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加氫純化裝置的制作方法

文檔序號(hào):39526837發(fā)布日期:2024-09-27 17:11閱讀:45來(lái)源:國(guó)知局
加氫純化裝置的制作方法

本申請(qǐng)涉及化工設(shè)備,具體而言,本申請(qǐng)涉及一種加氫純化裝置。


背景技術(shù):

1、電子生產(chǎn)工業(yè)中,需要用到特種氣體,如高純的氧氣、氮?dú)?、二氧化碳、氬氣和丙烷等等,這些特種氣體的純度要遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于普通的工業(yè)氣體。

2、高純度的氫氣、氮?dú)狻⑾∮袣怏w、氧氣等氣體是發(fā)光二極管、大規(guī)模集成電路等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要原料,這些氣體主要作為半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的載氣、保護(hù)氣,其純度對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量和性能至關(guān)重要。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展,對(duì)氣體純度的要求越來(lái)越高。例如高純氮可以用作化學(xué)氣相沉淀時(shí)的載氣。另外,高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,也作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。然而,一方面,體積含量低于純度為99.9%普氮中往往因?yàn)闈舛冗^(guò)低,且含有大量雜質(zhì),固體雜質(zhì)尚且不說(shuō),對(duì)于氣體雜質(zhì),例如氧氣、二氧化碳、一氧化碳、二氧化硫和稀有氣體等,均會(huì)影響普氮的保護(hù)效果。另一方向,直接采購(gòu)高純氮,會(huì)大幅提高生產(chǎn)成本,降低產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力。

3、綜上所述,現(xiàn)有技術(shù)中存在氮?dú)饧兌炔桓呋蛘卟少?gòu)成本較高的技術(shù)問(wèn)題。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)針對(duì)現(xiàn)有方式的缺點(diǎn),提出一種加氫純化裝置,用以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的氮?dú)饧兌炔桓呋蛘卟少?gòu)成本較高的技術(shù)問(wèn)題。

2、本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種加氫純化裝置,包括普氮輸入管、氫氣輸入管、靜態(tài)混合器、熱交換器、脫氧塔和干燥過(guò)濾裝置:

3、普氮輸入管;

4、氫氣輸入管;

5、靜態(tài)混合器,分別與所述普氮輸入管、所述氫氣輸入管連接;

6、熱交換器,與所述靜態(tài)混合器連接;

7、脫氧塔,通過(guò)至少兩條通路與所述熱交換器連接,所述脫氧塔中裝載有加氫脫氧催化劑;

8、干燥過(guò)濾裝置,分別與所述熱交換器、所述脫氧塔連接。

9、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中,所述普氮輸入管與所述靜態(tài)混合器直接連接,所述氫氣輸入管與所述普氮輸入管連接,所述氫氣輸入管通過(guò)所述普氮輸入管與所述靜態(tài)混合器間接連接。

10、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中,所述兩條通路包括換氣通路和導(dǎo)熱通路,所述換氣通路分別連接所述脫氧塔的入口、所述熱交換器的出口,所述導(dǎo)熱通路分別連接所述熱交換器的頂部、所述脫氧塔的出口。

11、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中,所述干燥過(guò)濾裝置包括冷卻器、油水分離器、冷干機(jī)和精密過(guò)濾器,所述冷卻器分別與所述熱交換器、所述脫氧塔、所述油水分離器連接,所述油水分離器與所述、冷干機(jī)、所述精密過(guò)濾器依次串聯(lián)。

12、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中,所述干燥過(guò)濾裝置還包括干燥機(jī),所述干燥機(jī)包括兩個(gè)并列排布的干燥塔體,兩個(gè)所述干燥塔體的入口均與所述精密過(guò)濾器連接。

13、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中,所述干燥過(guò)濾裝置還包括氮?dú)饩彌_罐,所述氮?dú)饩彌_罐分別與兩個(gè)所述干燥塔體的出口連接。

14、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中,所述干燥機(jī)包括變壓吸附干燥機(jī)或者變溫吸附干燥機(jī)。

15、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中,還包括制氫裝置,所述制氫裝置包括氨分解爐,所述氨分解爐與所述氫氣輸入管連接。

16、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中,還包括多個(gè)排污支管和一個(gè)排污總管,每個(gè)所述排污支管與所述熱交換器或者所述脫氧塔連接,多個(gè)所述排污支管匯入所述排污總管。

17、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中,還包括可編程邏輯控制器和報(bào)警裝置,所述可編程邏輯控制器分別與所述靜態(tài)混合器、所述脫氧塔、所述干燥過(guò)濾裝置、所述報(bào)警裝置信號(hào)連接。

18、本申請(qǐng)實(shí)施例提供的技術(shù)方案帶來(lái)的有益技術(shù)效果包括:本申請(qǐng)實(shí)施例通過(guò)脫氧塔催化脫氧,配合干燥過(guò)濾裝置吸附,除去氮?dú)庵械难?、水、二氧化碳和塵等雜質(zhì),獲取高純氮?dú)?。又通過(guò)脫氧塔與熱交換器連接,普氮中的氧氣雜質(zhì)與氫氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成水被除去,同時(shí)放出大量熱量,將脫氧塔出口的熱量導(dǎo)入熱交換器中,用于預(yù)熱位于熱交換器入口的氣體,減少了普氮在脫氧塔中的加熱時(shí)間,提高了氮?dú)饧兓?,無(wú)需設(shè)置單獨(dú)的加熱設(shè)備,循環(huán)利用能量,降低了生產(chǎn)成本和提高了環(huán)保性。

19、本申請(qǐng)附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出,這些將從下面的描述中變得明顯,或通過(guò)本申請(qǐng)的實(shí)踐了解到。



技術(shù)特征:

1.一種加氫純化裝置,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置,其特征在于,所述普氮輸入管與所述靜態(tài)混合器直接連接,所述氫氣輸入管與所述普氮輸入管連接,所述氫氣輸入管通過(guò)所述普氮輸入管與所述靜態(tài)混合器間接連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置,其特征在于,所述兩條通路包括換氣通路和導(dǎo)熱通路,所述換氣通路分別連接所述脫氧塔的入口、所述熱交換器的出口,所述導(dǎo)熱通路分別連接所述熱交換器的頂部、所述脫氧塔的出口。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置,其特征在于,所述干燥過(guò)濾裝置包括冷卻器、油水分離器、冷干機(jī)和精密過(guò)濾器,所述冷卻器分別與所述熱交換器、所述脫氧塔、所述油水分離器連接,所述油水分離器與所述、冷干機(jī)、所述精密過(guò)濾器依次串聯(lián)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加氫純化裝置,其特征在于,所述干燥過(guò)濾裝置還包括干燥機(jī),所述干燥機(jī)包括兩個(gè)并列排布的干燥塔體,兩個(gè)所述干燥塔體的入口均與所述精密過(guò)濾器連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加氫純化裝置,其特征在于,所述干燥過(guò)濾裝置還包括氮?dú)饩彌_罐,所述氮?dú)饩彌_罐分別與兩個(gè)所述干燥塔體的出口連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加氫純化裝置,其特征在于,所述干燥機(jī)包括變壓吸附干燥機(jī)或者變溫吸附干燥機(jī)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置,其特征在于,還包括制氫裝置,所述制氫裝置包括氨分解爐,所述氨分解爐與所述氫氣輸入管連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置,其特征在于,還包括多個(gè)排污支管和一個(gè)排污總管,每個(gè)所述排污支管與所述熱交換器或者所述脫氧塔連接,多個(gè)所述排污支管匯入所述排污總管。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置,其特征在于,還包括可編程邏輯控制器和報(bào)警裝置,所述可編程邏輯控制器分別與所述靜態(tài)混合器、所述脫氧塔、所述干燥過(guò)濾裝置、所述報(bào)警裝置信號(hào)連接。


技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種加氫純化裝置。加氫純化裝置包括普氮輸入管、氫氣輸入管、靜態(tài)混合器、熱交換器、脫氧塔和干燥過(guò)濾裝置:靜態(tài)混合器,分別與普氮輸入管、氫氣輸入管連接;熱交換器,與靜態(tài)混合器連接;脫氧塔,通過(guò)至少兩條通路與熱交換器連接,脫氧塔中裝載有加氫脫氧催化劑;干燥過(guò)濾裝置,分別與熱交換器、脫氧塔連接。本申請(qǐng)實(shí)施例通過(guò)脫氧塔催化脫氧,配合干燥過(guò)濾裝置吸附,除去氧、水、二氧化碳和塵等雜質(zhì),獲取高純氮?dú)?。又通過(guò)脫氧塔與熱交換器連接,將脫氧塔出口的熱量導(dǎo)入熱交換器中,用于預(yù)熱位于熱交換器入口的氣體,減少了普氮在脫氧塔中的加熱時(shí)間,提高了氮?dú)饧兓剩h(huán)利用能量,降低了生產(chǎn)成本和提高了環(huán)保性。

技術(shù)研發(fā)人員:張凱,伍進(jìn)元,郭小慶
受保護(hù)的技術(shù)使用者:湖北耐卡凈化設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日:20240220
技術(shù)公布日:2024/9/26
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