專利名稱：光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種廢液回收系統(tǒng)及其方法，尤其涉及一種光刻膠(photo-resist) 剝離劑(Stripper)廢液回收系統(tǒng)及其方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體或平面顯示器的薄膜晶體管數(shù)組的制作過程中，需要通過涂布光刻膠層、顯影以及蝕刻等工藝使得硅晶圓上形成特定的電路圖案，當(dāng)硅晶圓上形成特定的電路圖案后，需利用光刻膠剝離劑(photo-resist stripper)將殘留于硅晶圓上的光刻膠去除。現(xiàn)有技術(shù)中，業(yè)者將光刻膠剝離工藝機(jī)臺使用過的光刻膠剝離劑回收至廢液儲槽，其中，有部分使用過的光刻膠剝離劑經(jīng)由排氣系統(tǒng)抽至冷凝器冷凝收集至廢液儲槽。接著，將廢液儲槽所儲存使用過的光刻膠剝離劑輸送至廢液清運商進(jìn)行廢液處理。但上述方法容易造成資源的浪費及環(huán)保上的問題。再者，目前市面上許多電子產(chǎn)品于制造過程中都需經(jīng)過光刻膠剝離工藝，使得光刻膠剝離劑的需求量變大，因此，如何將使用過的光刻膠剝離劑有效的回收再利用與減量是未來改善的方向。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提出一種光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)及其方法，借以提高光刻膠剝離劑廢液的回收率，減少光刻膠剝離劑的浪費。本發(fā)明所揭露的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，包括回收裝置與廢液處理裝置，廢液處理裝置包括蒸餾模塊與冷凝模塊?；厥昭b置接收且處理經(jīng)過光刻膠剝離工藝中所產(chǎn)生的第一廢液并產(chǎn)生第二廢液與第一回收液，蒸餾模塊接收且加熱第二廢液，而使得第二廢液中的剝離劑混合物與水部份蒸發(fā)。冷凝模塊接收且冷凝被部份蒸發(fā)的剝離劑混合物與水，而使得被部份蒸發(fā)的剝離劑混合物與水液化成第二回收液。其中，第一回收液包含剝離劑混合物及水，第二廢液與第一廢液都至少包括固形物、剝離劑混合物及水，第二回收液至少包含剝離劑混合物及水。在一實施例中，剝離劑混合物至少包含乙二醇單丁醚(Butyl Diglycol Ether, BDG)、乙醇胺(l-Amino-2-hydroxyethane,Monoethanolamine,MEA)、二甲基亞砜(Dimethyl Sulfoxide, DMS0)及 N-甲基吡咯酮(N-Methyl-2-Pyrrolidone，NMP)其中至少二種。在一實施例中，蒸餾模塊可包括第一加熱單元，以加熱第二廢液。在一實施例中，廢液處理裝置可包括循環(huán)模塊，當(dāng)蒸餾模塊加熱第二廢液時另產(chǎn)生殘留液，循環(huán)模塊加熱殘留液并將被加熱的殘留液輸送回蒸餾模塊。在一實施例中，循環(huán)模塊可包括第二加熱單元，以加熱殘留液。在一實施例中，當(dāng)蒸餾模塊蒸餾第二廢液完成后，而形成蒸餾殘留物，其中，蒸餾殘留物包含固形物。在一實施例中，固形物可包括光刻膠，其中光刻膠可選自正型光刻膠、負(fù)型光刻膠及其組合的群組。
在一實施例中，光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)另可包括真空泵單元，以增加廢液處
理裝置的真空度。在一實施例中，第一回收液可輸送至光刻膠剝離工藝機(jī)臺。在一實施例中，第一回收液可先輸送至光刻膠剝離劑調(diào)整槽中。在一實施例中，第二回收液可輸送至回收裝置中。在一實施例中，第二回收液可先輸送至儲存槽中。在一實施例中，冷凝模塊可包含冷凝器、第一中間槽與第二中間槽。第一中間槽連接至冷凝器，以儲存第二廢液中部份的水。第二中間槽連接至冷凝器，以儲存第二回收液。在一實施例中，冷凝模塊可包含二切換單元，這些切換單元其中之一配置于冷凝器與第一中間槽之間，另一切換單元配置于冷凝器與第二中間槽之間，這些切換單元可依據(jù)蒸餾模塊加熱第二廢液的溫度選擇性地使冷凝器連接第一中間槽與第二中間槽。在一實施例中，當(dāng)蒸餾模塊加熱第二廢液的溫度小于第一溫度時，這些切換單元可使冷凝器連接第一中間槽，當(dāng)蒸餾模塊加熱第二廢液的溫度大于第一溫度時，這些切換單元可使冷凝器連接第二中間槽，其中第一溫度與水及剝離劑混合物的沸點有關(guān)。本發(fā)明所揭露的光刻膠剝離劑廢液回收方法，包括由回收裝置接收且處理經(jīng)過光刻膠剝離工藝中所產(chǎn)生的第一廢液并產(chǎn)生第二廢液與第一回收液，其中第一回收液包含剝離劑混合物及水，且第二廢液與第一廢液都至少包括固形物、剝離劑混合物及水；由廢液處理裝置的蒸餾模塊接收且加熱第二廢液，而使得第二廢液中的剝離劑混合物與水部份蒸發(fā)；以及由廢液處理裝置的冷凝模塊接收且冷凝被部份蒸發(fā)的剝離劑混合物與水，而使得被部份蒸發(fā)的剝離劑混合物與水液化成第二回收液，其中，第二回收液至少包含剝離劑混合物及水。在一實施例中，于進(jìn)行加熱第二廢液的步驟時，另產(chǎn)生殘留液。廢液處理裝置另可包括循環(huán)模塊，使得光刻膠剝離劑廢液回收方法可包括由循環(huán)模塊加熱殘留液并將被加熱的殘留液輸送回蒸餾模塊的步驟。在一實施例中，光刻膠剝離劑廢液回收方法可包括當(dāng)蒸餾第二廢液完成后，形成蒸餾殘留物的步驟，其中，蒸餾殘留物可包含固形物。在一實施例中，光刻膠剝離劑廢液回收方法可包括輸送第一回收液至光刻膠剝離工藝機(jī)臺的步驟。在一實施例中，于輸送第一回收液至光刻膠剝離工藝機(jī)臺的步驟前，光刻膠剝離劑廢液回收方法包括輸送第一回收液至光刻膠剝離劑調(diào)整槽中的步驟。在一實施例中，光刻膠剝離劑廢液回收方法可包括輸送第二回收液至回收裝置中的步驟。在一實施例中，于輸送第二回收液至回收裝置中的步驟前，光刻膠剝離劑廢液回收方法可包括輸送第二回收液至儲存槽中的步驟。在一實施例中，廢液處理裝置可包括冷凝器、第一中間槽與第二中間槽，第一中間槽與第二中間槽分別連接至冷凝器，光刻膠剝離劑廢液回收方法可包括由冷凝器冷凝第二廢液中部份的水以儲存于第一中間槽；以及由冷凝器冷凝第二回收液以儲存于第二中間槽。在一實施例中，廢液處理裝置可包含二切換單元，這些切換單元其中之一配置于冷凝器與第一中間槽之間，另一切換單元配置于冷凝器與第二中間槽之間，光刻膠剝離劑廢液回收方法可包括當(dāng)廢液處理裝置加熱第二廢液的溫度小于第一溫度時，這些切換單元使冷凝器連接第一中間槽，以儲存第二廢液中部份的水于第一中間槽；以及當(dāng)廢液處理裝置加熱第二廢液的溫度大于第一溫度時，這些切換單元使冷凝器連接第二中間槽，以儲存第二回收液于第二中間槽，其中第一溫度與水及剝離劑混合物的沸點有關(guān)。依據(jù)本發(fā)明所揭露的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)及其方法，可通過廢液處理裝置處理回收裝置所產(chǎn)生的第二廢液，以產(chǎn)生第二回收液至回收裝置，進(jìn)而有效地回收第二回收液中的剝離劑混合物。可通過循環(huán)模塊的設(shè)計，加快第二廢液中剝離劑混合物與水的蒸發(fā)速度，且使得蒸餾模塊的溫度保持穩(wěn)定，不易受輸送至蒸餾模塊的常溫第二廢液的影響。 可通過切換單元的設(shè)計，使得第一中間槽可儲存第二廢液中部份的水，第二中間槽可儲存第二回收液。再者，可通過真空泵的配置，使得光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)的真空度增加， 進(jìn)而降低剝離劑混合物與水的沸點，以加速光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)進(jìn)行光刻膠剝離劑廢液回收的時間。以下結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對本發(fā)明的限定。


圖1為依據(jù)本發(fā)明所揭露的光刻膠剝離劑廢液回收統(tǒng)的一實施例結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為依據(jù)圖1的回收裝置的一實施例結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為依據(jù)圖1的廢液處理裝置的一實施例結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為依據(jù)圖1的光刻膠剝離劑廢液回收統(tǒng)的一實施例光刻膠剝離劑廢液回收方法流程示意圖。圖5為依據(jù)本發(fā)明所揭露的光刻膠剝離劑廢液回收統(tǒng)的另一實施例結(jié)構(gòu)示意圖。圖6為依據(jù)圖5的廢液處理裝置的一實施例結(jié)構(gòu)示意圖。圖7為依據(jù)圖5的光刻膠剝離劑廢液回收統(tǒng)的一實施例光刻膠剝離劑廢液回收方法流程示意圖。圖8為依據(jù)本發(fā)明所揭露的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)的又一實施例結(jié)構(gòu)示意圖。其中，附圖標(biāo)記40調(diào)整劑
50A-Ap — 弟—二回收液
52殘留液
54蒸餾殘留物
80第--廢液
82A-Ap — 弟—二廢液
84第--回收液
88水
89固形物100,200,300 光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)102 光刻膠剝離工藝機(jī)臺
104回收裝置
106光刻膠剝離劑調(diào)整槽
108廢液處理裝置
110儲存槽
112真空泵
502薄膜蒸發(fā)機(jī)
504 脫色塔
506脫水塔
510高沸點成分
512低沸點成分
602蒸餾模塊
604冷凝模塊
606循環(huán)模塊
608蒸餾器
610第一加熱單元
612攪拌器
614冷凝器
616第一中間槽
618第二中間槽
620、621、622、623 切換單元
624泵浦單元
626第二加熱單元
628熱交換器
具體實施例方式請參照圖1，為依據(jù)本發(fā)明所揭露的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)的一實施例結(jié)構(gòu)示意圖。光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)100可包括回收裝置104與廢液處理裝置108?；厥昭b置104用以接收且處理光刻膠剝離工藝機(jī)臺102進(jìn)行光刻膠剝離工藝所產(chǎn)生的第一廢液80并產(chǎn)生第二廢液82與第一回收液84。第一回收液84可輸送至光刻膠剝離工藝機(jī)臺 102，以供光刻膠剝離工藝機(jī)臺102進(jìn)行光刻膠剝離工藝，第二廢液82可輸送至廢液處理裝置108。廢液處理裝置108接收且處理第二廢液82并產(chǎn)生第二回收液50，第二回收液50可輸送至回收裝置104，以使回收裝置104進(jìn)一步的處理第二回收液50，但實施例并非用以限定本發(fā)明。其中第一回收液84包含剝離劑混合物及水88，第二廢液82與第一廢液80都至少包括固形物89、剝離劑混合物及水88，且第二回收液50至少包括剝離劑混合物及水88。 此外，光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)100另可包括真空泵112，以增加廢液處理裝置108的真空度，進(jìn)而使第二廢液82中所有成分于減壓條件下降低沸點，以避免因高溫而變質(zhì)。請參照圖2與圖3，分別為依據(jù)圖1的回收裝置與廢液處理裝置的一實施例結(jié)構(gòu)示意圖。回收裝置104可包括薄膜蒸發(fā)機(jī)502、脫色塔504與脫水塔506，其中薄膜蒸發(fā)機(jī) 502、脫色塔504與脫水塔506可分別通過不同物質(zhì)具有不同沸點的原理實質(zhì)上分離第一廢液80中的固形物89、高沸點成分510與低沸點成分512而產(chǎn)生第二廢液82與第一回收液 84。上述固形物89可為但不限于第一廢液80中的光刻膠，高沸點成分510可為但不限于第一廢液80中的部分剝離劑混合物，低沸點成分512可為但不限于第一廢液80中的部分水88，第二廢液82可包括高沸點成分510。也就是說，本發(fā)明后續(xù)的廢液處理中的液體，低沸點成份512以水，而高沸點成份510以剝離劑混合物為范例進(jìn)行說明，但不限于此。于其它實施例，至少二種以上成分的沸點相比，沸點較低的成分為低沸點成份512，沸點較高的成分可為高沸點成份510，再者，低沸點成份512或高沸點成份510中具有要回收可再利用的成份，例如高沸點成份510時，都可采用本發(fā)明實施例的實施方式。廢液處理裝置108包括蒸餾模塊602與冷凝模塊604。其中，蒸餾模塊602可包括蒸餾器608與第一加熱單元610。冷凝模塊604可包括冷凝器614、第一中間槽616、第二中間槽618與切換單元620、622，第一中間槽616用以儲存第二廢液82中部份的低沸點成份，例如水88，第二中間槽618用以儲存第二回收液50。蒸餾模塊602可利用蒸餾器608 接收第二廢液82并透過第一加熱單元610加熱第二廢液82，而使得第二廢液82中的剝離劑混合物與水88部份蒸發(fā)。此外，蒸餾模塊602可包括攪拌器612，以使第二廢液82于蒸餾器608中均勻受熱。冷凝模塊604通過冷凝器614接收且冷凝被部份蒸發(fā)的剝離劑混合物與水88，而使得被部份蒸發(fā)的剝離劑混合物與水88液化成第二回收液50。其中，切換單元620配置于冷凝器614與第一中間槽616之間，切換單元622配置于冷凝器614與第二中間槽618之間，切換單元620、622為依據(jù)蒸餾模塊602加熱第二廢液82的溫度選擇性地使冷凝器614 連接第一中間槽616與第二中間槽618，切換單元620、622的切換情形請容后詳述。此外，光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)100更可包括切換單元621、623。切換單元621 配置于真空泵112與第一中間槽616之間，切換單元623配置于真空泵112與第二中間槽 618之間。切換單元621、623依據(jù)蒸餾模塊602加熱第二廢液82的溫度選擇性地使真空泵 112連接第一中間槽616與第二中間槽618，切換單元621、623的切換情形請容后詳述。更詳細(xì)地說，請參照圖1至圖4，圖4為依據(jù)圖1的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)的一實施例光刻膠剝離劑廢液回收方法流程示意圖。光刻膠剝離劑廢液回收方法包括步驟402 由回收裝置接收且處理經(jīng)過光刻膠剝離工藝中所產(chǎn)生的第一廢液并產(chǎn)生第二廢液與第一回收液；步驟404:由廢液處理裝置的蒸餾模塊接收且加熱第二廢液，而使得第二廢液中的剝離劑混合物與水部份蒸發(fā)；以及步驟406 由廢液處理裝置的冷凝模塊接收且冷凝被部份蒸發(fā)的剝離劑混合物與水，而使得被部份蒸發(fā)的剝離劑混合物與水液化成第二回收液。在本實施例中，步驟402所述的光刻膠剝離工藝可為但不限于制作薄膜晶體管陣列流程時去除光刻膠的過程，光刻膠可選自正型光刻膠、負(fù)型光刻膠及其組合群組，光刻膠種類的選擇依據(jù)制作薄膜晶體管陣列的實際需求進(jìn)行調(diào)整。光刻膠剝離工藝機(jī)臺102可為但不限于去光刻膠機(jī)臺(機(jī)臺型號代號例如ST0、STA或WT0)，可依據(jù)不同光刻膠的物體特性進(jìn)行調(diào)整。上述的固形物89可包括光刻膠剝離工藝中被去除的光刻膠。上述的剝離劑混合物88至少包含乙二醇單丁醚(Butyl Diglycol Ether，BDG)、 乙 Il 月安(l-Amino-2-hydroxyethane, Monoethanolamine, MEA)、二甲■ 1 Pi (DimethylSulfoxide,DMS0)及 N-甲基吡咯酮(N-Methyl-2-Pyrrolidone，NMP)其中至少二種。在本實施例中，剝離劑混合物88可為乙二醇單丁醚與乙醇胺所組成的混合物。其中，水88、固形物89、乙二醇單丁醚與乙醇胺于第一廢液80、第一回收液84、第二廢液82與第二回收液50 中的重量百分比可參照下列表1，但本實施例并非用以限定本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，其特征在于，包括一回收裝置，接收且處理經(jīng)過一光刻膠剝離工藝中所產(chǎn)生的一第一廢液并產(chǎn)生一第二廢液與一第一回收液，其中該第一回收液包含一剝離劑混合物與水，且該第二廢液與該第一廢液都至少包括一固形物、該剝離劑混合物與水；以及一廢液處理裝置，包括一蒸餾模塊，接收且加熱該第二廢液，使得該第二廢液中的該剝離劑混合物與水部份蒸發(fā)；以及一冷凝模塊，接收且冷凝被部份蒸發(fā)的該剝離劑混合物與水，使得被部份蒸發(fā)的該剝離劑混合物與水液化成一第二回收液，其中，該第二回收液至少包含該剝離劑混合物與水。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，其特征在于，該剝離劑混合物至少包含乙二醇單丁醚、乙醇胺、二甲基亞砜與N-甲基吡咯酮其中至少二種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，其特征在于，該蒸餾模塊包括一第一加熱單元，該第一加熱單元用以加熱該第二廢液。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，其特征在于，該廢液處理裝置包括一循環(huán)模塊，當(dāng)該蒸餾模塊加熱該第二廢液時另產(chǎn)生一殘留液，該循環(huán)模塊加熱該殘留液并將被加熱的該殘留液輸送回該蒸餾模塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，其特征在于，該循環(huán)模塊包括一第二加熱單元，該第二加熱單元用以加熱該殘留液。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)該蒸餾模塊蒸餾該第二廢液完成后，形成一蒸餾殘留物，其中，該蒸餾殘留物包含該固形物。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，其特征在于，該固形物包含光刻膠。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，其特征在于，該光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)另包括一真空泵單元，該真空泵單元用以增加該廢液處理裝置的真空度。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，其特征在于，該第一回收液輸送至一光刻膠剝離工藝機(jī)臺。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，其特征在于，該第一回收液會先輸送至一光刻膠剝離劑調(diào)整槽中。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，其特征在于，該第二回收液輸送至該回收裝置中。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，其特征在于，該第二回收液會先輸送至一儲存槽中。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，其特征在于，該冷凝模塊包含一冷凝器；一第一中間槽，連接至該冷凝器，以儲存該第二廢液中部份的水，以及一第二中間槽，連接至該冷凝器，以儲存該第二回收液。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，其特征在于，該冷凝模塊包含二切換單元，該些切換單元其中之一配置于該冷凝器與該第一中間槽之間，另一該切換單元配置于該冷凝器與該第二中間槽之間，該些切換單元依據(jù)該蒸餾模塊加熱該第二廢液的溫度選擇性地使該冷凝器連接該第一中間槽與該第二中間槽。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)該蒸餾模塊加熱該第二廢液的溫度小于一第一溫度時，該些切換單元使該冷凝器連接該第一中間槽。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)該蒸餾模塊加熱該第二廢液的溫度大于該第一溫度時，該些切換單元使該冷凝器連接該第二中間槽。
17.一種光刻膠剝離劑廢液回收方法，包括由一回收裝置接收且處理經(jīng)過一光刻膠剝離工藝中所產(chǎn)生的一第一廢液并產(chǎn)生一第二廢液與一第一回收液，其中該第一回收液包含一剝離劑混合物與水，且該第二廢液與該第一廢液都至少包括一固形物、該剝離劑混合物與水；由一廢液處理裝置的一蒸餾模塊接收且加熱該第二廢液，使得該第二廢液中的該剝離劑混合物與水部份蒸發(fā)；以及由該廢液處理裝置的一冷凝模塊接收且冷凝被部份蒸發(fā)的該剝離劑混合物與水，使得被部份蒸發(fā)的該剝離劑混合物與水液化成一第二回收液，其中，該第二回收液至少包含該剝離劑混合物與水。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的光刻膠剝離劑廢液回收方法，其特征在于，進(jìn)行加熱該第二廢液的步驟時，另產(chǎn)生一殘留液，該廢液處理裝置包括一循環(huán)模塊，該光刻膠剝離劑廢液回收方法包括由該循環(huán)模塊加熱該殘留液并將被加熱的該殘留液輸送回該蒸餾模塊的步馬聚ο
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的光刻膠剝離劑廢液回收方法，其特征在于，包括當(dāng)該蒸餾該第二廢液完成后，形成一蒸餾殘留物的步驟，其中，該蒸餾殘留物包含該固形物。
20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的光刻膠剝離劑廢液回收方法，其特征在于，包括輸送該第一回收液至一光刻膠剝離工藝機(jī)臺的步驟。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的光刻膠剝離劑廢液回收方法，其特征在于，在輸送該第一回收液至該光刻膠剝離工藝機(jī)臺的步驟前，包括輸送該第一回收液至一光刻膠剝離劑調(diào)整槽中的步驟。
22.根據(jù)權(quán)利要求17所述的光刻膠剝離劑廢液回收方法，其特征在于，包括輸送該第二回收液至該回收裝置中的步驟。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的光刻膠剝離劑廢液回收方法，其特征在于，在輸送該第二回收液至該回收裝置中的步驟前，包括輸送該第二回收液至一儲存槽中的步驟。
24.根據(jù)權(quán)利要求17所述的光刻膠剝離劑廢液回收方法，其特征在于，該廢液處理裝置包括一冷凝器、一第一中間槽與一第二中間槽，該第一中間槽與該第二中間槽分別連接至該冷凝器，該光刻膠剝離劑廢液回收方法包括由該冷凝器冷凝該第二廢液中部份的水以儲存于該第一中間槽；以及由該冷凝器冷凝該第二回收液以儲存于該第二中間槽。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的光刻膠剝離劑廢液回收方法，其特征在于，該廢液處理裝置包含二切換單元，該些切換單元其中之一配置于該冷凝器與該第一中間槽之間，另一該切換單元配置于該冷凝器與該第二中間槽之間，該光刻膠剝離劑廢液回收方法包括當(dāng)該廢液處理裝置加熱該第二廢液的溫度小于一第一溫度時，該些切換單元使該冷凝器連接該第一中間槽，以儲存該第二廢液中部份的水于該第一中間槽；以及當(dāng)該廢液處理裝置加熱該第二廢液的溫度大于該第一溫度時，該些切換單元使該冷凝器連接該第二中間槽，以儲存該第二回收液于該第二中間槽。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種光刻膠剝離劑廢液回收系統(tǒng)及其方法，該系統(tǒng)包括回收裝置與廢液處理裝置，廢液處理裝置包括蒸餾模塊與冷凝模塊。回收裝置接收且處理經(jīng)過光刻膠剝離工藝中所產(chǎn)生的第一廢液并產(chǎn)生第二廢液與第一回收液。蒸餾模塊接收且加熱第二廢液，而使得第二廢液中的剝離劑混合物與水部份蒸發(fā)。冷凝模塊接收且冷凝被部份蒸發(fā)的剝離劑混合物與水，而使得被部份蒸發(fā)的剝離劑混合物與水液化成第二回收液。其中，回收裝置可進(jìn)一步處理第二回收液，以有效地回收再利用第二回收液中的剝離劑混合物。
文檔編號C02F1/04GK102219272SQ20111013097
公開日2011年10月19日 申請日期2011年5月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月9日
發(fā)明者廖庭寬 申請人:友達(dá)光電股份有限公司