一種可測壓比的嵌入式分子泵的制作方法
【專利摘要】一種可測壓比的嵌入式分子泵，包括殼體、轉子，在殼體的頂部設置有端面法蘭，在殼體和轉子之間設置第一級分子泵，第一級分子泵頂部連接盤狀第三級分子泵，在第三級分子泵的裝配槽內安裝第二級分子泵，端面法蘭和第三級分子泵連接。在殼體的下部外側設置有入口測壓裝置，在端面法蘭的頂端分別連接有第一級分子泵出口測壓裝置、第二級出口測壓裝置和第三級出口測壓裝置。本實用新型結構簡單，易于加工和裝配，保證了第三級分子泵出口處測壓的可行性，解決了連續(xù)引壓的難題，并且避免了引壓過程中的斷裂、漏氣、堵塞等風險，同時解決了引壓管由機器內部穿出而無法密封的問題，也保證了在正常工作時其安全保護裝置能夠正常工作不受影響。
【專利說明】-種可測壓比的嵌入式分子泵

【技術領域】
[0001] 本實用新型屬于一種分子泵，具體涉及一種可測壓比的嵌入式分子泵。

【背景技術】
[0002] 牽引分子泵是依靠氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，從而將氣體分 子驅送到泵的出口。
[0003] 牽引式分子泵進出口壓力的變化情況及壓縮比(進出口壓力的比值）能夠直觀地 反應出該裝置的工作狀態(tài)和抽氣性能，因此各級分子泵進出口壓力的實時測量在該裝置的 研制過程中具有十分重要的意義。目前通用的分子泵設備僅能與裝置串聯(lián)后對其進行抽 空，但其抽空效果較差，尤其是在某種轉動部件需要高速旋轉進而要求其周圍壓力極低的 狀態(tài)下時根本無法滿足抽空要求，以致電機功率無法進一步降低。因此需要設計一套既可 以測量具有特殊要求的分子泵例如嵌入裝置內部的牽引式分子泵中各級分子泵進出口壓 力，又不破壞裝置本身結構的分子泵。


【發(fā)明內容】

[0004] 本實用新型是為了克服現有技術存在的缺陷而提出的，其目的是提供一種可測壓 比的嵌入式分子泵。
[0005] 本實用新型的技術方案是：一種可測壓比的嵌入式分子泵，包括殼體，在殼體內安 裝有轉子，在殼體的頂部設置有端面法蘭，在殼體和轉子之間設置有第一級分子泵，第一級 分子泵頂部過盈連接盤狀第三級分子泵，在第三級分子泵的裝配槽中過盈連接第二級分子 泵，端面法蘭和第三級分子泵螺釘連接，在殼體的下部外側設置有入口測壓裝置，在端面法 蘭的頂端分別連接有第一級分子泵出口測壓裝置、第二級出口測壓裝置和第三級出口測壓 裝直。
[0006] 在所述的端面法蘭上沿圓周形成均布的第一級測壓連接孔、第二級測壓連接孔和 第三級測壓連接孔，在上述連接孔的兩側形成螺孔。
[0007] 所述的第一級分子泵為圓筒形，在圓形內壁形成螺旋導氣槽，且呈右旋狀態(tài)，螺旋 導氣槽截面呈"U"型槽，在第一級分子泵的頂端一側形成異徑孔狀的第一級引壓孔。
[0008] 所述的第二級分子泵為圓盤形，在其下端面形成多個沿圓周均布的槽壁和抽氣 槽、并相間分布，在其圓周的外側形成三個均布的第二級外圓豁口，在其圓周的內側形成第 二級內圓豁口。
[0009] 所述的第三級分子泵為厚壁圓筒形，在其下部形成圓環(huán)形的裝配槽，在其中間形 成中心通孔，在中心通孔的內壁形成螺旋導氣槽，且呈右旋狀態(tài)，螺旋導氣槽截面呈"U"型 槽，其下端面形成多個沿圓周均布的槽壁和抽氣槽、并相間分布，在裝配槽內沿圓周形成均 布的三個通孔。
[0010] 第二級分子泵上的槽壁和第三級分子泵上的槽壁呈連續(xù)的放射狀弧線、并互相對 齊；第二級分子泵上的抽氣槽和第三級分子泵上的抽氣槽的槽型均為變寬度的矩形槽、呈 連續(xù)的放射狀弧線、并互相對齊。
[0011] 所述的第一級分子泵出口測壓裝置、第二級出口測壓裝置和第三級出口測壓裝置 結構相同，均由固定法蘭、連接管和真空計底座組成。
[0012] 本實用新型結構簡單，易于加工和裝配，圓柱臺的設計與使用保證了第三級分子 泵出口處測壓的可行性，連接法蘭的運用，解決了無法連續(xù)引壓的難題，并且避免了引壓過 程中的斷裂、漏氣、堵塞等風險，端面法蘭用測壓組件的使用，解決了引壓管由機器內部穿 出而無法密封的問題，端面法蘭上的引壓位置以及測速線圈連接頭位置的合理布局保證了 離心機的正常裝配，同時也保證了在正常工作時其安全保護裝置能夠正常工作不受影響。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013] 圖1是本實用新型的主視圖(沿圖2中A-A線剖面）；
[0014] 圖2是本實用新型的俯視圖；
[0015] 圖3是本實用新型的未安裝轉子時的仰視圖；
[0016] 圖4是圖2中沿B-B線的剖面的圖；
[0017] 圖5是本實用新型的端面法蘭的俯視圖；
[0018] 圖6是第一級分子泵的示意圖；
[0019] 圖7是第二級分子泵的仰視圖；
[0020] 圖8是第三級分子泵的俯視圖；
[0021] 圖9是第三級分子泵的主視圖(沿圖8中C-C線剖面）；
[0022] 圖10是第三級分子泵的仰視圖；
[0023] 圖11是圖6、圖9中沿D-D線的剖面；
[0024] 圖12是圖7、圖10中沿E-E線的剖面；
[0025] 圖13是連接法蘭安裝位置示意圖；
[0026] 圖14是帶引壓管的連接法蘭示意圖；
[0027] 圖15是連接法蘭結構示意圖；
[0028] 圖16是測壓組件安裝示意圖；
[0029] 圖17是測壓組件結構示意圖。
[0030] 其中：
[0031] 1殼體 2轉子
[0032] 3端面法蘭 4第一級分子泵
[0033] 5第二級分子泵 6第三級分子泵
[0034] 7入口測壓裝置 8第一級出口測壓裝置
[0035] 9第二級出口測壓裝置10第三級出口測壓裝置
[0036] 11第一級測壓連接孔 12第二級測壓連接孔
[0037] 13第三級測壓連接孔 14螺孔
[0038] 15第一級引壓孔 16槽壁
[0039] 17抽氣槽 18第二級外圓豁口
[0040] 19第二級內圓豁口 20第二級連接面
[0041] 21第三級連接面 22第三級外圓豁口
[0042] 23裝配槽 24中心通孔
[0043] 25上環(huán)凸緣 26下環(huán)凸緣
[0044] 27通孔 28第二級引壓孔
[0045] 29第二級延伸孔 30第三級引壓孔
[0046] 31第三級延伸孔 32圓柱臺
[0047] 33"U"型槽 34矩形槽
[0048] 35連接法蘭 36密封墊
[0049] 37螺釘 38引壓管
[0050] 39連接孔 40進氣孔
[0051] 41階梯孔 42固定法蘭
[0052] 43密封墊圈 44連接管
[0053] 45真空計底座 46直角彎管。

【具體實施方式】
[0054] 以下，參照附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明：
[0055] 如圖1?5所示，一種可測壓比的嵌入式分子泵，包括殼體1，在殼體1內安裝有轉 子2,在殼體1的頂部設置有端面法蘭3,在殼體1和轉子2之間設置有第一級分子泵4,第 一級分子泵4頂部過盈連接盤狀第三級分子泵6,在第三級分子泵6的裝配槽23中過盈連 接第二級分子泵5,端面法蘭3和第三級分子泵6螺釘連接。在殼體1的下部外側設置有入 口測壓裝置7,在端面法蘭3的頂端分別連接有第一級分子泵出口測壓裝置8、第二級出口 測壓裝置9和第三級出口測壓裝置10。在端面法蘭3上沿圓周形成均布的第一級測壓連接 孔11、第二級測壓連接孔12和第三級測壓連接孔13,在上述連接孔的兩側形成螺孔14。
[0056] 如圖6?12所示，第一級分子泵4為圓筒形，在圓形內壁形成螺旋導氣槽，且呈右 旋狀態(tài)，螺旋導氣槽截面呈"U"型槽33,第一級分子泵4的頂端一側形成異徑孔狀的第一級 引壓孔15。
[0057] 第二級分子泵5為圓盤形，在其下端面形成多個沿圓周均布的槽壁16和抽氣槽 17、并相間分布，在其圓周的外側形成三個均布的第二級外圓豁口 18，在其圓周的內側形成 第二級內圓豁口 19。
[0058] 第三級分子泵6為厚壁圓筒形，在其圓周外側分別形成第二級連接面20和第三級 連接面21，在第二級連接面20和第三級連接面21之間形成第三級外圓豁口 22,在第三級 分子泵6的下部形成圓環(huán)形的裝配槽23,在第三級分子泵6的中間形成中心通孔24,在中 心通孔24的內壁形成螺旋導氣槽，且呈右旋狀態(tài)，螺旋導氣槽截面呈"U"型槽33,在第三級 分子泵6的上端面形成上環(huán)形凸緣25,其外壁下部形成下環(huán)形凸緣26,其下端面形成多個 沿圓周均布的槽壁16和抽氣槽17、并相間分布。在裝配槽23內沿圓周形成均布的三個通 孔27。
[0059] 第二級分子泵5上的槽壁16和第三級分子泵6上的槽壁16呈連續(xù)的放射狀弧線、 并互相對齊；第二級分子泵5上的抽氣槽17和第三級分子泵6上的抽氣槽17的槽型均為 變寬度的矩形槽34、呈連續(xù)的放射狀弧線、并互相對齊。本實用新型的第二級分子泵5和第 三級分子泵6上的槽壁16、抽氣槽17均為八個。
[0060] 在第三級分子泵6的一側形成第二級引壓孔28,第二級引壓孔28與第二延伸孔 29垂直連通；在第三級分子泵6的另一側形成第三級引壓孔30,第三級引壓孔30與第三延 伸孔31垂直連通。在第三級分子泵6的內圓周一側形成一個向上的圓柱臺32。
[0061] 如圖13?16所示，在連接法蘭35上形成進氣孔40,與通孔27軸線平行，連接法 蘭階梯孔41與進氣孔40垂直相貫；引壓管38的一端焊入到階梯孔41中。
[0062] 帶引壓管38的連接法蘭35分別與第二級連接面20和第三級連接面21連接，通 過螺釘37固定，并通過密封墊36密封，其中進氣孔40分別與第二級引壓孔28和第三級引 壓孔30連通。
[0063] 固定法蘭42分別安裝在端面法蘭3的第一級測壓連接孔11、第二級測壓連接孔 12和第三級測壓連接孔13中，在固定法蘭42的中心孔中安裝引壓管38,引壓管38分別與 第一級引壓孔15、第二級引壓孔28和第三級引壓孔30連通，在固定法蘭42的底部設置有 密封墊圈43。
[0064] 如圖17所示，第一、二、三級出口測壓裝置8、9、10均采用同一種結構，包括固定法 蘭42、連接管44和真空計底座45，連接管44與固定法蘭42連接，真空計底座45與真空計 (未圖示）連接。
[0065] 入口測壓裝置7由真空計底座45和直角彎管46組成，直角彎管46的水平端與殼 體1連通，直角彎管46的垂直端與真空計底座45連通。
[0066] 第二級分子泵5內壁處形成的第二級豁口 19孔徑大于圓柱臺32的外圓。
[0067] 第三延伸孔31向靠近第三級分子泵6的頂面方向傾斜。
[0068] 第一級測壓連接孔11與第一級引壓孔15不同軸。
[0069] 本實用新型結構簡單、易于加工和裝配，圓柱臺的設計與使用保證了第三級分子 泵出口處測壓的可行性；連接法蘭的運用，解決了無法連續(xù)引壓的難題，并且避免了引壓 過程中的斷裂、漏氣、堵塞等風險；端面法蘭用測壓組件的使用，解決了引壓管由機器內部 穿出而無法密封的問題，同時也保證了在正常工作時其安全保護裝置能夠正常工作不受影 響。
【權利要求】
1. 一種可測壓比的嵌入式分子泵，包括殼體（1)，在殼體（1)內安裝有轉子（2 )，在殼體 (1)的頂部設置有端面法蘭（3)，其特征在于：在殼體（1)和轉子（2)之間設置有第一級分子 泵（4)，第一級分子泵（4)頂部過盈連接盤狀第三級分子泵（6)，在第三級分子泵（6)的裝配 槽（23)中過盈連接第二級分子泵（5)，端面法蘭（3)和第三級分子泵（6)螺釘連接，在殼體 (1)的下部外側設置有入口測壓裝置（7)，在端面法蘭（3)的頂端分別連接有第一級分子泵 出口測壓裝置（8)、第二級出口測壓裝置（9)和第三級出口測壓裝置（10)。
2. 根據權利要求1所述的一種可測壓比的嵌入式分子泵，其特征在于：在所述的端面 法蘭（3)上沿圓周形成均布的第一級測壓連接孔（11 )、第二級測壓連接孔（12)和第三級測 壓連接孔（13)，在上述連接孔的兩側形成螺孔（14)。
3. 根據權利要求1所述的一種可測壓比的嵌入式分子泵，其特征在于：所述的第一級 分子泵（4)為圓筒形，在圓形內壁形成螺旋導氣槽，且呈右旋狀態(tài)，螺旋導氣槽截面呈"U" 型槽（33)，在第一級分子泵（4)的頂端一側形成異徑孔狀的第一級引壓孔（15)。
4. 根據權利要求1所述的一種可測壓比的嵌入式分子泵，其特征在于：所述的第二級 分子泵（5)為圓盤形，在其下端面形成多個沿圓周均布的槽壁（16)和抽氣槽（17)、并相間 分布，在其圓周的外側形成三個均布的第二級外圓豁口（18)，在其圓周的內側形成第二級 內圓豁口（19)。
5. 根據權利要求1所述的一種可測壓比的嵌入式分子泵，其特征在于：所述的第三 級分子泵（6)為厚壁圓筒形，在其下部形成圓環(huán)形的裝配槽（23)，在其中間形成中心通孔 (24)，在中心通孔（24)的內壁形成螺旋導氣槽，且呈右旋狀態(tài)，螺旋導氣槽截面呈"U"型 槽（33)，其下端面形成多個沿圓周均布的槽壁（16)和抽氣槽（17)、并相間分布，在裝配槽 (23)內沿圓周形成均布的三個通孔（27)。
6. 根據權利要求1所述的一種可測壓比的嵌入式分子泵，其特征在于：第二級分子泵 (5)上的槽壁（16)和第三級分子泵（6)上的槽壁（16)呈連續(xù)的放射狀弧線、并互相對齊； 第二級分子泵（5)上的抽氣槽（17)和第三級分子泵（6)上的抽氣槽（17)的槽型均為變寬 度的矩形槽（34 )、呈連續(xù)的放射狀弧線、并互相對齊。
7. 根據權利要求1所述的一種可測壓比的嵌入式分子泵，其特征在于：所述的第一級 分子泵出口測壓裝置（8)、第二級出口測壓裝置（9)和第三級出口測壓裝置（10)結構相同， 均由固定法蘭（42)、連接管（44)和真空計底座（45)組成。
【文檔編號】F04D19/04GK203906330SQ201420295835
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2014年6月5日 優(yōu)先權日:2014年6月5日
【發(fā)明者】劉巍, 韓莉果, 郭子學, 龐志瑩 申請人:核工業(yè)理化工程研究院