專利名稱：雙向排氣爪型泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
雙向排氣爪型泵技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及一種雙向排氣爪型泵，屬于真空技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
[0002]爪型泵是一種變?nèi)莘e干式真空泵，由裝在泵體內(nèi)的一對平行軸上的多級轉(zhuǎn)子構(gòu) 成，軸端齒輪驅(qū)動同步反向運轉(zhuǎn)。爪型泵抽氣過程中泵腔內(nèi)不含油類等液體介質(zhì)，對被抽容 器以及工作環(huán)境無污染，所以在半導(dǎo)體、電子、化工和制藥行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。爪型泵 一般由三級轉(zhuǎn)子串聯(lián)在轉(zhuǎn)子軸上，每級的兩個轉(zhuǎn)子與泵體之間形成泵腔的抽氣容積，吸氣 口與排氣口分別設(shè)在兩側(cè)端蓋的側(cè)面上，由轉(zhuǎn)子在旋轉(zhuǎn)過程中自動開閉，并控制容積由大 到小、由小到大不斷變化，來達到抽真空的目的，但由于爪型泵自身結(jié)構(gòu)的限制，其進氣口 和排氣口尺寸都很小，通常的進氣口、排氣口直徑為25 80mm，真空系統(tǒng)內(nèi)的氣體不能有 效抽出，極大地限制了爪型泵的抽氣速率。實用新型內(nèi)容[0003]根據(jù)以上現(xiàn)有技術(shù)中的不足，本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)緊 湊合理且能夠提高泵體真空度和抽氣速率的雙向排氣爪型泵。[0004]本實用新型所述的雙向排氣爪型泵，包括電機、泵體和泵體內(nèi)平行安裝的主動軸 與從動軸，主動軸上裝配有主動齒輪，與主動齒輪相嚙合的從動齒輪裝配在從動軸上，主動 軸連接電機，其特征在于泵體由多級相互隔離的泵腔串聯(lián)組合而成，每級泵腔中設(shè)置一對 轉(zhuǎn)子，每對轉(zhuǎn)子由相互嚙合的主動轉(zhuǎn)子和從動轉(zhuǎn)子組成，主動轉(zhuǎn)子、從動轉(zhuǎn)子分別安裝在主 動軸、從動軸上，位于泵體中間位置的中間級泵腔連接進氣口，位于泵體兩端的最后一級泵 腔上分別設(shè)有上端蓋、下端蓋，上、下端蓋上有排氣口。[0005]工作原理及過程[0006]工作時，雙向排氣爪型泵從真空系統(tǒng)吸入氣體，氣體經(jīng)過進氣口進入中間級泵腔， 之后氣體向上、向下分為兩路，經(jīng)過中間級泵腔兩側(cè)泵腔中的轉(zhuǎn)子，并最終通過上、下端蓋 的排氣口排向大氣。[0007]本爪型泵在中間級泵腔兩側(cè)均通過多級泵腔進行抽氣，并具有兩個排氣口，從而 實現(xiàn)了爪型泵的雙向排氣，提高了爪型泵的抽氣速率。[0008]其中[0009]所述的進氣口直徑為100 200mm。[0010]所述的排氣口直徑為80 150mm[0011]相比傳統(tǒng)的爪型泵，本實用新型的進氣口、排氣口尺寸相應(yīng)增大，從而使真空系統(tǒng) 內(nèi)氣體能夠有效地抽出，極大提高了爪型泵的極限真空度和抽氣速率。[0012]本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比所具有的有益效果是[0013]本爪型泵結(jié)構(gòu)簡單緊湊，通過多級泵腔進行抽氣且具有兩個排氣口，實現(xiàn)了爪型 泵的雙向排氣；通過增大了進氣口、排氣口尺寸，使真空系統(tǒng)內(nèi)氣體能夠有效地抽出，提高了爪型泵的極限真空度和抽氣速率。


[0014]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。[0015]圖中1、電機；2、下端蓋；3、三級轉(zhuǎn)子；4、二級轉(zhuǎn)子；5、中間級轉(zhuǎn)子；6、進氣口 ；7、 主動軸；8、排氣口 ；9、從動軸；10、上端蓋；11、最后一級泵腔；12、二級泵腔；13、中間級泵腔。
具體實施方式
[0016]
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型做進一步描述[0017]如圖1所示，本雙向排氣爪型泵，包括電機1、泵體和泵體內(nèi)平行安裝的主動軸7與 從動軸9，主動軸7上裝配有主動齒輪，與主動齒輪相嚙合的從動齒輪裝配在從動軸9上，主 動軸7連接電機1，泵體由多級相互隔離的泵腔串聯(lián)組合而成，每級泵腔中設(shè)置一對轉(zhuǎn)子， 每對轉(zhuǎn)子由相互嚙合的主動轉(zhuǎn)子和從動轉(zhuǎn)子組成，主動轉(zhuǎn)子、從動轉(zhuǎn)子分別安裝在主動軸 7、從動軸9上，位于泵體中間位置的中間級泵腔13連接進氣口 6，位于泵體兩端的最后一 級泵腔11上分別設(shè)置上端蓋10、下端蓋2，上、下端蓋上均設(shè)有排氣口 8，進氣口 6直徑為 100 200_，排氣口 8直徑為80 150_。[0018]本實施例采用5個泵腔，中間級泵腔13兩側(cè)依次為二級泵腔12、三級泵腔(即最 后一級泵腔11)，中間級泵腔13、二級泵腔12、三級泵腔中分別安裝中間級轉(zhuǎn)子5、二級轉(zhuǎn)子4、三級轉(zhuǎn)子3，進氣口 6直徑為200mm，排氣口 8直徑為150mm。現(xiàn)在以5個泵腔為例對本雙 向排氣爪型泵的工作原理及過程做具體說明[0019]工作時，雙向排氣爪型泵從真空系統(tǒng)吸入氣體，氣體經(jīng)過進氣口 6進入中間級泵 腔13，之后氣體向上、向下分為兩路，經(jīng)過二級轉(zhuǎn)子4、三級轉(zhuǎn)子3，并最終通過上、下端蓋的 排氣口 8排向大氣。[0020]本爪型泵結(jié)構(gòu)簡單緊湊，通過多級泵腔進行抽氣且具有兩個排氣口 8，實現(xiàn)了爪型 泵的雙向排氣；相比傳統(tǒng)的爪型泵，本實用新型的進氣口 6、排氣口 8尺寸相應(yīng)增大，從而使 真空系統(tǒng)內(nèi)氣體能夠有效地抽出，極大提高了爪型泵的極限真空度和抽氣速率。
權(quán)利要求1.一種雙向排氣爪型泵，包括電機(I)、泵體和泵體內(nèi)平行安裝的主動軸(7)與從動軸(9)，主動軸(7)上裝配有主動齒輪，與主動齒輪相嚙合的從動齒輪裝配在從動軸(9)上，主動軸(7)連接電機(1)，其特征在于泵體由多級相互隔離的泵腔串聯(lián)組合而成，每級泵腔中設(shè)置一對轉(zhuǎn)子，每對轉(zhuǎn)子由相互嚙合的主動轉(zhuǎn)子和從動轉(zhuǎn)子組成，主動轉(zhuǎn)子、從動轉(zhuǎn)子分別安裝在主動軸、從動軸上，位于泵體中間位置的中間級泵腔(13)連接進氣口(6)，位于泵體兩端的最后一級泵腔(6)上分別設(shè)置上端蓋(10)、下端蓋(2)，上、下端蓋上均設(shè)有排氣口(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙向排氣爪型泵，其特征在于所述的進氣口(6)直徑為·100 200mmo
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙向排氣爪型泵，其特征在于所述的排氣口(8)直徑為·80 150mm。
專利摘要本實用新型屬于真空技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種雙向排氣爪型泵，包括電機、泵體和泵體內(nèi)平行安裝的主動軸與從動軸，主動軸上裝配有主動齒輪，與主動齒輪相嚙合的從動齒輪裝配在從動軸上，主動軸連接電機，其特征在于泵體由多級相互隔離的泵腔串聯(lián)組合而成，每級泵腔中設(shè)置一對轉(zhuǎn)子，位于泵體中間位置的中間級泵腔連接進氣口，位于泵體兩端的最后一級泵腔上分別設(shè)有上端蓋、下端蓋，上、下端蓋上有排氣口。本爪型泵結(jié)構(gòu)簡單緊湊，通過多級泵腔進行抽氣且具有兩個排氣口，實現(xiàn)了爪型泵的雙向排氣；通過增大進氣口、排氣口尺寸，使真空系統(tǒng)內(nèi)氣體能夠有效地抽出，提高了爪型泵的極限真空度和抽氣速率。
文檔編號F04C29/12GK202867217SQ20122052675
公開日2013年4月10日 申請日期2012年10月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月16日
發(fā)明者肖慶濤, 崔峰, 劉元華 申請人:淄博沃德氣體設(shè)備有限公司