一種冷凝凈化設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種冷凝凈化設(shè)備，其用于對烘烤設(shè)備排出的高溫廢氣進(jìn)行冷凝凈化處理。
【背景技術(shù)】
[0002]在彩色濾光片(Color Filter，簡稱CF)的制作工藝中，烘烤設(shè)備(即OVEN設(shè)備)用于對經(jīng)曝光、顯影后的產(chǎn)品進(jìn)行烘烤，即藉于加熱方式將殘存在彩色光阻膜內(nèi)的溶劑(solvent)強(qiáng)制揮發(fā)出，以達(dá)成形成彩色濾光片的目的。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中由于采取對彩色濾光片進(jìn)行直接加熱方式去除彩色光阻膜內(nèi)的溶劑，所以烘烤設(shè)備內(nèi)部會升華形成大量的溶劑升華物，這些溶劑升華物經(jīng)由排氣管路排出。在這些溶劑升華物經(jīng)由排氣管路排出的過程中，由于溫度降低會使溶劑升華物凝結(jié)，造成排氣管路內(nèi)溶劑升華物凝結(jié)越來越多，從而使排氣管路的排氣量減小，同時也給排氣管路的清潔帶來困擾。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種冷凝凈化設(shè)備，其包括:進(jìn)氣裝置、冷卻裝置、過濾裝置、排氣裝置；其中，所述進(jìn)氣裝置、所述冷卻裝置、所述排氣裝置依次連通，所述過濾裝置設(shè)置于所述冷卻裝置中；所述冷卻裝置與外部環(huán)境連通，由所述進(jìn)氣裝置進(jìn)入到所述冷卻裝置中的高溫氣體與進(jìn)入到所述冷卻裝置中的外部低溫空氣混合降溫，同時所述過濾裝置對所述高溫氣體中的雜質(zhì)進(jìn)行冷凝過濾，經(jīng)所述冷卻裝置和所述過濾裝置冷凝處理后的氣體由所述排氣裝置排出。
[0005]進(jìn)一步地，所述進(jìn)氣裝置包括:進(jìn)氣管、進(jìn)氣腔體體；其中，所述進(jìn)氣管與所述進(jìn)氣腔體體連通，所述進(jìn)氣腔體體與所述冷卻裝置連通。
[0006]進(jìn)一步地，所述冷卻裝置包括:冷卻腔體、通風(fēng)裝置；其中，所述通風(fēng)裝置安裝于所述冷卻腔體上，所述通風(fēng)裝置用于使所述外部低溫空氣進(jìn)入到所述冷卻腔體中，所述冷卻腔體與所述進(jìn)氣腔體連通。
[0007]進(jìn)一步地，所述通風(fēng)裝置包括:片狀體及開設(shè)在所述片狀體上的若干開口 ；其中，所述片狀體安裝于所述冷卻腔體上，所述外部低溫空氣通過所述若干開口進(jìn)入到所述冷卻腔體中。
[0008]進(jìn)一步地，所述開口的大小可調(diào)節(jié)。
[0009]進(jìn)一步地，所述過濾裝置包括:濾網(wǎng)；其中，所述濾網(wǎng)插置于所述冷卻腔體中。
[0010]進(jìn)一步地，所述過濾裝置還包括:承載托架；其中，所述承載托架包括:手柄及與所述手柄連接的環(huán)形托架，所述濾網(wǎng)可拆卸地安裝于所述環(huán)形托架中，所述環(huán)形托架插置于所述冷卻腔體中。
[0011]進(jìn)一步地，所述排氣裝置包括:排氣腔體、排氣管；其中，所述排氣腔體與所述冷卻腔體連通，所述排氣管與所述排氣腔體連通。
[0012]進(jìn)一步地，所述冷凝凈化設(shè)備還包括:抽風(fēng)機(jī)，用于提高經(jīng)由所述通風(fēng)裝置進(jìn)入到所述冷卻腔體中的所述外部低溫空氣的氣體量。
[0013]進(jìn)一步地，所述冷凝凈化設(shè)備還包括:固定支架；其中，所述進(jìn)氣裝置、所述冷卻裝置、所述過濾裝置、所述排氣裝置及所述抽風(fēng)機(jī)均安裝在所述固定支架上。
[0014]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明的冷凝凈化設(shè)備通過提前對進(jìn)入排氣管路的高溫氣體進(jìn)行降溫及凝結(jié)過濾處理，以避免高溫氣體在排氣管路凝結(jié)堵塞排氣管路；同時由于濾網(wǎng)能夠拆卸，所以非常方便對濾網(wǎng)進(jìn)行清潔或更換，也解決了現(xiàn)有技術(shù)的排氣管路難以清潔的問題。
【附圖說明】
[0015]通過結(jié)合附圖進(jìn)行的以下描述，本發(fā)明的實(shí)施例的上述和其它方面、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)將變得更加清楚，附圖中:
[0016]圖1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的冷凝凈化設(shè)備的立體示意圖；
[0017]圖2是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的冷凝凈化設(shè)備的正視示意圖；
[0018]圖3是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]以下，將參照附圖來詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例。然而，可以以許多不同的形式來實(shí)施本發(fā)明，并且本發(fā)明不應(yīng)該被解釋為限制于這里闡述的具體實(shí)施例。相反，提供這些實(shí)施例是為了解釋本發(fā)明的原理及其實(shí)際應(yīng)用，從而使本領(lǐng)域的其他技術(shù)人員能夠理解本發(fā)明的各種實(shí)施例和適合于特定預(yù)期應(yīng)用的各種修改。在附圖中，為了清楚器件，夸大了層和區(qū)域的厚度。相同的標(biāo)號在整個說明書和附圖中可用來表示相同的元件。
[0020]圖1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的冷凝凈化設(shè)備的立體示意圖。圖2是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的冷凝凈化設(shè)備的正視示意圖。
[0021]參照圖1和圖2，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的冷凝凈化設(shè)備包括:進(jìn)氣裝置1、冷卻裝置2、過濾裝置3、排氣裝置4 ;其中，進(jìn)氣裝置1、冷卻裝置2、排氣裝置4依次連通，過濾裝置3設(shè)置于冷卻裝置2中，冷卻裝置2與外部環(huán)境連通，由進(jìn)氣裝置I進(jìn)入到冷卻裝置2中的高溫氣體與進(jìn)入到冷卻裝置2中的外部低溫空氣混合降溫，過濾裝置3對降溫后的高溫氣體進(jìn)行凝結(jié)過濾處理，經(jīng)冷卻裝置2和過濾裝置3處理后的氣體由排氣裝置4排出。
[0022]此外，作為本發(fā)明的其他實(shí)施方式，可在冷卻裝置2中設(shè)置氣體混合裝置(諸如旋轉(zhuǎn)葉片等)，以加快高溫氣體與外部低溫空氣的混合效率。
[0023]在實(shí)際應(yīng)用中，烘烤設(shè)備(即OVEN設(shè)備)在對產(chǎn)品進(jìn)行烘烤后產(chǎn)生的高溫溶劑升華物由進(jìn)氣裝置I進(jìn)入到冷卻裝置2中，其與進(jìn)入到冷卻裝置2中的外部低溫空氣進(jìn)行混合降溫，降溫后的高溫溶劑升華物凝結(jié)在過濾裝置3上，之后，被降溫過濾后的氣體由排氣裝置4排出到排氣管路。這樣，通過提前對進(jìn)入排氣管路的高溫溶劑升華物進(jìn)行降溫凝結(jié)等處理，以避免高溫溶劑升華物在排氣管路中凝結(jié)而堵塞排氣管路。
[0024]具體地，進(jìn)氣裝置I包括:進(jìn)氣管11及與進(jìn)氣管11相連通的進(jìn)氣腔體12 ;其中，進(jìn)氣管11可設(shè)置在進(jìn)氣腔體12的上表面上，進(jìn)氣腔體12與冷卻裝置2的冷卻腔體21連通。烘烤設(shè)備產(chǎn)生的高溫溶劑升華物由進(jìn)氣管11進(jìn)入到進(jìn)氣腔體12中，并經(jīng)由進(jìn)氣腔體12進(jìn)入到冷卻裝置2中。
[0025]冷卻裝置2包括:冷卻腔體21、通風(fēng)裝置22 ;其中，冷卻腔體21的一側(cè)與進(jìn)氣腔體12連通，冷卻腔體21的另一側(cè)與排氣裝置4的排氣腔體41連通；通風(fēng)裝置22可設(shè)置在冷卻腔體21的上表面上，其用于使外部低溫空氣進(jìn)入到冷卻腔體21中。
[0026]進(jìn)一步地，通風(fēng)裝置22包括:片狀體221及開設(shè)在片狀體221上的若干開口 222 ；其中，外部低溫空氣通過這些開口 222進(jìn)入到冷卻腔體21中。進(jìn)一步地，開口 222的大小可被調(diào)節(jié)被。在本實(shí)施例中，可通過滑動調(diào)節(jié)桿來回滑動擋片來調(diào)節(jié)控制開口 222的大小，但本發(fā)明并不限制于這種調(diào)節(jié)方式。
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