專利名稱：一種除去氧硫化碳中水分的設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于一種提純氣體的設(shè)備，具體涉及一種除去氧硫化碳中水分的干燥設(shè)備。
背景技術(shù)：
氧硫化碳(COS)又名羰基硫或羰酰硫。它是合成硫代氨基甲酸酯類農(nóng)藥和殺蟲劑的重要原料，是一種重要的醫(yī)藥中間體和糧食熏蒸劑。近年來，氧硫化碳被發(fā)現(xiàn)在集成電路刻蝕工藝中有特殊的功效，世界上最領(lǐng)先的集成電路制造商已建立了以氧硫化碳為原料的芯片刻蝕生產(chǎn)線，并且該工藝有向所有集成電路制造商擴散的趨勢。目前，除去氧硫化碳中水分的方法有多種，主要有低溫冷凍法和干燥吸附法。低溫冷凍法是在低溫條件下，將氧硫化碳中大量飽和的水分除去。干燥吸附法是氧硫化碳以一定的流速通過特定的干燥吸附劑，達到除去氧硫化碳中痕量水分的目的。除去氧硫化碳中水分的方法不同，干燥設(shè)備的結(jié)構(gòu)形式也不同?，F(xiàn)有干燥吸附技術(shù)的設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，操作困難，干燥效果不易控制和監(jiān)測。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型為了克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點，其目的在于提供一種除去氧硫化碳中水分的設(shè)備。本實用新型的技術(shù)方案是一種除去氧硫化碳中水分的設(shè)備，包括筒體，筒體的頂部開口、并通過上法蘭與頂蓋密封連接，筒體的底部開口、并通過下法蘭與底蓋密封連接。在筒體內(nèi)部的上端設(shè)置有上篩板，在筒體內(nèi)部的下端設(shè)置有下篩板，在筒體外壁的上部設(shè)置有氧硫化碳出口和加料口，在筒體外壁的下部設(shè)置有氧硫化碳入口和卸料口。 在頂蓋上分別設(shè)置氮氣口和抽氣口，在底蓋上設(shè)置有放氣口，在筒體的外壁周圍設(shè)置有加熱裝置。 在所述的氧硫化碳入口上設(shè)置有流量測量口。在所述的在氧硫化碳出口上設(shè)置有水分在線監(jiān)測口。所述的上篩板和下篩板上形成多個小孔，多個小孔規(guī)則排列，或者非規(guī)則排列。所述的上篩板和下篩板上的小孔直徑要小于筒體內(nèi)部裝填干燥劑的直徑。本實用新型具有干燥程度高，設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，干燥效果易于控制和監(jiān)測，設(shè)備使用壽命長等優(yōu)點。

圖1是本實用新型的除去氧硫化碳中水分的設(shè)備剖面圖。其中[0018]1頂蓋2 氮氣ロ3抽氣ロ4測溫裝置5上法蘭6上篩板7加熱裝置8支座9下篩板10支架11流量監(jiān)測ロ12氧硫化碳入口13下法蘭14底蓋15放氣ロ16卸料ロ17加料ロ18氧硫化碳出口19水分在線監(jiān)測ロ 20筒體。
具體實施方式
下面，參照附圖和實施例對本實用新型的除去氧硫化碳中水分的設(shè)備進行詳細說 明如圖1所示，ー種除去氧硫化碳中水分的設(shè)備，包括筒體20，頂蓋1，底蓋14，上篩 板6和下篩板9。筒體20的頂部開ロ、并通過上法蘭5與頂蓋1密封連接，筒體20的底部 開ロ、并通過下法蘭13與底蓋14密封連接。在筒體20內(nèi)部的上端設(shè)置有上篩板6，在筒體20內(nèi)部的下端設(shè)置有下篩板9。上 篩板6和下篩板9上形成多個小孔，多個小孔可以規(guī)則排列，如正三角形，也可以非規(guī)則排 列。在下篩板9的上方放置干燥劑，小孔的直徑要小于筒體內(nèi)部裝填干燥劑的直徑。上篩 板6焊于筒體20內(nèi)壁，下篩板9由支架10支撐，支架10由三根以上的立柱組成。在筒體20外壁的上部設(shè)置有氧硫化碳出ロ 18和加料ロ 17，在氧硫化碳出ロ 18上 設(shè)置有水分在線監(jiān)測ロ 19。在筒體20外壁的下部設(shè)置有氧硫化碳入口 12和卸料ロ 16，在 氧硫化碳入口 12上設(shè)置有流量測量ロ 11。在筒體20的頂蓋1上分別設(shè)置氮氣ロ 2和抽氣 ロ 3，筒體20的底蓋14設(shè)置放氣ロ 15。在筒體20的外壁周圍設(shè)置有加熱裝置7，通過加熱 裝置7可以對筒體20內(nèi)部的干燥劑進行加熱，加熱裝置7可以選擇電加熱器。通過抽氣ロ 3可以對筒體20抽空。測溫裝置4通過頂蓋1插入到筒體20的下部。設(shè)備采用不銹鋼材質(zhì)，有強的耐腐蝕性能。整個設(shè)備由支座8安裝固定。本實用新型的工作過程如下首先，通過氮氣ロ 2向筒體20內(nèi)通入氮氣，對其內(nèi)腔進行吹洗，然后通過加料ロ 17 向筒體20內(nèi)加入一定量的干燥劑，加熱并抽空筒體20，對筒體20內(nèi)干燥劑進行預(yù)處理。處 理完畢，開啟氧硫化碳入口 12，通過流量測量ロ 11使含有水分的氧硫化碳氣體以一定的流 量通過筒體20。氧硫化碳氣體中的水分被干燥劑吸收。然后通過水分在線監(jiān)測ロ 19檢測氧硫化碳中的水分含量。通過實驗，經(jīng)過干燥后 的氧硫化碳中的水分含量在15 23ppm范圍內(nèi)。本實用新型具有干燥程度高，設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、干燥效果易于控制和監(jiān) 測，設(shè)備使用壽命長等優(yōu)點。
權(quán)利要求1.一種除去氧硫化碳中水分的設(shè)備，包括筒體(20)，筒體(20)的頂部開口、并通過上法蘭(5 )與頂蓋(1)密封連接，筒體(20 )的底部開口、并通過下法蘭(13 )與底蓋(14 )密封連接，其特征在于在筒體(20)內(nèi)部的上端設(shè)置有上篩板(6)，在筒體(20)內(nèi)部的下端設(shè)置有下篩板(9)，在筒體(20)外壁的上部設(shè)置有氧硫化碳出口(18)和加料口(17)，在筒體 (20)外壁的下部設(shè)置有氧硫化碳入口(12)和卸料口(16)，在頂蓋(1)上分別設(shè)置氮氣口 (2)和抽氣口(3)，在底蓋(14)上設(shè)置有放氣口(15)，在筒體(20)的外壁周圍設(shè)置有加熱裝置(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的除去氧硫化碳中水分的設(shè)備，其特征在于在所述的氧硫化碳入口( 12)上設(shè)置有流量測量口( 11)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的除去氧硫化碳中水分的設(shè)備，其特征在于在所述的在氧硫化碳出口(18)上設(shè)置有水分在線監(jiān)測口(19)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的除去氧硫化碳中水分的設(shè)備，其特征在于所述的上篩板(6) 和下篩板(9)上形成多個小孔，多個小孔規(guī)則排列，或者非規(guī)則排列。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的除去氧硫化碳中水分的設(shè)備，其特征在于所述的上篩板(6) 和下篩板(9)上的小孔直徑要小于筒體(20)內(nèi)部裝填干燥劑的直徑。
專利摘要本實用新型公開了一種除去氧硫化碳中水分的設(shè)備，包括筒體，筒體的頂部開口、并通過上法蘭與頂蓋密封連接，筒體的底部開口、并通過下法蘭與底蓋密封連接。在筒體內(nèi)部的上端設(shè)置有上篩板，在筒體內(nèi)部的下端設(shè)置有下篩板，在筒體外壁的上部設(shè)置有氧硫化碳出口和加料口，在筒體外壁的下部設(shè)置有氧硫化碳入口和卸料口。在頂蓋上分別設(shè)置氮氣口和抽氣口，在底蓋上設(shè)置有放氣口，在筒體的外壁周圍設(shè)置有加熱裝置。本實用新型具有干燥程度高，設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，干燥效果易于控制和監(jiān)測，設(shè)備使用壽命長等優(yōu)點。
文檔編號B01D53/26GK202263510SQ20112037302
公開日2012年6月6日 申請日期2011年10月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月8日
發(fā)明者侯姝, 張春芳, 李于教, 趙娜, 陳光華 申請人:核工業(yè)理化工程研究院華核新技術(shù)開發(fā)公司