本發(fā)明涉及外延片生產(chǎn)設(shè)備，特別涉及外延片表面預(yù)處理裝置及處理方法。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，外延生長(zhǎng)是十分重要的一個(gè)環(huán)節(jié)，外延片的晶體質(zhì)量是影響器件性能的關(guān)鍵因素之一。而外延片作為半導(dǎo)體工藝中的關(guān)鍵材料，其表面質(zhì)量的好壞直接關(guān)系到后續(xù)器件的性能與穩(wěn)定性。因此，對(duì)外延片表面進(jìn)行清洗是至關(guān)重要的。

2、如公開號(hào)為?cn113245275b的一種外延片清洗裝置，包括清洗池、滑架、清洗機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和烘干機(jī)構(gòu)，清洗池設(shè)有隔板將清洗池分隔成初洗區(qū)和精洗區(qū)，清洗兩側(cè)頂部設(shè)有絲桿，絲桿上設(shè)有可在清洗池上滑動(dòng)的滑架，滑架兩端設(shè)有放置在絲桿上的滑塊，滑塊底面加工有螺紋，滑架上方設(shè)有清洗機(jī)構(gòu)，滑架下方設(shè)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，精洗區(qū)遠(yuǎn)離初洗區(qū)一端設(shè)有烘干機(jī)構(gòu)。上述方案通過在清洗池上設(shè)置絲桿，并在絲桿上放置滑架，利用轉(zhuǎn)動(dòng)的絲桿帶動(dòng)滑架移動(dòng)，同時(shí)通過安裝在清洗池上的清洗裝置對(duì)滑架上放置的外延片進(jìn)行清洗，同時(shí)配合旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)外延片在滑架上轉(zhuǎn)動(dòng)，從而減少清潔死角，保證清洗質(zhì)量，同時(shí)配合烘干裝置可及時(shí)地將殘留在外延片上的水漬清除，以防止再次污染。

3、上述專利只能大范圍噴淋，而無法針對(duì)每個(gè)外延片進(jìn)行噴淋清洗，仍會(huì)出現(xiàn)噴淋死角，導(dǎo)致清潔效果不佳，同時(shí)，外延片與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)之間會(huì)發(fā)生打滑，導(dǎo)致外延片在滑架上的轉(zhuǎn)動(dòng)效果不佳；并且，傳統(tǒng)的外延片清洗操作中，通常先將外延片放入放置架中，再將放置架放入裝有清洗液的池中進(jìn)行超聲波清洗和浸泡清洗，而由于缺乏對(duì)外延片進(jìn)行有效限位，外延片會(huì)在液體浮力作用下發(fā)生漂浮，不利于清洗過程中外延片的穩(wěn)定放置。

4、因此，發(fā)明外延片表面預(yù)處理裝置及處理方法來解決上述問題很有必要。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供外延片表面預(yù)處理裝置及處理方法，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：外延片表面預(yù)處理裝置，包括主體，所述主體的頂部依次開設(shè)有一級(jí)清洗池、二級(jí)清洗池和三級(jí)清洗池，還包括：放置架，其能夠收納放置多個(gè)外延片并通過機(jī)械臂將外延片依次放入一級(jí)清洗池、二級(jí)清洗池和三級(jí)清洗池內(nèi)進(jìn)行清洗；壓緊組件，其轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于所述放置架的頂部?jī)蓚?cè)，所述壓緊組件能夠?qū)⑼庋悠拗圃谒龇胖眉艿膬?nèi)部；噴淋組件，其固定設(shè)置于所述放置架的頂部?jī)蓚?cè)，所述噴淋組件與同側(cè)的所述壓緊組件相互配合，能夠?qū)ν庋悠膫?cè)面進(jìn)行全面噴淋；驅(qū)動(dòng)組件，其設(shè)置于所述主體的內(nèi)部，且貫穿至所述三級(jí)清洗池的內(nèi)部，所述驅(qū)動(dòng)組件能夠驅(qū)動(dòng)外延片在放置架的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)；循環(huán)池，其開設(shè)于主體的內(nèi)部，且位于所述三級(jí)清洗池的下方，所述循環(huán)池用于容納從三級(jí)清洗池內(nèi)排出的液體；泵液組件，其設(shè)置于所述循環(huán)池的內(nèi)部，且與兩組所述噴淋組件相連通，能夠?qū)山M所述噴淋組件進(jìn)行供液。

3、優(yōu)選的，所述放置架包括：架體；放置槽，其均勻開設(shè)于所述架體的中部，所述放置槽能夠?qū)ν庋悠M(jìn)行收納；通槽，其貫穿開設(shè)于所述架體兩側(cè)；支撐輥，其轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于所述架體的中部，所述支撐輥能夠?qū)Ψ湃爰荏w內(nèi)的外延片底部進(jìn)行支撐。

4、優(yōu)選的，所述放置架還包括：底框，其固定設(shè)置于所述架體的底端外側(cè)；銜接部，其對(duì)稱固定設(shè)置于所述底框頂部的兩端，所述銜接部與機(jī)械臂相配合，能夠?qū)Ψ胖眉苓M(jìn)行移動(dòng)。

5、優(yōu)選的，所述壓緊組件包括：轉(zhuǎn)動(dòng)架，其中部轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于所述架體的頂端，且可繞其與架體的連接處進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；壓板，其固定設(shè)置于所述轉(zhuǎn)動(dòng)架的頂端，所述壓板能夠?qū)Ψ胖眉軆?nèi)的外延片進(jìn)行壓緊；柔性部，其固定設(shè)置于所述壓板的頂端；安裝桿，其固定設(shè)置于所述轉(zhuǎn)動(dòng)架的底端；浮漂，其固定設(shè)置于所述安裝桿上，所述浮漂受到液體提供的浮力后將帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)架進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。

6、優(yōu)選的，所述噴淋組件包括：導(dǎo)液盒，其固定設(shè)置于所述架體的頂端；液體通道，其開設(shè)于所述架體的內(nèi)部，且一端貫穿至所述架體的底端，另一端貫穿至所述架體的頂端；第一導(dǎo)液管，其連通設(shè)置于所述導(dǎo)液盒和液體通道之間；出液孔，且貫穿開設(shè)于所述導(dǎo)液盒的側(cè)面；集液腔，其開設(shè)于所述壓板的內(nèi)部，且所述集液腔與所述出液孔之間連通設(shè)置有第二導(dǎo)液管；噴淋孔，其數(shù)量設(shè)置有多組，其貫穿開設(shè)于所述壓板的一側(cè)，每組所述噴淋孔分別對(duì)應(yīng)一個(gè)外延片的兩側(cè)面；轉(zhuǎn)桿，其固定設(shè)置于所述轉(zhuǎn)動(dòng)架的中部，且所述轉(zhuǎn)桿貫穿所述導(dǎo)液盒；阻水板，其固定設(shè)置于所述轉(zhuǎn)桿的中部，且轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于所述導(dǎo)液盒的內(nèi)部，所述阻水板在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中始終與所述導(dǎo)液盒的內(nèi)壁保持密封；彈性件，其固定設(shè)置于所述阻水板的頂部和所述導(dǎo)液盒的內(nèi)側(cè)壁之間。

7、優(yōu)選的，所述噴淋孔包括第一斜孔和第二斜孔，所述第一斜孔和第二斜孔的噴淋方向相靠近。

8、優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)組件包括：動(dòng)力室，其開設(shè)于所述主體的后側(cè)；驅(qū)動(dòng)電機(jī)，其固定設(shè)置于所述動(dòng)力室的內(nèi)部，且其輸出端固定設(shè)置有驅(qū)動(dòng)軸；傳動(dòng)軸，其轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于所述三級(jí)清洗池的內(nèi)部，且一端通過錐齒輪組與所述驅(qū)動(dòng)軸傳動(dòng)連接，傳動(dòng)軸能夠驅(qū)動(dòng)外延片在所述放置架內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)；箱蓋，其可拆卸安裝于所述動(dòng)力室的后側(cè)。

9、優(yōu)選的，所述泵液組件包括：水泵，其固定設(shè)置于所述循環(huán)池的內(nèi)部，且其抽水端延伸至所述循環(huán)池的池底；泵液管，其與所述水泵的出水端相連通；插接槽，其均勻開設(shè)于所述三級(jí)清洗池的池底，所述插接槽能夠?qū)Ψ湃肴?jí)清洗池內(nèi)的架體底端進(jìn)行限位；對(duì)接頭，其固定設(shè)置于所述三級(jí)清洗池的底部，且數(shù)量和位置均與插接槽相對(duì)應(yīng)，所述架體放入三級(jí)清洗池后，所述對(duì)接頭的頂端與所述液體通道的底端相連通；歧管，其一端與所述對(duì)接頭相連通，另一端與所述泵液管相連通。

10、優(yōu)選的，還包括干燥組件，所述干燥組件包括：導(dǎo)氣管，其數(shù)量設(shè)置有兩個(gè)，且對(duì)稱滑動(dòng)設(shè)置于所述三級(jí)清洗池的內(nèi)壁兩側(cè)，兩個(gè)所述導(dǎo)氣管的一端均貫穿至所述動(dòng)力室的內(nèi)部；氣體噴頭，其連通設(shè)置于所述導(dǎo)氣管上；橫桿，其固定設(shè)置于兩個(gè)所述導(dǎo)氣管之間，且位于所述動(dòng)力室的內(nèi)部；復(fù)位彈簧，其一端與所述橫桿固定連接，且另一端與所述箱蓋相抵接；凸輪，其固定設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)軸上；凸塊，其固定設(shè)置于所述橫桿的一側(cè)，且所述凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，能夠間歇性地通過凸塊迫使所述橫桿運(yùn)動(dòng)。

11、還提供了外延片表面預(yù)處理方法，包括以下步驟：

12、步驟一、一級(jí)清洗，通過機(jī)械臂將裝有外延片的放置架浸泡入一級(jí)清洗池內(nèi)進(jìn)行超聲波清洗，去除外延片表面附著的污染物；

13、步驟二、二級(jí)清洗，將經(jīng)過一級(jí)清洗后的外延片浸泡入裝有丙酮的二級(jí)清洗池內(nèi)進(jìn)行清洗，去除外延片表面的光刻膠、有機(jī)物殘留；

14、步驟三、三級(jí)清洗，將經(jīng)過二級(jí)清洗后的外延片放入裝有去離子水的三級(jí)清洗池內(nèi)進(jìn)行浸泡與噴淋，徹底去除外延片表面殘留的化學(xué)物質(zhì)；

15、步驟四、干燥，通過干燥組件向外延片進(jìn)行吹氣，去除外延片表面殘留的水分。

16、本發(fā)明的技術(shù)效果和優(yōu)點(diǎn)：

17、1、本發(fā)明通過轉(zhuǎn)動(dòng)架、壓板以及浮漂的配合使用，浮漂在液體浮力的作用下向上運(yùn)動(dòng)，使得轉(zhuǎn)動(dòng)架帶動(dòng)壓板向下運(yùn)動(dòng)并壓在外延片的圓周上，有效避免了外延片在浸泡過程中因浮力而發(fā)生漂浮的問題，保證外延片始終穩(wěn)定的位于放置架內(nèi)。

18、2、本發(fā)明通過壓緊組件、噴淋組件和泵液組件的配合使用，噴淋過程中，多組噴淋孔均處于靠近對(duì)應(yīng)外延片圓周的位置處，去離子水通過第一斜孔和第二斜孔以傾斜的方式向?qū)?yīng)的外延片兩側(cè)進(jìn)行噴淋，增加了對(duì)外延片的噴淋覆蓋面，提高對(duì)外延片的噴淋清洗效果。

19、3、本發(fā)明通過設(shè)置驅(qū)動(dòng)組件，使得外延片在浸泡、噴淋以及干燥過程中始終處于轉(zhuǎn)動(dòng)的狀態(tài)，以此保證外延片的側(cè)面各處均得到清洗和干燥，防止出現(xiàn)清洗和干燥死角，提高對(duì)外延片的清洗和干燥效果。

20、4、本發(fā)明通過設(shè)置壓緊組件，使得外延片能夠始終與傳動(dòng)軸緊密抵接，以此避免外延片與傳動(dòng)軸之間發(fā)生打滑，保證外延片和傳動(dòng)軸之間的傳動(dòng)效率。