本申請(qǐng)涉及化工設(shè)備，具體而言，本申請(qǐng)涉及一種加氫純化裝置。

背景技術(shù)：

1、電子生產(chǎn)工業(yè)中，需要用到特種氣體，如高純的氧氣、氮?dú)?、二氧化碳、氬氣和丙烷等等，這些特種氣體的純度要遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于普通的工業(yè)氣體。

2、高純度的氫氣、氮?dú)狻⑾∮袣怏w、氧氣等氣體是發(fā)光二極管、大規(guī)模集成電路等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要原料，這些氣體主要作為半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的載氣、保護(hù)氣，其純度對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量和性能至關(guān)重要。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)氣體純度的要求越來(lái)越高。例如高純氮可以用作化學(xué)氣相沉淀時(shí)的載氣。另外，高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，也作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。然而，一方面，體積含量低于純度為99.9％普氮中往往因?yàn)闈舛冗^(guò)低，且含有大量雜質(zhì)，固體雜質(zhì)尚且不說(shuō)，對(duì)于氣體雜質(zhì)，例如氧氣、二氧化碳、一氧化碳、二氧化硫和稀有氣體等，均會(huì)影響普氮的保護(hù)效果。另一方向，直接采購(gòu)高純氮，會(huì)大幅提高生產(chǎn)成本，降低產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力。

3、綜上所述，現(xiàn)有技術(shù)中存在氮?dú)饧兌炔桓呋蛘卟少?gòu)成本較高的技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)針對(duì)現(xiàn)有方式的缺點(diǎn)，提出一種加氫純化裝置，用以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的氮?dú)饧兌炔桓呋蛘卟少?gòu)成本較高的技術(shù)問(wèn)題。

2、本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種加氫純化裝置，包括普氮輸入管、氫氣輸入管、靜態(tài)混合器、熱交換器、脫氧塔和干燥過(guò)濾裝置：

3、普氮輸入管；

4、氫氣輸入管；

5、靜態(tài)混合器，分別與所述普氮輸入管、所述氫氣輸入管連接；

6、熱交換器，與所述靜態(tài)混合器連接；

7、脫氧塔，通過(guò)至少兩條通路與所述熱交換器連接，所述脫氧塔中裝載有加氫脫氧催化劑；

8、干燥過(guò)濾裝置，分別與所述熱交換器、所述脫氧塔連接。

9、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，所述普氮輸入管與所述靜態(tài)混合器直接連接，所述氫氣輸入管與所述普氮輸入管連接，所述氫氣輸入管通過(guò)所述普氮輸入管與所述靜態(tài)混合器間接連接。

10、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，所述兩條通路包括換氣通路和導(dǎo)熱通路，所述換氣通路分別連接所述脫氧塔的入口、所述熱交換器的出口，所述導(dǎo)熱通路分別連接所述熱交換器的頂部、所述脫氧塔的出口。

11、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，所述干燥過(guò)濾裝置包括冷卻器、油水分離器、冷干機(jī)和精密過(guò)濾器，所述冷卻器分別與所述熱交換器、所述脫氧塔、所述油水分離器連接，所述油水分離器與所述、冷干機(jī)、所述精密過(guò)濾器依次串聯(lián)。

12、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，所述干燥過(guò)濾裝置還包括干燥機(jī)，所述干燥機(jī)包括兩個(gè)并列排布的干燥塔體，兩個(gè)所述干燥塔體的入口均與所述精密過(guò)濾器連接。

13、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，所述干燥過(guò)濾裝置還包括氮?dú)饩彌_罐，所述氮?dú)饩彌_罐分別與兩個(gè)所述干燥塔體的出口連接。

14、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，所述干燥機(jī)包括變壓吸附干燥機(jī)或者變溫吸附干燥機(jī)。

15、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，還包括制氫裝置，所述制氫裝置包括氨分解爐，所述氨分解爐與所述氫氣輸入管連接。

16、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，還包括多個(gè)排污支管和一個(gè)排污總管，每個(gè)所述排污支管與所述熱交換器或者所述脫氧塔連接，多個(gè)所述排污支管匯入所述排污總管。

17、在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，還包括可編程邏輯控制器和報(bào)警裝置，所述可編程邏輯控制器分別與所述靜態(tài)混合器、所述脫氧塔、所述干燥過(guò)濾裝置、所述報(bào)警裝置信號(hào)連接。

18、本申請(qǐng)實(shí)施例提供的技術(shù)方案帶來(lái)的有益技術(shù)效果包括：本申請(qǐng)實(shí)施例通過(guò)脫氧塔催化脫氧，配合干燥過(guò)濾裝置吸附，除去氮?dú)庵械难?、水、二氧化碳和塵等雜質(zhì)，獲取高純氮?dú)?。又通過(guò)脫氧塔與熱交換器連接，普氮中的氧氣雜質(zhì)與氫氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成水被除去，同時(shí)放出大量熱量，將脫氧塔出口的熱量導(dǎo)入熱交換器中，用于預(yù)熱位于熱交換器入口的氣體，減少了普氮在脫氧塔中的加熱時(shí)間，提高了氮?dú)饧兓?，無(wú)需設(shè)置單獨(dú)的加熱設(shè)備，循環(huán)利用能量，降低了生產(chǎn)成本和提高了環(huán)保性。

19、本申請(qǐng)附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，這些將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本申請(qǐng)的實(shí)踐了解到。

技術(shù)特征：

1.一種加氫純化裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置，其特征在于，所述普氮輸入管與所述靜態(tài)混合器直接連接，所述氫氣輸入管與所述普氮輸入管連接，所述氫氣輸入管通過(guò)所述普氮輸入管與所述靜態(tài)混合器間接連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置，其特征在于，所述兩條通路包括換氣通路和導(dǎo)熱通路，所述換氣通路分別連接所述脫氧塔的入口、所述熱交換器的出口，所述導(dǎo)熱通路分別連接所述熱交換器的頂部、所述脫氧塔的出口。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置，其特征在于，所述干燥過(guò)濾裝置包括冷卻器、油水分離器、冷干機(jī)和精密過(guò)濾器，所述冷卻器分別與所述熱交換器、所述脫氧塔、所述油水分離器連接，所述油水分離器與所述、冷干機(jī)、所述精密過(guò)濾器依次串聯(lián)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加氫純化裝置，其特征在于，所述干燥過(guò)濾裝置還包括干燥機(jī)，所述干燥機(jī)包括兩個(gè)并列排布的干燥塔體，兩個(gè)所述干燥塔體的入口均與所述精密過(guò)濾器連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加氫純化裝置，其特征在于，所述干燥過(guò)濾裝置還包括氮?dú)饩彌_罐，所述氮?dú)饩彌_罐分別與兩個(gè)所述干燥塔體的出口連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加氫純化裝置，其特征在于，所述干燥機(jī)包括變壓吸附干燥機(jī)或者變溫吸附干燥機(jī)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置，其特征在于，還包括制氫裝置，所述制氫裝置包括氨分解爐，所述氨分解爐與所述氫氣輸入管連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置，其特征在于，還包括多個(gè)排污支管和一個(gè)排污總管，每個(gè)所述排污支管與所述熱交換器或者所述脫氧塔連接，多個(gè)所述排污支管匯入所述排污總管。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加氫純化裝置，其特征在于，還包括可編程邏輯控制器和報(bào)警裝置，所述可編程邏輯控制器分別與所述靜態(tài)混合器、所述脫氧塔、所述干燥過(guò)濾裝置、所述報(bào)警裝置信號(hào)連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種加氫純化裝置。加氫純化裝置包括普氮輸入管、氫氣輸入管、靜態(tài)混合器、熱交換器、脫氧塔和干燥過(guò)濾裝置：靜態(tài)混合器，分別與普氮輸入管、氫氣輸入管連接；熱交換器，與靜態(tài)混合器連接；脫氧塔，通過(guò)至少兩條通路與熱交換器連接，脫氧塔中裝載有加氫脫氧催化劑；干燥過(guò)濾裝置，分別與熱交換器、脫氧塔連接。本申請(qǐng)實(shí)施例通過(guò)脫氧塔催化脫氧，配合干燥過(guò)濾裝置吸附，除去氧、水、二氧化碳和塵等雜質(zhì)，獲取高純氮?dú)?。又通過(guò)脫氧塔與熱交換器連接，將脫氧塔出口的熱量導(dǎo)入熱交換器中，用于預(yù)熱位于熱交換器入口的氣體，減少了普氮在脫氧塔中的加熱時(shí)間，提高了氮?dú)饧兓剩h(huán)利用能量，降低了生產(chǎn)成本和提高了環(huán)保性。

技術(shù)研發(fā)人員：張凱,伍進(jìn)元,郭小慶
受保護(hù)的技術(shù)使用者：湖北耐卡凈化設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240220
技術(shù)公布日：2024/9/26