專利名稱：連續(xù)式抽真空設備的真空閥的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種抽真空設備的真空閥，尤其涉及一種連續(xù)式抽真空設 備的真空閥。
背景技術：
2007年8月29日公開的授權公告號為CN200940713和名稱為雙通高 真空閥門裝置的實用新型，公開了一種雙通高真空閥門裝置，由工作室、閥體、 氣缸組成，該閥體下面連接真空裝置，其特征在于，所述閥體上面裝有兩個氣 缸，該闊體一側連接第一個工作室，閥體另一側連接第二個工作室，第一個閥 蓋通過支桿連接第一個氣缸的活塞，第二個閥蓋通過支桿連接第二個氣缸的活 塞，兩個閥蓋都是設置在閥體內。由于采用了上述結構，該實用新型提高了真 空裝置的利用率，減低了產(chǎn)品生產(chǎn)的能耗。如圖1所示，它是該實用新型雙通高真空閥門裝置的剖視圖。該雙通高真 空閥門裝置，在閥體05上面裝有氣缸01、 02，其中氣缸01是通過螺紋014 固定在閥體05上面，氣缸02是通過螺紋024固定在閥體05上面，在閥體05 下面連接真空裝置06，該閥體05—側通過螺紋連接工作室03，另一側通過螺 紋連接工作室04，其中在閥體05與工作室03、 04的連接處都設有密封圈09， 以提高閥體05與工作室03、 04連接處的密封度。支桿012通過鉸鏈013分別 連接活塞Oll、閥蓋07，支桿022通過鉸鏈023分別連接活塞021、閥蓋08， 其中閥蓋07、 08是設置在閥體05內，在活塞011的帶動下，閥蓋07可在閥 體05內上下移動，同理，在活塞021.的帶動下，閥蓋08可在閥體05內上下 移動。鉸鏈013、 023的作用在于使移動過程中的閥蓋07、 08能夠自動調整平 穩(wěn)，使它與閥體05接觸后密封性能更好。骨架膠封015用于密封氣缸01的支 桿012，骨架膠封025用于密封氣缸02的支桿022。如圖2所示，它是閥體的剖視圖。閥體05—側連接一個工作室03，其另 一側連接工作室04,參見圖1所示。3該實用新型使用時，當氣缸01丄作，活塞011將會帶動閥蓋07移動，從 而可使閥蓋07與閥體05接觸并密封，由于閥蓋07下方設有密封圈09，因此 閥蓋07與閥休05密封效果好，此時工作室03、閥休05、氣缸01就形成了一 個密封環(huán)境，工作室04將處于抽真空狀態(tài)，真空裝置06與之配合工作，其中 真空裝置06是由真空泵061、 062、加熱器063、冷阱064、真空閥065組成； 同理，當氣缸02工作，活塞021將會帶動閥蓋08移動，從而可使閥蓋08與 閥體05接觸并密封，由于閥蓋08下方設有密封圈09，因此閥蓋08與閥體05 密封效果好，此時工作室04、閥體05、氣缸02就形成了一個密封環(huán)境，工作 室03將處于抽真空狀態(tài)，真空裝置06與之配合工作，同理，也可以實現(xiàn)工作 室03、 04同時處于抽真空狀態(tài)，此時，只要使工作室03、 04都處于打開狀態(tài) 即可。由于該實用新型采用了上述結構，因此該技術方案在任何時候都可以保 證會有工作室處于工作狀態(tài)，因此確保了真空裝置06的工作效率，提高了真 空裝置06的利用率，減低了產(chǎn)品的能耗，實現(xiàn)了該實用新型的冃的。雖然，該實用新型在一定程度上提高了真空裝置的利用率，減低了產(chǎn)品的 能耗；但是，該實用新型的適用范圍有限， 一般用于高真空工作環(huán)境下，并且 其體積相對來說較為龐大。實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種可以靈活適用高、低真空要求并 且體積較小的連續(xù)式抽真空設備的真空閥。為解決上述技術問題，本實用新型采用以下技術方案-連續(xù)式抽真空設備的真空閥，包括閥體、第一氣缸和第二氣缸，所述第一 氣缸和第二氣缸上分別設置有第一氣壓入口的開口和關口以及第二氣壓入口的開口和關口；所述閥體分為兩個腔室，其內設置有分別以第一閥桿推動其伸縮的第一波紋管和第二閥桿推動其伸縮的第二波紋管；第一活塞和第二活塞分 別連接在所述第一閥桿和第二閥桿的一端；該閥體還分別與高真空接頭和低真 空接頭連通；所述閥體還與至少一個氣體接頭連通。所述閥體上設有冷卻水通道，所述冷卻水通道包括冷卻水入口和冷卻水出□。在本實用新型中，所述第一氣缸和第二氣缸以及所述閥體的兩個腔室之間 的連接處分別設置有密封圈。作為本實用新型的一種優(yōu)選技術方案，所述氣體接頭為至少為兩個，分別 為通過控制閥連接封入工件氣體的封入接頭和抽真空接頭。所述氣體接頭還可以包括清洗工件內部雜質氣體的清洗接頭和氣體壓力測 試儀器的壓力顯示儀接入頭。作為上述實用新型的優(yōu)選技術方案的改進，前述各個氣體接頭內分別設有 工件插入口。本實用新型具有以下優(yōu)點本實用新型不但可以提高抽真空的效率和解決 真空度不足的問題，而且體積小巧。充分簡化和整合現(xiàn)有抽真空技術設施，達 到真空度可以根據(jù)使用要求靈活控制，并可以用于產(chǎn)品容腔內雜質的清潔等。


以下結合附圖及具體實施方式
，對本實用新型作進一步說明。 圖1是現(xiàn)有技術中雙通高真空閥門裝置的剖視圖； 圖2是圖1中閥體的剖視圖； 圖3是本實用新型主視圖 圖4是本實用新型左視圖 圖5是本實用新型后視圖 圖6是本實用新型右視圖 圖7是圖3剖視圖；圖8是圖4的剖視圖，其中不包括與其聯(lián)接的氣缸和高低真空接頭。 附圖標識1、閥體 2、第一氣缸 3、第二氣缸4、高真空接頭 5、低真空接頭12、清洗接頭 13、壓力顯示儀接入頭15、第一波紋管 16、第二波紋管22、第一氣壓入口的開口 23、 31、第二閥桿32、第二氣壓入口的開口 111、工件插入口 211、第一活塞6、冷卻水通道 61、冷卻水入口具體實施方式
如圖1至5所示，連續(xù)式抽真空設備的真空閥，包括閥體l、第一氣缸2 和第二氣缸3。參見圖6至圖8，所述第一氣缸2和第二氣缸3上分別設置有第一氣壓入11、封入接頭 14、抽真空接頭 21、第一閥桿 第一氣壓入口的關口 33第二氣壓入口的關口、 311、第二活塞 62、 冷卻水出口口的開口 22和關口 23以及第二氣壓入口的開口 32和關口 33;所述閥體1分 為兩個腔室，其內設置有分別以第一閥桿21推動其伸縮的第一波紋管15和第 二閥桿31推動其伸縮的第二波紋管16;第一活塞211和第二活塞311分別連 接在所述第一閥桿21和第二閥桿31的一端；該閥體1還分別與高真空接頭4 和低真空接頭5連通；該高真空接頭4和低真空接頭5分別用來與高真空泵和 低真空泵連接。所述閥體1上設有冷卻水通道6，所述冷卻水通道6包括冷卻 水入口 61和冷卻水出口 62;通過該冷卻水通道6可以對閥體進行冷卻。所述第一氣缸2和第二氣缸3以及所述閥體1的兩個腔室之間的連接處分 別設置有密封圈。如圖4、圖6和圖8所示，所述閥體1上設有四個氣體接頭，分別為通過 控制閥連接封入工件氣體的封入接頭11、清洗工件內部雜質氣體的清洗接頭 12、氣體壓力測試儀器的壓力顯示儀接入頭13和抽真空接頭14;所述四個氣 體接頭內分別設有工件插入口 111。至少有兩個即為通過控制閥連接封入工件氣體的封入接頭11和抽真空接 頭14時，就可達到本實用新型的技術效果。設有四個氣體接頭，是為了更加 優(yōu)化本實用新型的技術方案。封入接頭11、清洗接頭12、壓力顯示儀接入頭13和抽真空接頭14以及 第一氣缸2和第二氣缸3交替切換，達到抽真空、清洗工件內部和工件內封入 氣體的工作要求。
權利要求1、一種連續(xù)式抽真空設備的真空閥，包括閥體(1)、第一氣缸(2)和第二氣缸(3)，所述第一氣缸(2)和第二氣缸(3)上分別設置有第一氣壓入口的開口(22)和關口(23)以及第二氣壓入口的開口(32)和關口(33)；其特征在于所述閥體(1)分為兩個腔室，其內設置有分別以第一閥桿(21)推動其伸縮的第一波紋管(15)和第二閥桿(31)推動其伸縮的第二波紋管(16)；第一活塞(211)和第二活塞(311)分別連接在所述第一閥桿(21)和第二閥桿(31)的一端；該閥體(1)還分別與高真空接頭(4)和低真空接頭(5)連通；所述閥體(1)還與至少一個氣體接頭連通。
2、 根據(jù)權利要求l所述的連續(xù)式抽真空設備的真空閥，其特征在于，所述 閥體(1)上設有冷卻水通道(6)，所述冷卻水通道(6)包括冷卻水入口 (61) 和冷卻水出口 (62)。
3、 根據(jù)權利要求1或2所述的連續(xù)式抽真空設備的真空閥，其特征在于， 所述第一氣缸(2)和第二氣缸(3)以及所述閥體(1)的兩個腔室之間的連 接處分別設置有密封圈。
4、 根據(jù)權利要求1或2所述的連續(xù)式抽真空設備的真空閥，其特征在于， 所述氣體接頭為至少為兩個，分別為通過控制閥連接封入工件氣體的封入接頭(11)和抽真空接頭(14)。
5、 根據(jù)權利要求3所述的連續(xù)式抽真空設備的真空閥，其特征在于，所述 氣體接頭為至少為兩個，分別為通過控制閥連接封入工件氣體的封入接頭(ll) 和抽真空接頭(14)。
6、 根據(jù)權利要求3所述的連續(xù)式抽真空設備的真空閥，其特征在于，所述 氣體接頭還可以包括清洗工件內部雜質氣體的清洗接頭(12)和氣體壓力測試 儀器的壓力顯示儀接入頭(13)。
7、 根據(jù)權利要求4所述的連續(xù)式抽真空設備的真空閥，其特征在于，所述 至少兩個氣體接頭內分別設有工件插入口 (111)。
8、 根據(jù)權利要求5所述的連續(xù)式抽真空設備的真空閥，其特征在于，所述 至少兩個氣體接頭內分別設有工件插入口 (111)。
9、 根據(jù)權利要求6所述的連續(xù)式抽真空設備的真空閥，其特征在于，所述 清洗接頭(12)及壓力顯示儀接入頭(13)內分別設有工件插入口 (111)。
專利摘要本實用新型涉及一種抽真空設備的真空閥，尤其涉及一種連續(xù)式抽真空設備的真空閥。其技術方案為該真空閥包括閥體、第一氣缸和第二氣缸，第一氣缸和第二氣缸上分別設置有第一氣壓入口的開口和關口以及第二氣壓入口的開口和關口；閥體分為兩個腔室，其內設置有分別以第一閥桿推動其伸縮的第一波紋管和第二閥桿推動其伸縮的第二波紋管；第一活塞和第二活塞分別連接在所述第一閥桿和第二閥桿的一端；閥體還分別與高真空接頭和低真空接頭連通；閥體還與至少一個氣體接頭連通。本實用新型可以提高抽真空的效率和解決真空度不足的問題，體積小巧。充分簡化和整合現(xiàn)有抽真空技術設施，達到真空度可以根據(jù)使用要求靈活控制，并可以用于產(chǎn)品容腔內雜質的清潔等。
文檔編號F16K11/22GK201344287SQ20082014032
公開日2009年11月11日 申請日期2008年10月20日 優(yōu)先權日2008年10月20日
發(fā)明者溫晉軒 申請人:溫晉軒