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一種基于激波的MEMS微結(jié)構(gòu)非接觸式激勵裝置的制作方法

文檔序號:11092243閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種基于激波的MEMS微結(jié)構(gòu)非接觸式激勵裝置,包括基板,其特征是:在基板上設(shè)有手動三軸位移臺和支座,在手動三軸位移臺的Z軸溜板上設(shè)有微結(jié)構(gòu)單元;所述微結(jié)構(gòu)單元包括一個(gè)安裝套,在安裝套內(nèi)設(shè)有階梯狀安裝孔,在安裝孔內(nèi)底部通過微結(jié)構(gòu)安裝板安裝有MEMS微結(jié)構(gòu);在安裝孔外端口處通過壓板壓裝有光學(xué)玻璃板;

在支座上端設(shè)有橢球腔體,橢球腔體的內(nèi)腔為半個(gè)橢球面,該橢球面的第一焦點(diǎn)位于橢球腔體內(nèi);在橢球腔體一側(cè)設(shè)有第一針電極單元,第一針電極單元包括分別固定在橢球腔體上且依次嵌套的軸套、彈簧安裝座和外套,在外套內(nèi)設(shè)有第一滑動套,第一滑動套外緣為階梯軸狀且前端由彈簧安裝座和軸套的中心孔穿出并插入到橢球腔體內(nèi)腔,在第一滑動套前端中心孔內(nèi)設(shè)有外部套有絕緣套的第一針電極,該第一針電極的針尖位于橢球面第一焦點(diǎn)的橫截面上且指向橢球面的第一焦點(diǎn);在彈簧安裝座外端止口與第一滑動套之間設(shè)有復(fù)位彈簧,在外套中心處通過螺紋連接有調(diào)節(jié)螺桿,調(diào)節(jié)螺桿前端頂靠在第一滑動套外端,用于調(diào)節(jié)第一針電極的軸向位置;所述微結(jié)構(gòu)單元位于橢球腔體內(nèi)腔開口一側(cè)橢球面的第二焦點(diǎn)處;

在橢球腔體上對應(yīng)微結(jié)構(gòu)單元的另一側(cè)設(shè)有第二針電極單元,第二針電極單元包括一個(gè)槽型支架,槽型支架通過其一側(cè)立板固定在橢球腔體上,在槽型支架兩側(cè)的立板之間設(shè)有平行布置的導(dǎo)向軸和絲杠并在導(dǎo)向軸上套設(shè)有傳動板,傳動板與絲杠之間通過絲母連接,在槽型支架的另一側(cè)立板外側(cè)設(shè)有與絲杠同軸連接的步進(jìn)電機(jī);在傳動板中部固定有第二滑動套,第二滑動套前端由所述一側(cè)立板穿出并插入到橢球腔體內(nèi)腔,在第二滑動套前端中心孔內(nèi)設(shè)有外部套有絕緣套的第二針電極,第二針電極針尖指向橢球面的第一焦點(diǎn)且位于與所述橢球面第一焦點(diǎn)的橫截面垂直的縱截面上;

第一針電極和第二針電極分別與高壓電容的兩極電聯(lián)接,在高壓電容與第一針電極之間設(shè)有第一空氣開關(guān);所述高壓電容的兩極分別電聯(lián)接至高壓電源的正負(fù)極,并通過第二空氣開關(guān)控制通斷。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于激波的MEMS微結(jié)構(gòu)非接觸式激勵裝置,其特征是:所述絕緣套為陶瓷管并通過頂絲分別固定在第一滑動套前端和第二滑動套前端。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于激波的MEMS微結(jié)構(gòu)非接觸式激勵裝置,其特征是:所述安裝套通過一個(gè)水平支座安裝在所述Z軸溜板上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基于激波的MEMS微結(jié)構(gòu)非接觸式激勵裝置,其特征是:所述微結(jié)構(gòu)安裝板通過圓周均布的螺釘固定在安裝孔內(nèi)底部的環(huán)形平面上,在微結(jié)構(gòu)安裝板上設(shè)有與所述安裝孔底部小孔相對應(yīng)的通孔,MEMS微結(jié)構(gòu)粘接在微結(jié)構(gòu)安裝板上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于激波的MEMS微結(jié)構(gòu)非接觸式激勵裝置,其特征是:所述軸套、彈簧安裝座和外套分別通過螺釘固定在橢球腔體上,其中軸套外緣為階梯狀且前部插入到設(shè)在橢球腔體一側(cè)的安裝孔內(nèi),所述第一滑動套與軸套之間滑動間隙配合。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基于激波的MEMS微結(jié)構(gòu)非接觸式激勵裝置,其特征是:所述調(diào)節(jié)螺桿為空心結(jié)構(gòu)且與第一滑動套中心孔對應(yīng)相通,用于穿過連接第一針電極的導(dǎo)線。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于激波的MEMS微結(jié)構(gòu)非接觸式激勵裝置,其特征是:所述第二滑動套外緣為階梯軸狀且穿過所述傳動板,第二滑動套的大徑端通過圓周均布的螺釘固定在傳動板上,在所述一側(cè)立板上對應(yīng)第二滑動套引出處固定有導(dǎo)向套,導(dǎo)向套前端插入到橢球腔體內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種基于激波的MEMS微結(jié)構(gòu)非接觸式激勵裝置,其特征是:所述槽型支架是由兩側(cè)的立板通過底部的連接板連接而成。

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