專利名稱：真空腔體觀察窗裝置及具有該裝置的真空腔體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空腔機械領(lǐng)域，特別涉及一種真空腔體觀察窗裝置及具有該裝置的 真空腔體。
背景技術(shù)：
由于器件結(jié)構(gòu)和簡單的制造工藝簡單以及圖像質(zhì)量好，有機發(fā)光顯示器己被視為 繼當前占統(tǒng)治地位的液晶顯示器或等離子顯示器之后的新一代平板顯示器。制造小分子有 機發(fā)光顯示器的生產(chǎn)系統(tǒng)大體上由蒸發(fā)系統(tǒng)和封裝系統(tǒng)等組成，特別是多層膜的熱蒸發(fā)系 統(tǒng)是重要的和關(guān)鍵的部分。該熱蒸發(fā)系統(tǒng)包括一真空腔體，熱蒸發(fā)過程是在該真空腔體內(nèi) 完成的。而該真空腔體上通常設置有玻璃觀察窗，以便及時觀測到真空腔體內(nèi)設備運行的 情況、產(chǎn)品生產(chǎn)狀況等，以及在真空腔體內(nèi)的出現(xiàn)較小的或者不確定故障時，能夠在保證不 關(guān)閉整條設備由觀察窗檢測腔體內(nèi)部是否工作正常。然而，在玻璃觀察窗為觀測腔體內(nèi)部設備運行提供便利的同時，玻璃觀察窗也容 易被蒸鍍的材料所涂覆影響觀察效果，腔體內(nèi)部設備向外發(fā)射出的強光或帶輻射光線可能 會對人的安全或健康構(gòu)成威脅。這種時候或者存在其他原因，就需要對玻璃觀察窗等開口 處進行適當?shù)恼趽跗帘?。因此，急需一種具有擋板機構(gòu)的觀察窗裝置，使到當不需要觀察時把玻璃觀察窗 與真空腔體隔絕，從而保持玻璃觀察窗觀察時的清晰度以及防止真空腔體內(nèi)有害光線射出 而影響工作人員的安全健康。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單緊湊的真空腔體觀察窗裝置，使到當不需要 觀察時把玻璃觀察窗與腔體隔絕，從而保持玻璃觀察窗觀察時的清晰度。本發(fā)明的另一目的在于提供一種具有該真空腔體觀察窗裝置的真空腔體，使到當 不需要觀察時把玻璃觀察窗與腔體隔絕，從而保持玻璃觀察窗觀察時的清晰度。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種真空腔體觀察窗裝置，用于觀察真空腔體的內(nèi) 部狀況，所述真空腔體觀察窗裝置包括第一法蘭、連接管、第二法蘭、端蓋、玻璃觀察窗以及 擋板機構(gòu)，所述第一法蘭的一端與所述真空腔體固接；所述連接管的一端與所述第一法蘭 的另一端固接；所述第二法蘭的一端與所述連接管的另一端固接；所述端蓋的一端與所述 第二法蘭的另一端固接；所述玻璃觀察窗呈密封地夾持于所述端蓋與所述第二法蘭之間； 所述擋板機構(gòu)包括擋板、旋轉(zhuǎn)軸及旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)軸的前端呈密封地樞接穿入所述連 接管內(nèi)并與所述擋板連接，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)軸的后端連接，所述旋轉(zhuǎn)軸通過所述 旋轉(zhuǎn)機構(gòu)驅(qū)動所述擋板在所述連接管內(nèi)轉(zhuǎn)動。較佳地，所述玻璃觀察窗的兩側(cè)分別設有密封圈以及襯墊，所述密封圈嵌設于所 述第二法蘭內(nèi)，所述襯墊夾持于所述端蓋與所述玻璃觀察窗之間。通過該密封圈以及襯墊 實現(xiàn)兩次密封，提高密封性。
較佳地，所述擋板機構(gòu)還包括放置平臺、鎖緊螺母、鎖緊環(huán)以及連接端口，所述放 置平臺設于所述擋板機構(gòu)的前端，所述擋板固定于所述放置平臺上，所述連接端口、鎖緊環(huán) 以及所述鎖緊螺母依次套設于旋轉(zhuǎn)軸上對應所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)與所述放置平臺之間，所述連接 端口一端與所述連接管的側(cè)壁固接，所述鎖緊螺母的一端與所述連接端口的另一端連接， 所述鎖緊環(huán)設于所述鎖緊螺母內(nèi)。較佳地，所述擋板機構(gòu)還包括套設于所述旋轉(zhuǎn)軸上的密封圈以及密封墊圈，所述 鎖緊環(huán)的內(nèi)表面設有錐形密封面，所述密封圈接觸地設于所述連接端口的斷面以及所述錐 形密封面之間，所述旋轉(zhuǎn)軸對應所述鎖緊螺母的后端具有一凸臺，設于所述凸臺與所述鎖 緊螺母之間。該密封圈實現(xiàn)了首層動密封；該密封墊圈提高了本裝置的動密封部分的密封 性能。本發(fā)明還提供一種真空腔體，該真空腔體包括腔體部以及真空腔體觀察窗裝置， 所述腔體部上開有供觀察用的通孔，所述真空腔體觀察窗裝置固設于所述腔體部上對應所 述通孔處，所述真空腔體觀察窗裝置包括第一法蘭、連接管、第二法蘭、端蓋、玻璃觀察窗以 及擋板機構(gòu)，所述第一法蘭的一端與所述真空腔體固接；所述連接管的一端與所述第一法 蘭的另一端固接；所述第二法蘭的一端與所述連接管的另一端固接；所述端蓋的一端與所 述第二法蘭的另一端固接；所述玻璃觀察窗呈密封地夾持于所述端蓋與所述第二法蘭之 間；所述擋板機構(gòu)包括擋板、旋轉(zhuǎn)軸及旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)軸的前端呈密封地樞接穿入所述 連接管內(nèi)并與所述擋板連接，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)軸的后端連接，所述旋轉(zhuǎn)軸通過所 述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)驅(qū)動所述擋板在所述連接管內(nèi)轉(zhuǎn)動。較佳地，所述第一法蘭與所述腔體部之間還設有密封圈，所述密封圈部分地嵌設 于所述第一法蘭內(nèi)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明真空腔體觀察窗裝置具有擋板機構(gòu)，不需要觀察時調(diào)節(jié) 擋板機構(gòu)的擋板位置從而擋住玻璃觀察窗，防止玻璃觀察窗體被腔體部內(nèi)的污染源污染而 影響觀察效果，該真空腔體觀察窗裝置結(jié)構(gòu)簡單緊湊，與腔體部連接方便，加工、操作以及 維護均容易實施。。通過以下的描述并結(jié)合附圖，本發(fā)明將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本發(fā)明 的實施例。


圖1為本發(fā)明真空腔體的局部剖視示意圖。圖2為本發(fā)明真空腔體觀察窗裝置的局部剖視示意圖。圖3為本發(fā)明真空腔體觀察窗裝置的擋板機構(gòu)的局部剖視圖。圖4為圖3中的擋板沿A方向觀察的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式如圖1所示，本發(fā)明真空腔體100包括腔體部10以及真空腔體觀察窗裝置20。所 述腔體部10上開有供觀察用的通孔11，所述真空腔體觀察窗裝置20固設于所述腔體部10 上對應所述通孔11處。結(jié)合圖2，所述真空腔體觀察窗裝置20包括第一法蘭21、第二法蘭22、連接管23、端蓋24、玻璃觀察窗25以及擋板機構(gòu)26。所述第一法蘭21 —端與所述腔體部10固接，另 一端與所述連接管23的一端固接；所述連接管23的另一端與所述第二法蘭22的一端固 接；所述第二法蘭22的另一端與所述端蓋24的一端與固接；所述玻璃觀察窗25夾持于所 述端蓋24與所述第二法蘭33之間。結(jié)合圖2以及圖3，所述擋板機構(gòu)26包括擋板261、放置平臺262、旋轉(zhuǎn)軸263、旋 轉(zhuǎn)機構(gòu)264、鎖緊螺母265、鎖緊環(huán)266以及連接端口 267。所述旋轉(zhuǎn)軸263的前端呈密封地 樞接穿入所述連接管23內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)264固接于所述旋轉(zhuǎn)軸263的后端，所述放置平 臺262固接于旋轉(zhuǎn)軸263的前端，所述擋板261固接于放置平臺262上。本實施例中，所述 放置平臺262與所述旋轉(zhuǎn)軸263 —體連接；所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)264為一手柄，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)264 與所述旋轉(zhuǎn)軸263螺釘連接。擋板261螺釘固置于所述放置平臺262上。結(jié)合圖4所示， 所述擋板261呈圓盤狀。所述連接端口 267、鎖緊環(huán)266以及所述鎖緊螺母265依次套設于 旋轉(zhuǎn)軸263上對應所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)264與所述放置平臺262之間。所述連接端口 267 —端與 所述連接管23的側(cè)壁焊接連接；所述鎖緊螺母的一端與所述連接端口的另一端連接，具體 地，所述連接端口 267的外端設有外螺紋，所述鎖緊螺母265內(nèi)設有內(nèi)螺紋，該外螺紋與內(nèi) 螺紋配合連接。所述鎖緊環(huán)266設于所述鎖緊螺母265內(nèi)。所述鎖緊環(huán)266的內(nèi)表面設有 錐形密封面266a。較佳者，所述擋板機構(gòu)26還包括套設于所述旋轉(zhuǎn)軸263上的密封圈268以及密封 墊圈269。所述鎖緊環(huán)266的內(nèi)表面為錐形密封面266a。所述密封圈268接觸地設于所述 連接端口 267的端面以及所述錐形密封面266a之間。所述旋轉(zhuǎn)軸263對應所述鎖緊螺母 265的后端具有一凸臺263a，所述密封墊圈269設于所述凸臺263a與所述鎖緊螺母265之 間。該密封圈268實現(xiàn)了首層動密封；該密封墊圈269提高了本裝置的動密封部分的密封 性能。較佳者，所述玻璃觀察窗25的兩側(cè)分別設有密封圈251以及襯墊252。所述密封 圈251嵌設于所述第二法蘭22內(nèi)；所述襯墊252夾持于所述端蓋24與所述玻璃觀察窗25 之間。通過該密封圈251以及襯墊252實現(xiàn)兩次密封，提高密封性。較佳者，所述第一法蘭21與所述腔體部10之間還設有密封圈30，所述密封圈30 部分地嵌設于所述第一法蘭21內(nèi)。當需要觀察真空腔體100內(nèi)部狀況時，旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)機構(gòu)264，通過旋轉(zhuǎn)軸263的傳動 而將擋板261旋轉(zhuǎn)一角度，如90度，即可通過玻璃觀察窗25看到腔體部10內(nèi)部一定區(qū)域 的情況；當不需要觀察時，只需旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)機構(gòu)264，將擋板261旋轉(zhuǎn)至水平方向，即可將玻璃 觀察窗25與腔體部10隔離，避免或減少玻璃觀察窗25被腔體部10內(nèi)的氣體或其它介質(zhì) 污染而影響其正常使用。本發(fā)明真空腔體觀察窗裝置20具有擋板機構(gòu)26，不需要觀察時，調(diào)節(jié)擋板機構(gòu)26 的擋板261位置從而擋住玻璃觀察窗25，防止玻璃觀察窗25被腔體部10內(nèi)的污染源污染 而影響觀察效果。該真空腔體觀察窗裝置20結(jié)構(gòu)簡單緊湊，與腔體部10連接方便，加工、 操作以及維護均容易實施。。以上結(jié)合最佳實施例對本發(fā)明進行了描述，但本發(fā)明并不局限于以上揭示的實施 例，而應當涵蓋各種根據(jù)本實施例的本質(zhì)進行的修改、等效組合。
權(quán)利要求
一種真空腔體觀察窗裝置，用于觀察真空腔體的內(nèi)部狀況，其特征在于，包括第一法蘭，所述第一法蘭的一端與所述真空腔體固接；連接管，所述連接管的一端與所述第一法蘭的另一端固接；第二法蘭，所述第二法蘭的一端與所述連接管的另一端固接；端蓋，所述端蓋的一端與所述第二法蘭的另一端固接；玻璃觀察窗，所述玻璃觀察窗呈密封地夾持于所述端蓋與所述第二法蘭之間；以及擋板機構(gòu)，所述擋板機構(gòu)包括擋板、旋轉(zhuǎn)軸及旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)軸的前端呈密封地樞接穿入所述連接管內(nèi)并與所述擋板連接，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)軸的后端連接，所述旋轉(zhuǎn)軸通過所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)驅(qū)動所述擋板在所述連接管內(nèi)轉(zhuǎn)動。
2.如權(quán)利要求1所述的真空腔體觀察窗裝置，其特征在于所述玻璃觀察窗的兩側(cè)分 別設有密封圈以及襯墊，所述密封圈嵌設于所述第二法蘭內(nèi)，所述襯墊夾持于所述端蓋與 所述玻璃觀察窗之間。
3.如權(quán)利要求1所述的真空腔體觀察窗裝置，其特征在于所述擋板機構(gòu)還包括放置 平臺、鎖緊螺母、鎖緊環(huán)以及連接端口，所述放置平臺設于所述擋板機構(gòu)的前端，所述擋板 固定于所述放置平臺上，所述連接端口、鎖緊環(huán)以及所述鎖緊螺母依次套設于旋轉(zhuǎn)軸上對 應所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)與所述放置平臺之間，所述連接端口一端與所述連接管的側(cè)壁固接，所述 鎖緊螺母的一端與所述連接端口的另一端連接，所述鎖緊環(huán)設于所述鎖緊螺母內(nèi)。
4.如權(quán)利要求3所述的真空腔體觀察窗裝置，其特征在于所述擋板機構(gòu)還包括套設 于所述旋轉(zhuǎn)軸上的密封圈以及密封墊圈，所述鎖緊環(huán)的內(nèi)表面設有錐形密封面，所述密封 圈接觸地設于所述連接端口的斷面以及所述錐形密封面之間，所述旋轉(zhuǎn)軸對應所述鎖緊螺 母的后端具有一凸臺，設于所述凸臺與所述鎖緊螺母之間。
5.一種真空腔體，包括腔體部以及真空腔體觀察窗裝置，所述腔體部上開有供觀察用 的通孔，所述真空腔體觀察窗裝置固設于所述腔體部上對應所述通孔處，其特征在于，所述 真空腔體觀察窗裝置包括第一法蘭，所述第一法蘭的一端與所述真空腔體固接； 連接管，所述連接管的一端與所述第一法蘭的另一端固接； 第二法蘭，所述第二法蘭的一端與所述連接管的另一端固接； 端蓋，所述端蓋的一端與所述第二法蘭的另一端固接；玻璃觀察窗，所述玻璃觀察窗呈密封地夾持于所述端蓋與所述第二法蘭之間；以及 擋板機構(gòu)，所述擋板機構(gòu)包括擋板、旋轉(zhuǎn)軸及旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)軸的前端呈密封地樞 接穿入所述連接管內(nèi)并與所述擋板連接，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)軸的后端連接，所述旋 轉(zhuǎn)軸通過所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)驅(qū)動所述擋板在所述連接管內(nèi)轉(zhuǎn)動。
6.如權(quán)利要求5所述真空腔體，其特征在于所述第一法蘭與所述腔體部之間還設有 密封圈，所述密封圈部分地嵌設于所述第一法蘭內(nèi)。
7.如權(quán)利要求5所述的真空腔體，其特征在于所述玻璃觀察窗的兩側(cè)分別設有密封 圈以及襯墊，所述密封圈嵌設于所述第二法蘭內(nèi)，所述襯墊夾持于所述端蓋與所述玻璃觀 察窗之間。
8.如權(quán)利要求5所述的真空腔體，其特征在于所述擋板機構(gòu)還包括放置平臺、鎖緊螺 母、鎖緊環(huán)以及連接端口，所述放置平臺設于所述擋板機構(gòu)的前端，所述擋板固定于所述放置平臺上，所述連接端口、鎖緊環(huán)以及所述鎖緊螺母依次套設于旋轉(zhuǎn)軸上對應所述旋轉(zhuǎn)機 構(gòu)與所述放置平臺之間，所述連接端口一端與所述連接管的側(cè)壁固接，所述鎖緊螺母的一 端與所述連接端口的另一端連接，所述鎖緊環(huán)設于所述鎖緊螺母內(nèi)。
9.如權(quán)利要求8所述的真空腔體，其特征在于所述擋板機構(gòu)還包括套設于所述旋轉(zhuǎn) 軸上的密封圈以及密封墊圈，所述鎖緊環(huán)的內(nèi)表面設有錐形密封面，所述密封圈接觸地設 于所述連接端口的斷面以及所述錐形密封面之間，所述旋轉(zhuǎn)軸對應所述鎖緊螺母的后端具 有一凸臺，設于所述凸臺與所述鎖緊螺母之間。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種真空腔體觀察窗裝置，包括第一法蘭、連接管、第二法蘭、端蓋、玻璃觀察窗以及擋板機構(gòu)，第一法蘭的一端與真空腔體固接；連接管的一端與第一法蘭的另一端固接；第二法蘭的一端與連接管的另一端固接；端蓋的一端與第二法蘭的另一端固接；玻璃觀察窗呈密封地夾持于端蓋與第二法蘭之間；擋板機構(gòu)包括擋板、旋轉(zhuǎn)軸及旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，旋轉(zhuǎn)軸的前端呈密封地樞接穿入連接管內(nèi)并與擋板連接，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)與旋轉(zhuǎn)軸的后端連接，旋轉(zhuǎn)軸通過旋轉(zhuǎn)機構(gòu)驅(qū)動擋板在連接管內(nèi)轉(zhuǎn)動。該真空腔體觀察窗裝置結(jié)構(gòu)簡單緊湊，與腔體部連接方便，加工、操作以及維護均容易實施。另，本發(fā)明還提供具有該真空腔體觀察窗裝置的真空腔體。
文檔編號B01J3/03GK101954259SQ20101017115
公開日2011年1月26日 申請日期2010年5月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月6日
發(fā)明者劉惠森, 葉宗鋒, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 郭遠倫 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司