專利名稱：熱處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用循環(huán)熱風(fēng)對(duì)工件進(jìn)行加熱的熱處理裝置。
背景技術(shù)：
在對(duì)工件進(jìn)行熱處理的熱處理裝置中，具有熱風(fēng)循環(huán)方式的加熱裝置，該熱風(fēng)循 環(huán)方式的加熱裝置利用在爐體內(nèi)部循環(huán)的熱風(fēng)對(duì)工件進(jìn)行加熱。在這種熱風(fēng)循環(huán)方式的熱 處理裝置中，有時(shí)會(huì)產(chǎn)生工件的上風(fēng)和下風(fēng)溫度分布不均、在工件的下風(fēng)溫度降低的不利 情況。工件越大，這種不利情況就越嚴(yán)重，對(duì)于這種不利情況，以往有各種應(yīng)對(duì)辦法。例如以往存在如下的技術(shù)，即在對(duì)平板形的工件進(jìn)行強(qiáng)制對(duì)流加熱時(shí)，通過(guò)使隔 板傾斜配置，使得下風(fēng)一側(cè)與隔板的間隔比上風(fēng)一側(cè)與隔板的間隔窄，從而使下風(fēng)一側(cè)的 熱風(fēng)流速比上風(fēng)一側(cè)的熱風(fēng)流速大，由此對(duì)工件進(jìn)行均勻加熱(例如參照日本專利公開公 報(bào)特開平11-118356號(hào))。此外，還存在有這樣的技術(shù)，即在對(duì)平板形工件進(jìn)行強(qiáng)制對(duì)流加熱時(shí)，通過(guò)將熱 風(fēng)的流動(dòng)方向反轉(zhuǎn)，使上風(fēng)一側(cè)和下風(fēng)一側(cè)轉(zhuǎn)換，從而對(duì)工件進(jìn)行均勻加熱(例如參照日 本專利公開公報(bào)特開平8-261647號(hào))。在上述的日本專利公開公報(bào)特開平11-118356號(hào)的技術(shù)中，由于使熱風(fēng)流速改變 的隔板傾斜配置，所以工件設(shè)置場(chǎng)所在高度方向上增大，其結(jié)果導(dǎo)致工件的處理量減少。此外，在上述的日本專利公開公報(bào)特開平8-261647號(hào)的技術(shù)中，由于使循環(huán)熱風(fēng) 的行進(jìn)方向反轉(zhuǎn)，所以因經(jīng)過(guò)過(guò)濾器的風(fēng)量急劇改變，造成過(guò)濾器本身成為灰塵源，其結(jié)果 導(dǎo)致?tīng)t體內(nèi)部的潔凈度降低。此外，在使循環(huán)熱風(fēng)的行進(jìn)方向反轉(zhuǎn)時(shí)，也可能使被過(guò)濾器捕 捉到的塵埃等脫離過(guò)濾器在爐體內(nèi)部漂浮。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種熱處理裝置，該熱處理裝置不擴(kuò)大處理每單位個(gè)數(shù)的工 件所需要的熱處理空間，此外能夠保持爐體內(nèi)部的清潔，并且能夠利用簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)均勻加 熱大型的平板形工件。本發(fā)明的熱處理裝置利用循環(huán)熱風(fēng)對(duì)平板形工件進(jìn)行加熱。該熱處理裝置包括爐 體、循環(huán)風(fēng)扇、加熱器、耐熱過(guò)濾器以及熱風(fēng)整流構(gòu)件。爐體在內(nèi)部具有支承工件的工件支承部。循環(huán)風(fēng)扇分別配置在爐體的第一側(cè)面一 側(cè)和第二側(cè)面一側(cè)，并且產(chǎn)生循環(huán)熱風(fēng)。加熱器分別配置在爐體的第一側(cè)面一側(cè)和第二側(cè) 面一側(cè)，并且對(duì)循環(huán)熱風(fēng)進(jìn)行加熱。耐熱過(guò)濾器分別配置在爐體的第一側(cè)面一側(cè)和第二側(cè) 面一側(cè)，用于清潔循環(huán)熱風(fēng)。這些循環(huán)風(fēng)扇、加熱器、耐熱過(guò)濾器優(yōu)選配置成在爐體的寬度 方向上左右對(duì)稱。熱風(fēng)整流構(gòu)件配置在耐熱過(guò)濾器與工件之間，并且分別調(diào)整從第一側(cè)面一側(cè)向工 件提供的熱風(fēng)風(fēng)量和從第二側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量。具體地說(shuō)，熱風(fēng)整流構(gòu)件使 在工件的上面從第一側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量比從第二側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量多，另一方面，使在相同工件的下面從第二側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量比從第一側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量多。作為熱風(fēng)整流構(gòu)件的典型例子，可以例舉分別配置 在第一側(cè)面一側(cè)和第二側(cè)面一側(cè)的熱風(fēng)調(diào)整板。在上述結(jié)構(gòu)中，由于創(chuàng)造性地想出使從第一側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量與從 第二側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量不同，所以不會(huì)產(chǎn)生從左右提供的熱風(fēng)在工件的寬度 方向中央部位相互擠壓，造成在中央部位形成熱風(fēng)難以流動(dòng)的環(huán)境這種不利情況。因此，能 夠防止在工件的寬度方向的中央部位溫度降低。此外，在工件的上面和下面，由于使從第一側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量和從 第二側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量的大小關(guān)系反轉(zhuǎn)，所以在工件上也不會(huì)產(chǎn)生左右的溫差。此外，由于不使通過(guò)耐熱過(guò)濾器的熱風(fēng)的移動(dòng)方向反轉(zhuǎn)，所以對(duì)于耐熱過(guò)濾器而 言難以產(chǎn)生灰塵。此外，由于沒(méi)有必要改變支承工件的工件支承部的結(jié)構(gòu)，所以也不會(huì)擴(kuò)大 用于處理每單位個(gè)數(shù)的工件所需要的空間。而且，在把工件裝載成多層的情況下，通過(guò)在每層使從第一側(cè)面一側(cè)向工件提供 的熱風(fēng)風(fēng)量與從第二側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量的大小關(guān)系反轉(zhuǎn)，即使在把工件裝載 成多層的情況下，也可以防止產(chǎn)生左右的溫差。按照本發(fā)明，能夠不擴(kuò)大處理每單位個(gè)數(shù)的工件所需要的熱處理空間，此外，能夠 保持爐體內(nèi)部的清潔，并能夠用簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)對(duì)大型的平板形工件進(jìn)行均勻加熱。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式的熱處理裝置概況的圖。圖2是表示熱處理裝置概況的框圖。圖3是表示熱風(fēng)整流板結(jié)構(gòu)的圖。圖4是表示熱風(fēng)整流板的作用的圖。圖5是表示熱風(fēng)的流通狀態(tài)的圖。圖6是表示本發(fā)明其他實(shí)施方式的熱處理裝置概況的圖。圖7是表示控制熱風(fēng)的流通狀態(tài)的例子的圖。
具體實(shí)施例方式用圖IA和圖1B，對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式的熱處理裝置10的基本結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。熱處 理裝置10是熱風(fēng)循環(huán)式的潔凈爐(clean oven)，利用循環(huán)熱風(fēng)對(duì)搬入爐體12中的平板形 的工件18進(jìn)行加熱。在爐體12的內(nèi)部設(shè)置多個(gè)架構(gòu)件28，該架構(gòu)件28把工件18支承成多層。在爐體 12的前面設(shè)置有門26，在把工件搬入和搬出時(shí)打開或關(guān)閉該門26。門26由在上下方向排 列的多個(gè)擋板(shutter)構(gòu)成，能夠僅打開或關(guān)閉與分配給要搬入或搬出的工件18的層對(duì) 應(yīng)的擋板。在爐體12的背面一側(cè)設(shè)置有多個(gè)加熱器20、多個(gè)循環(huán)風(fēng)扇22以及多個(gè)通風(fēng)道 24。加熱器20、循環(huán)風(fēng)扇22和通風(fēng)道24配置在爐體12的寬度方向(圖IA和圖IB中的左 右方向)的中央部位的兩側(cè)。加熱器20對(duì)在爐體12內(nèi)部循環(huán)的熱風(fēng)進(jìn)行加熱。循環(huán)風(fēng)扇22在爐體12內(nèi)部產(chǎn)生循環(huán)風(fēng)，吸入通過(guò)加熱器20的熱風(fēng)，并向通風(fēng)道24送出。在該實(shí)施 方式中，作為循環(huán)風(fēng)扇22使用西洛克風(fēng)扇(sirocco fan)，但也可以使用其他種類的風(fēng)扇。在爐體12的寬度方向上的兩端部位(兩側(cè)面一側(cè))設(shè)置有多個(gè)耐熱過(guò)濾器14。 耐熱過(guò)濾器14通過(guò)捕捉經(jīng)過(guò)通風(fēng)道24的熱風(fēng)中所含有的微小顆粒，使吹向工件18的熱風(fēng) 潔凈。此外作為耐熱過(guò)濾器14的例子可以例舉的有HEPA過(guò)濾器，但不限于HEPA過(guò)濾器。 在耐熱過(guò)濾器14和架構(gòu)件28之間配置多個(gè)熱風(fēng)整流板16，能夠?qū)犸L(fēng)的循環(huán)路 徑進(jìn)行調(diào)整。如圖IA和圖IB所示，熱風(fēng)整流板16配置在與耐熱過(guò)濾器14的配置位置對(duì) 應(yīng)的位置上。關(guān)于熱風(fēng)整流板16的結(jié)構(gòu)和作用等將在后面敘述。如圖2所示，熱處理裝置10具有CPU50，在該CPU50上連接有R0M52、RAM54、傳感 器單元56、I/F部(輸入/輸出部)58、風(fēng)扇驅(qū)動(dòng)部60、加熱器驅(qū)動(dòng)部62以及門驅(qū)動(dòng)部64 等。R0M52存儲(chǔ)有CPTOO的動(dòng)作所需要的多個(gè)程序。RAM54是用于CPTOO臨時(shí)存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的 易失存儲(chǔ)器。傳感器單元56由用于收集爐體12內(nèi)部的溫度和壓力等信息的多個(gè)計(jì)量?jī)x器 構(gòu)成。I/F部58具有與外部設(shè)備通信的功能。風(fēng)扇驅(qū)動(dòng)部60根據(jù)來(lái)自CPTOO的信號(hào)分別 驅(qū)動(dòng)多個(gè)循環(huán)風(fēng)扇22。加熱器驅(qū)動(dòng)部62根據(jù)來(lái)自CPTOO的信號(hào)分別驅(qū)動(dòng)多個(gè)加熱器20。 門驅(qū)動(dòng)部64根據(jù)來(lái)自CPTOO的信號(hào)分別能夠使門26的多個(gè)擋板進(jìn)行打開或關(guān)閉的動(dòng)作。接著，使用圖3A和圖3B對(duì)熱風(fēng)整流板16的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。設(shè)置熱風(fēng)整流板16 是為了通過(guò)使熱風(fēng)分散和集中來(lái)調(diào)整向各層的各個(gè)工件提供的熱風(fēng)的風(fēng)量。熱風(fēng)整流板16 包括上側(cè)導(dǎo)向部161和下側(cè)導(dǎo)向部163，該上側(cè)導(dǎo)向部161和下側(cè)導(dǎo)向部163具有起到把 熱風(fēng)向傾斜方向引導(dǎo)的導(dǎo)向面的作用的斜面；以及連接部165，該連接部165連接上側(cè)導(dǎo)向 部161和下側(cè)導(dǎo)向部163。在上側(cè)導(dǎo)向部161和下側(cè)導(dǎo)向部163上分別設(shè)置可以通過(guò)熱風(fēng) 的多個(gè)貫通孔162。如圖3B所示，連接部165通過(guò)螺釘166等連接構(gòu)件，固定安裝在框架 164上，框架164設(shè)置在爐體12的規(guī)定位置上。如圖4所示，熱風(fēng)整流板16的上側(cè)導(dǎo)向部161的端部配置在與工件18的配置位 置大體相同的高度上，并且，熱風(fēng)整流板16的下側(cè)導(dǎo)向部163的端部配置在與比該工件18 更下一層的工件18的配置位置大體相同的高度上。此外，熱風(fēng)整流板16配置在工件18的 左右兩側(cè)，但是配置在左側(cè)的熱風(fēng)整流板16與配置在右側(cè)的熱風(fēng)整流板16配置成在高度 方向上相互錯(cuò)開一層。在上述的結(jié)構(gòu)中，碰到熱風(fēng)整流板16的大部分熱風(fēng)沿上側(cè)導(dǎo)向部161和下側(cè)導(dǎo)向 部163的斜面行進(jìn)，另一方面，碰到熱風(fēng)整流板16的一部分熱風(fēng)通過(guò)貫通孔162行進(jìn)。因 此，提供給配置在與上側(cè)導(dǎo)向部161的端部對(duì)應(yīng)高度上的工件18上面的熱風(fēng)風(fēng)量多，另一 方面，提供給該工件18下面的熱風(fēng)風(fēng)量少。此外，提供給配置在與下側(cè)導(dǎo)向部163端部對(duì) 應(yīng)高度上的工件下面的熱風(fēng)風(fēng)量多，另一方面，提供給該工件18上面的熱風(fēng)風(fēng)量少。而且， 由于右側(cè)和左側(cè)的熱風(fēng)整流板16相互錯(cuò)開一層配置，在從右側(cè)提供的熱風(fēng)風(fēng)量多的層中， 從左側(cè)提供的熱風(fēng)風(fēng)量少，并且在從右側(cè)提供的熱風(fēng)風(fēng)量少的層中，從左側(cè)提供的熱風(fēng)風(fēng)里多。如圖5A所示，在從左側(cè)提供的熱風(fēng)風(fēng)量多、從右側(cè)提供的熱風(fēng)風(fēng)量少的情況下， 從左側(cè)提供的熱風(fēng)穿過(guò)工件18寬度方向的中央部位，一直到達(dá)工件18的右側(cè)。另一方面， 如圖5B所示，在從右側(cè)提供的熱風(fēng)風(fēng)量多、從左側(cè)提供的熱風(fēng)風(fēng)量少的情況下，從右側(cè)提 供的熱風(fēng)穿過(guò)工件18寬度方向的中央部位，一直到達(dá)工件18的左側(cè)。因此可以防止發(fā)生如從左右提供了相同強(qiáng)度的熱風(fēng)那樣，由于在工件18寬度方向中央部位來(lái)自左右的熱風(fēng) 相互擠壓、導(dǎo)致工件18中央部分的熱風(fēng)難以流動(dòng)的不利情況。因此，可以防止工件18寬度 方向的中央部位的溫度降低。而且，在工件18的上面從左側(cè)提供強(qiáng)的熱風(fēng)的情況下，由于 在相同工件18的下面從右側(cè)提供強(qiáng)的熱風(fēng)，所以不會(huì)在工件18的左右產(chǎn)生溫差。例如在 該實(shí)施方式的情況下，工件18的加熱設(shè)定溫度設(shè)定為230度，在工件18的整個(gè)區(qū)域可以得 到不會(huì)產(chǎn)生正負(fù)3度以上偏差的好結(jié)果。 此外由于通過(guò)耐熱過(guò)濾器14的熱風(fēng)風(fēng)量不變化，所以不會(huì)因由耐熱過(guò)濾器14產(chǎn) 生的灰塵導(dǎo)致?tīng)t體12內(nèi)部的潔凈度降低。而且由于未改變支承工件18的架構(gòu)件28的結(jié) 構(gòu)，因此也不會(huì)擴(kuò)大配置每單位個(gè)數(shù)的工件18所需要的空間。圖6表示本發(fā)明其他實(shí)施方式的熱處理裝置102的概況。由于熱處理裝置102的 基本結(jié)構(gòu)與上述的熱處理裝置10相同，所以省略了說(shuō)明。熱處理裝置102與熱處理裝置10 不同的是不具有上述的熱風(fēng)整流板16。通常，在不使用上述的熱風(fēng)整流板16、從工件18的左右提供相同強(qiáng)度的熱風(fēng)的情 況下，在工件18的中央部位會(huì)產(chǎn)生比其他部分的溫度低的低溫區(qū)70。因此，在熱處理裝置102中，通過(guò)CPU50控制風(fēng)扇驅(qū)動(dòng)部60，使來(lái)自左右的熱風(fēng)的 強(qiáng)度隨時(shí)間變化。在該實(shí)施方式中，逐漸使來(lái)自右側(cè)的熱風(fēng)增強(qiáng)，同時(shí)使來(lái)自左側(cè)的熱風(fēng)減弱，此后 如圖7A所示，僅在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)，從右側(cè)提供強(qiáng)的熱風(fēng)。隨后逐漸使來(lái)自左右的熱風(fēng)的強(qiáng) 度相同，此后如圖7B所示，僅在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)，從左右提供相同強(qiáng)度的熱風(fēng)。接著逐漸使來(lái) 自左側(cè)的熱風(fēng)增強(qiáng)，同時(shí)使來(lái)自右側(cè)的熱風(fēng)減弱，此后如圖7C所示，僅在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)，從 左側(cè)提供強(qiáng)的熱風(fēng)。在熱處理裝置102中，每經(jīng)過(guò)規(guī)定的時(shí)間使?fàn)顟B(tài)逐漸進(jìn)行圖7A —圖7B —圖7C — 圖7B —圖7A —圖7B —圖7C……的變化，使得不發(fā)生急劇的風(fēng)量變化。按照以上的實(shí)施方式，能夠總是防止如從左右提供相同強(qiáng)度的熱風(fēng)時(shí)那樣、在工 件18的中央部分產(chǎn)生熱風(fēng)難以流動(dòng)的不利情況，并且能夠防止工件18的中央部位溫度降 低的不利情況。而且，由于每隔規(guī)定的時(shí)間使來(lái)自左右的熱風(fēng)的強(qiáng)弱關(guān)系反轉(zhuǎn)，所以不會(huì)在 工件18的左右產(chǎn)生溫差。此外，由于通過(guò)耐熱過(guò)濾器14的熱風(fēng)風(fēng)量不產(chǎn)生急劇變化，而且通過(guò)耐熱過(guò)濾器 14的熱風(fēng)的移動(dòng)方向也不改變，所以不會(huì)從耐熱過(guò)濾器14產(chǎn)生灰塵，能夠保持爐體12內(nèi)部
的清潔。在此，說(shuō)明了間歇式地改變來(lái)自左右的熱風(fēng)的強(qiáng)弱關(guān)系的例子，但也可以連續(xù)改 變來(lái)自左右的熱風(fēng)的強(qiáng)弱關(guān)系。例如對(duì)于加在左右循環(huán)風(fēng)扇22上的電壓可以進(jìn)行間歇式 地斜坡輸出控制(斜坡控制(rampingcontrol))；此外也可以通過(guò)進(jìn)行連續(xù)地斜坡輸出控 制(斜坡控制)，總是使外加電壓變化。此外，不僅可以把加在左右循環(huán)風(fēng)扇22上的電壓控制成線性地增加或減少，也可 以使這些電壓按正弦波的方式變化。即使任意的情況下都是當(dāng)使加在左右循環(huán)風(fēng)扇22中 的一個(gè)上的電壓增強(qiáng)時(shí)，使加在另一個(gè)上的電壓減弱，相反，在使加在一個(gè)上的電壓減弱 時(shí)，使加在另一個(gè)上的電壓增強(qiáng)，重要的是使來(lái)自左右的熱風(fēng)的強(qiáng)弱關(guān)系反轉(zhuǎn)。此外，避免 使加在左右循環(huán)風(fēng)扇22上的電壓發(fā)生階梯式變化也是重要的。
上述實(shí)施方式的說(shuō)明都只是例子，不應(yīng)該認(rèn)為是限制的內(nèi)容。本發(fā)明的范圍不是由上述的實(shí)施方式而是由權(quán)利要求來(lái)表示。并且本發(fā)明的范圍包括與權(quán)利要求等同的內(nèi)容 和在本發(fā)明范圍內(nèi)的所有變更。
權(quán)利要求
一種熱處理裝置，利用循環(huán)熱風(fēng)對(duì)平板形的工件進(jìn)行加熱，其特征在于包括爐體，具有支承工件的工件支承部；多個(gè)循環(huán)風(fēng)扇，分別配置在所述爐體的第一側(cè)面一側(cè)和第二側(cè)面一側(cè)，并且產(chǎn)生所述循環(huán)熱風(fēng)；多個(gè)加熱器，分別配置在所述爐體的所述第一側(cè)面一側(cè)和所述第二側(cè)面一側(cè)，并且對(duì)所述循環(huán)熱風(fēng)進(jìn)行加熱；耐熱過(guò)濾器，分別配置在所述爐體的所述第一側(cè)面一側(cè)和所述第二側(cè)面一側(cè)，用于清潔所述循環(huán)熱風(fēng)；以及熱風(fēng)整流構(gòu)件，配置在所述耐熱過(guò)濾器與工件之間，并且分別調(diào)整從所述第一側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量和從所述第二側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量，所述熱風(fēng)整流構(gòu)件使在工件的上面從所述第一側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量比從所述第二側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量多，另一方面，使在相同工件的下面從所述第二側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量比從所述第一側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量多。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于， 工件支承部是架構(gòu)件，所述架構(gòu)件能夠把工件支承成多層， 所述熱風(fēng)整流構(gòu)件是熱風(fēng)調(diào)整板，所述熱風(fēng)調(diào)整板至少包括上側(cè)導(dǎo)向部，所述上側(cè)導(dǎo)向部的端部配置在與第一工件對(duì)應(yīng)的高度上，具有作為把熱 風(fēng)向所述第一工件的上面引導(dǎo)的導(dǎo)向面的斜面；以及下側(cè)導(dǎo)向部，所述下側(cè)導(dǎo)向部的端部配置在與配置在所述第一工件下一層的第二工件 對(duì)應(yīng)的高度上，具有作為把熱風(fēng)向所述第二工件的下面引導(dǎo)的導(dǎo)向面的斜面， 所述熱風(fēng)調(diào)整板分別配置在所述第一側(cè)面一側(cè)和所述第二側(cè)面一側(cè)， 所述上側(cè)導(dǎo)向部和所述下側(cè)導(dǎo)向部分別具有貫通孔，所述貫通孔把一部分熱風(fēng)導(dǎo)向所 述第一工件與所述第二工件之間，配置在所述第一側(cè)面一側(cè)的熱風(fēng)調(diào)整板與配置在所述第二側(cè)面一側(cè)的熱風(fēng)調(diào)整板在 高度方向上配置在錯(cuò)開一層的位置上。
3.一種熱處理裝置，利用循環(huán)熱風(fēng)對(duì)平板形的工件進(jìn)行加熱，其特征在于包括 爐體，具有支承工件的工件支承部；多個(gè)循環(huán)風(fēng)扇，分別配置在所述爐體的第一側(cè)面一側(cè)和第二側(cè)面一側(cè)，并且產(chǎn)生所述 循環(huán)熱風(fēng)；多個(gè)加熱器，分別配置在所述爐體的所述第一側(cè)面一側(cè)和所述第二側(cè)面一側(cè)，并且對(duì) 所述循環(huán)熱風(fēng)進(jìn)行加熱；耐熱過(guò)濾器，分別配置在所述爐體的所述第一側(cè)面一側(cè)和所述第二側(cè)面一側(cè)，用于清 潔所述循環(huán)熱風(fēng)；以及控制部，至少對(duì)所述多個(gè)循環(huán)風(fēng)扇的各自的動(dòng)作進(jìn)行控制，所述控制部使從所述第一側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量與從所述第二側(cè)面一側(cè)向 工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量之比隨時(shí)間變化。
全文摘要
本發(fā)明的熱處理裝置(10)包括爐體(12)、循環(huán)風(fēng)扇(22)、加熱器(20)、耐熱過(guò)濾器(14)以及熱風(fēng)整流板(16)。熱風(fēng)整流板(16)配置在耐熱過(guò)濾器(14)與工件(18)之間。熱風(fēng)整流板(16)使在工件(18)的上面從第一側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量比從第二側(cè)面一側(cè)向工件提供的熱風(fēng)風(fēng)量多，另一方面，使在相同工件(18)的下面從第二側(cè)面一側(cè)向工件(18)提供的熱風(fēng)風(fēng)量比從第一側(cè)面一側(cè)向工件(18)提供的熱風(fēng)風(fēng)量多。
文檔編號(hào)F27B5/14GK101838726SQ201010122630
公開日2010年9月22日 申請(qǐng)日期2010年3月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月18日
發(fā)明者長(zhǎng)嶋靖 申請(qǐng)人:光洋熱系統(tǒng)株式會(huì)社