專利名稱：切割研磨廢水之uf回收處理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)于一種切割研磨廢水之UF回收處理系統(tǒng)，特別是在低設(shè)置成本及低 損耗下，提升回收率及提升UF膜之使用壽命。
背景技術(shù)：
在電子制程相關(guān)產(chǎn)業(yè)，例如IC封裝產(chǎn)業(yè)的制程，包括晶圓切割(WaferSaw)及晶圓 研磨(Wafer Back Grinding)這些制程，均會使用超純水洗凈，因此也產(chǎn)生了大量的切割研 磨廢水。在這些電子相關(guān)產(chǎn)業(yè)中，芯片切割研磨廢水的處理因為含有極細微的粉末顆粒， 在處理上并不容易，同時廢水處理費用也相當驚人，回收率也不高。傳統(tǒng)以UF膜處理研磨 廢水的方式，多采橫流過濾(Cross Flow)法進行過濾(如圖1所示)，但由于使用橫流過濾 (Cross Flow)法的設(shè)備較為復(fù)雜、設(shè)置成本較高，回收率也無法太高，且因為廢水A的進水 流動方向和UF膜B平行，廢水中的懸浮微粒C和硅粉末D，不僅會造成UF系統(tǒng)阻塞，也會刮 傷UF濾膜，導(dǎo)致UF絲膜的壽命縮短(使用壽命僅約一年)，整體回收系統(tǒng)的使用壽命也會 相對縮短，不符合經(jīng)濟效益。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明之主要目的在提供一種切割研磨廢水之UF回收處理系統(tǒng)，系采 用全流過濾(Dead-end)進行過濾，并配合定期水洗、氣洗和藥洗機制，將廢水中微細顆粒 有效攔截，達到降低濁度和S. D. I.的效能。本發(fā)明之次一目的在提供一種切割研磨廢水之UF回收處理系統(tǒng)，藉由定期的自 動水洗流程、藥洗流程和氣洗流程，使UF膜經(jīng)可以常保持在最佳過濾狀態(tài)，延長UF膜的使 用壽命。本發(fā)明之再一目的在提供一種切割研磨廢水之UF回收處理系統(tǒng)，藉由定期水洗 流程、藥洗流程和氣洗流程，以全流過濾，設(shè)備較為簡單，能耗較低，不僅能降低設(shè)備成本， 而且能提升廢水回收率。一種切割研磨廢水之UF回收處理系統(tǒng)，包括廢水回收儲存槽、進水泵、CDA緩沖 槽、UF過濾器和UF產(chǎn)水儲桶；系切割研磨廢水回收于儲存槽后，經(jīng)進水泵進入UF過濾器， 產(chǎn)水后再儲入UF產(chǎn)水儲桶；其特征在于所述UF過濾器系采全流式(Dead-end)過濾，在產(chǎn) 水過程中并配設(shè)有定期或不定期的水洗流程和藥洗流程。


圖1習見使用橫流式過濾之示圖。圖2本發(fā)明使用全流式過濾之示圖。圖3本發(fā)明之系統(tǒng)配置圖。圖4本發(fā)明之清洗流程方塊圖。
主要組件符號說明
A 廢水
B =UF 膜
C 懸浮微粒
D 硅粉末
Al 進水方向
Bl UF膜
101研磨廢水回收儲存槽102 自吸桶
103=UF進水泵104 初過濾模塊
105= CDA緩沖槽106 UF過濾器
107=UF產(chǎn)水儲桶108 RO供水泵
109=UF逆洗泵110 UF藥品一儲存桶
111藥品一加壓機112 :UF藥品二儲存桶
113藥品二加壓機114 UF藥品三儲存桶
115藥品三加壓機
具體實施例方式本發(fā)明之切割研磨廢水之UF回收處理系統(tǒng)，如圖2所示，系以全流式(Dead-end) 過濾式系統(tǒng)過濾切割研磨廢水，藉由進水方向Al和UF膜Bl垂直的全流式過濾系統(tǒng)，配合 定期自動的水洗、氣洗和藥洗的機制，維持UF膜較佳的過濾狀態(tài)，可將廢水的回收率提升 到90%以上。本發(fā)明之切割研磨廢水之UF回收處理系統(tǒng)，如圖3所示，該UF回收處理系統(tǒng)包 括切割廢水回收儲存槽100、研磨廢水回收儲存槽101、自吸桶102、UF進水泵103、初過濾 模塊104、CDA緩沖槽105、UF過濾器106、UF產(chǎn)水儲桶107、RO供水泵108、UF逆洗泵109、 UF藥品一儲存桶110、藥品一加壓機111、UF藥品二儲存桶112、藥品二加壓機113、UF藥品 三儲存桶114、藥品三加壓機115。其中，切割廢水和研磨廢水回收于儲存槽101后，經(jīng)自吸桶102、UF進水正泵103、 初過濾模塊104后進入UF超濾系統(tǒng)106，產(chǎn)出的過濾水再儲入UF產(chǎn)水儲桶107。產(chǎn)水一段 時間后UF超濾系統(tǒng)內(nèi)之UF膜會透過正洗、逆洗、氣洗等一連串清洗程序、再視不同的廢水 特性決定使用藥洗的藥劑，以維持UF的正常運轉(zhuǎn)，接著再進入RO逆滲透過濾處理。本發(fā)明之切割研磨廢水之UF回收處理系統(tǒng)，其UF膜系采用立式之中空纖維模， 藉由以壓力差提供驅(qū)動力的過濾方式，將水中微細顆粒有效攔截，降低濁度和S. D. I.的效 能。由于本系統(tǒng)系以全流過濾(Dead-end)方式產(chǎn)水，系統(tǒng)設(shè)備簡單，節(jié)省初投資成 本，操作上比橫流過濾(Cross Flow)方式節(jié)省能源；在設(shè)定條件到達后進入清洗模式，并 在標準設(shè)定下，絲膜上堆積濾餅還沒造成永久性壓差前即進行清洗，以確保絲膜污堵物去 除效率維持在最高狀態(tài)。本發(fā)明之UF過濾器106，在產(chǎn)水過程中系配設(shè)有自動清洗流程，清洗流程包括水 洗流程和藥洗流程，水洗流程又可分為水洗一流程和水洗二流程，水洗一流程和水洗二流程的水洗方向相反。例如水洗一流程系由下往上清洗UF膜，水洗二流程則為由上往下清 洗UF膜。水洗一流程包括以下步驟正洗步驟啟動UF進水泵，由下往上清洗膜管表面；正洗+氣洗步驟導(dǎo)入CDA進入由下往上沖刷并松動膜管表面；正洗+逆洗步驟由膜管內(nèi)側(cè)產(chǎn)水道往膜管進水側(cè)逆向沖洗，將經(jīng)過正洗和氣洗 松動的膜管污堵沖除；第二正洗步驟進行第二次由下而上正洗；Rinse (正洗)步驟由進水側(cè)往產(chǎn)水側(cè)以產(chǎn)水流量做最后Rinse。水洗一流程的步驟和水洗一流程的步驟相同，僅水洗方向不同。藥洗流程，系由上往下進行藥洗，包括以下步驟正洗步驟由上而下清洗膜管表面；正洗+逆洗步驟由膜管內(nèi)側(cè)產(chǎn)水道往膜管進水側(cè)逆向沖洗；正洗+注藥步驟持續(xù)正洗+逆洗，將藥品和逆洗水混合，再由膜管內(nèi)側(cè)產(chǎn)水道往 膜管進水側(cè)進行藥洗；靜置步驟關(guān)閉所有閥門、泵浦，靜置泡藥；Rinse-I (正洗)步驟由膜管內(nèi)側(cè)產(chǎn)水道往膜管進水側(cè)逆向?qū)⑺巹_除；Rinse-2 (正洗二)步驟由進水側(cè)往產(chǎn)水側(cè)以產(chǎn)水流量做最后Rinse。上述操作模式可為手動操作或自動操作。自動產(chǎn)水流程可設(shè)定，當UF產(chǎn)水貯桶 107低于預(yù)定水位時，且研磨廢水儲存槽101處于預(yù)定液位以上時，UF系統(tǒng)開始產(chǎn)水程序。 產(chǎn)水進行至UF產(chǎn)水貯桶107高于預(yù)定水位或研磨廢水儲存槽101低于預(yù)定液位時，停止產(chǎn) 水。自動產(chǎn)水時，需偵測產(chǎn)水累積流量，若累積流量尚未到達設(shè)定值則可以產(chǎn)水，若到 達設(shè)定累積流量后，就進入水洗或藥洗程序。產(chǎn)水途中并需連續(xù)偵測進水水質(zhì)、產(chǎn)水水質(zhì)、產(chǎn)水流量、進水側(cè)壓力、出水側(cè)壓力 和產(chǎn)水差壓，若有異常則發(fā)出警報且停機。此外，如圖4所示，水洗流程和藥洗流程的進行程序可作如下設(shè)定先進行水洗一流程，累計達預(yù)定次數(shù)后即進行1次水洗二流程；再進行水洗一流程，累計達預(yù)定次數(shù)后再進行1次水洗二流程；進行一次化學藥洗一流程；再進行水洗一流程，累計達預(yù)定次數(shù)后，再進行1次水洗二流程；再進行水洗一流程，累計達預(yù)定次數(shù)后再進行1次水洗二流程；進行一次化學藥洗二流程；再重復(fù)進行。UF系統(tǒng)產(chǎn)水時，進出口壓力差必須低于UF膜原廠所提供之壓力范圍為佳；水洗及 藥洗時，進出口壓力也必須低于UF膜原廠所提供之壓力范圍為較佳。經(jīng)由以全流過濾配合定期水洗、逆洗和藥洗的機制設(shè)定，在低設(shè)備成本下，使UF 膜上的濾餅堆積之前能實時清洗，而且也能減少廢水中懸浮微?；蚬璺勰F膜的傷害， 故UF膜的使用效能可以保持在較佳狀態(tài)，相對地，即可延長UF膜的使用壽命，進而提升整 體的回收效能。
權(quán)利要求
1.一種切割研磨廢水之UF回收處理系統(tǒng)，包括廢水回收儲存槽、進水泵、CDA緩沖槽、 UF過濾器和UF產(chǎn)水儲桶；系切割研磨廢水回收于儲存槽后，經(jīng)進水泵進入UF過濾器，產(chǎn)水 后再儲入UF產(chǎn)水儲桶；其特征在于所述UF過濾器系采全流式(Dead-end)過濾，在產(chǎn)水過 程中并配設(shè)有定期或不定期的水洗流程和藥洗流程。
2.如權(quán)利要求1所述的切割研磨廢水之UF回收處理系統(tǒng)，其特征在于其中所述水洗 流程包括正洗步驟清洗膜管表面；正洗+氣洗步驟導(dǎo)入CDA進入沖刷并松動膜管表面；正洗+逆洗步驟逆向沖洗膜管，將經(jīng)過正洗和氣洗松動的膜管污堵沖除；以及Rinse (正洗)步驟以產(chǎn)水流量做最后清洗。
3.如權(quán)利要求2所述的切割研磨廢水之UF回收處理系統(tǒng)，其特征在于其中所述水洗 流程得包括有水洗一流程和水洗二流程，水洗一流程和水洗二流程的步驟相同，但清洗方 向相反。
4.如權(quán)利要求3所述的切割研磨廢水之UF回收處理系統(tǒng)，其特征在于其中所述藥洗 流程包括正洗步驟清洗膜管表面；正洗+逆洗步驟逆向沖洗膜管表面；正洗+注藥步驟持續(xù)正洗+逆洗步驟，并將藥品和逆洗水混合，對膜管進行藥洗；靜置步驟關(guān)閉泵，靜置泡藥；以及Rinse (正洗)步驟以產(chǎn)水流量做最后清洗。
5.如權(quán)利要求4所述的切割研磨廢水之UF回收處理系統(tǒng)，其特征在于其中所述水洗 流程和藥洗流程的進行程序為首先，進行水洗一流程，累計達預(yù)定次數(shù)后再進行1次水洗二流程； 其次，進行水洗一流程，累計達預(yù)定次數(shù)后再進行1次水洗二流程； 第三，進行一次化學藥洗流程；第四，重新進行水洗一流程，累計達預(yù)定次數(shù)后再進行1次水洗二流程； 第五，再進行水洗一流程，累計達預(yù)定次數(shù)后再進行1次水洗二流程； 最后，再進行一次化學藥洗流程。
全文摘要
一種切割研磨廢水之UF回收處理系統(tǒng)，系使用全流式(Dead-end)過濾系統(tǒng)，利用立式之中空纖維模，配合定期水洗、氣洗和藥洗機制，藉此，得在低設(shè)置成本、低損耗下和簡易流程中，提升回收率，而且得以延長UF膜使用壽命。
文檔編號C02F1/44GK102070227SQ20091022260
公開日2011年5月25日 申請日期2009年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月19日
發(fā)明者林壯恭 申請人:漢華水處理工程股份有限公司