一種用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，主要用來回收光阻剝膜液，可以應用于液晶玻璃基板的制作工藝中。
【背景技術】
[0002]現(xiàn)有技術中，液晶玻璃基板是液晶平板顯示器的重要組成部分，具有十分廣闊的發(fā)展前景。目前在商業(yè)上應用的玻璃基板，其主要厚度為0.7 mm及0.5 mm，且即將邁入更薄(如0.4 mm)厚度之制程。超薄平板玻璃基材之特性主要取決于玻璃的組成，而玻璃的組成則影響玻璃的熱膨脹、黏度(應變、退火、轉化、軟化和工作點）、耐化學性、光學穿透吸收及在各種頻率與溫度下的電氣特性，產品質量除深受材料組成影響外，也取決于生產制程。
[0003]現(xiàn)有技術中，液晶玻璃基板的主要制程如下：（I)將主要由基板、鋁層、光阻層三層層疊設置的半成品設置掩膜，然后進行UV照射；（2)采用顯影液溶解去除未被掩膜覆蓋部分的光阻層，露出下面的鋁層；（3)刻蝕，去除上述部分鋁層；（4)采用光阻剝膜液將剩余的光阻層全部去除。其中，步驟(4)中，光阻剝膜液一般采用乙醇胺(MEA)和二甲基亞砜(DMSO)的混合液;而且，步驟(4)一般是在高溫（約80°C)下進行的，因此光阻剝膜液會發(fā)生出現(xiàn)揮發(fā)現(xiàn)象。因此，如何回收這部分揮發(fā)的光阻剝膜液成為了本領域必須解決的技術問題之一。
[0004]針對上述問題，現(xiàn)有方法是采用冷凝回收系統(tǒng)，現(xiàn)有的冷凝回收系統(tǒng)參見圖I所示，主要包括立式的冷凝器I，冷凝器一般包括冷凝盤管和其上的翅片2;其中，翅片是豎直設置的，以便于冷凝液的滴落。為了增加接觸面積，加大熱交換效果，氣體進口和氣體出口均位于冷凝器的側面，使氣體流動方向呈水平狀，參見圖I所示。
[0005]然而，實際應用發(fā)現(xiàn)：由于冷凝盤管上設有大量的翅片，且翅片之間的間距較小，在冷凝處理一段時間后，翅片上會凝結大量的光阻剝膜液，且位于越下方的翅片上光阻剝膜液越多，甚至造成冷凝液堵塞翅片的現(xiàn)象，這便使翅片及冷凝器的冷凝效果大打折扣，影響了其正常使用。

【發(fā)明內容】

[0006]本實用新型的目的是提供一種用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)。
[0007]為達到上述發(fā)明目的，本實用新型采用的技術方案是：一種用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，包括至少I個冷凝模組。
[0008]所述冷凝模組包括冷凝器、設于冷凝器下方的冷凝液收集槽，以及氣體進口；冷凝器中的翅片豎直設置;所述氣體進口位于冷凝器的正上方，使氣體流動方向與翅片的設置方向相平行。
[0009]所述冷凝模組包括冷凝器、設于冷凝器下方的冷凝液收集槽，以及氣體進口，這些都可以參照現(xiàn)有技術。
[0010]所述冷凝器中的翅片豎直設置;所述氣體進口位于冷凝器的正上方，使氣體流動方向與翅片的設置方向相平行；即氣體流動方向與翅片平行，這便使氣體可以推動（吹動）翅片上的冷凝液，使冷凝液在氣體推動（吹動）和自身重力作用下盡快滴入冷凝液收集槽，從而可以防止冷凝液堵塞翅片，大大提高了冷凝器的冷凝效果。
[0011]優(yōu)選的，所述冷凝模組的數(shù)量至少為2個，且冷凝模組層疊設置。
[0012]上文中，所述冷凝回收系統(tǒng)包括層疊設置的至少2個冷凝模組，每個冷凝模組即可形成一道冷凝體系，本實用新型采用的是多道冷凝體系，且各個冷凝體系層疊設置，形成串聯(lián)結構，即待處理的氣體先通過上方的冷凝模組進行第一道冷凝，然后進入下方的冷凝模組進行第二道冷凝，即進行多次冷凝，從而到的更佳的冷凝效果。
[0013]優(yōu)選的，所述冷凝模組的數(shù)量為2?4個。
[0014]優(yōu)選的，所述冷凝器為板式換熱器。
[0015]上文中，所述板式換熱器可以采用現(xiàn)有技術，其具有良好的傳熱強度。板式換熱器具有進水口、出水口，以及氣體入口和氣體出口 ；板式換熱器的進水口與供水管路連通;所述板式換熱器的出水口與排水管路連通。所述板式換熱器內設有氣體通道和冷卻水通道，兩者通過熱交換來對氣體進行冷凝。
[0016]優(yōu)選的，所述板式換熱器為不銹鋼板式換熱器。
[0017]由于上述技術方案運用，本實用新型與現(xiàn)有技術相比具有下列優(yōu)點：
[0018]1、本實用新型設計了一種全新的用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，通過將翅片豎直設置，并使氣體流動方向與翅片的設置方向相平行;使氣體可以推動（吹動)翅片上的冷凝液，使冷凝液在氣體推動（吹動)和自身重力作用下盡快滴入冷凝液收集槽，從而可以防止冷凝液堵塞翅片，大大提高了冷凝器的冷凝效果；
[0019]2、本實用新型采用的是多道冷凝體系，且各個冷凝體系層疊設置，形成串聯(lián)結構，待處理的氣體先通過上方的冷凝模組進行第一道冷凝，然后進入下方的冷凝模組進行第二道冷凝，即進行多次冷凝，從而到的更佳的冷凝效果；
[0020]3、本實用新型的結構簡單，易于制備和使用，適于推廣應用。
【附圖說明】
[0021 ]圖I是【背景技術】中冷凝回收系統(tǒng)的示意圖。
[0022]圖2是本實用新型實施例一的示意圖。
[0023]圖3是本實用新型實施例一中氣體流動示意圖。
[0024]其中：I、冷凝器;2、翅片;3、冷凝模組;4、冷凝液收集槽。
【具體實施方式】
[0025]下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述：
[0026]實施例一
[0027]參見圖2?3所示，一種用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，包括層疊設置的2個冷凝模組3。
[0028]所述冷凝模組包括冷凝器I、設于冷凝器下方的冷凝液收集槽4，以及氣體進口；冷凝器中的翅片豎直設置;所述氣體進口位于冷凝器的正上方，使氣體流動方向與翅片的設置方向相平行。
[0029]所述冷凝器為板式換熱器。所述板式換熱器為不銹鋼板式換熱器。
[0030]上文中，所述冷凝回收系統(tǒng)包括層疊設置的2個冷凝模組，每個冷凝模組即可形成一道冷凝體系，本實施例采用的是2道冷凝體系，且各個冷凝體系層疊設置，形成串聯(lián)結構，即待處理的氣體先通過上方的冷凝模組進行第一道冷凝，然后進入下方的冷凝模組進行第二道冷凝，從而到的更佳的冷凝效果。
[0031]所述冷凝模組包括冷凝器、設于冷凝器下方的冷凝液收集槽，以及氣體進口，這些都可以參照現(xiàn)有技術。
[0032]所述冷凝器中的翅片豎直設置;所述氣體進口位于冷凝器的正上方，使氣體流動方向與翅片的設置方向相平行；即氣體流動方向與翅片平行，這便使氣體可以推動（吹動）翅片上的冷凝液，使冷凝液在氣體推動（吹動）和自身重力作用下盡快滴入冷凝液收集槽，從而可以防止冷凝液堵塞翅片，大大提高了冷凝器的冷凝效果。
【主權項】
1.一種用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，其特征在于:包括至少I個冷凝模組(3);所述冷凝模組包括冷凝器(1)、設于冷凝器下方的冷凝液收集槽(4)，以及氣體進口；冷凝器中的翅片豎直設置;所述氣體進口位于冷凝器的正上方，使氣體流動方向與翅片的設置方向相平行。2.根據(jù)權利要求I所述的用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，其特征在于:所述冷凝模組的數(shù)量至少為2個，且冷凝模組層疊設置。3.根據(jù)權利要求2所述的用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，其特征在于:所述冷凝模組的數(shù)量為2?4個。4.根據(jù)權利要求I所述的用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，其特征在于:所述冷凝器為板式換熱器。5.根據(jù)權利要求4所述的用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，其特征在于:所述板式換熱器為不銹鋼板式換熱器。
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，包括至少1個冷凝模組；所述冷凝模組包括冷凝器、設于冷凝器下方的冷凝液收集槽，以及氣體進口；冷凝器中的翅片豎直設置；所述氣體進口位于冷凝器的正上方，使氣體流動方向與翅片的設置方向相平行。本實用新型通過將翅片豎直設置，并使氣體流動方向與翅片的設置方向相平行；使氣體可以推動（吹動）翅片上的冷凝液，使冷凝液在氣體推動（吹動）和自身重力作用下盡快滴入冷凝液收集槽，從而可以防止冷凝液堵塞翅片，大大提高了冷凝器的冷凝效果。
【IPC分類】F28B1/02
【公開號】CN205156657
【申請?zhí)枴緾N201520886697
【發(fā)明人】楊政諭
【申請人】亞翔系統(tǒng)集成科技（蘇州）股份有限公司
【公開日】2016年4月13日
【申請日】2015年11月9日