專利名稱：真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及可用于半導(dǎo)體制造裝置、電子顯微鏡、表面分析裝置、質(zhì)量分析裝置、粒子加速器、核融合實(shí)驗(yàn)裝置等的真空泵，特別是關(guān)于對(duì)有必要進(jìn)行大容量排氣的真空泵可進(jìn)行簡(jiǎn)單且廉價(jià)的對(duì)應(yīng)的構(gòu)造。
背景技術(shù)：
以往，象在半導(dǎo)體制造工程中的干腐蝕或CVD的工藝那樣，在高真空的工藝腔內(nèi)進(jìn)行處理的工程中，對(duì)工藝腔內(nèi)的氣體進(jìn)行排氣，作為形成一定的高真空度的裝置，是使用例如圖6所示的渦輪分子泵那樣的真空泵。
如同圖所示，此渦輪分子泵P6在圓筒型的轉(zhuǎn)子16的外壁面上設(shè)有多個(gè)葉片狀的轉(zhuǎn)子葉片17、17…，定位固定在此轉(zhuǎn)子葉片17、17之間的多個(gè)定子葉片18、18…，安裝在泵殼11的內(nèi)壁，轉(zhuǎn)子16被一體地安裝于轉(zhuǎn)子軸15上。
若通過驅(qū)動(dòng)馬達(dá)19使此轉(zhuǎn)子軸15高速旋轉(zhuǎn)，則與此連動(dòng)，通過高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉片17和固定的定子葉片18的相互作用，如同圖中虛線箭頭所示，從氣體吸氣口12吸入的氣體被送入下段的螺紋槽泵機(jī)構(gòu)部，通過轉(zhuǎn)子16外壁的圓筒面和螺紋定子20內(nèi)壁的螺紋槽21的相互作用，從遷移流壓縮至粘性流，從后段的氣體排氣口13排氣，在氣體吸氣口12上接續(xù)的工藝腔內(nèi)成為高真空，這時(shí)，由轉(zhuǎn)子16及轉(zhuǎn)子葉片17組成的旋轉(zhuǎn)圓筒體由于氣體壓縮熱而溫度上升成為高溫狀態(tài)，因而有必要將這些熱向泵殼11內(nèi)的固定側(cè)放熱，從而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)圓筒體的冷卻。
作為這種旋轉(zhuǎn)圓筒體的放熱方法，已知道通過放射的放熱和通過傳導(dǎo)的放熱，關(guān)于前者，有(I)從轉(zhuǎn)子葉片表面向定子葉片表面的放射，關(guān)于后者，有(II)通過氣體傳導(dǎo)，(III)通過軸承傳導(dǎo)，如圖6所示，通過由半徑方向電磁鐵22和軸方向電磁鐵23組成的磁氣軸承，在轉(zhuǎn)子軸15被軸承支撐的磁懸浮式渦輪分子泵中，在通常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，因?yàn)楸Ｗo(hù)用滾珠軸承24、24與轉(zhuǎn)子軸1 5不接觸，通過如上述(III)那樣的軸承沒有直接的熱傳導(dǎo)，而成為通過上述(I)的放射和上述(II)的氣體的傳導(dǎo)。再有，在流入泵殼11內(nèi)的氣體的流量少的情況下或?qū)ο驛r氣體等那些熱傳導(dǎo)率低的氣體進(jìn)行排氣的情況下，幾乎不能期待通過上述(II)的氣體的熱傳導(dǎo)，結(jié)局是，因?yàn)椴坏貌恢灰蕾囉谕ㄟ^(I)的放射而放熱，所以放熱效率不好，通過渦輪排氣的壓縮熱在轉(zhuǎn)子葉片17上很容易停滯。
因此，以往就一直采用下述方法，如圖6所示，將象例如N2氣體那樣的熱傳導(dǎo)率高的凈化氣體從外部注入泵殼11內(nèi)，如同圖中實(shí)線箭頭所示，在從轉(zhuǎn)子軸15的外壁和定子柱14的內(nèi)壁的間隙到定子柱14的外壁和轉(zhuǎn)子16的內(nèi)壁的間隙連通的通路R中使此凈化氣體通過，通過向氣體排氣口13排氣進(jìn)行熱傳導(dǎo)，將在轉(zhuǎn)子16上蓄熱的壓縮熱從轉(zhuǎn)子16的內(nèi)壁面向定子柱14的外壁面放熱，進(jìn)行由轉(zhuǎn)子16和轉(zhuǎn)子葉片17組成的旋轉(zhuǎn)圓筒體的冷卻。
于是，根據(jù)此方法，為提高冷卻效果，要求盡量窄地設(shè)定轉(zhuǎn)子16的內(nèi)壁面與定子柱14的外壁面的間隙g1。這是因?yàn)?，若此間隙g1很大，將在粘性流領(lǐng)域中生成溫度境界層，使轉(zhuǎn)子16的內(nèi)壁面與定子柱14的外壁面間的熱傳導(dǎo)率降低，另外，在分子流領(lǐng)域中相對(duì)于平均自由工序，若間隙g1變大，則因?yàn)閺谋砻娣懦龅臍怏w分子直接到達(dá)其他的面的概率降低，同樣會(huì)使熱傳導(dǎo)率降低。
但是，如圖7所示為了對(duì)更大容量的氣體進(jìn)行排氣，在將具有比圖6所示的轉(zhuǎn)子葉片17的外徑L6更大的外徑L7的轉(zhuǎn)子葉片17-1的轉(zhuǎn)子16-1，裝載于圖6所示的轉(zhuǎn)子軸15上的渦輪分子泵P7的情況下，相對(duì)于在圖6中的轉(zhuǎn)子16的內(nèi)壁面與定子柱14的外壁面的間隙g1為微小的間隙，在圖7中轉(zhuǎn)子16-1的內(nèi)壁面與定子柱14的外壁面的間隙為g2，與圖6的間隙g1相比，形成了大的間隙。這樣大的間隙g2，由于將使如上所述的熱傳導(dǎo)率極度降低，很不理想，因此，為了進(jìn)行正常的熱傳導(dǎo)，有必要將定子柱14的外壁形狀成形為仿照轉(zhuǎn)子16-1的內(nèi)壁形狀的形狀，充填此間隙g2，使其縮小到作為規(guī)定的間隙的g1為止。
作為為使此間隙g2的寬度變窄的方法，可以考慮在轉(zhuǎn)子16-1的成型時(shí)，將轉(zhuǎn)子16-1的下端部的壁厚加厚成型的方法，在這種情況下，不僅只是在壁厚加厚的部分增加了成本，而且還因?yàn)檗D(zhuǎn)子16-1是在泵運(yùn)轉(zhuǎn)中的高速旋轉(zhuǎn)的部件，若過大的形成壁厚，則其重量增大，泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)就需要多余的動(dòng)力，在導(dǎo)致壓縮性能降低的同時(shí)，還容易產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)圓筒體的不平衡狀態(tài)，應(yīng)盡量避免。
另外，作為為使此間隙g2的寬度變窄的方法，也可以考慮成形為仿照轉(zhuǎn)子16-1的內(nèi)壁形狀的外壁形狀的定子柱14方法，在這種情況下，就有必要準(zhǔn)備幾個(gè)外壁形狀不同的模型，將內(nèi)藏著高價(jià)的電氣元件等的定子柱14進(jìn)行更換本身，就存在著在渦輪分子泵的制造中成為大幅度成本上升的原因的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是借鑒上述那樣的問題點(diǎn)，其目的是，為了進(jìn)行大容量的排氣而裝載外徑大的轉(zhuǎn)子時(shí)，可以簡(jiǎn)單且廉價(jià)地形成在轉(zhuǎn)子的內(nèi)壁面與定子柱的外壁面之間所形成的規(guī)定的狹窄間隙，提供一種在制造泵時(shí)與原來相比可以大幅度降低成本的真空泵。
為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明的真空泵，其特征在于，具有轉(zhuǎn)子軸、驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、定子柱、轉(zhuǎn)子、墊片，該轉(zhuǎn)子軸可旋轉(zhuǎn)地支撐于在上部壁面上開設(shè)有氣體吸氣口、在下部壁面上開設(shè)有氣體排氣口的泵殼內(nèi)；該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)用于使上述轉(zhuǎn)子軸旋轉(zhuǎn)；該定子柱內(nèi)藏有上述轉(zhuǎn)子軸和驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，立設(shè)于上述泵殼內(nèi)；該轉(zhuǎn)子包圍上述定子柱，固定于上述轉(zhuǎn)子軸；該墊片具有仿照上述轉(zhuǎn)子的內(nèi)壁形狀的外壁形狀，可自由拆裝地安裝固定在上述定子柱外周。
上述墊片埋在上述定子柱與上述轉(zhuǎn)子的間隙的同時(shí)，上述墊片的外壁面與上述轉(zhuǎn)子的內(nèi)壁面之間還可設(shè)定成規(guī)定的狹窄間隙。
另外，上述墊片可以由熱傳導(dǎo)率高的金屬材料構(gòu)成。
在這里，作為上述定子柱和墊片的固定構(gòu)造的一個(gè)例子，可以采用形成上述墊片外周壁的一部分欠缺的法蘭部、該法蘭部被夾緊固定構(gòu)造。
另外，作為上述定子柱和墊片的固定構(gòu)造的其他例子，也可以采用通過從上述墊片外周壁向內(nèi)周壁擰入固定螺栓，而擰緊固定的構(gòu)造。
再有，作為上述定子柱和墊片的固定構(gòu)造的其他例子，也可以采用上述墊片相對(duì)于開設(shè)于上述定子柱的安裝孔，在上述轉(zhuǎn)子軸的軸線方向被擰緊固定的構(gòu)造。
另外，在上述泵殼內(nèi)，還可以具有由一體設(shè)置于上述轉(zhuǎn)子的外壁面的葉片狀的多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片、和在上述轉(zhuǎn)子葉片之間交互定位，固定于上述泵殼內(nèi)的葉片狀的多個(gè)定子葉片組成的渦輪分子機(jī)構(gòu)部。
根據(jù)有關(guān)本發(fā)明的真空泵，因?yàn)椴捎昧藢⒕哂蟹抡辙D(zhuǎn)子的內(nèi)壁形狀的外壁形狀的墊片可自由拆裝地安裝固定在定子柱上的構(gòu)造，所以為了進(jìn)行大容量的排氣而裝載外徑大的轉(zhuǎn)子葉片的轉(zhuǎn)子時(shí)，作為用于在轉(zhuǎn)子的內(nèi)壁面與定子柱的外壁面之間形成規(guī)定的狹窄間隙的方法，沒有必要或是將圓筒體轉(zhuǎn)子的壁厚加厚、或是分別制造高價(jià)的定子柱，僅通過更換此墊片就可以對(duì)應(yīng)，所以在真空泵的制造時(shí)可以大幅度地降低成本。


圖1是表示本發(fā)明的真空泵的全體構(gòu)成的縱剖視圖。
圖2是表示墊片固定構(gòu)造的第1實(shí)施例的圖，(a)是真空泵的縱剖視圖，(b)是(a)的II-II線剖視圖。
圖3是表示墊片固定構(gòu)造的第2實(shí)施例的圖，(a)是真空泵的縱剖視圖，(b)是(a)的III-III線剖視圖。
圖4是表示墊片固定構(gòu)造的第3實(shí)施例的真空泵的縱剖視圖。
圖5是表示在本發(fā)明的真空泵的旋轉(zhuǎn)葉片上適用大徑的旋轉(zhuǎn)葉片的例子的縱剖視圖。
圖6是表示以往的真空泵的全體構(gòu)成的縱剖視圖。
圖7是表示在如圖6所示的真空泵的旋轉(zhuǎn)葉片上適用大徑的旋轉(zhuǎn)葉片的情況的不便之處的縱剖視圖。
具體實(shí)施例方式
以下，就適合本發(fā)明的真空泵的實(shí)施例，一邊參照附圖，一邊進(jìn)行詳細(xì)說明。
圖1是表示本發(fā)明的真空泵的全體構(gòu)成的縱剖視圖，如同圖所示，此真空泵P1的泵機(jī)構(gòu)部采用了由容納于泵殼11內(nèi)部的渦輪分子泵機(jī)構(gòu)部PA和螺紋槽泵機(jī)構(gòu)部PB所構(gòu)成的復(fù)合型的泵機(jī)構(gòu)。
首先，泵殼11由圓筒體11-1和安裝于其下端的底座11-2組成，圓筒體11-1的上部壁面開口成為氣體吸氣口12，在氣體吸氣口12中，未圖示的工藝腔等的真空容器在圓筒體11-1的法蘭部被螺栓固定，在底座11-2的下部一側(cè)壁面上，氣體排氣口13開口，排氣管13-1被安裝。
另外，底座11-2的下部底面被里蓋11-3覆蓋，在里蓋11-3的上方，面向泵殼11內(nèi)部立設(shè)的定子柱14在底座11-2上被螺栓固定，在定子柱14上，為使貫通其端面間的轉(zhuǎn)子軸15可以旋轉(zhuǎn)，通過由設(shè)置于定子柱14內(nèi)部的半徑方向電磁鐵22、22及軸方向電磁鐵23、23組成的磁氣軸承，在轉(zhuǎn)子軸15的半徑方向和軸方向分別被軸承支撐。另外，符號(hào)24為涂有干潤(rùn)滑劑的保護(hù)用滾珠軸承，在磁氣軸承的電源異常時(shí)，保護(hù)轉(zhuǎn)子軸15與電磁鐵22、23的接觸，用于支撐轉(zhuǎn)子軸15，在通常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，不與轉(zhuǎn)子軸15接觸。
在泵殼11內(nèi)部，形成圓筒型的轉(zhuǎn)子16包圍定子柱14地設(shè)置，轉(zhuǎn)子16上端延長(zhǎng)至氣體吸氣口12附近，在轉(zhuǎn)子軸15的軸線L方向被螺栓固定。另外，在轉(zhuǎn)子軸15的軸線L方向的大致中央部，在轉(zhuǎn)子軸15和定子柱14之間，內(nèi)藏有由高頻馬達(dá)等組成的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)19，轉(zhuǎn)子軸15和轉(zhuǎn)子16通過此驅(qū)動(dòng)馬達(dá)19高速旋轉(zhuǎn)而構(gòu)成。
再有，在轉(zhuǎn)子16上部的外壁面上，從氣體吸氣口12側(cè)到轉(zhuǎn)子軸15的軸線L方向，一體設(shè)置有多個(gè)葉片狀的轉(zhuǎn)子葉片17、17…，在此轉(zhuǎn)子葉片17，17之間交互定位的多枚葉片狀的定子葉片18、18…被安裝固定在泵殼11內(nèi)的圓筒體11-1的內(nèi)壁面，通過高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉片17和固定的定子葉片18的相互作用，構(gòu)成將氣體吸氣口12側(cè)的氣體分子送入下段側(cè)的渦輪分子泵機(jī)構(gòu)部PA。
一方面，轉(zhuǎn)子16下部的外壁面為平坦的圓筒面，在泵殼11內(nèi)的底座11-2上，與轉(zhuǎn)子16外壁的圓筒面以狹窄的間隔面對(duì)的圓筒型的螺紋定子20被安裝固定，在此螺紋定子20的內(nèi)壁面，刻設(shè)著在同圖中以虛線表示的螺紋槽21，通過高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子16外壁的圓筒面和固定的螺紋定子20內(nèi)壁的螺紋槽21的相互作用，從渦輪分子泵機(jī)構(gòu)部PA送入的氣體分子從遷移流壓縮為粘性流，構(gòu)成從后段的氣體排氣口13排氣的螺紋槽泵機(jī)構(gòu)部PB。
于是，在轉(zhuǎn)子16下部的內(nèi)壁面和與此相對(duì)的定子柱14的外壁面之間，設(shè)置具有仿照轉(zhuǎn)子16的內(nèi)壁形狀16a的外壁形狀Sb的墊片S。此墊片S最好是由熱傳導(dǎo)率高的金屬材料構(gòu)成，除了比較軟質(zhì)的容易加工的且比強(qiáng)度優(yōu)良的鋁合金等的輕合金外，使用不銹鋼，鎳鋼等的鐵系材料，切削成規(guī)定的形狀，在定子柱14的外周可自由拆裝地安裝固定。關(guān)于此墊片S和定子柱14的可拆裝的固定構(gòu)造有各種考慮，例如可以采用圖2至圖4所示的固定構(gòu)造。
首先，在圖2所示的真空泵P2中的固定構(gòu)造，切掉墊片S1的外周壁的一部分，形成法蘭部31，采用將此法蘭部31通過螺栓33夾緊固定的構(gòu)造。即，此固定構(gòu)造，如同圖(b)所示，具有仿照定子柱14的外壁形狀14a的內(nèi)徑及仿照轉(zhuǎn)子16的內(nèi)壁形狀16a的外徑，在形成截面為環(huán)狀的圓筒型的墊片S1的一部分上，刻設(shè)從其外周壁到內(nèi)周壁貫通的貫通槽32，在此貫通槽32的附近，形成將墊片S1的外周壁的一部分切為截面為L(zhǎng)字狀的法蘭部31，通過從法蘭部31到貫通槽32的垂直的螺栓33被夾緊固定的構(gòu)造。
接著，在圖3所示的真空泵P3中的固定構(gòu)造，是采用通過從墊片S2的外周壁到內(nèi)周壁擰入固定螺栓41的擰緊固定的構(gòu)造。即，此固定構(gòu)造，如同圖(b)所示，具有仿照定子柱1 4的外壁形狀14a的內(nèi)徑及仿照轉(zhuǎn)子16的內(nèi)壁形狀16a的外徑，從形成截面為環(huán)狀的圓筒型的墊片S2的外周壁到內(nèi)周壁貫通的螺紋孔42被刻設(shè)，在此螺紋孔42中穿插固定螺栓41，以墊片S2的一側(cè)擰緊固定的構(gòu)造。
再有，在圖4所示的真空泵P4中的固定構(gòu)造，是采用將墊片S3相對(duì)于開設(shè)于定子柱14的安裝孔52，在轉(zhuǎn)子軸15的軸線L方向擰緊固定的構(gòu)造。即，此固定構(gòu)造，具有仿照定子柱14的外壁形狀14a的內(nèi)徑及仿照轉(zhuǎn)子16的內(nèi)壁形狀16a的外徑，在形成截面為環(huán)狀的圓筒型的墊片S3的外周壁上，形成剖面被切為L(zhǎng)字狀的安裝層部53，在此安裝層部53上，沿轉(zhuǎn)子軸15的軸線L方向開設(shè)有安裝孔51，與此安裝孔51嵌合的安裝孔52也開設(shè)于定子柱14側(cè)，通過在此安裝孔51、52上使一體的螺栓54依次穿插螺合，墊片S3相對(duì)于定子柱14，在轉(zhuǎn)子軸15的軸線L方向上被擰緊固定的構(gòu)造。
象這樣，根據(jù)圖2至圖4所示的固定構(gòu)造，在可以實(shí)現(xiàn)圓筒型的定子柱14與嵌入此定子柱14外周的圓筒型的墊片S1-S3的牢固的安裝固定的同時(shí)，對(duì)墊片S1通過螺栓33，對(duì)墊片S2通過固定螺栓41，對(duì)墊片S3通過螺栓54分別僅進(jìn)行放松的作業(yè)，就可以將墊片S1-S3從定子柱14上簡(jiǎn)單地拆下。
下面，就有關(guān)本發(fā)明的真空泵的作用按照?qǐng)D5進(jìn)行說明。
圖5表示的是為了對(duì)大容量的氣體進(jìn)行排氣，將具有比圖1所示的轉(zhuǎn)子葉片17的外徑L1大的外徑Ln的轉(zhuǎn)子葉片17-n的轉(zhuǎn)子16-n，裝載于圖1所示的轉(zhuǎn)子軸15的渦輪分子泵Pn。對(duì)與圖1所示的同一部件賦予同一符號(hào)，省略其詳細(xì)的說明。另外，對(duì)于由渦輪分子泵機(jī)構(gòu)部PA和螺紋槽泵機(jī)構(gòu)部PB所構(gòu)成的復(fù)合型的泵機(jī)構(gòu)，因?yàn)榕c原來一樣，所以省略其動(dòng)作說明。
如同圖所示，具有比圖1所示的轉(zhuǎn)子葉片17的外徑L1大的外徑Ln的轉(zhuǎn)子葉片17-n的轉(zhuǎn)子16-n，在其內(nèi)壁面和定子柱14的外壁面之間，形成比圖1所示的間隙g1大的間隙gn。但是，在本實(shí)施例中，比圖1所示的墊片S大徑的墊片Sn被安裝固定。即，此墊片Sn具有仿照定子柱14的外壁形狀14a的內(nèi)壁形狀Sna、及仿照轉(zhuǎn)子16-n的內(nèi)壁形狀16-na的外壁形狀Snb，在定子柱14的外周上可自由拆裝地被安裝固定，安裝固定后的墊片Sn的外壁面與轉(zhuǎn)子16-n的內(nèi)壁面之間，設(shè)定為作為規(guī)定的狹窄間隙的g1。另外，此墊片Sn的安裝位置是在泵運(yùn)轉(zhuǎn)中固定的定子柱14的外周，也不會(huì)受到由轉(zhuǎn)子16-n及轉(zhuǎn)子葉片17-n所組成的旋轉(zhuǎn)圓筒體的離心力所產(chǎn)生的位移的影響，可以隨時(shí)保持與轉(zhuǎn)子16-n的內(nèi)壁面之間的規(guī)定的間隙。
因此，作為由于泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的氣體壓縮熱而溫度上升呈高溫狀態(tài)的由轉(zhuǎn)子16-n及轉(zhuǎn)子葉片17-n組成的旋轉(zhuǎn)圓筒體的冷卻，如同圖所示，將象N2氣體那樣的熱傳導(dǎo)率高的凈化氣體從外部注入泵殼11內(nèi)，如同圖中實(shí)線箭頭所示，在連通轉(zhuǎn)子軸15的外壁與定子柱14的內(nèi)壁的間隙、定子柱14的外壁與轉(zhuǎn)子16-n的內(nèi)壁的間隙、及墊片Sn的外壁與轉(zhuǎn)子16-n的內(nèi)壁的間隙的通路Rn上使此凈化氣體通過，通過向氣體排氣口13排氣而進(jìn)行熱傳導(dǎo)，可以通過將在轉(zhuǎn)子16-n上蓄熱的壓縮熱從轉(zhuǎn)子16-n的內(nèi)壁面向定子柱14的外壁面、及從轉(zhuǎn)子16-n的內(nèi)壁面向墊片Sn的外壁面放熱來進(jìn)行。此時(shí)，在墊片Sn的外壁面與轉(zhuǎn)子16-n的內(nèi)壁面之間，不會(huì)因原來那樣大的間隙而生成溫度境界層，可以防止熱傳導(dǎo)率的降低，還可以通過高效率的熱傳導(dǎo)進(jìn)行放射。
再有，在裝載具有不同外徑Ln的轉(zhuǎn)子葉片17-n的轉(zhuǎn)子16-n時(shí)，作為在轉(zhuǎn)子16-n的內(nèi)壁面與定子柱14的外壁面之間為形成作為規(guī)定的狹窄間隙的g1的方法，在轉(zhuǎn)子16-n成形時(shí)，沒有必要或?qū)⑥D(zhuǎn)子16-n的下端部的壁厚加厚成形、或是將內(nèi)藏高價(jià)的電氣元件等的定子柱14自身分別制造，通過只更換此墊片Sn就可以對(duì)應(yīng)，所以可以預(yù)計(jì)在制造真空泵時(shí)會(huì)比原來大幅度降低成本。
另外，上述的各實(shí)施例，在螺紋槽泵機(jī)構(gòu)部PB中，對(duì)于轉(zhuǎn)子16下部的外壁面為平坦的圓筒面、在與此圓筒面相對(duì)的螺紋定子20的內(nèi)壁面上刻設(shè)螺紋槽21的例子進(jìn)行了說明，與此相反，也可以采用在轉(zhuǎn)子16下部的外壁面上刻設(shè)螺紋槽21、與此外壁面相對(duì)的螺紋定子20的內(nèi)壁面為平坦的圓筒面的構(gòu)成，在這種情況下，也通過轉(zhuǎn)子16的外壁面的螺紋槽21與螺紋定子20的內(nèi)壁面的圓筒面的相互作用，可以期待與上述的各實(shí)施例中的作用效果同樣的作用效果。
另外，在上述各實(shí)施例中，就適用渦輪分子泵的例子進(jìn)行了說明，本發(fā)明對(duì)因構(gòu)造已被周知而未進(jìn)行說明的螺紋槽泵、渦流泵、及復(fù)合了渦輪分子泵、螺紋槽泵、渦流泵的分子泵也可以適用。
如以上詳細(xì)所述，根據(jù)本發(fā)明的真空泵，因?yàn)椴捎昧藢⒕哂蟹抡斩ㄗ又耐獗谛螤畹膬?nèi)壁形狀及仿照轉(zhuǎn)子的內(nèi)壁形狀的外壁形狀的墊片，在定子柱外周上可自由拆裝地安裝固定的構(gòu)造，所以不會(huì)由于在定子柱的外壁面與轉(zhuǎn)子的內(nèi)壁面之間所形成的大的間隙而生成溫度境界層，在防止熱傳導(dǎo)率的降低、可以進(jìn)行高效率的熱傳導(dǎo)的同時(shí)，作為用于在轉(zhuǎn)子的內(nèi)壁面與定子柱的外壁面之間形成規(guī)定的狹窄間隙的方法，沒有必要或是將圓筒體轉(zhuǎn)子的壁厚加厚、或是將高價(jià)的定子柱分別制造，通過只更換此墊片就可以對(duì)應(yīng)，對(duì)特別需要進(jìn)行大容量排氣的真空泵，可起到可簡(jiǎn)單且廉價(jià)地進(jìn)行對(duì)應(yīng)的效果。
權(quán)利要求
1.一種真空泵，其特征在于，具有轉(zhuǎn)子軸、驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、定子柱、轉(zhuǎn)子、墊片，該轉(zhuǎn)子軸可旋轉(zhuǎn)地支撐于在上部壁面上開設(shè)有氣體吸氣口、在下部壁面上開設(shè)有氣體排氣口的泵殼內(nèi)；該驅(qū)動(dòng)馬達(dá)用于使上述轉(zhuǎn)子軸旋轉(zhuǎn)；該定子柱內(nèi)藏有上述轉(zhuǎn)子軸和驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，立設(shè)于上述泵殼內(nèi)；該轉(zhuǎn)子包圍上述定子柱，固定于上述轉(zhuǎn)子軸；該墊片具有仿照上述轉(zhuǎn)子的內(nèi)壁形狀的外壁形狀，可自由拆裝地安裝固定在上述定子柱外周。
2.如權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述墊片埋在上述定子柱和上述轉(zhuǎn)子的間隙的同時(shí)，上述墊片的外壁面與上述轉(zhuǎn)子的內(nèi)壁面之間設(shè)定為規(guī)定的狹窄的間隙。
3.如權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述墊片由熱傳導(dǎo)率高的金屬材料構(gòu)成。
4.如權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述定子柱和墊片的固定構(gòu)造，是形成上述墊片外周壁的一部分欠缺的法蘭部、該法蘭部被夾緊固定構(gòu)造。
5.如權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述定子柱和墊片的固定構(gòu)造，為通過從上述墊片外周壁向內(nèi)周壁擰入固定螺栓，而擰緊固定的構(gòu)造。
6.如權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述定子柱和墊片的固定構(gòu)造，為上述墊片相對(duì)于開設(shè)于上述定子柱的安裝孔，在上述轉(zhuǎn)子軸的軸線方向被擰緊固定的構(gòu)造。
7.如權(quán)利要求1至6所述的真空泵，其特征在于，在上述泵殼內(nèi)，具有一體設(shè)置于上述轉(zhuǎn)子的外壁面的葉片狀的多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片、和在上述轉(zhuǎn)子葉片之間交互地定位，固定于上述泵殼內(nèi)的葉片狀的多個(gè)定子葉片。
全文摘要
本發(fā)明的真空泵，其課題是在裝載外徑不同的轉(zhuǎn)子時(shí)，將在轉(zhuǎn)子的內(nèi)壁面和定子柱的外壁面之間所形成的大的間隙縮短為固定的間隙。將有具仿照定子柱(14)的外壁形狀(14a)的內(nèi)壁形狀(Sna)及仿照轉(zhuǎn)子(16－n)的內(nèi)壁形狀(16－na)的外壁形狀(Snb)的墊片(Sn)，可自由拆裝地安裝固定在定子柱14外周上，將定子柱(14)的外壁面和轉(zhuǎn)子(16－n)的內(nèi)壁面的間隙(gn)設(shè)定為規(guī)定的間隙(g1)。
文檔編號(hào)F04D19/04GK1425854SQ0215603
公開日2003年6月25日 申請(qǐng)日期2002年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2001年12月13日
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