專(zhuān)利名稱(chēng)：宏／微雙重驅(qū)動(dòng)的微小型機(jī)器人移動(dòng)定位平臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及微小型機(jī)器人移動(dòng)定位平臺(tái)結(jié)構(gòu)的改進(jìn)。
背景技術(shù)：
隨著MEMS技術(shù)的不斷發(fā)展，小型、微型機(jī)器人在微操作領(lǐng)域得到了日益廣泛的研究與應(yīng)用。傳統(tǒng)的小型機(jī)器人具有功能較齊全，能實(shí)現(xiàn)多種復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)迅速，工作范圍大，與其它系統(tǒng)的接口多，功能擴(kuò)展容易等特點(diǎn)，但是其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積較大，精度不高，難以在相對(duì)狹小的空間內(nèi)得到廣泛的應(yīng)用，且往往是根據(jù)特殊的要求來(lái)設(shè)計(jì)其功能，成本較高。微型機(jī)器人結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小，可在狹小空間內(nèi)自如運(yùn)動(dòng)，環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)，可達(dá)到微米、納米級(jí)的作業(yè)精度，可完成MEMS器件的搬運(yùn)、操作與裝配，對(duì)生物細(xì)胞的操作等任務(wù)，但是其功能單一，完成一個(gè)簡(jiǎn)單任務(wù)往往需要多臺(tái)機(jī)器人配合作業(yè)，且就目前的情況來(lái)看，對(duì)微型機(jī)器人的研究還處于起步階段，技術(shù)還不太成熟，離產(chǎn)業(yè)化還有很長(zhǎng)一段距離。在微操作驅(qū)動(dòng)的過(guò)程中，僅采用宏動(dòng)，速度快，但精度低；僅采用微動(dòng)，精度高，但速度慢，單一地采用某一種驅(qū)動(dòng)方式，無(wú)法高效高質(zhì)量地完成微操作任務(wù)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種宏/微雙重驅(qū)動(dòng)的微小型機(jī)器人移動(dòng)定位平臺(tái)，它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，體積小，宏/微雙重驅(qū)動(dòng)，即可以在大范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速移動(dòng)，又可以在小范圍實(shí)現(xiàn)高精度的位置調(diào)整，重復(fù)定位精度高的特點(diǎn)。本發(fā)明由一號(hào)電機(jī)1、一號(hào)雙極性壓電陶瓷2、一號(hào)電機(jī)定位端蓋3、一號(hào)主動(dòng)輪4、外移動(dòng)定位平臺(tái)5、二號(hào)雙極性壓電陶瓷6、左外電磁鐵7、左外彈簧片8、二號(hào)從動(dòng)輪9、二號(hào)電機(jī)10、內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11、二號(hào)主動(dòng)輪12、三號(hào)雙極性壓電陶瓷13、內(nèi)電磁鐵14、一號(hào)從動(dòng)輪15、二號(hào)電機(jī)定位端蓋16、內(nèi)彈簧片17、右外電磁鐵7′、右外彈簧片8′組成；一號(hào)電機(jī)1由一號(hào)電機(jī)定位端蓋3固定在外移動(dòng)定位平臺(tái)5的一側(cè)上，一號(hào)主動(dòng)輪4固定在一號(hào)電機(jī)1的輸出軸上，一號(hào)從動(dòng)輪15固定在一號(hào)電機(jī)1同一側(cè)的外移動(dòng)定位平臺(tái)5上，二號(hào)電機(jī)10由二號(hào)電機(jī)定位端蓋16固定在外移動(dòng)定位平臺(tái)5的另一側(cè)上，二號(hào)主動(dòng)輪12固定在二號(hào)電機(jī)10的輸出軸上，二號(hào)從動(dòng)輪9固定在二號(hào)電機(jī)10同一側(cè)的外移動(dòng)定位平臺(tái)5上，在外移動(dòng)定位平臺(tái)5上表面的中部設(shè)有內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11，一號(hào)雙極性壓電陶瓷2、二號(hào)雙極性壓電陶瓷6和三號(hào)雙極性壓電陶瓷13的一端分別與外移動(dòng)定位平臺(tái)5相連接，一號(hào)雙極性壓電陶瓷2、二號(hào)雙極性壓電陶瓷6和三號(hào)雙極性壓電陶瓷13的另一端分別與內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11相連接，內(nèi)彈簧片17固定在內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11的中部，內(nèi)電磁鐵14固定在內(nèi)彈簧片17的下面及內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11的通孔20內(nèi)，左外彈簧片8固定在內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11左側(cè)的外移動(dòng)定位平臺(tái)5的表面上，左外電磁鐵7固定在左外彈簧片8的下面及外移動(dòng)定位平臺(tái)5上的通孔21內(nèi)，右外彈簧片8′固定在內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11右側(cè)的外移動(dòng)定位平臺(tái)5的表面上，右外電磁鐵7′固定在右外彈簧片8′的下面及外移動(dòng)定位平臺(tái)5上的二號(hào)通孔22內(nèi)。所述內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11是等邊三角形。所述一號(hào)主動(dòng)輪4與二號(hào)主動(dòng)輪12在外移動(dòng)定位平臺(tái)5上對(duì)角設(shè)置。所述一號(hào)雙極性壓電陶瓷2、二號(hào)雙極性壓電陶瓷6和三號(hào)雙極性壓電陶瓷13與外移動(dòng)定位平臺(tái)5之間由B柔性鉸鏈18相連接；一號(hào)雙極性壓電陶瓷2、二號(hào)雙極性壓電陶瓷6和三號(hào)雙極性壓電陶瓷13與內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11之間由C柔性鉸鏈19相連接。所述內(nèi)彈簧片17、左外彈簧片8和右外彈簧片8′為“Y”形，內(nèi)電磁鐵14、左外電磁鐵7和右外電磁鐵7′分別固定在內(nèi)彈簧片17、左外彈簧片8和右外彈簧片8′的中心處。本發(fā)明集宏/微驅(qū)動(dòng)于一體，宏動(dòng)采用兩個(gè)微型電機(jī)對(duì)角驅(qū)動(dòng)原理，電機(jī)軸與主動(dòng)輪直接連接；微動(dòng)采用三根雙極性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，并在電磁鐵與彈簧片的配合下，根據(jù)尺蠖蠕動(dòng)原理運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)機(jī)器人定位平臺(tái)的微動(dòng)調(diào)整。宏/微運(yùn)動(dòng)的切換，由電磁鐵通電與工作臺(tái)吸合使彈簧片產(chǎn)生彈性變形來(lái)實(shí)現(xiàn)。本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)1、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小。2、具有宏/微雙重驅(qū)動(dòng)，既可以在大范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速移動(dòng)，又可以在小范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高精度的位置調(diào)整。3、宏運(yùn)動(dòng)最大速度可達(dá)60mm/s，分辨率可達(dá)0.2mm，重復(fù)定位精度可達(dá)0.5mm。4、微運(yùn)動(dòng)最大運(yùn)動(dòng)速度可達(dá)0.5mm/s，分辨率可達(dá)100nm，重復(fù)定位精度可達(dá)0.5um。5、基于雙電機(jī)對(duì)角驅(qū)動(dòng)模式的宏驅(qū)動(dòng)方式，有效地減小了定位平臺(tái)的轉(zhuǎn)彎半徑，使定位平臺(tái)受工作空間大小的限制程度大大降低，可以在狹小的空間內(nèi)工作。6、宏/微驅(qū)動(dòng)均可實(shí)現(xiàn)零半徑圓周運(yùn)動(dòng)，轉(zhuǎn)向靈活。7、可以作為一種通用的移動(dòng)定位機(jī)構(gòu)，搭載多種微操作器，完成不同的微操作任務(wù)。


圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖，圖2是圖1的A向視圖。
具體實(shí)施例方式
(參見(jiàn)圖1)本實(shí)施方式由一號(hào)電機(jī)1、一號(hào)雙極性壓電陶瓷2、一號(hào)電機(jī)定位端蓋3、一號(hào)主動(dòng)輪4、外移動(dòng)定位平臺(tái)5、二號(hào)雙極性壓電陶瓷6、左外電磁鐵7、左外彈簧片8、二號(hào)從動(dòng)輪9、二號(hào)電機(jī)10、內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11、二號(hào)主動(dòng)輪12、三號(hào)雙極性壓電陶瓷13、內(nèi)電磁鐵14、一號(hào)從動(dòng)輪15、二號(hào)電機(jī)定位端蓋16、內(nèi)彈簧片17、右外電磁鐵7′、右外彈簧片8′組成；一號(hào)電機(jī)1由一號(hào)電機(jī)定位端蓋3固定在外移動(dòng)定位平臺(tái)5的一側(cè)上，一號(hào)主動(dòng)輪4固定在一號(hào)電機(jī)1的輸出軸上，一號(hào)從動(dòng)輪15固定在一號(hào)電機(jī)1同一側(cè)的外移動(dòng)定位平臺(tái)5上，二號(hào)電機(jī)10由二號(hào)電機(jī)定位端蓋16固定在外移動(dòng)定位平臺(tái)5的另一側(cè)上，二號(hào)主動(dòng)輪12固定在二號(hào)電機(jī)10的輸出軸上，二號(hào)從動(dòng)輪9固定在二號(hào)電機(jī)10同一側(cè)的外移動(dòng)定位平臺(tái)5上，在外移動(dòng)定位平臺(tái)5上表面的中部設(shè)有內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11，一號(hào)雙極性壓電陶瓷2、二號(hào)雙極性壓電陶瓷6和三號(hào)雙極性壓電陶瓷13的一端分別與外移動(dòng)定位平臺(tái)5相連接，一號(hào)雙極性壓電陶瓷2、二號(hào)雙極性壓電陶瓷6和三號(hào)雙極性壓電陶瓷13的另一端分別與內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11相連接，內(nèi)彈簧片17固定在內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11的中部，內(nèi)電磁鐵14固定在內(nèi)彈簧片17的下面及內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11的通孔20內(nèi)，左外彈簧片8固定在內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11左側(cè)的外移動(dòng)定位平臺(tái)5的表面上，左外電磁鐵7固定在左外彈簧片8的下面及外移動(dòng)定位平臺(tái)5上的通孔21內(nèi)，右外彈簧片8′固定在內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11右側(cè)的外外移動(dòng)定位平臺(tái)5的表面上，右外電磁鐵7′固定在右外彈簧片8′的下面及外移動(dòng)定位平臺(tái)5上的二號(hào)通孔22內(nèi)。所述內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11是等邊三角形。所述一號(hào)主動(dòng)輪4與二號(hào)主動(dòng)輪12在外移動(dòng)定位平臺(tái)5上對(duì)角設(shè)置。所述一號(hào)雙極性壓電陶瓷2、二號(hào)雙極性壓電陶瓷6和三號(hào)雙極性壓電陶瓷13與外移動(dòng)定位平臺(tái)5之間由B柔性鉸鏈18相連接；一號(hào)雙極性壓電陶瓷2、二號(hào)雙極性壓電陶瓷6和三號(hào)雙極性壓電陶瓷13與內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)11之間由C柔性鉸鏈19相連接。所述內(nèi)彈簧片17、左外彈簧片8和右外彈簧片8′為“Y”形，內(nèi)電磁鐵14、左外電磁鐵7和右外電磁鐵7′分別固定在內(nèi)彈簧片17、左外彈簧片8和右外彈簧片8′的中心處。
運(yùn)動(dòng)模式1、大范圍內(nèi)的宏運(yùn)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)方式有如下幾種a、直線前進(jìn)一號(hào)電機(jī)1、二號(hào)電機(jī)10保持相同的轉(zhuǎn)速同時(shí)向前轉(zhuǎn)動(dòng)；b、直線后退一號(hào)電機(jī)1、二號(hào)電機(jī)10保持相同的轉(zhuǎn)速同時(shí)向后轉(zhuǎn)動(dòng)；c、前向左轉(zhuǎn)彎一號(hào)電機(jī)1、二號(hào)電機(jī)10同時(shí)向前轉(zhuǎn)動(dòng)，保持二號(hào)電機(jī)10的轉(zhuǎn)速大于一號(hào)電機(jī)1的轉(zhuǎn)速；d、前向右轉(zhuǎn)彎一號(hào)電機(jī)1、二號(hào)電機(jī)10同時(shí)向前轉(zhuǎn)動(dòng)，保持二號(hào)電機(jī)10的轉(zhuǎn)速小于一號(hào)電機(jī)1的轉(zhuǎn)速；e、后向左轉(zhuǎn)彎一號(hào)電機(jī)1、二號(hào)電機(jī)10同時(shí)向后轉(zhuǎn)動(dòng)，保持二號(hào)電機(jī)10的轉(zhuǎn)速大于一號(hào)電機(jī)1的轉(zhuǎn)速；f、后向右轉(zhuǎn)彎一號(hào)電機(jī)1、二號(hào)電機(jī)10同時(shí)向后轉(zhuǎn)動(dòng)，保持二號(hào)電機(jī)10的轉(zhuǎn)速小于一號(hào)電機(jī)1的轉(zhuǎn)速；g、零半徑圓周運(yùn)動(dòng)一號(hào)電機(jī)1、二號(hào)電機(jī)10保持相同的轉(zhuǎn)速，相反的方向同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)。
在定義的運(yùn)動(dòng)方向下，控制前向左右轉(zhuǎn)彎與控制后向左右轉(zhuǎn)彎的控制方式相同，除去相同的兩種，從控制方法上來(lái)說(shuō)，該微小型機(jī)器人移動(dòng)定位平臺(tái)共有5種運(yùn)動(dòng)方式。
2、小范圍內(nèi)的微運(yùn)動(dòng)，雙極性壓電陶瓷與電磁鐵配合，根據(jù)尺蠖蠕動(dòng)原理，進(jìn)行微動(dòng)調(diào)整，實(shí)現(xiàn)機(jī)器人定位平臺(tái)的高精密定位。其運(yùn)動(dòng)方式如下a、一號(hào)雙極性壓電陶瓷2、二號(hào)雙極性壓電陶瓷6、三號(hào)雙極性壓電陶瓷13同時(shí)伸縮相同的長(zhǎng)度，機(jī)器人定位平臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)θ角度。
b、一號(hào)雙極性壓電陶瓷2、二號(hào)雙極性壓電陶瓷6、三號(hào)雙極性壓電陶瓷13按不同比例伸縮，機(jī)器人定位平臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)β角度。
c、二號(hào)雙極性壓電陶瓷6通電收縮，三號(hào)雙極性壓電陶瓷13通電伸長(zhǎng)，一號(hào)雙極性壓電陶瓷2通電進(jìn)行伸縮補(bǔ)償，機(jī)器人定位平臺(tái)直線前進(jìn)。
d、一號(hào)雙極性壓電陶瓷2通電收縮，三號(hào)雙極性壓電陶瓷13通電伸長(zhǎng)，二號(hào)雙極性壓電陶瓷6通電進(jìn)行伸縮補(bǔ)償，機(jī)器人定位平臺(tái)直線向右運(yùn)動(dòng)。
e、一號(hào)雙極性壓電陶瓷2通電伸長(zhǎng)，二號(hào)雙極性壓電陶瓷6通電收縮，三號(hào)雙極性壓電陶瓷13通電進(jìn)行伸縮補(bǔ)償，機(jī)器人定位平臺(tái)直線向左運(yùn)動(dòng)。
f、三號(hào)雙極性壓電陶瓷13通電收縮，二號(hào)雙極性壓電陶瓷6通電伸長(zhǎng)，一號(hào)雙極性壓電陶瓷2通電進(jìn)行伸縮補(bǔ)償，機(jī)器人定位平臺(tái)直線后退。
機(jī)器人定位平臺(tái)微動(dòng)時(shí)，可實(shí)現(xiàn)x，y方向的直線運(yùn)動(dòng)以及繞z軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，具有三個(gè)自由度。
3、宏/微運(yùn)動(dòng)切換當(dāng)機(jī)器人定位平臺(tái)運(yùn)動(dòng)到接近目標(biāo)位置時(shí)，運(yùn)動(dòng)方式由快速宏運(yùn)動(dòng)切換到微運(yùn)動(dòng)模式，來(lái)實(shí)現(xiàn)定位平臺(tái)的精密定位。首先電機(jī)停止轉(zhuǎn)動(dòng)，外(或內(nèi))電磁鐵通電與工作臺(tái)吸合，彈簧片產(chǎn)生變形，完成宏/微運(yùn)動(dòng)切換。
權(quán)利要求
1.宏/微雙重驅(qū)動(dòng)的微小型機(jī)器人移動(dòng)定位平臺(tái)，它由一號(hào)電機(jī)(1)、一號(hào)雙極性壓電陶瓷(2)、一號(hào)電機(jī)定位端蓋(3)、一號(hào)主動(dòng)輪(4)、外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)、二號(hào)雙極性壓電陶瓷(6)、左外電磁鐵(7)、左外彈簧片(8)、二號(hào)從動(dòng)輪(9)、二號(hào)電機(jī)(10)、內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)(11)、二號(hào)主動(dòng)輪(12)、三號(hào)雙極性壓電陶瓷(13)、內(nèi)電磁鐵(14)、一號(hào)從動(dòng)輪(15)、二號(hào)電機(jī)定位端蓋(16)、內(nèi)彈簧片(17)、右外電磁鐵(7′)、右外彈簧片(8′)組成；其特征在于一號(hào)電機(jī)由一號(hào)電機(jī)定位端蓋(3)固定在外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)的一側(cè)上，一號(hào)主動(dòng)輪(4)固定在一號(hào)電機(jī)(1)的輸出軸上，一號(hào)從動(dòng)輪(15)固定在一號(hào)電機(jī)(1)同一側(cè)的外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)上，二號(hào)電機(jī)(10)由二號(hào)電機(jī)定位端蓋(16)固定在外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)的另一側(cè)上，二號(hào)主動(dòng)輪(12)固定在二號(hào)電機(jī)(10)的輸出軸上，二號(hào)從動(dòng)輪(9)固定在二號(hào)電機(jī)(10)同一側(cè)的外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)上，在外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)上表面的中部設(shè)有內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)(11)，一號(hào)雙極性壓電陶瓷(2)、二號(hào)雙極性壓電陶瓷(6)和三號(hào)雙極性壓電陶瓷(13)的一端分別與外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)相連接，一號(hào)雙極性壓電陶瓷(2)、二號(hào)雙極性壓電陶瓷(6)和三號(hào)雙極性壓電陶瓷(13)的另一端分別與內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)(11)相連接，內(nèi)彈簧片(17)固定在內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)(11)的中部，內(nèi)電磁鐵(14)固定在內(nèi)彈簧片(17)的下面及內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)(11)的通孔(20)內(nèi)，左外彈簧片(8)固定在內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)(11)左側(cè)的外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)的表面上，左外電磁鐵(7)固定在左外彈簧片(8)的下面及外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)上的通孔(21)內(nèi)，右外彈簧片(8′)固定在內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)(11)右側(cè)的外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)的表面上，右外電磁鐵(7′)固定在右外彈簧片(8′)的下面及外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)上的二號(hào)通孔(22)內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的宏/微雙重驅(qū)動(dòng)的微小型機(jī)器人移動(dòng)定位平臺(tái)，其特征在于所述內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)(11)是等邊三角形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的宏/微雙重驅(qū)動(dòng)的微小型機(jī)器人移動(dòng)定位平臺(tái)，其特征在于所述一號(hào)主動(dòng)輪(4)與二號(hào)主動(dòng)輪(12)在外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)上對(duì)角設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的宏/微雙重驅(qū)動(dòng)的微小型機(jī)器人移動(dòng)定位平臺(tái)，其特征在于所述一號(hào)雙極性壓電陶瓷(2)、二號(hào)雙極性壓電陶瓷(6)和三號(hào)雙極性壓電陶瓷(13)與外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)之間由B柔性鉸鏈(18)相連接；一號(hào)雙極性壓電陶瓷(2)、二號(hào)雙極性壓電陶瓷(6)和三號(hào)雙極性壓電陶瓷(13)與內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)(11)之間由C柔性鉸鏈(19)相連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的宏/微雙重驅(qū)動(dòng)的微小型機(jī)器人移動(dòng)定位平臺(tái)，其特征在于所述內(nèi)彈簧片(17)、左外彈簧片(8)和右外彈簧片(8′)為“Y”形，內(nèi)電磁鐵(14)、左外電磁鐵(7)和右外電磁鐵(7′)分別固定在內(nèi)彈簧片(17)、左外彈簧片(8)和右外彈簧片(8′)的中心處。
全文摘要
宏/微雙重驅(qū)動(dòng)的微小型機(jī)器人移動(dòng)定位平臺(tái)，它涉及微小型機(jī)器人移動(dòng)定位平臺(tái)結(jié)構(gòu)的改進(jìn)。本發(fā)明一號(hào)主動(dòng)輪(4)固定在一號(hào)電機(jī)(1)的輸出軸上，一號(hào)從動(dòng)輪(15)固定在一號(hào)電機(jī)(1)同一側(cè)的外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)上，二號(hào)主動(dòng)輪(12)固定在二號(hào)電機(jī)(10)的輸出軸上，二號(hào)從動(dòng)輪(9)固定在二號(hào)電機(jī)(10)同一側(cè)的外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)上，在外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)上表面的中部設(shè)有內(nèi)微動(dòng)定位平臺(tái)(11)，一號(hào)雙極性壓電陶瓷(2)、二號(hào)雙極性壓電陶瓷(6)和三號(hào)雙極性壓電陶瓷(13)的一端分別與外移動(dòng)定位平臺(tái)(5)相連接。本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)1.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小。2.具有宏/微雙重驅(qū)動(dòng)，既可以在大范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速移動(dòng)，又可以在小范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高精度的位置調(diào)整。
文檔編號(hào)B81C99/00GK1562729SQ20041001368
公開(kāi)日2005年1月12日 申請(qǐng)日期2004年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月14日
發(fā)明者孫立寧, 李滿天, 陳海初 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)