閉閥70的內(nèi)部空間以密閉后述的連接配管78與遮蔽部件72的狀態(tài)與外部空間 (例如大氣氛圍)隔斷。在掩蔽體79和收容部件71的某一方或雙方上安裝有加熱機構(gòu)48。當(dāng)從電源47 向加熱機構(gòu)48通電，對掩蔽體79與收容部件71中安裝了加熱機構(gòu)48的部件進行加熱時， 其余的部件通過熱輻射而被加熱，其結(jié)果，掩蔽體79與收容部件71雙方被加熱機構(gòu)48加
7熱。低熔點金屬76配置在收容部件71內(nèi)部，當(dāng)收容部件71升溫時通過熱傳導(dǎo)及熱輻射被 加熱而熔融或者軟化。在掩蔽體79上形成有開口 77。遮蔽部件72為筒狀(管)，一端(上端)與掩蔽 體79的開口 77氣密地相連，以使氣體不在遮蔽部件72與掩蔽體79之間移動，另一端(下 端)面對配置在收容部件71中的低熔點金屬76的表面。在此，遮蔽部件72的一部分為了 使與外部裝置的連接容易而從掩蔽體79的開口 77向上方突出。構(gòu)成掩蔽體79的管的下端的開口成為開閉口 69，其周圍的管前端部分成為遮蔽 部件72，如后所述，開閉口 69進行開閉。收容部件71安裝在移動機構(gòu)61上。在此，收容部件71中支撐板64安裝在移動 機構(gòu)61上，當(dāng)通過移動機構(gòu)61使支撐板64升降時，支撐軸65和容器75升降。即收容部 件71整體升降。當(dāng)通過移動機構(gòu)61使收容部件71升降時，伸縮部件66伸縮，在將開閉閥70的內(nèi) 部空間與外部空間隔斷的狀態(tài)下，收容部件71與遮蔽部件72相對移動。當(dāng)將遮蔽部件72靠近收容部件71，使遮蔽部件72的下端與配置在收容部件71 中的低熔點金屬76的表面相接觸時，開閉閥70的內(nèi)部空間成為分離成位于遮蔽部件72的 外側(cè)的第一內(nèi)部空間73a與位于遮蔽部件72的內(nèi)側(cè)的第二內(nèi)部空間73b的關(guān)閉狀態(tài)(圖 3(a))。相反，當(dāng)將遮蔽部件72遠離收容部件71，使遮蔽部件72的下端離開低熔點金屬 76的表面時，第一、第二內(nèi)部空間73a、73b相互連接，成為開閉閥70的內(nèi)部空間為一體的打 開狀態(tài)(圖3(b))。移動機構(gòu)61的移動量設(shè)定成在關(guān)閉狀態(tài)時遮蔽部件72的下端不與配置了低熔點 金屬76的收容部件71的底面相接觸，而位于該底面與低熔點金屬76表面之間的位置。艮口， 遮蔽部件72浸漬在熔融的低熔點金屬76內(nèi)。即使重復(fù)開閉開閉閥70，由于遮蔽部件72的下端不與固體(底面)相接觸而不會 磨損，而且，其下端可靠地與低熔點金屬76表面緊貼。因此，在關(guān)閉狀態(tài)時，第一、第二內(nèi)部 空間73a、73b可靠地分離。在掩蔽體79上形成貫通孔，通過該貫通孔或者氣密地插在該貫通孔中的配管構(gòu) 成連接配管78。作為連接配管78的一端的開口面對第一內(nèi)部空間73a而成為連接口 62，另一端的 開口位于開閉閥70的外部。因此，連接配管78能夠?qū)⒌谝粌?nèi)部空間73a和開閉閥70的外 部空間連接在一起。而且，遮蔽部件72的上端氣密地導(dǎo)出到開閉閥70的外部。因此，遮蔽部件72將 第二內(nèi)部空間73b和開閉閥70的外部空間連接在一起。如果將連接配管78和遮蔽部件72的與開閉閥70的外部空間相連的端部分別氣 密地與外部裝置相連，則第一、第二內(nèi)部空間73a、73b分別與外部裝置的內(nèi)部空間相連。由 于在開閉閥70上除了遮蔽部件72和連接配管78之外沒有將內(nèi)部空間與外部空間連接在 一起的開口，所以在將開閉閥70與外部裝置相連的狀態(tài)下，開閉閥70的內(nèi)部空間是外部空 間與外部氛圍(例如大氣)隔斷。圖2的成膜裝置10 (蒸鍍裝置)具有放出裝置50，一個或兩個以上的蒸氣發(fā)生裝置(氣體發(fā)生裝置)20，以及蒸氣發(fā)生裝置20的數(shù)量以上的開閉閥70。在各蒸氣發(fā)生裝置20和放出裝置50之間分別配置有開閉閥70，第一、第二內(nèi)部空 間73a、73b中的某一方與蒸氣發(fā)生裝置20相連，另一方與放出裝置50相連。放出裝置50的至少一部分配置在由真空槽構(gòu)成的成膜槽11內(nèi)，在放出裝置50位 于成膜槽11內(nèi)的部分上形成有放出口 55，放出裝置50的內(nèi)部空間經(jīng)由放出口 55與成膜槽 11的內(nèi)部空間相連。蒸氣發(fā)生裝置20具有由真空槽構(gòu)成的加熱室29，配置在加熱室29內(nèi)部的載置 部件24，對加熱室29和載置部件24雙方進行加熱的加熱機構(gòu)48，以及將蒸鍍材料配置在 載置部件24上的供給機構(gòu)31。在加熱室29、成膜槽11、開閉閥70上連接有真空排氣系統(tǒng)9通過真空排氣系統(tǒng)9 對加熱室29內(nèi)的內(nèi)部空間、成膜槽11的內(nèi)部空間、開閉閥70的內(nèi)部空間進行真空排氣，形 成規(guī)定壓力(例如I(T5Pa)的真空氛圍。蒸鍍材料例如是有機EL元件的有機薄膜的材料。更具體地說，是含有電子移動材 料、發(fā)光材料、電荷移動材料等的有機材料。在此，在放出裝置50上也安裝有加熱機構(gòu)48。對加熱機構(gòu)48進行通電，對加熱 室29、載置部件24、放出裝置50、掩蔽體79、收容部件71、伸縮部件66進行加熱，并維持在 蒸鍍材料蒸發(fā)的蒸發(fā)溫度以上且蒸鍍材料的蒸氣分解的分解溫度以下的加熱溫度(例如 240°C以上且400°C以下)。低熔點金屬76的熔點為上述加熱溫度以下，當(dāng)收容部件71升溫到加熱溫度時成 為熔融狀態(tài)。當(dāng)一邊持續(xù)成膜槽11的真空排氣一邊停止加熱室29和開閉閥70的真空排氣，從 供給機構(gòu)31向成為加熱溫度的載置部件24供給蒸鍍材料時，產(chǎn)生蒸鍍材料的蒸氣。開閉閥70的內(nèi)部空間(此處為第一內(nèi)部空間73a)與加熱室29的內(nèi)部空間相連。如上所述，由于成膜槽11持續(xù)進行真空排氣，而加熱室29的真空排氣停止，并且 在加熱室29的內(nèi)部產(chǎn)生蒸氣，所以加熱室29的內(nèi)部空間的壓力高于成膜槽11的內(nèi)部壓 力，進而也高于與成膜槽11相連的放出裝置50的內(nèi)部壓力。當(dāng)使產(chǎn)生蒸氣的蒸氣發(fā)生裝置20和放出裝置50之間的開閉閥70為打開狀態(tài)，將 該蒸氣發(fā)生裝置20的加熱室29與放出裝置50相連時，蒸氣在壓力差的作用下從加熱室29 穿過開閉閥70而向放出裝置移動，從放出口 55放出到成膜槽11內(nèi)部。此時，如果使與產(chǎn)生蒸氣的蒸氣發(fā)生裝置20之外的其他的蒸氣發(fā)生裝置20和放 出裝置50之間的開閉閥70為關(guān)閉狀態(tài)，則蒸氣不向其他的蒸氣發(fā)生裝置20混入而向放出 裝置50移動。由于放出裝置50、收容部件71、伸縮部件66、掩蔽體79、低熔點金屬76、以及加熱 室29維持在上述加熱溫度，所以在加熱室29產(chǎn)生的蒸氣在從放出口 55放出之前不在所通 過的路徑的中途析出。在成膜槽11的內(nèi)部配置有基板保持器15。在基板保持器15上，面對放出口 55地 配置有基板81。從放出口 55放出的蒸氣到達基板81的表面，在基板81的表面上形成蒸鍍 材料的薄膜。另外，如果在基板保持器15上的基板81和放出裝置50之間設(shè)置遮擋來自放出裝置50的輻射熱的冷卻板67，則基板81不會受到熱損傷。在基板81上成膜出規(guī)定膜厚的薄膜后停止材料的供給，使產(chǎn)生了蒸氣的蒸氣發(fā) 生裝置20和放出裝置50之間的開閉閥70為關(guān)閉狀態(tài)。如果通過其他的蒸氣發(fā)生裝置20 產(chǎn)生新的蒸氣，使該蒸氣發(fā)生裝置20和放出裝置50之間的開閉閥70為打開狀態(tài)，則新產(chǎn) 生的蒸氣從放出口 55放出，在基板81的表面上形成新的蒸鍍材料的薄膜。以下，對本發(fā)明的第二例的開閉閥100進行說明(圖4)。第二例的開閉閥100的構(gòu)造除了多個開閉閥100共有掩蔽體109之外與上述第一 例的開閉閥70相同，對于相同的部件賦予相同的附圖標(biāo)記進行說明。第二例的開閉閥100中，掩蔽體109是固定的，收容部件71是移動的。掩蔽體109為箱狀，在底面形成有與收容部件71相同數(shù)量的開口。收容部件71 具有配置在掩蔽體109下方的支撐板64，立設(shè)在支撐板64的表面上、且其前端穿過掩蔽 體109底面的開口突出到掩蔽體109內(nèi)部的支撐軸65，以及安裝在支撐軸65的前端的容器 75。容器75是開口朝向上方，低熔點金屬76配置在容器75的內(nèi)部。伸縮部件66包圍支撐軸65的周圍，一端以包圍掩蔽體109的開口的方式氣密地 安裝在該開口周圍，另一端安裝在支撐板64的表面上，開閉閥70的內(nèi)部空間被密閉。支撐板64安裝在移動機構(gòu)61上，當(dāng)通過移動機構(gòu)61使支撐板64升降時，支撐軸 65和容器75升降。即，收容部件71整體升降。由于當(dāng)收容部件71升降時伸縮部件66伸 縮，所以維持在開閉閥100的內(nèi)部空間與外部空間隔斷的狀態(tài)。由于掩蔽體109是固定的，所以相對于外部裝置(例如蒸氣發(fā)生裝置20或放出裝 置50)是相對靜止的。由于連接配管78和遮蔽部件72也相對于外部裝置靜止，所以即使不設(shè)置特別的 部件，在使開閉閥100開閉時，負(fù)荷也不作用在連接配管78和外部裝置的連接部分以及遮 蔽部件72和外部裝置的連接部分上。在將第二例的開閉閥100取代第一例的開閉閥70安裝在成膜裝置10上的情況 下，將連接配管78與放出裝置50相連，將遮蔽部件72與蒸氣發(fā)生裝置20相連。在第二例 的開閉閥100中，由蒸氣發(fā)生裝置20產(chǎn)生的蒸氣穿過相同的掩蔽體109的內(nèi)部空間而向放 出裝置50移動。以上，對移動機構(gòu)61使收容部件71移動的情況進行了說明，但本發(fā)明并不僅限于 此。圖5、圖6中的附圖標(biāo)記110、120表示第三、第四例的開閉閥。第三例和第四例的不同之處在于，第三例中各開閉閥110分別具有收容部件(容 器)111，而第四例中多個開閉閥120共有一個收容部件121。低熔點金屬76可以直接配置在安裝伸縮部件116的收容部件111中，也可以在安 裝伸縮部件126的收容部件(箱體124)的內(nèi)部配置容器125后再配置在該容器125的內(nèi)部。在多個開閉閥120共有收容部件121的情況下，在收容部件121上形成有與開閉 閥120的數(shù)量相同的開口。伸縮部件116、126以一端包圍收容部件111、121的開口的方式氣密地安裝在該開 口的周圍，另一端被掩蔽體119、129封閉，開閉閥110、120的內(nèi)部空間被密閉。
收容部件111、121是固定的，相對于外部裝置靜止。而掩蔽體119、129安裝在移 動機構(gòu)上，當(dāng)通過移動機構(gòu)使掩蔽體119、129升降時，遮蔽部件72也一起升降。此時，由于伸縮部件116、126伸縮，維持在開閉閥110、120的內(nèi)部空間與外部空間 隔斷的狀態(tài)。由于在掩蔽體119、129移動的情況下，遮蔽部件72也一起移動，所以遮蔽部件72 經(jīng)由波紋管那樣的伸縮部件與外部裝置(放出裝置或蒸氣發(fā)生裝置等)相連，通過伸縮部 件吸收移動時產(chǎn)生的沖擊，防止外部裝置的損傷。在掩蔽體119、129是移動的，收容部件111、121是固定的情況下，如果將連接配管 78設(shè)在收容部件111、121上，則由于連接配管78相對于外部裝置靜止，所以無需在連接配 管78和外部裝置之間設(shè)置伸縮部件。即使在將連接配管78設(shè)在掩蔽體119、129上的情況下，如果連接配管78經(jīng)由伸 縮部件與外部裝置相連，則防止了外部裝置的損傷。以上對使掩蔽體79、109、119、129和收容部件71、101、111、121的某一方移動的情
況進行了說明，但本發(fā)明并不僅限于此，也可以使掩蔽體79和收容部件71雙方移動。在這 種情況下，如果將連接配管78和遮蔽部件72雙方經(jīng)由伸縮部件與外部裝置相連，則防止了 外部裝置的損傷。雖然對遮蔽部件72的形狀沒有特別的限制，但如果使構(gòu)成遮蔽部件72的筒的壁 的下端為前部尖細(xì)，則由于遮蔽部件72的下端與低熔點金屬76表面的接觸面積減小，在使 開閉閥70為關(guān)閉狀態(tài)時低熔點金屬76不會飛散。遮蔽部件72并不僅限于筒狀，只要是能夠?qū)㈤_閉閥70的內(nèi)部空間分離即可，可以 是板狀、球狀等形狀。另外，也可以如圖3 (a)、圖3 (b)所示，在收容部件71的配置低熔點金屬76的底面 (此處為容器75的底面)配置突出部74，在容器75的內(nèi)壁面與突出部74的側(cè)面之間的環(huán) 狀空間中配置低熔點金屬76，使低熔點金屬76為環(huán)狀。在這種情況下，使遮蔽部件72下端的外周和內(nèi)周分別小于容器75的開口，并且大 于突出部74的前端，使其外周和內(nèi)周位于容器75的開口的緣部與突出部74的前端外周之 間的區(qū)域的正上方。由于遮蔽部件72的下端是全周面對環(huán)狀的低熔點金屬76的表面，在關(guān)閉狀態(tài)下， 下端全周緊貼在低熔點金屬76的表面。配置突出部74并使低熔點金屬76為環(huán)狀能夠使 低熔點金屬76的必要量減少，而且低熔點金屬76的加熱效率也高。在以上的說明中，雖然開閉口 69配置在管的下端，但也可以如圖8(a)、圖8(b)所 示，由插入容器43的底面的管41的上端的開口構(gòu)成，使由設(shè)在蓋部40的底面上的筒狀的 突起構(gòu)成的遮蔽部件49上下來開閉全周被容器43包圍的開閉口 69。對其開閉閥70a進行說明，參照圖8 (a)、圖8 (b)，開閉閥70a在作為框體的掩蔽體 79內(nèi)配置有容器主體45。管41以對與密封容器主體45的底面之間進行液密封的方式從 容器主體45的底面下方一側(cè)插入在容器主體45中，管41突出到容器主體45的底面上。管41的外周與容器主體45的內(nèi)周面之間是分離的，因此，管41的容器主體45的 底面上的部分被由容器主體45的內(nèi)周面和底面以及管41的外周面構(gòu)成的環(huán)狀的容器43 包圍。
在該環(huán)狀的容器43內(nèi)配置有低熔點金屬46，低熔點金屬46被配置在掩蔽體79的 外部的加熱器48加熱到熔點以上的溫度而熔融。在容器43的上部配置有蓋部40。蓋部40的底面面向容器43，在底面上形成有由環(huán)形的突出物構(gòu)成的筒狀的遮蔽 部件49。蓋部40與遮蔽部件49不透氣地相互氣密連接。 在蓋部40上連接有移動軸42，移動軸42氣密地導(dǎo)出到掩蔽體79的外部而與馬達 44相連。當(dāng)使馬達44動作時，經(jīng)由移動軸42使蓋部40和遮蔽部件49上下移動。在掩蔽體79上設(shè)有與蒸氣發(fā)生裝置20和放出裝置50中的某一方相連的連接口 62。管41的下端部從掩蔽體79的壁面氣密地導(dǎo)出到外部，構(gòu)成容器43的部分的上端置于 開閉口 69中，與蒸氣發(fā)生裝置20和放出裝置50中未與連接口 62相連的一方相連。在遮蔽部件49和蓋部40離開容器43及熔融的低熔點金屬46時，在掩蔽體79的 內(nèi)部，連接口 62與開閉口 69相連，因此蒸氣發(fā)生裝置20和放出裝置50相連。當(dāng)蓋部40下降，遮蔽部件49遍及開閉口 69周圍的全周與熔融的低熔點金屬46相 接觸并浸漬在其中時，開閉口 69被蓋部40和遮蔽部件49加蓋，連接口 62與開閉口 69被 隔斷。即使不是蓋部40而是環(huán)形的容器43與管41移動也是同樣，掩蔽體49不與容器 主體45的底面相接觸。另外，在本發(fā)明中，對低熔點金屬46并沒有特別的限制，但使用熔點低于移動的 氣體(例如蒸鍍材料的蒸氣)的分解溫度的低熔點金屬46。如果將低熔點金屬46加熱到 小于分解溫度使其熔融，則即使氣體與低熔點金屬46相接觸也不分解。以下，對本發(fā)明的其他例子進行說明。圖9、圖10中的附圖標(biāo)記70b表示本發(fā)明的其他開閉閥。在掩蔽體79的內(nèi)部配置有第一容器75。在第一容器75的上方，當(dāng)管氣密地插入掩蔽體79的上方，將該管的下端作為第一 遮蔽部件72時，第一遮蔽部件72配置在第一容器75的上方。第一容器75經(jīng)由支撐軸65氣密地安裝在馬達等移動機構(gòu)61上，并構(gòu)成為能夠相 對于第一遮蔽部件72升降移動。在第一容器45內(nèi)配置有低熔點金屬76，低熔點金屬76是熔融的，在第一遮蔽部 件72與熔融的低熔點金屬76分離而成為非接觸狀態(tài)下，設(shè)在掩蔽體79上的連接口 62與 被遮蔽部件7包圍的第一開閉口 69之間如圖9所示地連通。如圖10所示，在第一遮蔽部件72與第一容器75內(nèi)的熔融的低熔點金屬76相接 觸并浸漬在低熔點金屬76內(nèi)的情況下，連接口 62與第一開閉口 69之間是隔斷的。在第一容器75的下方配置有容器主體95。容器主體95與圖8 (a)、圖8 (b)所示 的開閉閥70同樣地底面連接有管91，構(gòu)成環(huán)狀的第二容器93。當(dāng)將插入到底面的管91的上端的開口作為第二開閉口 63時，第二開閉口 63被第 二容器93包圍。在第一容器75的朝向底面豎直下方的背面，氣密地形成有由環(huán)狀的突起構(gòu)成的 筒狀的第二遮蔽部件98。第二遮蔽部件98位于第二容器93的上方，構(gòu)成為通過第一容器75的升降，第二遮蔽部件98插入第二容器93內(nèi)或從中拔出。在第二容器93的內(nèi)部也配置有與第一容器75內(nèi)的低熔點金屬76相同組成的低 熔點金屬96，并且升溫而熔融。當(dāng)?shù)诙诒尾考?8插入第二容器93內(nèi)，第二遮蔽部件98與低熔點金屬96相接 觸并浸漬在其內(nèi)部時，第一容器75成為蓋部，第二開閉口 63被蓋部和第二遮蔽部件98封 閉。此時，第一開閉口 69打開，第一開閉口 69與連接口 62相連。在第一容器75上升，第一開閉口 69封閉的狀態(tài)下，第二遮蔽部件98從第二容器 93內(nèi)拔出，第二遮蔽部件98與低熔點金屬96分離而成為非接觸狀態(tài)，第二開閉口 63打開。 此時，第一開閉口 69被封閉，第二開閉口 63與連接口 62相連。一端置于第二開閉口 63中的管91的另一端與冷卻槽92相連。冷卻槽92被設(shè)在 外周的冷卻裝置97冷卻。當(dāng)連接口 62與蒸氣發(fā)生裝置20相連，第一開閉口 69與放出裝 置50相連，封閉第一開閉口 69，打開第二開閉口 63時，蒸氣發(fā)生裝置20與冷卻槽92相連， 由蒸氣發(fā)生裝置20生成的有機化合物的蒸氣被導(dǎo)入冷卻槽92而被冷卻裝置97冷卻，并在 冷卻槽92的壁面上析出。在除去蒸氣發(fā)生裝置20內(nèi)的殘留蒸氣時，通過與冷卻槽92相連 而能夠使殘留蒸氣析出并除去。而且，在氣體有可能如蒸鍍材料的蒸氣那樣析出的情況下，當(dāng)?shù)腿埸c金屬76小于 氣體的析出溫度時，氣體在低熔點金屬76的表面析出。在這種情況下，作為低熔點金屬76 使用熔點低于氣體的析出溫度的金屬，將低熔點金屬76加熱到超過析出溫度的溫度而使 其熔融。例如，在蒸鍍材料為有機EL元件用的有機材料的情況下，作為低熔點金屬76使用 In (熔點為156°C )、Sn(熔點為232°C )、InSn合金構(gòu)成在組中選擇出的至少一種以上的金 屬，低熔點金屬76被加熱到240°C以上且400°C以下而熔融。如果收容部件71或容器75、93與遮蔽部件72、98是由不銹鋼等在上述加熱溫度 下不熔融的耐熱材料構(gòu)成，則在使低熔點金屬76、96熔融時既不變形也不熔融。對開閉閥70、70a、70b的設(shè)置場所沒有特別限定，既可以將開閉閥70、70a、70b配 置在成膜槽11的內(nèi)部，也可以配置在與成膜槽11不同的真空槽內(nèi)。
權(quán)利要求
一種開閉閥，對第一、第二連接空間之間的連接與隔斷進行切換，其特征在于，上述開閉閥包括低熔點金屬，收容上述低熔點金屬的容器，下端能夠與上述低熔點金屬相接觸的遮蔽部件，以及使配置在上述容器中的上述低熔點金屬和上述遮蔽部件相對移動的移動機構(gòu)，當(dāng)在將上述低熔點金屬熔融后的狀態(tài)下使上述遮蔽部件的下端與上述低熔點金屬的表面相接觸時，上述第一、第二連接空間被隔斷，當(dāng)使上述遮蔽部件的下端從上述低熔點金屬的表面離開時，上述第一、第二連接空間連接在一起。
2.如權(quán)利要求1所述的開閉閥，其特征在于， 上述遮蔽部件為筒狀，上述遮蔽部件的下端由筒的下端構(gòu)成，上述第一連接空間與上述遮蔽部件的內(nèi)部空間相連。
3.如權(quán)利要求1所述的開閉閥，其特征在于， 具有收容上述容器的掩蔽體，上述掩蔽體具有開口，上述遮蔽部件貫通在上述開口中，并設(shè)置成上述遮蔽部件的外 周與上述開口之間為氣密封，上述遮蔽部件的上端開口在上述掩蔽體的外部，上述遮蔽部件的下端開口在上述掩蔽 體的內(nèi)部，上述移動機構(gòu)使上述容器相對于上述遮蔽部件移動，當(dāng)上述移動機構(gòu)使上述容器上升時，上述遮蔽部件的下端與上述容器內(nèi)的低熔點金屬 相接而隔斷上述掩蔽體內(nèi)部與上述遮蔽部件的內(nèi)部，當(dāng)上述移動機構(gòu)使上述容器下降時，上述遮蔽部件的下端離開上述容器內(nèi)的上述低熔 點金屬，將上述掩蔽體內(nèi)部與上述遮蔽部件的內(nèi)部連接在一起。
4.如權(quán)利要求3所述的開閉閥，其特征在于， 上述移動機構(gòu)配置在上述掩蔽體的外部，具有配置在上述移動機構(gòu)與上述容器之間并隔斷上述掩蔽體的內(nèi)部空間與外部空間 的伸縮部件，上述容器與上述移動機構(gòu)在上述伸縮部件的內(nèi)部空間內(nèi)相聯(lián)， 當(dāng)上述移動機構(gòu)使上述容器移動時，上述伸縮部件伸縮，在隔斷了上述掩蔽體的內(nèi)部 與外部空間的狀態(tài)下，上述容器移動。
5.如權(quán)利要求2至4中任一項所述的開閉閥，其特征在于，具有與上述開閉閥的內(nèi)部空間中上述遮蔽部件的外部空間相連的連接部， 上述第二連接空間與上述連接部相連。
6.如權(quán)利要求5所述的開閉閥，其特征在于， 上述連接部相對于上述遮蔽部件靜止。
7.如權(quán)利要求6所述的開閉閥，其特征在于， 上述掩蔽體是固定的，上述容器安裝在上述移動機構(gòu)上， 上述連接部安裝在上述掩蔽體上。
8.如權(quán)利要求1所述的開閉閥，其特征在于，具有前端被上述容器包圍的管以及蓋部，在上述蓋部的底面形成有由從上述蓋部底面突出地形成的環(huán)狀的突起構(gòu)成的筒狀的 上述遮蔽部件，在上述管的外周，當(dāng)上述遮蔽部件與配置在上述容器內(nèi)的熔融的上述低熔點金屬相接 觸時，上述開閉口被上述遮蔽部件和上述蓋部封閉，作為上述管的外側(cè)的上述第一連接空 間與作為上述管的內(nèi)側(cè)的上述第二連接空間被隔斷。
9.如權(quán)利要求8所述的開閉閥，其特征在于，具有使上述遮蔽部件和上述容器相對移 動的移動裝置。
10.一種開閉閥，具有掩蔽體，分別使上述掩蔽體的內(nèi)部與外部連通的連接口，以及第 一、第二開閉口，能夠切換成上述第二開閉口被封閉并且氣體能夠穿過上述掩蔽體的內(nèi)部 在上述第一開閉口與上述連接口之間通行的第一狀態(tài)，以及上述第一開閉口被封閉并且氣 體能夠穿過上述掩蔽體的內(nèi)部在上述第二開閉口與上述連接口之間通行的第二狀態(tài)，其特 征在于，具有配置在上述掩蔽體內(nèi)且能夠分別配置氣體和液體的第一、第二容器，以及配置在 上述掩蔽體內(nèi)且能夠分別插入上述第一、第二容器中或從中拔出的筒狀的第一、第二遮蔽 部，在上述第一、第二容器中配置有熔融的低熔點金屬，當(dāng)上述第一容器在上述掩蔽體內(nèi)位于下方時，上述第一遮蔽部從上述第一容器中拔 出，上述第二遮蔽部插入上述第二容器中并與上述低熔點金屬相接觸，成為上述第一狀態(tài)，當(dāng)上述第一容器在上述掩蔽體內(nèi)位于上方時，上述第一遮蔽部插入上述第一容器中并 與上述低熔點金屬相接觸，上述第二遮蔽部從上述第二容器中拔出，成為上述第二狀態(tài)。
11.如權(quán)利要求10所述的開閉閥，其特征在于，上述第二遮蔽部件設(shè)在上述第一容器上，插入到上述第二容器中的管的上端的開口作為上述第二開閉口。
12.如權(quán)利要求1至11中任一項所述的開閉閥，其特征在于，具有對上述低熔點金屬進 行加熱的加熱機構(gòu)。
13.如權(quán)利要求1至12中任一項所述的開閉閥，其特征在于，上述低熔點金屬是從銦、 錫、或銦錫氧化物合金構(gòu)成的組中選擇出的至少一種以上的金屬。
全文摘要
本發(fā)明提供一種壽命長的開閉閥。本發(fā)明的開閉閥(70)具有低熔點金屬(76)，當(dāng)在使低熔點金屬(76)熔融的狀態(tài)下使遮蔽部件(72)與該低熔點金屬(76)的表面相接觸時，則成為開閉閥(70)的內(nèi)部空間分離成遮蔽部件(72)的內(nèi)部空間與外部空間的關(guān)閉狀態(tài)。如果分別預(yù)先連接開閉閥(70)的內(nèi)部空間中的遮蔽部件(72)的內(nèi)部空間與外部空間，則在關(guān)閉狀態(tài)時外部裝置彼此被隔斷。在使遮蔽部件(72)的下端從低熔點金屬(76)的表面離開的打開狀態(tài)下，外部裝置彼此連接在一起。
文檔編號F16K1/00GK101960190SQ20098010639
公開日2011年1月26日 申請日期2009年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月26日
發(fā)明者根岸敏夫, 越田達彥 申請人:株式會社愛發(fā)科