專利名稱：一種高純化學(xué)品生產(chǎn)冷卻裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及到一種冷卻裝置，尤其涉及生產(chǎn)高純化學(xué)品的冷卻裝置。
背景技術(shù)：
高純化學(xué)品主要廣泛應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路、大屏幕液晶顯示器、半導(dǎo)體等微電子工業(yè)等方面，用作清洗和蝕刻劑，其純度和潔凈度對(duì)電子元器件的產(chǎn)品率、電性能、可靠性有很大的影響。隨著我國(guó)微電子工業(yè)的高速發(fā)展，電子化學(xué)品的需求越來(lái)越大。韓國(guó)的Kim C U等人開發(fā)了一個(gè)冷卻結(jié)晶法生產(chǎn)高純化學(xué)品的技術(shù)。但該方法溫度過低，能耗高，生產(chǎn)條件苛刻，只能間歇性生產(chǎn)，沒有看見進(jìn)一步生產(chǎn)報(bào)道 (KR2003042108)。另外有日本的山崎康夫等人用浸漬冷卻結(jié)晶法來(lái)制備高純化學(xué)品。但該方法對(duì)設(shè)備要求高，能耗高，產(chǎn)品收率低，只能間歇性生產(chǎn)，不能實(shí)現(xiàn)連續(xù)性生產(chǎn)(特開平3-193614、 特開平 3-1237009、特開平 12-026111)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服上述間歇性生產(chǎn)高純化學(xué)品，而提供的一種連續(xù)生產(chǎn)高純化學(xué)品的冷卻裝置。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是該生產(chǎn)高純化學(xué)品冷卻裝置包括換熱器、循環(huán)泵、緩沖罐和結(jié)晶器；換熱器一側(cè)的下部設(shè)有冷媒進(jìn)口，另一側(cè)的上部設(shè)有冷媒出口 ；換熱器頂部的進(jìn)口和緩沖罐的下部的出口通過循環(huán)泵相連；緩沖罐的頂部有原料進(jìn)口，另有細(xì)晶進(jìn)口與結(jié)晶器上部的溢流口相連通，細(xì)晶通過溢流口進(jìn)入緩沖罐；結(jié)晶器的一側(cè)下部設(shè)有冷媒進(jìn)口，另一側(cè)上部則設(shè)有冷媒出口 ；換熱器底部的出口與結(jié)晶器中部的進(jìn)口通過管道相連，原料在換熱器內(nèi)降溫后可進(jìn)入結(jié)晶器養(yǎng)晶、提純。上述換熱器是列管式換熱器，冷媒流經(jīng)管間，原料流經(jīng)管內(nèi)。上述結(jié)晶器內(nèi)裝有攪拌器，可通過調(diào)整其速率和電子化學(xué)品進(jìn)入量的大小，實(shí)現(xiàn)結(jié)晶器晶體養(yǎng)晶、長(zhǎng)大、分層。所述冷媒是乙二醇的水溶液或水。本實(shí)用新型的冷卻裝置的操作流程是原料通過原料進(jìn)口進(jìn)緩沖罐后，通過循環(huán)泵進(jìn)入換熱器降溫，進(jìn)入結(jié)晶器結(jié)晶提純，細(xì)晶通過溢流口進(jìn)入緩沖罐和原料混合進(jìn)行再次降溫結(jié)晶提純，大顆粒晶體通過結(jié)晶器底部放料閥排出。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是工藝流程短，能耗低，清潔無(wú)污染；操作過程易控制，生產(chǎn)過程中無(wú)磷的損耗；產(chǎn)量高，生產(chǎn)成本低，得到的電子化學(xué)品純度高，具有很高的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。

[0013]圖1為生產(chǎn)高純化學(xué)品生產(chǎn)冷卻裝置示意圖。圖中，1為換熱器，2為緩沖罐，3為結(jié)晶器，4為冷媒進(jìn)口，5為進(jìn)口，6為冷媒出口， 7為出口，8為循環(huán)泵，9為原料進(jìn)口，10為細(xì)晶進(jìn)口，11為溢流口，12為冷媒進(jìn)口，13為冷媒出口，14為進(jìn)口，15為攪拌器，16為原料出口。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例生產(chǎn)高純磷酸的冷卻裝置包括換熱器1、循環(huán)泵8、緩沖罐2和結(jié)晶器3 ；換熱器 1 一側(cè)的下部設(shè)有冷媒進(jìn)口 4，另一側(cè)的上部設(shè)有冷媒出口 6 ；換熱器1的頂部的進(jìn)口 5和緩沖罐2的下部的原料出口 16通過循環(huán)泵8相連；緩沖罐2的頂部有原料進(jìn)口 9，另有細(xì)晶進(jìn)口 10與結(jié)晶器3上部的溢流口 11相連通；結(jié)晶器3的一側(cè)下部設(shè)有冷媒進(jìn)口 12，另一側(cè)上部則設(shè)有冷媒出口 13;換熱器1的底部的出口 7與結(jié)晶器3的中部的進(jìn)口 14相連。 換熱器1是列管式換熱器。結(jié)晶器3內(nèi)裝有攪拌器15。
權(quán)利要求1.一種高純化學(xué)品生產(chǎn)冷卻裝置，其特征在于它包括換熱器(1)、循環(huán)泵(8)、緩沖罐 (2)和結(jié)晶器(3)；換熱器(1) 一側(cè)的下部設(shè)有冷媒進(jìn)口 G)，另一側(cè)的上部設(shè)有冷媒出口 (6)；換熱器⑴的頂部的進(jìn)口(5)和緩沖罐⑵的下部的出口(16)通過循環(huán)泵⑶相連； 緩沖罐⑵的頂部有原料進(jìn)口(9)，另有細(xì)晶進(jìn)口(10)與結(jié)晶器(3)上部的溢流口(11)相連通；結(jié)晶器(3)的一側(cè)下部設(shè)有冷媒進(jìn)口(12)，另一側(cè)上部則設(shè)有冷媒出口(1 ；換熱器(1)的底部的出口(7)與結(jié)晶器(3)的中部的進(jìn)口(14)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純化學(xué)品生產(chǎn)冷卻裝置，其特征在于換熱器(1)是列管式換熱器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純化學(xué)品生產(chǎn)冷卻裝置，其特征在于結(jié)晶器(3)內(nèi)裝有攪拌器(15)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種高純化學(xué)品生產(chǎn)冷卻裝置。該生產(chǎn)高純化學(xué)品冷卻裝置包括換熱器(1)、循環(huán)泵(8)、緩沖罐(2)和結(jié)晶器(3)；換熱器(1)設(shè)有冷媒進(jìn)口(4)和冷媒出口(6)；換熱器(1)的頂部和緩沖罐(2)的下部的通過循環(huán)泵(8)相連；緩沖罐(2)的頂部有原料進(jìn)口(9),另有細(xì)晶進(jìn)口(10)與結(jié)晶器(3)上部的溢流口(4)相連通；結(jié)晶器設(shè)有冷媒進(jìn)口(12)和冷媒出口(13)；換熱器(1)的底部的與結(jié)晶器(3)的中部相連。使用該裝置生產(chǎn)成本低，得到的產(chǎn)品純度高，具有很高的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。
文檔編號(hào)B01D9/02GK202223928SQ20112023309
公開日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2011年7月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月5日
發(fā)明者劉飛, 孟文祥, 李天祥, 楊正光, 楊毅 申請(qǐng)人:甕福(集團(tuán))有限責(zé)任公司