本實(shí)用新型涉及ITO靶材加工設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種改進(jìn)的真空熱壓爐。

背景技術(shù)：

ITO 靶材主要制備方法有熱等靜壓法、熱壓法和燒結(jié)法等。真空熱壓法是利用熱能與機(jī)械性能將粉狀材料置于真空和保護(hù)性氣氛中的高碳模具中，高溫加熱到軟化狀態(tài)時(shí)，加壓成型的工藝。由于該工藝燒結(jié)溫度可依外加壓力的大小而比常壓燒結(jié)低約200℃～400℃， 同時(shí)外加的能量使粉狀材料致密化速度加快，可以在較低的溫度及較短的時(shí)間內(nèi)生產(chǎn)完成完全致密的ITO 靶材產(chǎn)品，因此目前國(guó)內(nèi)廠家普遍采用真空熱壓法生產(chǎn)ITO 靶材。

真空熱壓爐如圖1所示，通常包括爐體10’、發(fā)熱機(jī)構(gòu)20’以及熱壓裝置30’，其中熱壓裝置30’包括設(shè)置于爐體頂部的上壓頭301’以及設(shè)置于爐體底部的下壓頭302’，所述下壓頭302’安裝于下液壓油缸303’的推桿3031’上，由于所述推桿3031’穿過爐體底部帶動(dòng)下壓頭于爐體的高溫區(qū)上下運(yùn)動(dòng)，則推桿的密封狀況是影響爐體內(nèi)真空度的重要因素。推桿的密封結(jié)構(gòu)如圖1所示，包括與爐底101’固定連接的法蘭1’，所述法蘭1’內(nèi)安裝一環(huán)形密封圈2’，所述推桿3031’穿過環(huán)形密封圈2’進(jìn)入爐體內(nèi)部，當(dāng)爐體抽真空作業(yè)時(shí)導(dǎo)致密封圈2’上部壓力驟減，部分空氣由密封圈下部進(jìn)入爐體使密封圈與推桿之間的間隙增大，進(jìn)而導(dǎo)致密封效力下降。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種密封性能優(yōu)異的真空熱壓爐。

實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型目的的技術(shù)方案是，一種改進(jìn)的真空熱壓爐，其包括爐體、發(fā)熱機(jī)構(gòu)以及熱壓裝置，所述發(fā)熱機(jī)構(gòu)包括安裝于爐體內(nèi)部的發(fā)熱體以及數(shù)個(gè)導(dǎo)熱電極，所述導(dǎo)熱電極穿過爐體與發(fā)熱體連接；所述熱壓裝置包括設(shè)置于爐體頂部的上壓頭以及設(shè)置于爐體底部的下壓頭，所述下壓頭安裝于下液壓油缸的推桿上，所述爐體的底部固定安裝有一密封裝置；所述密封裝置包括上密封座、下密封座以及雙向密封圈，所述上密封座固定安裝于爐體底部，所述下密封座可拆卸地安裝于上密封座底部并與上密封座圍合成中空的雙向密封圈安裝空間，上密封圈以及下密封圈的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有密封圈固定槽；所述雙向密封圈為兩端內(nèi)徑小中間內(nèi)徑大的類橄欖形結(jié)構(gòu)，雙向密封圈的中部的外圍設(shè)置有凸臺(tái)，所述凸臺(tái)嵌套于密封圈固定槽內(nèi)，雙向密封圈的兩端與相對(duì)的上密封座以及下密封座之間存在密封圈活動(dòng)間隙，所述推桿順次穿過下密封座、雙向密封圈以及上密封座進(jìn)入爐體內(nèi)部，所述上密封座、雙向密封圈以及推桿圍合成上氣室，所述下密封座、雙向密封圈以及推桿圍合成下氣室。

進(jìn)一步地，所述密封圈固定槽為上密封座與下密封座拼接而成。

進(jìn)一步地，所述凸臺(tái)與密封圈固定槽固定連接。

進(jìn)一步地，所述雙向密封圈一體成型。

進(jìn)一步地，所述導(dǎo)熱電極內(nèi)部設(shè)有回水管路?；厮苈穬?nèi)冷卻水與導(dǎo)熱電機(jī)充分換熱，避免溫度過高造成短路。

本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的真空熱壓爐內(nèi)獨(dú)創(chuàng)的雙向密封圈結(jié)構(gòu)與上、下密封座以及推桿配合，于密封裝置內(nèi)部分隔出上、下兩個(gè)氣室，當(dāng)爐體抽真空時(shí)，上氣室內(nèi)壓力驟減導(dǎo)致空氣由雙向密封圈的上部進(jìn)入雙向密封圈內(nèi)，由于下氣室內(nèi)氣壓大于雙向密封圈內(nèi)部氣壓，則雙向密封圈的下部受到下氣室的壓力抱緊推桿，防止漏氣，從而保證了爐體的真空度；當(dāng)爐體內(nèi)正壓狀態(tài)時(shí)，上氣室壓力大于雙向密封圈內(nèi)部氣壓，則雙向密封圈的上部受到上氣室的壓力抱緊推桿，保證爐體不漏氣。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型背景技術(shù)所述真空熱壓爐部分剖視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例所述真空熱壓爐的部分剖視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例所述上、下密封座的裝配結(jié)構(gòu)剖視圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例所述導(dǎo)熱電極結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例做詳細(xì)說明。

如圖2和圖4所示，一種改進(jìn)的真空熱壓爐，其包括爐體10、發(fā)熱機(jī)構(gòu)20以及熱壓裝置30，所述發(fā)熱機(jī)構(gòu)20包括安裝于爐體內(nèi)部的發(fā)熱體201以及數(shù)個(gè)導(dǎo)熱電極202，所述導(dǎo)熱電極202穿過爐體與發(fā)熱體201連接，所述導(dǎo)熱電極202內(nèi)部設(shè)有回水管路2021。

如圖2和圖3所示，所述熱壓裝置30包括設(shè)置于爐體頂部的上壓頭301以及設(shè)置于爐體底部的下壓頭302，所述下壓頭302安裝于下液壓油缸303的推桿3031上，所述爐體的底部101固定安裝有一密封裝置1；所述密封裝置1包括上密封座11、下密封座12以及雙向密封圈13，所述上密封座11固定安裝于爐體的底部101上，所述下密封座12可拆卸地安裝于上密封座11底部并與上密封座11圍合成中空的雙向密封圈安裝空間，上密封圈11以及下密封圈12的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有密封圈固定槽14；所述雙向密封圈13為兩端內(nèi)徑小中間內(nèi)徑大的類橄欖形結(jié)構(gòu)，雙向密封圈13的中部的外圍設(shè)置有凸臺(tái)131，所述凸臺(tái)131嵌套于密封圈固定槽14內(nèi)，雙向密封圈13的兩端與與其相對(duì)的上密封座11以及下密封座12之間存在密封圈活動(dòng)間隙D，所述推桿3031順次穿過下密封座12、雙向密封圈13以及上密封座11進(jìn)入爐體內(nèi)部，所述上密封座11、雙向密封圈13以及推桿3031圍合成上氣室2，所述下密封座12、雙向密封圈13以及推桿3031圍合成下氣室3。

其中，所述發(fā)熱體以及熱壓裝置結(jié)構(gòu)均為現(xiàn)有技術(shù)，在此不作贅述。

當(dāng)爐體抽真空時(shí)，上氣室2內(nèi)壓力驟減導(dǎo)致空氣由雙向密封圈13的上部進(jìn)入雙向密封圈內(nèi)，由于下氣室3內(nèi)氣壓大于雙向密封圈13內(nèi)部氣壓，則雙向密封圈13的下部受到下氣室3的壓力抱緊推桿，防止漏氣，從而保證了爐體的真空度；當(dāng)爐體內(nèi)正壓狀態(tài)時(shí)，上氣室2壓力大于雙向密封圈13內(nèi)部氣壓，則雙向密封圈13的上部受到上氣室2的壓力抱緊推桿，保證爐體不漏氣。

本實(shí)用新型所述凸臺(tái)可直接嵌設(shè)于密封圈固定槽內(nèi)，也可以與密封圈固定槽固定連接，以提升雙向密封圈的穩(wěn)定性；本實(shí)施例中所述密封圈固定槽為上密封座與下密封座拼接而成，也可以分別在上、下密封座內(nèi)側(cè)壁分別開設(shè)密封圈固定槽，凸臺(tái)的數(shù)量與密封圈固定槽的數(shù)量相匹配；本實(shí)施例中上、下密封座螺栓連接，實(shí)際裝配結(jié)構(gòu)不限于此，上、下密封還可以卡接或采用其他易于拆卸的裝配結(jié)構(gòu)連接。

以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說明書內(nèi)容所作的等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。